【課題】製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、前記基板に連結されたねじりばね部材と、前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来は、基板に発生した板波の節の位置とミラーの回転軸の位置とがずれて、ミラーの回転軸が基板の厚み方向に変動する虞がある。
【解決手段】 基板に設けられた支持部により支持されたミラー部１３０を揺動させ、光源からの光を当該ミラー部により反射させて走査させる光走査装置であって、基板１００上に設けられ当該基板に板波を発生させるための圧電素子１１０と、圧電素子１１０を駆動する駆動回路２００と、圧電素子の駆動を制御すると共に、ミラー部１３０の駆動周波数に対応する板波の基準波長に対して、１／２倍、又は、１／３倍の波長の板波を重畳させるように駆動回路２００を制御する制御部４００とを有する。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上及びデバイスの小型化が可能な、電磁駆動型の光スキャナ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性連結部１３を捩り変形させながら可動板１１を回動させることにより、可動板１１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置の製造方法であって、デバイス基板２０に、可動板１１、弾性連結部１３、及びコイル１５を形成する第１の工程と、デバイス基板２０上の、支持枠１２の境界にミシン目Ｆを形成する第２の工程と、支持枠１２をデバイス基板２０を支持するための支持基板３０に固定することにより、デバイス基板２０と支持基板３０を接合する第３の工程と、デバイス基板２０の一部をミシン目Ｆに沿って切り離し、除去する第４の工程と、支持基板３０上の、第４の工程でデバイス基板２０の一部を除去した領域に、コイル１５に磁界を与えるための永久磁石１４ａ，１４ｂを配置する第５の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】可動子の揺動運動が安定し、ジッタの発生が効果的に抑制される光偏向器などとして構成され得る揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持された少なくとも1つの可動子105、109を含み、可動子の揺動時の渦気流を規制する渦気流規制部材111を備える。渦気流規制部材111は、可動子の揺動運動により回転軸から最遠の位置にある可動子109の端部が描く軌跡曲面の少なくとも一部に近接して伸びる近接面を有する。近接面は凹凸形状201、202を持つ。揺動体装置は光偏向器として構成される場合、1つの可動子109に光偏向素子108が設けられ、少なくとも1つの可動子105にトルクを印加して可動子を揺動させる駆動手段104、110が備えられる。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】共振周波数検出動作で、振動系の共振周波数を比較的高速に求められる揺動体装置、共振周波数検出方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動体を有する振動系100と、振動系を駆動する駆動部120と、検出手段140、152と、駆動振幅制御部154と、駆動周波数制御部156を有する。検出手段は揺動体の揺動振幅を検出する。駆動振幅制御部は駆動信号の振幅をフィードバック制御する。駆動周波数制御部は駆動部120への駆動信号の周波数を制御する。共振周波数検出動作において、駆動振幅制御部154のフィードバック利得を、他の動作状態でのフィードバック利得より低い値に設定し、駆動振幅制御部が、検出される揺動振幅が目標値となる様に駆動振幅を制御する状態とする。この状態で、駆動周波数制御部が、複数の駆動周波数での夫々の駆動状態における当該周波数と前記制御振幅に基づき、駆動振幅が最小となる駆動周波数を振動系の共振周波数とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小さい駆動電力で、レーザー光を広い範囲に走査、偏向することが可能な光偏向器及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】開口部１１ａを有する枠部１１、開口部内に配置された板状のミラー部１２、枠部とミラー部とを連結する一対の梁部１３ａ，１３ｂを有する光偏向部１０と、これに離間して設けられた永久磁石２とを備え、一対の梁部は、その各重心を結ぶ線ｙ１がミラー部の重心Ｏ１２を通るように配置され、ミラー部は、その一面Ａ１２が光を反射する反射面であり、一面とは反対側の面Ｂ１２に、上記線に対して対称に配置された一対のコイル１５ａ，１５ｂを有し、永久磁石は、一対のコイルとそれぞれ対向する一対の傾斜面部１７ａ，１７ｂを有し、一対のコイルと一対の傾斜面部との距離Ｌａ，Ｌｂが、ミラー部の重心に近づくに従ってそれぞれ短くなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結され、対の第一の音叉形圧電振動子３の外周を囲う枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第一の音叉形圧電振動子３は、それぞれ第一の支持部２の両側に第一、第二のアーム１２、１３を有し、対の第一の音叉形圧電振動子３の少なくともいずれか一方は、第一または第二のアーム１２、１３上に第一のモニター電極１７を有するものとした。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】面倒となり易い加工などを要することなく振動系の振動子の回転軸回りの慣性モーメントを可逆的に変化させことができる揺動体装置、これを用いる光偏向装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸70の回りに揺動可能に支持された振動子40を含む振動系と、振動子40を回転軸70の回りに揺動させるための駆動手段とを有する。振動子40には、形状記憶合金部10を含む形状可変部60が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１と、この支持体１に一端が支持された第一の支持部２と、この第一の支持部２の他端に支持された第一のアーム３と第二のアーム４を有する音叉振動子６と、この音叉振動子６の振動中心に一端が支持された第二の支持部１１と、この第二の支持部１１の他端に支持されたミラー部１２とを備え、前記第一の支持部２に振動を制御するためのモニター用圧電素子８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】高解像度の画像が得られ、１画像当たりのフレームレートに応じて走査スピードの調整が可能で耐衝撃性を有する２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１００は、樹脂を含み光Ｌを一方向に偏向する偏向素子１０とＳｉを含み光Ｌを他方向に偏向する偏向素子５０とを備える。偏向素子１０は、対向配置された一対の端子部１３，１４、その間に配置された偏向部１１、及びこれらを連結する梁部１６，１７を有する。偏向素子５０は、枠状の支持部１１、その枠内に配置されてミラー部６３を有する偏向部５３、その両側に配置され支持部１１に一端が連結され互いに対向配置されたアーム５４，５５及び５６，５７、アーム５４，５５及び５６，５７の他端と偏向部１１とを連結する梁部５８，５９及び６０，６１を有する。偏向部１１，５３の各重心は光Ｌの光路上に位置する。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１と、この支持体１に支持された第一の支持部２と、この第一の支持部２の他端に支持された第一のアーム３と第二のアーム４とからなる音叉振動子６と、この音叉振動子６の振動中心９に支持された第二の支持部１１と、この第二の支持部１１の他端に支持されたミラー部１２とを備え、前記第二の支持部１１をミアンダ形状と、この第二の支持部１１の一部に振動を制御するためのモニター用圧電素子８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】より簡易な工程で製造されるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、平板状の可動板(21)と可動板(21)を基板に対し
て揺動可能に支持する一対のトーションバー(24），(24)とを一体形成し、可動板(21)の
中央部に反射鏡(22)を設け、可動板(21)の周縁部に通電により磁界を発生するコイル部(2
3)と、このコイル部(23)に静磁界を与える磁界発生手段とを備え、可動板(21)とトーショ
ンバー(24)上に反射ミラー(22)と引き出し配線(26)とが導電性膜によって一体的に形成さ
れる構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく、共振振動を十分に抑制することができる光走査装置、画像表示装置及び網膜走査型画像表示装置を提供する。
【解決手段】光走査装置は、枠体と、入射した光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラー部と、前記反射ミラー部を前記枠体に支持させるミラー支持部とを備えている。光走査装置は、ミラー支持部を通り、反射ミラー面を横断する軸を中心として反射ミラー部を駆動させることによって、光を走査させる。光走査装置は、枠体とミラー支持部とを別体に設けた。 （もっと読む）

