【課題】高精度かつ長寿命の波長可変干渉フィルター、光センサーおよび分析機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、透光性を有する第一基板５１と、前記第一基板５１の一面側に対向して接合される第二基板５２と、前記第一基板５１の前記一面側に設けられる第一反射膜５６と、前記第二基板５２の前記第一基板５１に対向する第一面Ａに設けられ、ギャップＧを介して前記第一反射膜５６に対向する第二反射膜５７と、前記ギャップＧを可変する可変部５４と、を備えた波長可変干渉フィルター５であって、前記第二基板５２は、前記第一反射膜５６に対向する位置に設けられるとともに、前記第一面Ａから反対の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、前記第二基板５２の前記第一面Ａに設けられ、前記光透過口５２１Ａを閉塞する平板状の透光性部材５８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】分光精度を維持することができる波長可変干渉フィルター、光センサー及び分析機器を提供すること
【解決手段】
本発明の波長可変干渉フィルター５では、第二基板５２は、第一反射膜５１に対向する位置で、基板厚み方向に沿って形成され、当該第二基板５２の第一面Ａから反対側の第二面Ｂまでを貫通する光透過口５２１Ａと、光透過口５２１Ａ内に設けられる透光性部材５８と、を備え、光透過口５２１Ａは、内周面の径寸法が、第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って増大するテーパー形状に形成され、透光性部材５８は、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光入射面５８Ａ、第一反射膜５６及び第二反射膜５７に平行する光射出面５８Ｂ、及び第一面Ａから第二面Ｂに向かうに従って径寸法が増大するテーパー側面５８Ｃを有し、テーパー側面５８Ｃが光透過口５２１Ａの内周面に当接することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望する光反射面を有するマイクロミラーアレイを製造すること。
【解決手段】基板３に支持部４を介して傾動可能に支持される可動板５の上面側に、光反射面２が設けられる金属柱２０を形成する際、可動板５の上面側を露出させる開口４０ａを有する保護膜４０を形成し、その開口４０ａ内に銀メッキを施して銀製の金属柱２０を形成した後、その金属柱２０の上端面２０ａに鏡面加工を施して光反射面２を形成することとした。 （もっと読む）

【課題】 差動位相偏移変調信号の復調器を作製するにあたり、位相調整を高速に行い、かつ装置の寿命を長く保つ必要がある。
【解決手段】 復調器内部の遅延干渉計において、干渉させる2つの分岐光の位相差の調整をピエゾ素子などの位相調整手段と、第一の位相調整手段よりも低速で動作し、かつ劣化速度が遅い発熱体などの位相調整手段とを用いて行う。 （もっと読む）

【課題】透過帯域を拡大するとともに、入出力ポート数を増加させることができる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】第１偏向素子４０に入射する信号光と第２偏向素子５０から出射する信号光は、光軸が互いに平行であり進行方向が互いに逆向きであり、対となる第１偏向素子４０のＳＷミラー４１〜４４と第２偏向素子５０の偏向チップ５１〜５４が、入出力ポートの組み合わせに応じて複数配置されている。これより、第１，第２偏向素子４０，５０をＺ方向にオフセットさせたり、このオフセットにより偏向素子ペア間の光路長差を低減したり、入力ミラーおよび出力ミラー上でのビームサイズをほぼ一致させたりすることができる。結果として、ＭＥＭＳミラー上におけるビームのサイズばらつきや、入出力ポートの組み合わせに依存するビームのサイズばらつきを、実用上問題ない範囲に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、かつ製造歩留まりが高い光スイッチ素子の製造方法、光スイッチ素子、光スイッチ装置、およびＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】固定電極と、前記固定電極と所定の間隙を有して配置された可動電極と、前記可動電極に接続したミラーとを備えた光スイッチ素子の製造方法であって、表面導電層と絶縁層と裏面層とを有する多層基板の該表面導電層から該絶縁層に到る貫通パターン孔を形成し、前記貫通パターン孔を通して表面側から前記裏面導電層にパターンを形成する。 （もっと読む）

