【課題】偏向ミラーを用いた光走査装置において、偏向ミラーの揺動変動が生じても、その揺動変動に対応した像担持体への画像形成制御を行うことにより画質悪化を軽減する。
【解決手段】光ビームを発生する光ビーム発生手段４４と、光ビームを入射させ偏向ミラー４０により光ビーム６２を偏向・出射させる光ビーム偏向手段（４０，４１）と、光ビーム偏向手段により偏向された光ビームが往復走査しながら特定の光走査範囲で光ビームをＯＮ／ＯＦＦするよう光ビーム発生手段を制御する光ビームＯＮ／ＯＦＦ制御手段４２とを備えた光走査装置において、光ビーム走査全領域の中心部から離れた端部側任意の位置に基準点を設け、往復走査で光ビームが基準点を通過する時間または時間間隔を測定する光ビーム走査時間測定手段４６を有し、その測定値に応じて光ビームのＯＮ／ＯＦＦ動作タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの共振周波数のばらつきを抑える。
【解決手段】可動板１０１、トーションバー１０３、フレーム部１０５がシリコン単結晶の基板を加工して一体形成された光スキャナ。基板の一面からのエッチング工程により、凹部１０２とトーションバー１０３が加工される。凹部１０２の底面と、トーションバー１０３の一面（図の上面）は同じ高さ位置にある。エッチング誤差があっても、可動板１０１の慣性モーメントの増減とトーションバー１０３のバネ定数の増減の影響が相殺されるため、共振周波数の変動が抑えられるため、共振周波数のばらつきの少ない光スキャナを実現できる。 （もっと読む）

【課題】揺動体の重心が揺動中心軸から大きくずれることがなく、また、磁性体に発生するトルクの中心が揺動中心軸から大きくずれることが無い構成に容易にできる揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、揺動中心軸の回りに揺動可能に支持された揺動体101と、揺動体101に設けられた磁性体114と、揺動体101に対向して設けられた磁界発生手段121とを有する。揺動体101は貫通孔113を有し、磁性体114は貫通孔113に設けられている。 （もっと読む）

【課題】偏向面の振動モードを安定させることによって画像の高画質化をはかること。
【解決手段】画像情報に基づいて変調されたレーザビームを出射する光源装置と、共振振動により揺動して前記光源装置から出射したレーザビームを偏向走査する偏向面を有する可動子を備えたプレート部材と前記可動子を駆動するアクチュエータ部とを具備した光偏向装置と、前記光偏向装置により偏向走査されたレーザビームを被走査体面上に結像させるｆθレンズと、底部と側壁部とによって構成される光学箱であって前記光源装置と前記光偏向装置とを保持し前記ｆθレンズを内包する光学箱と、を有する光学走査装置において、前記光偏向装置が固定される前記光学箱の側壁部の平面は、前記可動子の初期静止状態における前記偏向面と平行であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動素子が固定部材に対して、簡便に、精度良く組み付けられる光学走査装置を提供すること。
【解決手段】可動子と、ねじりバネと、第一支持枠及び前記第一支持枠から前記ねじりバネが延設される方向に沿って前記可動子の側に延在した第二支持枠よりなる支持枠と、を一体的に具備した片持梁形状の振動素子と、前記振動素子が前記可動子の初期静止状態における前記偏向面と垂直な方向において接着により固定される固定部材と、を有する光偏向装置において、前記可動子の初期静止状態における前記偏向面と垂直な方向において、前記固定部材は、前記振動素子が当接することによって基準の高さとなる基準面部と、接着剤が塗布される接着面部とを有し、前記接着面部の高さは、前記基準面部の高さよりも低いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１軸周りの揺動と第２軸周りの揺動が同一周波数で、且つ、互いに９０°異なる位相で行われる２次元走査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、揺動部材２と、揺動部材と中心が一致するように、前記揺動部材の外側に配置されたリング部材３と、前記揺動部材と前記リング部材とを接続し、第１軸に沿って配置された一対の第１接続部材４Ａと、前記揺動部材と前記リング部材とを接続し、前記第１軸と直交する第２軸に沿って配置された一対の第２接続部材４Ｂとを備え、前記第１接続部材及び前記第２接続部材は、前記リング部材との接続部分を揺動中心として、前記リング部材を含む平面に対して略直交方向に揺動可能とされ、更に、前記リング部材を伸縮させて前記第１接続部材及び前記第２接続部材を揺動させることにより、前記揺動部材を揺動させる駆動手段５を備えることを特徴とする２次元走査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 駆動時でも可動部の平坦性を維持した揺動体装置を提供することである。
【解決手段】 本発明に係る揺動体装置は、支持部と、可動部と、可動部を支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、可動部を振動させる駆動手段とを有する。可動部は、単結晶シリコンで形成され、可動部の主面の結晶面は（１１０）面であって、可動部の主面と平行で、且つねじり軸と垂直な方向の結晶方位が［１１１］方位である。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセスによる加工ばらつきに対するねじりバネのねじりバネ定数の変化を小さくする。
【解決手段】 本発明に係る揺動体装置は、支持部と可動部と前記可動部を前記支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、前記可動部を振動させる駆動手段とを有する。前記ねじりバネは、単結晶シリコンで形成され、前記ねじりバネのねじり軸に平行方向の結晶方位が［１１１］方位である。 （もっと読む）

