【課題】ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】通過ポート１１とこの通過ポート１１と隣り合う挿入ポート１２ｂ，１２ｃとの間隔を、この他の挿入ポート間の間隔よりも広くする。これにより、ＩＬＲを抑制するために主軸成分の割合を大きくするようにＭＥＭＳミラー装置４５１のミラーを制御しながらＡＴＴを調整する、すなわち、通過ポート１１に関する制御軌跡の傾き角φを大きく取っても、通過ポート１１に隣り合うポートとの距離が離れているためにＸＴが増大しないので、ポート間ピッチを不必要に拡げることなくＩＬＲとＸＴの両方を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】単一の多波長光発生装置で任意の周波数間隔の多波長光を発生することができる多波長光発生方法及び多波長光発生装置を提供する。
【解決手段】周波数間隔ｆ_mの多波長光を生成する多波長光生成手段（例えばＣＷ光源２、変調器３、信号発生装置４）と、平行に対向する２枚の反射鏡を有して成るファブリペローフィルタ５とを有し、多波長光生成手段で生成した周波数間隔ｆ_mの多波長光を、ファブリペローフィルタ５に入射し、２枚の反射鏡の距離Ｌを制御して、ファブリペローフィルタ５の透過周波数間隔（ＦＳＲ）が周波数間隔ｆ_mの整数Ｎ倍となるように設定し、且つ、周波数間隔ｆ_mの多波長光の何れか１つの光の周波数とファブリペローフィルタ５の透過周波数の何れか１つとが一致するように設定することにより、ファブリペローフィルタ５から、周波数間隔ｆ_mの整数Ｎ倍の周波数間隔Ｎ×ｆ_mの多波長光を出射する構成とする。 （もっと読む）

【課題】容易に駆動制御できるミラー装置およびミラーアレイを提供する。
【解決手段】定電圧印加部１１は、定電圧電極に一定の電圧を印加する。また、駆動電圧印加部１２は、駆動電極に所定の電圧を印加する。これにより、少ない数の駆動電極の電圧値を制御することでミラーの駆動を制御することができるので、より容易に駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】単一のアクチュエータで３点以上の安定点を取ることができ、小型化・集積化可能な微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】微小可動デバイスは基板３１と、基板３１上に設けられた固定構造物と、その固定構造物に連結支持されて基板板面と平行に駆動される可動構造物とを有する。可動構造物（可動ロッド４１）は第１の双安定ヒンジ対５３，５４の中央に結合され、第１の双安定ヒンジ対５３，５４の他端は第２の双安定ヒンジ対５６，５７の中央に結合され、第２の双安定ヒンジ対５６，５７の他端は固定構造物（アンカー部５８）に結合される。２つの双安定ヒンジ対がそれぞれ２つの安定状態の何れかにある時に可動ロッド４１は４つの安定点を取ることができる。双安定ヒンジ対をＮ段構成（Ｎは２以上の整数）とすれば、安定点が３以上２^Ｎ以下の個数の相互に異なる点として形成される。 （もっと読む）

【課題】温度や振動等の影響によりミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置を提供する。
【解決手段】主系統レーザ光を出射する主系統出射器１と、主系統レーザ光を伝送するための１以上の導光ミラー４，５，６と、ダイクロイックミラー１４，１５，１６と、主系統レーザ光の光路上に設けられたチルトミラー３と、第１計測系統レーザ光を出射する計測系統レーザ発生器８ｂと、第１計測系統レーザ光の位置を検出する検出部１０と、検出部１０の検出結果に基づいて導光ミラー４，５，６の各々における角度ずれを算出し、当該角度ずれに基づく光軸ずれを補正するための第１制御信号を生成する制御器１１ｂと、第１制御信号に基づいてチルトミラー３の角度調整を行うミラー駆動部１２とを備え、ダイクロイックミラー１４，１５，１６の各々は、主系統レーザ光を透過させるとともに、対応する第１計測系統レーザ光を反射させる。 （もっと読む）