光ファイバスイッチ（230）は、それぞれが第1および第2の端面（203、204）を有する第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）を有する。第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）の各々は、コア屈折率（n₁）を有するコア（235、236）、および前記コアを取り囲み、前記コア屈折率とは異なるクラッド屈折率（n₂）を有するクラッド（237、238）を有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）であって、前記第1の端面（203）に結合された隣接面、および該隣接面とは反対の、繰り返し可能に、光学的に前記第2の端面（204）に結合される先端面を有する第1の屈折率整合エラストマー固体層を有する。第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）は、少なくとも前記コア（235、236）の屈折率に整合する屈折率を有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、少なくとも一つのアクチュエータ（255）を有し、第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）は、結合位置と非結合位置の間で、相対的に動かされる。
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光ファイバスイッチ（230）は、それぞれが第1および第2の端面（203、204）を有する第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）を有する。第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）の各々は、コア屈折率（n₁）を有するコア（235、236）、および前記コアを取り囲み、前記コア屈折率とは異なるクラッド屈折率（n₂）を有するクラッド（237、238）を有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）であって、前記第1の端面（203）に結合された隣接面、および該隣接面とは反対の、繰り返し可能に、光学的に前記第2の端面（204）に結合される先端面を有する第1の屈折率整合エラストマー固体層を有する。第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）は、前記コアおよびクラッドの屈折率に整合する屈折率プロファイルを有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、少なくとも一つのアクチュエータ（255）を有し、第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）は、結合位置と非結合位置の間で相対的に動かされる。
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【課題】光学装置における光軸調整を容易に行うことができるようにすることを課題とする。
【解決手段】光軸調整システム１０００は、可変波長光源１から出射された通信光が通過する光学部品１１０の位置決めを行う光学部品位置決め手段５と、光学部品１１０を通過した通信光を所望の方向へ反射するミラーアレイ１２０に置き換えて光学部品１１０と対向するように配置され、通信光を透過させるターゲットマスク１３０を備える。また、光軸調整システム１０００は、ターゲットマスク１３０の背面側に配置され、ターゲットマスク１３０に通信光が照射されることによってターゲットマスク１３０に浮かび上がるスポット光を撮影するカメラ３と、このカメラ３によって取得された撮影情報と、に基づいて前記光学部品位置決め手段に位置決め指令を発する制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】通過帯域を狭くすることなく入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】プリズム１３を設けることにより、マイクロレンズアレイ１２のレンズ１２ａ〜１２ｎから入力された信号光のビーム径を、この信号光の光軸に直交する１の方向に拡大または縮小させ、かつ、その信号光の偏向素子による反射光の光軸が光ファイバ１１ａ〜１１ｎの光軸と平行にさせることができる。これにより、入出力ポートが２次元的に配列された波長選択スイッチにおいても、信号光のビーム径を偏向素子の配列ピッチに対して十分小さくすることが可能となり、結果として通過帯域が狭くなるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】部品の数を減らすことができ、これにより小型化が容易な光スイッチを提供する。
【解決手段】波長多重された光を入力する１以上の入力ポート及び１以上の出力ポートを構成するｎ本のファイバからなるファイバアレイと、ファイバアレイの各ファイバにそれぞれ対応するｎ個のレンズからなるレンズアレイと、レンズアレイからの光を各波長に分光する分光素子と、分光された各波長を受光し、波長毎に独立に偏向可能な複数の偏向素子により、各波長毎に出力ポート選択せしめる偏向手段と、を備え、ファイバアレイのファイバは一列に配列されており、ファイバアレイの各ファイバにそれぞれ入射又は出射する光が交差する領域を交差位置Ｃとし、ファイバアレイのファイバと平行で、かつ、交差位置Ｃを通る軸を軸Ｚとしたとき、ファイバのコアとこれに対応するレンズの光軸との距離δは、軸Ｚからの距離Ｓに応じて異なっている。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラーを用いたスペクトラム光源装置では、１台で同時に複数の波長の出力光を出力することができなかった。
【解決手段】多チャンネルスペクトラム光源装置は、所定の波長領域に亘る光源光を発する光源と、光源光の一部を通過させるスリットと、光源光を波長分散させる波長分散素子と、光源光が照射される平面領域において、波長分散方向に対応する方向とこれに直交する方向に沿って２次元的に分割された複数の分割領域から選択された一つ以上の特定領域が、他の領域と異なるように、光源光を反射または透過させる変調素子と、変調素子の特定領域を制御することにより、直交する方向に対応した複数の出力領域にそれぞれ光源光を導く制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】伝搬光の光強度が大でも対応可能な光線路切替装置を提供する。
【解決手段】固定側光ファイバ１１ａを支持する固定台１２と、移動側光ファイバ１３ａを支持して移動可能な移動台１４とを備え、移動台を移動させて移動側光ファイバ１３と固定側光ファイバ１１とを選択的に光接続する光線路切替装置において、移動側光ファイバ１３及び固定側光ファイバ１１の各先端にそれぞれコリメータレンズ２０を取り付ける。コリメータレンズ２０どうしは間隔をあけて対向している。光ファイバを出射した光はコリメータレンズで拡径され、平行光となって対向するコリメートレンズに向かう。両コリメータレンズ間では光束径が大なので、伝搬光の強度が大であっても単位面積当たりの光強度は小さく、コリメータレンズの端面に付着したゴミ等が原因で端面状態が劣化する恐れは少なくなる。マッチングオイル不使用なので、マッチングオイルに起因する不都合は生じない。 （もっと読む）

