【課題】ミクロンサイズの寸法を有する、光インターフェース効果を作るのに適した光空洞を特徴とすること。
【解決手段】光空洞からなる物品は、互いに間隔が置かれて平行な２つのミラーを含み、少なくとも１つのミラーは、好適に可動になっている。いくつかの実施例では、両ミラーは、応力が加えられていない単結晶シリコンから形成される。いくつかの実施例で使用される単結晶シリコンは、好適には絶縁物上単結晶シリコン（ＳＯＩ）ウェハから供給される。本発明による方法では、第１のミラーが、第１のＳＯＩウェハの薄いシリコン層にパターン化される。第１のミラーの近くの薄いシリコン層上に、支柱が配置される。第２のＳＯＩウェハの薄いシリコン層は、２つの間隔を置かれた薄いシリコン層間にギャップがあるように、支柱に取り付けられる。第２のＳＯＩウェハの薄いシリコン層は、そのウェハから厚いシリコン層および埋設された酸化物を除去することにより解放されて可動ミラーを形成する。 （もっと読む）

【課題】微小機械装置に用いられる部材であって、可撓性を有し、応力緩和の小さい、引っ張り強度の高い弾性部材を提供する。
【解決手段】微小機械装置が静止部材２８及び可動部材２６を含み、これらが弾性部材２４によって一緒に接続されている。可動部材２６が反復的にそして頻繁に移動する為、弾性部材２４は永久的に撓み又は変形することがあり、その結果、装置の動作が不良になる。希望によっては窒素と組合せて、酸素を含むようにアルミニウム合金を形成して、荷重緩和特性を劇的に減少した被膜を得る。デポジッションの際、アルゴンのスパッタリング・ガスに酸素を添加し、アモルファス膜を作る。 （もっと読む）

【課題】光変調器および光変調器によって光を制御する方法の提供。
【解決手段】基板２１０と、前記基板２１０から離間された透明板２２０であって、前記基板との間に空洞２４０を画定する透明板２２０と、前記基板と前記透明板の間に延在し、相互間に前記空洞を形成する側壁２３０と前記基板上に前記空洞と隣接して形成された反射面２５２を有する電極２５０と、前記空洞内に配置された１を超える屈折率を有する液体２７０とを具備し、前記側壁に前記空洞と隣接して形成された補助電極２６０とをさらに具備し、前記液体が、前記補助電極に電気信号が印加されたときに、前記電気信号が印加された補助電極の方に移動することで、前記液体の界面の角度を変化させ前記反射面を有する電極の前記反射面で反射する光の方向を変化させて光変調を行うように構成された光変調器。 （もっと読む）

光ピンセットシステムに用いられるビーム操作部であって、当該ビーム操作部は少なくとも1つの光学素子を有し、かつ当該光ピンセットシステムからの信号に応じてレーザービームに作用するため、制御可能なように変形できる。当該ビーム操作部は、当該光ピンセットシステムの焦点距離を変化させ、かつ前記レーザービームを偏向させるのに用いられて良い。
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ディスプレイシステムは、光源と、その光源に結合され、照明経路に沿って照明ビームを供給するように構成された第１の光学系とを含む。ディスプレイシステムは、照明経路に配置された空間光変調器をさらに含む。空間光変調器は、複数の電極デバイスを含む半導体基板と、半導体基板に結合されたヒンジ構造とを含む。ヒンジ構造はシリコン材料を含む。空間光変調器には、ヒンジ構造に結合され、半導体基板から所定の距離まで延びるミラー柱と、ミラー柱に結合され、複数の電極デバイスの上にあるミラー板とがさらに含まれる。ディスプレイシステムは、空間光変調器に結合され、画像を映写面上に投写するように構成された第２の光学系をさらに含む。 （もっと読む）