【課題】ミラーを備える光スイッチの損失を小さくする。
【解決手段】光スイッチは、入力光を反射するミラーと、前記ミラーの目標回転角度を表す制御信号を生成する制御部と、低周波信号を生成する生成部と、前記制御信号に前記低周波信号を重畳する重畳部と、前記低周波信号が重畳された前記制御信号に対応する駆動電圧で前記ミラーを回転させる駆動部と、前記ミラーにより得られる出力光から前記低周波信号の周波数成分またはその高調波成分を検出する検出部と、前記検出部による検出結果に基づいて前記制御信号を補正する補正部、を備える。前記生成部は、前記目標回転角度に応じて前記低周波信号の振幅を決定する。 （もっと読む）

【課題】光波長選択デバイスの温度変化による特性劣化を補償する。
【解決手段】光ポート１００から出射した光は、回折格子２００によって分光される。周囲温度が上昇すると、回折格子支持機構６００が回折格子２００を回動させるため、回折格子２００に対する光の入射角が大きくなるので、周囲温度の上昇によって回折格子２００の格子間隔が変化しても、光の分散角は周囲温度が変化する前と同じに保たれる。周囲温度が上昇すると、光路折り曲げミラー支持機構７００が光路折り曲げミラー５００を回動させるので、回折格子２００の回動による光路の変化が修正され、光路折り曲げミラー５００によって反射された各波長の光はそれぞれ集光レンズ３００を通過して対応する光素子４００−１〜４００−３に結合される。 （もっと読む）

本発明は、制御可能なファブリ・ペロー干渉計に関し、この干渉計は微小機械（ＭＥＭＳ）技術によって製造される。従来技術の干渉計の製造は、犠牲層（１２３）のエッチングの間のミラーの劣化のリスクを含む。本発明による解決法に従えば、ミラーの少なくとも１つの層（１０３、１０５、１１４、１１６）は、ケイ素リッチな窒化ケイ素から成る。この発明的なファブリ・ペロー干渉計においては、ミラー層における酸化ケイ素の使用を回避または減少させることが可能であり、それによりミラーの劣化のリスクが減少する。また、高い粗さのミラー表面を使用することも可能であり、それによりミラーが互いに貼り付いてしまうというリスクが減少する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の第２の構造体３側の面上に設けられた第１の駆動電極２８と、第２の構造体３上に第１の駆動電極２８に対向するように設けられた第２の駆動電極３３とを有し、第１の構造体２および第２の構造体３は、金属を主材料として構成された金属層４を介して接合され、かつ、金属層４を導体として第１の駆動電極２８と第２の駆動電極３３との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】あらゆる規模の光学系器材に適用でき、伝送するレーザ光に直接影響を与えず、温度や振動等の影響によりレーザ光を伝送するミラーが本来の位置から傾いたとしても光軸を適切に補正する光伝送装置の提供。
【解決手段】１以上の第１ミラー（アクチュエータ付きミラー６，９）と、ガイドレーザ光照射部２と、第１ミラーのいずれかに達するまでの光路上に設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射するミラー付きシャッタ５と、１以上の第１ミラーの各々の後段に対応して設けられ、開閉可能であるとともに、閉じた場合にガイドレーザ光を反射する１以上の第２シャッタ（ミラー付きシャッタ７，８）と、反射されたガイドレーザ光の位置を検知する４象限検知器１２と、ガイドレーザ光の位置と予め設定された基準位置とに基づいて１以上の第１ミラーの各々における角度ずれを算出して補正するコントローラ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能な半導体装置、及び該半導体装置を含む光電子集積装置を提供する。
【解決手段】 半導体装置を、横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、その側面には所望の集積回路が形成されており、その端面には電極が形成されているものとする。また、この半導体装置と、横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、温度の変化によって伸縮する、単一または複数の形状記憶合金と、光を透過可能な材料からなり、その横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、該中心軸に沿って光ビームが伝搬可能なように該横断面の半径方向にその屈折率を異ならしめてなる単一または複数の光導波部材とを、ブイ溝またはピンを設けた基板上に配置して集積化し、半導体装置と形状記憶合金と光導波部材との組合せで光ビームを制御するようにする。 （もっと読む）