【課題】光マトリクススイッチの経路を設定・確認できる制御装置を提供する。
【解決手段】本制御装置は、複数の接続ポートのうちの２系統の接続ポート間を光路で接続する光マトリクススイッチを制御するための制御装置であって、表示器と、光マトリクススイッチと通信する通信部と、制御部とを備える。制御部は、接続ポートに光伝送路を介して接続された光伝送装置に対応する装置オブジェクトを表示器に複数表示するとともに、複数の装置オブジェクトから任意の二つの装置オブジェクトが選択されたことを表示器に表示する選択処理と、選択処理で選択された二つの装置オブジェクトに対応する２系統の接続ポート間を光路で接続させるための制御信号を、通信部を介して光マトリクススイッチに送信する送信処理と、２系統の接続ポート間を光路で接続させたときの光マトリクススイッチ内の経路を示す経路画像を表示器に表示する経路表示処理とを実行する。 （もっと読む）

【課題】安定した制御が可能な光信号交換装置を提供すること。
【解決手段】複数の入力ポートと、複数の出力ポートと、入力ポートから入力された光信号を反射し、いずれかの出力ポートに入射する複数のミラーＭ１〜Ｍｎと、ミラーの反射角度を制御し光信号の経路を選択する制御手段１１０とを有し、制御手段は所定周波数の低周波信号を発生する発生手段と、ミラーの反射角度を制御する制御信号に低周波信号を重畳する重畳手段と、出力ポートから出力される光信号の一部を電気信号に変換する光電気変換手段と、得られる電気信号を対数変換する対数変換手段と、対数変換された電気信号に対して重畳された低周波信号と同様の低周波信号を乗算し、所定周波数の信号成分を直流成分に変換して抽出する抽出手段と、抽出された信号成分に基づいてミラーを所望の反射角度に設定するための制御信号を生成する生成手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】像内の不所望な強度最大値および／または強度最小値（スペックル）の発生を回避することができるマイクロメカニカル素子を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子が、第１の外面上に反射面を備えたミラー素子と、対向電極と、電圧制御装置とを有し、ミラー素子は、第１の外面とは反対方向に向けられているミラー素子の第２の外面上の第１の電極面に第１の電位が印加されるように構成されており、対向電極はミラー素子の第２の外面の近傍に配置されており、該対向電極の第２の電極面に第２の電位が印加されるように構成されており、電圧制御装置は第１のコンタクト素子を介してミラー素子の第１の電極面と接続されており、第２のコンタクト素子を介して対向電極の第２の電極面に接続されており、且つ、時間的に変化する電圧信号を第１の電極面と第２の電極面との間に印加するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル構造体の近設される可動部間の電気干渉を抑制するための電界遮蔽構造が、容易に製造できるようにする。
【解決手段】マイクロメカニカル構造体１００は、一端が固定された複数の可動部１３１ａと、隣り合う可動部１３１ａの間に可動部１３１ａとは離間して配置される電界遮蔽構造１１１ａとを備える。マイクロメカニカル構造体１００は、ＳＯＩ基板より構成されている。ＳＯＩ基板を構成するシリコン基部１０１の層に電界遮蔽構造１１１ａが形成され、埋め込み絶縁層１０２の上のシリコン層１０３に、可動部１３１ａが形成されている。また、電界遮蔽構造１１１ａおよび可動部１３１ａは、埋め込み絶縁層１０２に形成された開口領域に配置されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化によって生じる熱膨張率差に起因する応力の変動や、マイクロミラー素子を固定している接着剤部分の強度劣化による応力の変動等が、マイクロミラーの傾斜角度へ影響することを軽減する。
【解決手段】固定フレーム１と、固定フレーム１に対して揺動可能な可動フレーム１３と、可動フレーム１３の揺動軸を規定するトーションバー１１ａ及び１１ｂと、固定フレーム１及びトーションバー１１ａ，１１ｂの少なくとも一方に設けられる応力緩和機構５０とを含み、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂの軸方向の剛性より小さく、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における応力緩和機構５０の剛性は、トーションバー１１ａ及び１１ｂを中心とする回転方向における剛性よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】大規模な光スイッチを構成する光学系において、光入出力部の配列規模拡大に伴う光結合損失の増加を抑制し、低損失な光スイッチを実現する。
【解決手段】光信号を光スイッチ内部に入力する複数の光入力ポートを有する光入力部２と、前記光信号を出力する複数の光出力ポートを有する光出力部３とを有する。光入力ポートから入力された光信号を偏向させ、選択された光出力ポートに出力する光スイッチ１である。前記光入力ポートおよび光出力ポートは、それぞれ複数の支持部材（整列基板２７〜３０）に二次元的に配列されて支持される。前記光入力部２および光出力部３は、それぞれ前記複数の支持部材の集合体によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー素子を気密封止した後に正確な特性評価を行うことが可能な光スイッチモジュールを提供する。
【解決手段】MEMSミラーアレイチップ１３を内部に気密封止するパッケージ１２を有する。MEMSミラーアレイチップ１３は、可動反射体を有するマイクロミラー素子により入射光の反射方向を制御できるものである。前記パッケージ１２は、入射光および反射光を透過させる透過窓２２を備えている。この透過窓２２は、少なくとも二つの波長帯領域で光を透過させる反射防止コーティング２３が施されている。 （もっと読む）