【課題】スキャニングミラーの放熱効果を高め、低い駆動電圧で安定したミラー駆動が可能なスキャナを提供する。
【解決手段】表面に光反射層６が形成されたミラー２と、ミラー２を挟んで同一直線上に支持部材３が配置され、支持部材３が配置された仮想直線を駆動軸Ｌとして、ミラー２を駆動軸Ｌの周りに揺動駆動させる駆動部と、を備え、ミラー２の光反射層６とは反対側の面に、ミラー２よりも熱伝導率の高い薄膜９が形成されているスキャナ１。 （もっと読む）

【課題】光偏向の動作を、比較的高速且つ安定に制御することができる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、偏向手段102と、振動状態検出手段103と、駆動信号生成手段104と、変調タイミング信号生成手段105と、偏向状態検出手段106を有する。偏向手段は、光源101からの光を偏向させる。振動状態検出手段は、偏向手段の振動状態を検出する。駆動信号生成手段は、偏向手段を駆動するための駆動信号を生成する。変調タイミング信号生成手段は、光源の光量を制御する基準の時間を変調タイミング信号として生成する。偏向状態検出手段は、偏向手段により光源からの光が偏向されて生じる偏向光の偏向状態を検出する。駆動信号生成手段が、振動状態検出手段の検出情報を基に、駆動信号を生成し、変調タイミング信号生成手段が、偏向状態検出手段の検出情報を基に、変調タイミング信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】露光品質の低下を抑制することが可能な光走査装置及び印刷装置を提供する。
【解決手段】光走査装置１６は、第１光ビームＬ１を出射する第１出射手段７０と、第２光ビームＬ２を出射する第２出射手段７１と、第１光ビームＬ１及び第２光ビームＬ２を、それぞれ被走査面上の異なる位置で往復走査する振動ミラー１９と、第１出射手段７０及び第２出射手段７１をオンオフ制御して、互いに走査方向が異なる第１光ビームＬ１による走査と第２光ビームＬ２による走査とによって一走査ラインＲを前記被走査面上に形成させる制御手段６７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ厚みばらつきがあっても、固有振動モードの周波数の誤差を小さくする。
【解決手段】 可動部をねじり軸を中心に揺動可能に支持する支持部を有する揺動体装置であって、前記支持部は前記ねじり軸に垂直な断面がＸ字形状であり、前記Ｘ字形状の上面及び下面に形成された凹部のそれぞれの底を互いに結ぶ距離Ｌ１と、前記Ｘ字形状の側面に形成された凹部のそれぞれの底を互いに結ぶ距離Ｌ２と、前記支持基板の厚さｔの変化に応じて、前記可動部のねじり軸まわりの慣性モーメントが変化する率αｉとが、Ｌ１／Ｌ２＝Ｃ１・Ｅｘｐ｛Ｃ２・（αｉ＋Ｃ３）｝＋Ｃ４・αｉ＋Ｃ５、前記Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５は、それぞれ、Ｃ１＝５．０×１０＾−１、Ｃ２＝−４．４、Ｃ３＝４．６×１０＾−２、Ｃ４＝−６．０×１０＾−１、１．５＜Ｃ５＜１．７の関係であることを特徴とする揺動体装置。 （もっと読む）

【課題】用いる偏向器や走査光学系の種類、装置の設計誤差等に起因して、被走査面上での主走査方向１ライン内でビーム径が主走査方向のみまたは副走査方向のみに変化する場合でも、そのビーム径を均一にして画質を向上させる。
【解決手段】光束幅規制素子では、遮光部材により、入射するレーザ光の光束幅を例えば副走査方向についてのみ規制する。そして、液体レンズにおいて、電極に印加する電圧を主走査方向１ライン内で変化させることにより、遮光性液体の開口部を透過するレーザ光の光束幅を主走査方向１ライン内で変化させる。これにより、感光体上での主走査方向１ラインの各位置でのビーム径を例えば主走査方向にのみ変化させることができ、主走査方向１ライン内でビーム径を均一にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】光源の省電力化、長寿命化を図ることができるとともに、低コストで高速な画像出力を可能にする光走査装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザー１から出射した複数の光ビームはカップリングレンズ３を通り、第二の偏向手段４に入射する。第二の偏向手段４のマイクロミラーにより各ビーム毎上下段に偏向され、シリンドリカルレンズ５を通り、第一の偏向手段（ポリゴンミラー）７により偏向され、異なる被走査面１２を走査する。第二の偏向手段４は共通の光源からの光束を分割せずに光路を変更する方式であるので、光源の出力を上げる必要がなく、省電力、長寿命化を図ることができる。また、Ａ／Ｏ偏向器ではなくマイクロミラーによる光束偏向であるので、低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの揺動するミラー部の共振周波数を変化させないで、ミラー部の反りを抑制することを可能とする光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】ミラー部１と、前記ミラー部１を揺動可能に支持する梁部２と、前記梁部２を保持する枠部３とを備えた光スキャナ１０の製造方法において、前記ミラー部１の表面に反射膜６を堆積する成膜工程と、前記ミラー部１の表面の反りを低減するために前記ミラー部１の表面にイオン注入法によりイオン化された材料を注入するイオン注入工程を含むことを特徴とする光スキャナの製造方法。 （もっと読む）