【課題】スペクトルバンドを入力ポート（１２）と出力ポート（１５）との間に選択的に方向付ける波長ルータを提供する。
【解決手段】上記ルータは、上記入力ポートと上記出力ポートとの間に配置された自由空間光学縦列と、経路設定メカニズム（３０）とを含む。上記自由空間光学縦列は、エアスペースエレメント（２０、２５）を含み得るか、または、モノリシック構成であり得る。上記光学縦列は、回折格子などの分散エレメント（２５）を含み、該入力ポートからの光が該分散エレメントと２回当たった後に上記出力ポートに到達するような構成にされる。上記経路設定メカニズム（３０）は、ルーティングエレメントを１つ以上含み、上記光学縦列中の残りのエレメント（３７）と協働して、上記スペクトルバンドのサブセットを所望の出力ポートに結合させる光路を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】自由空間伝搬を用いた光通信装置の入力部または出力部に用いて通信光の光軸合わせを高い周波数応答性で行なうことができる可動鏡機構を提供する。
【解決手段】保持基板２６に固定された反射鏡２７と、保持基板２６を動かして、その法線方向の方位を調整するアクチュエータ２３と、上記保持基板と枢結し、上記アクチュエータと上記保持基板を連接させるための引っ張り手段２２と、引っ張り手段２２とアクチュエータ２３とを持設する支持基板２１と、上記アクチュエータを制御する制御器と、を備えるものである。上記引っ張り手段と上記保持基板とを、円環状の板ばね等の回転対称性を有する板バネ、圧縮バネあるいは引っ張りバネなどで枢結してもよい。上記の制御器は、保持基板２６と引っ張り手段２２とを枢結する部分が不動点であるように上記アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】 光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能なマイクロ波装置、及び該マイクロ波装置を含む光電子集積装置を提供する。
【解決手段】 マイクロ波装置を、横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、その側面には所望のマイクロ波回路が形成されており、その中心軸、または側面の一部の領域に対極が形成されているものとする。また、このマイクロ波装置と、横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、温度の変化によって伸縮する、単一または複数の形状記憶合金と、光を透過可能な材料からなり、その横断面が円形でその中心軸方向に延びる形状を有し、該中心軸に沿って光ビームが伝搬可能なように該横断面の半径方向にその屈折率を異ならしめてなる単一または複数の光導波部材とを、ブイ溝またはピンを設けた基板上に配置して集積化し、マイクロ波装置と形状記憶合金と光導波部材との組合せで光ビームを制御するようにする。 （もっと読む）

【課題】 光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能な、干渉計、光スイッチ、及び光集積装置を提供する。
【解決手段】 入力用の第１の光ファイバに対し、一端に傾斜端面を他端に反射面を有する２つの分岐光路用の第２及び第３の光ファイバＯｆ２及びＯｆ３について、その一方を互いの傾斜端面の反射及び互いの側面レンズ作用により光結合するよう配置するとともに、その他方を互いの傾斜端面が所定の間隔で対向するように配置し、第２の光ファイバの傾斜端面が形成されていない方の端の端面に、金属ミラーを、また、第３の光ファイバＯｆ３のうちの傾斜端面が形成されていない方の端の端面に、金属ミラーを端面に形成した温度変化により伸縮する形状記憶合金を設置する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】入出力ポートの切り替え時のクロストークを低減させることができる光スイッチを提供する。
【解決手段】遮光部１０は、待避位置αに向かって出力されている出力光の光スポットを凸部１２によって遮る。これにより、待避位置αに向かって出力光は、出力ポート１１１に向かって進行しない。このため、クロストークが生じるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】クロストークおよびRabbit Earの抑制を低コストで実現することができる光スイッチおよび光スイッチの制御方法を提供する。
【解決手段】算出部１７は、制御電圧Ｖｔからミラー１０４１をｘ軸回りおよびｙ軸回りにそれぞれ所定量回動させるための軸電圧ＶｘおよびＶｙを算出する。電極電圧制御部１８は、電極にバイアス電圧を印加したときのミラーの回動角と電極電圧との関係に基づいて、軸電圧ＶｘおよびＶｙから電極それぞれに印加する電極電圧を算出する。これにより、高い計算負荷と変数精度を要求される高次関数を使わなくても、クロストークの低減とRabbit Earの抑圧を両立するミラーの動作を、途中でミラーの向きを急激に変えることなく、シームレスに連続して実現することができる。結果として、より低コストで、クロストークの低減とRabbit Earの抑制を実現することができる。 （もっと読む）