【課題】接着部材による圧縮応力を低減することによって、光走査体の共振周波数等の固有値の変化を抑制することができる光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光走査体は、入射した光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから相反する方向に延びる一対の梁と、一対の梁を支持する固定部と、反射ミラーを揺動駆動する駆動体とを有する。光走査装置は、光走査体と、光走査体の固定部に接着部材で接着され、光走査体を支持する台座と、を備えている。光走査体の固定部における台座への接着領域、又は台座における光走査体の固定部への接着領域に、接着部材を逃がす凹部が形成された。 （もっと読む）

【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）

【課題】光学ミラーを固定するときに生じる反射面の歪みを防止し、レーザ光の集光性能の低下や照射位置の位置ずれが発生することを防止する光学ミラー装置および光学ミラーの固定方法を提供する。
【解決手段】光学ミラー装置５０は、入射されたレーザを照射位置へ反射する反射面３１、３２を備えた光学ミラー３０と、反射面に連なって対をなす側面部３３に向かい合う保持部を有するとともに光学ミラーが載置される保持部材４０と、側面部と保持部との間に設けられるとともに対をなす側面部を互いに離れる方向に引っ張りつつ光学ミラーを保持部材に固定する接着剤と、保持部材に連結されるとともに回転駆動される駆動軸７１を備えるモータ７０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】特に光学系要素の部品点数の削減、構造の簡単化及び通信対象に対する高い指向性を実現できる光通信装置を提供することにある。
【解決手段】光通信装置の光学系要素として、発光素子、受光素子、レンズが実装された基板２０及びその可動機構であるアクチュエータ１１を含む構造の光学系要素１０である。光学系要素１０は、光通信装置の光通信を実行するときに、アクチュエータ１１により通信対象に対して基板２０が微小可動するように調整される構造である。 （もっと読む）

【課題】光変調を行って画像を形成するに当たり、光源から射出される光と光変調装置との相対的な位置調整の作業を簡易化することを目的とする。
【解決手段】光源２Ｒ，２Ｇ，２Ｂと、光源からの入射される光を変調する光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂと、光変調装置に画像信号に対応した駆動信号を出力する制御部１３と、光変調装置により変調された光を表示面に対して走査する走査光学部８と、走査光学部により走査された光を表示面に投影する投影光学部９とを備える。光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂにおいて変調された光を検出する光強度検出部１２ｂと、光強度検出部１２ｂにおいて検出された光強度信号から、光変調装置４Ｒ，４Ｇ，４Ｂに照射される光の照射位置を検出する演算処理部１２と、演算処理部１２における検出結果に基づいて駆動制御信号を生成する照射位置制御部１５と、照射位置制御部１５からの駆動制御信号により駆動され、光変調装置に照射される光の位置を調整する駆動部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】安価で作製可能な、曲面状の鏡面を有する反射鏡、または、曲率や形状が可変な反射鏡を備えるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ発振器から被加工物へのレーザビームの光路上には、反射鏡１が配置されている。反射鏡１は、鏡面を形成する板状部材からなり、板状部材に一方向の曲げモーメントを生じさせるように力を加えて該板状部材を湾曲させる荷重負荷機構１５によって鏡面が湾曲させられている。 （もっと読む）