【課題】揺動部の重量バランスをとるのに適したマイクロ揺動素子、および、そのようなマイクロ揺動素子を含むマイクロ揺動素子アレイを、提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、フレーム２１と、可動機能部１１、当該可動機能部１１に連結する駆動電極１２、および可動機能部１１とは反対の側において駆動電極１２に連結する錘部１４、を有する揺動部１０と、フレーム２１および揺動部１０を連結して当該揺動部１０の揺動動作の軸心Ａ１を規定する連結部２２と、駆動電極１２と協働して揺動動作の駆動力を発生させるための、フレーム２１に固定された第２駆動電極２３とを備える。本発明のマイクロ揺動素子アレイは、このようなマイクロ揺動素子Ｘ１を複数具備する。 （もっと読む）

【課題】主走査方向１ライン内でビーム径を制御することができ、これによって主走査方向１ライン内でビーム径の均一化を可能にさせる。
【解決手段】液体光学素子では、２種の液体の界面形状の変化により、その界面を透過するレーザ光のフォーカス位置を、主走査方向１ライン内の各位置ごとに異なる量だけ変化させる。例えば、ＳＯＩおよびＥＯＩに比べてＣＯＩに向かうレーザ光ほどフォーカスずれが大きくなるように、主走査方向１ライン内でフォーカス位置を変化させる。これにより、主走査方向１ライン内でビーム径を各位置ごとに変化させることが可能となる。したがって、例えば、主走査方向１ライン内において、主走査方向のビーム径については液体レンズによって均一化し、副走査方向のビーム径については全系の倍率調整によって均一化することが可能となり、主走査方向１ライン内でのビーム径の均一化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 共振周波数を広範囲で変更できる揺動体装置、及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】 本発明の揺動体装置は、支持体と、可動部と、該支持体と該可動部とを揺動軸まわりに弾性的に連結する弾性支持部と、該可動部を駆動する駆動手段とを有する。弾性支持部は複数のバネと該複数のバネを互いに連結する少なくとも一つのバネ定数調整部材とを有する。 （もっと読む）

【課題】用いる偏向器の種類や設計誤差に起因して画質低下が起こるのを回避して、高品質な作像を行うことが可能な光ビーム走査光学装置を実現する。
【解決手段】光源からのレーザ光は、集光光学系で集光され、偏向器にて偏向された後、走査光学系を介して被走査面上に集光される。このとき、集光光学系の液体レンズでは、電圧印加手段により、第１および第２の電極に印加する電圧を主走査方向１ライン内で変化させる。これにより、２種の液体の界面形状の変化により、その界面を透過するレーザ光の感光体上での集光位置が、主走査方向１ライン内の各位置ごとに異なる量だけ副走査方向に変化し、副走査方向の集光位置が主走査方向１ライン内の各位置ごとに異なる量だけ適切に補正される。 （もっと読む）

【課題】変動部を駆動させる際に可動枠の支持部へ作用する反力に起因する可動枠の変位量の低下を抑制することにより、変動部の偏向角を大きくするとともに反力による支持部の破損を防止可能な光スキャナ及びそれを備えた光走査装置を提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、固定枠２、ミラー部３、主軸部４ａ、４ｂ、可動枠５を有している。可動枠５は略矩形の環状構造をなしており、長手方向の平行な二辺は表裏方向（Ｚ軸方向）に湾曲可能な一対の駆動片５１ａ、５１ｂであり、それぞれユニモルフ駆動部６ａ及び６ｂが積層されている。駆動片５１ａ、５１ｂの略中央部は固定枠２の内縁から突出する支持部２ａ、２ｂに繋がっている。可動枠５の他の二辺は駆動片５１ａ、５１ｂの両端を連結する結合片５２ａ、５２ｂであり、主軸部４ａ、４ｂは回転軸（Ｘ軸）を通るようにミラー部３を支持するとともに、各主軸部４ａ、４ｂの端部がそれぞれ結合片５２ａ、５２ｂの略中央部に繋がっている。 （もっと読む）