【課題】 可動部を小さく変位させることによって光ビームの進行方向を大きく変化させる光学素子を提供する。
【解決手段】 第１物体１０と第２物体２０とアクチュエータ４２，５８，９０を備えている。第１物体１０は、光ビームに対して透明であり、屈折率がｎ_１であり、光ビームを射出する第１面１４を持っている。第２物体２０は、第１面１４から射出された光ビームを入射する第２面２１を持っており、光ビームに対して透明であり、屈折率がｎ_２である。アクチュエータは、第１面１４と第２面２１が当接する第１位置関係（ａ）と、第１面１４と第２面２１が光ビームの半波長以上離反する第２位置関係（ｂ）のいずれかに切換える。
光学素子２が置かれている雰囲気の屈折率がｎ_０であるとすると、第１面１４に対する光ビームの入射角θが、（ｎ_０／ｎ_１）＜sin θ＜（ｎ_２／ｎ_１）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】光変調素子列にてＯＮ素子群とＯＦＦ素子群とを交互に設定して取得される光量分布において、ＯＮ素子群に対応する部分の光量パラメータの値を一定にする。
【解決手段】全ての光変調素子４６１をＯＮ状態として初期光量分布が取得される。続いて、ＯＮ素子群４６２とＯＦＦ素子群４６３とを交互に設定して取得される光量分布において、各ＯＮ素子群４６２に対応するＯＮ光量部分７１に対して所定光量以上の幅Ｗ１を示す光量パラメータの値が求められ、光量パラメータの値の配列方向に対応する方向における変動傾向を示す変動傾向曲線が取得される。各光変調素子４６１に対応する位置における変動傾向曲線の値を当該位置における初期光量分布の値にて除した値が大きいほど小さい値となる目標光量分布が作成され、全ての光変調素子４６１をＯＮ状態としつつ光量分布が目標光量分布に近似するように、各光変調素子４６１への入力値が修正される。 （もっと読む）

【課題】振動子の共振周波数を簡易な回路構成により計測しかつ調整することができるようにしたアクチュエータを提供する。
【解決手段】可動板(13)と、支持部(11)と、可動板を上記支持部に振動可能に支持するトーションバー(14)と、トーションバーに形成される角度検出センサ(20)と、可動板を振動させる駆動手段(30)と、可動板とトーションバーで構成される振動子(13,14)の共振周波数を調整する共振周波数調整手段(30)と、を備え、角度検出センサ(20)は、バイアス電流(I_B)の供給を受けてトーションバーのねじれに応じた電圧を発生するピエゾ抵抗(21)を含み、共振周波数調整手段は、振動子に設定すべき共振周波数に対応してピエゾ抵抗に供給されるバイアス電流のレベルを調整する可変電流源(34)を含む。 （もっと読む）

【課題】光学素子の側方に光源を配置でき、システムの小型化に対応できる光学素子及びそれを用いた光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】第１の面上において第１の方向に配列された、互いに平行な複数の第１の梁体と、前記第１の梁体のそれぞれの間に前記第１の梁体と平行に設けられた第２の梁体と、を備え、前記第１の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸減するように、隣接する前記第２の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第２の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸増するように、隣接する前記第１の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第１の方向にみた前記第１の梁体と前記第２の梁体との間の間隔が可変とされたことを特徴とする光学素子が提供される。 （もっと読む）