【課題】複数色の光変調を行って画像を形成するに当たり、各色に対応する光変調素子の相対的な光学位置調整を容易にし、また、発熱等によって生じる色毎の画素ずれを抑制することを目的とする。
【解決手段】支持部材３０と、支持部材３０上に配置され、異なる波長帯域の複数の線状の光を変調する光変調装置１２と、光変調装置１２を駆動する駆動部１６と、光変調装置１２上に設けられる光透過部材１３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】位置決め溝を高精度に設けることを必要としない製造容易な光スイッチを得る。
【解決手段】複数本の固定側光ファイバ１ａにそれぞれ取り付けた複数個の固定側コリメータ１をその先端面を揃えた状態で、特別な位置決めをすることなく例えば束ねる。移動側コリメータ２から光を出射した状態で、移動側コリメータ２を固定側コリメータ群の先端面と平行なｘ−ｙ平面内で移動させながら、各固定側コリメータ１を導通する光のレベルをモニターして、それぞれの固定側コリメータ１について、導通した光パワーが最も強い時の移動側コリメータ２のｘ、ｙ座標をそれぞれの固定側コリメータの位置情報として記録するティーチング操作により固定側コリメータ座標テーブルを作成する。光スイッチとして動作する時は、接続しようとする固定側コリメータの座標を固定側コリメータ座標テーブルから読み出して、この読み出した座標に移動側コリメータを移動させる。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジ部のねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高めて、可動板の揺動動作の安定性を高める。
【解決手段】１対の支柱部３ａ及びこの１対の支柱部３ａに渡されている桟部３ｂによって、中抜き部３ｃを有するはしご形状のヒンジ部３を形成し、可動板２を回動自在に支持する。ヒンジ部３の中抜き部３ｃによってヒンジ部３の回動軸周りのねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高める。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、気密性を確保すると共に各部を絶縁分離し、且つ、製造コストを低くする。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００は、ＳＯＩ基板２００の第１シリコン層２００ａに形成され、ミラー面２０が搭載された可動部５０を有している。第１シリコン層２００ａはトレンチ１０１ａ，１０１ｂ等の絶縁分離部が形成されることにより複数の部位に絶縁分離され、各部位の電位を変更して可動部５０の櫛歯電極７，８に電圧を印加可能である。トレンチ１０１ａ，１０１ｂ等の絶縁分離部は半導体部１００の外周側部に露出せず、上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を半導体部１００に接合することにより、光走査ミラー１の内部の気密を容易に確保可能である。 （もっと読む）

【課題】製造時において特に基板間の接合の際にミラー間や電極間が接合してしまうのが防止され、さらに動作時においてもミラー間や電極間が接合してしまうのが防止された光フィルタとその製造方法、光学フィルタ装置モジュールを提供する。
【解決手段】対向面の一部が当接し、残部が離間して配設された第１基板１４及び第２基板１５と、これら基板の対向面側の離間した部位に第１のギャップＧ１を介して配置された一対のミラー２Ａ、２Ｂと、第２のギャップＧ２を介して配置された一対の電極１６Ａ、１６Ｂとを備え、第１基板１４に、電極１６Ａ、１６Ｂ間の静電力によって変位し、第１のギャップＧ１を変化させる可動部１３を有する光フィルタ１である。第１基板１４と第２基板１５との間に、一対のミラー２Ａ、２Ｂが当接するのに干渉し、あるいは一対の電極１６Ａ、１６Ｂが当接するのに干渉する突起２０（２５）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高速駆動が可能でかつミラー面の動撓みを低減可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備え、ミラーにダイヤモンドライクカーボン膜を形成したことを特徴とするマイクロミラーデバイスが提供される。 （もっと読む）

【課題】ミラー表面の平滑性を向上させたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。 （もっと読む）

【課題】支持基板の小型化が可能な圧電薄膜デバイス、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】矩形板状の単結晶基板からなる支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された可動部１０とを備え、可動部１０が、支持基板１の一表面側に立設され、支持基板１の厚み方向に直交する規定方向において離間した一対の短冊状の電極１２，１２と、支持基板１の一表面側に形成した圧電薄膜を用いて形成され、規定方向において一対の電極１２，１２間に介在する短冊状の圧電層１１とを有する。また、可動部１０は、一対の電極１２，１２および圧電層１１を覆う形で支持基板１の厚み方向に板状の変位量増大部１４が立設されている。一対の電極１２，１２間に電圧を印加していない状態で、発光デバイス（例えば、半導体レーザなど）からの光を阻止し、一対の電極１２，１２間に電圧を印加した状態で光を通過させることができる光スイッチを構成できる。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板に回動可能に設けられたミラーと電極基板に設けられた電極とを、高い位置（間隔）精度で近設させた状態が、より容易に得られるようにする。
【解決手段】支持基板１０１と、支持基板１０１の上に支持部（枠部１２６）で支持されて回動可能なミラー１２５を有するミラー基板１０２と、ミラー１２５に対向して配置された制御電極部１３２を有してミラー基板１０２の下部の支持基板１０１の上に固定された電極基板１０３とを備える。 （もっと読む）

【課題】高速動作、波長無依存、小型化、簡易な実装が可能な可変光減衰器を実現する。
【解決手段】光を透過し、入射面の角度を変化させることが可能な角度可変ＭＥＭＳ９、及び、角度可変ＭＥＭＳ９の入射面及び出射面に設けられ入射面に入射される光と出射面から出射される光の間の光路ずれを拡張させる高反射フィルタ７，８とからなる角度可変機構付き平行平板６によって、入力光の強度に対して出力光の強度を減衰させるようにした。 （もっと読む）