大型の画像、図、動画を表示する装置および方法。装置は光ファイバを素材とした縦列の層からなり、各ファイバは一方の端から少なくとも一つのレーザダイオードによる照明を受ける。そして、第二層は第一層の前に平行して配置され、その投影範囲は実質的に第一層と重なり合う。この第二層は横列に配置された多数の光ファイバからなる。第一層と第二層との間には、光スイッチ部の第三層が置かれる。あるいは、第二層は光拡散層としてもよい。レーザダイオードから放たれたレーザ光は、各個のカラムファイバに沿って平行的に進み、カラムファイバ内でレーザ光を結合させる光スイッチ部によって、ロウファイバもしくは直接、拡散層へ方向を向き換えられる。拡散層において拡散器によってレーザ光は散乱し視聴者に届くことになる。小サイズのファイバによって、曲線因子をとても小さくでき、光吸収マトリックスや背景層が周辺光を効果的に吸収することを可能とする。周辺光条件の下でのコントラスト比は、周辺光を選択的に吸収する多層誘電光学フィルタを使用することで更に向上する。
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支持構造を有するＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法
ＭＥＭＳデバイスの実施形態は、導電性の移動可能層を含み、該移動可能層は、ギャップによって導電性の固定層から隔てられ、導電性の移動可能層内のくぼみの上にある剛性の支持構造もしくはリベットによって、または導電性の移動可能層内のくぼみの下にある柱によって支持される。特定の実施形態では、リベット構造の部分は、移動可能層を通って下の層に接触する。他の実施形態では、剛性の支持構造の形成に使用される材料を、ＭＥＭＳデバイスと電気的に接続する不動態化を経ないと曝されるであろうリードを不動態化して、これらのリードを損傷またはその他の干渉から保護するためにも用いることができる。
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ＭＥＭＳデバイスのための支持構造、およびその方法
ドーパント材料を選択的に拡散された犠牲材料で形成された、または選択的に酸化された金属犠牲材料で形成された支持構造を有する微小電気機械システムデバイス。該微小電気機械システムデバイスは、電極を上に形成された基板を含む。別の電極が、キャビティによって第一の電極から分離され、移動可能層を形成する。該移動可能層は、拡散された、または酸化された犠牲材料で形成された支持構造によって支持される。
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スイッチング可能光学要素は光軸を有する。その光学要素は、チャンバと、チャンバの内側表面を規定する面（その面は前記光軸を横切って広がっている）を有する波面変化器と、第１流体及び第２流体とを有する。その光学要素は、第１流体が波面変化器の面を実質的に覆う第１離散状態と、第２流体が波面変化器の面を実質的に覆う第２離散状態との間でスイッチング可能であり、チャンバは、第１及び第２離散状態の両方において第１及び第２流体の両方を囲み、界面は第１離散状態において前記光軸を横切って広がっている。
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アクティブレーザエネルギ供給システムは、リレーイメージングシステムを備える。レーザエネルギを受け取るよう配置された入力光学装置、入力光学装置に対する入射角が調節可能な伝送ミラー、光学組立品を含むロボット搭載加工ヘッドが、レーザエネルギを移動可能なターゲット像平面に向けるように構成されている。レーザエネルギは、伝送ミラーから受光ミラーまでの、長さ及び入力光学装置に対する角度が変更可能な基本的に一直線の区間を含む光学経路をたどる。加工ヘッドに搭載された診断用装置によって処理が容易となる。
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【課題】充てん物質を使用した光干渉光変調器と方法を提供する。
【解決手段】基板と可動ミラーと変形可能層と支持構造とを備えているＭＥＭＳデバイスたとえば光干渉変調器を備えている装置と製造するための方法とシステムとが記述されている。いくつかの実施形態では、支持構造は複数の支持ポストを備えている。コネクターは、変形可能層に固定された可動ミラーを固定する。コネクターと支持ポストの少なくとも一つが、第一の構成部分と第一の構成部分と第二の構成部分とからなる複合物であり、ここで第一の構成部分においてがコネクターと支持ポストの周囲の少なくとも一つの少なくとも一部を形成する。 （もっと読む）

【解決手段】複数の入力ポートおよび複数の出力ポートと、選択した入力ポートから選択した出力ポートへビームを向ける複数の移動可能な光学素子とを備えた光学スイッチであって、移動可能な素子の数は、入力ポートの数または出力ポートの数のいずれかにほぼ対応する。 （もっと読む）

本発明は、入射光を反射し回折するためのライトバルブ（４０）に関し、このライトバルブは、反射面（６０）が設けられた静電気的に動作可能な薄膜（４２）と、薄膜（４２）の一方の側に設けられた反射性格子構造体（５２）と、薄膜が格子構造体（５２）から離れてライトバルブ（４０）が受けた入射光（６４）が反射性格子構造体（５２）により回折させられることになる第１の位置と、薄膜が格子構造体（５２）との接触に持ち込まれライトバルブ（４０）が受けた入射光（６４）が薄膜電極（６０）により略鏡面反射することになる第２の位置との間で薄膜を切り換えるために薄膜（４２）に静電気力を誘導する手段（４８，５６，６０）と、を有する。これにより、移動可能な部分のない格子構造体を用いることができ、ライトバルブを製造し易くする。本発明はまた、このようなライトバルブを少なくとも１つ有する画像形成システムに関する。
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例えばオイルの層の分裂又はオイルの層の移動に基づいており、且つ少なくとも２つの異なる状態を有するディスプレイデバイスであって、壁（１３）の高さが、ピクセルの幅と、充填針（１５）の先端におけるオイル界面の一般的な曲率とに比較して大きくはなく、ピクセルに針を挿入することなくピクセルに充填される、ディスプレイデバイス。充填針をピクセルに入れる必要がないため、比較的大きな注入針からのオイル（５）によってピクセルを充填することができる。 （もっと読む）

本発明は重合した液晶層を有するシャッター素子を有する機械的シャッター(601)に関する。重合した液晶は異方的に配向している。一の主要面で配向は異方的である。反対側の主要面に向かって変動するとき、配向は熱膨張係数が変化するように変化する。熱のような非機械的手段を受けるとき、シャッター素子は変動する。たとえばスプレイ配向又はツイステッド・ネマティック配向が使用されるとき、素子は非機械的手段に応じて曲がる及びまっすぐになる。電極(604,605,606)は任意で素子上及び支持基板上に形成可能であり、素子が電極間に印加された電場により生じる静電力によって制御可能となる。本発明はさらにそのような機械的シャッターをその場重合を使用して製造する方法をも提供する。
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