【課題】共振周波数が充分に高く、且つ、揺動時に変形し難い揺動部材を備えたＭＥＭＳデバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】揺動軸周りに揺動可能な板状の揺動部材１１を備えるＭＥＭＳデバイス１であって、揺動部材１１は、肉抜部２２と非肉抜部２３とを同一平面上に有し、非肉抜部２３は、揺動軸と該揺動軸に直交する直交軸との交点Ｃを中心とする第１楕円２５ａが内接可能な内縁部２５と、該交点Ｃを中心とする第２楕円２６ａが外接可能な外縁部２６とを具備する補強部領域２７を有し、交点Ｃから第１楕円２５ａ及び第２楕円２６ａの径方向に延びる直線Ｌと揺動軸とが成す角度θ（但し、θは０°≦θ≦９０°）が大きくなるにつれて、直線Ｌに沿った第１楕円２５ａと第２楕円２６ａとの距離Ｄが小さくなることを特徴とするＭＥＭＳデバイス１を提供する。 （もっと読む）

【課題】梁の一部に形成されたステップ部、又はテーパ部にかかる応力集中が軽減される光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、反射ミラー２と、可動梁３ａ、３ｂと、駆動部４ａ〜４ｄと、固定部５と、延出部６ａ〜６ｄとを備えている。反射ミラー２は、揺動軸線ＡＸの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面７を備える。可動梁３ａ、３ｂは、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとから構成される。延出部６ａ〜６ｄは、各々、反射面７に平行な面上で、且つ揺動軸線ＡＸに垂直な方向、即ちＸ軸方向において、第１梁部８ａ、８ｂと、第２梁部９ａ〜９ｄとが連結する連結部ＣＰの近傍の両側から延出する。 （もっと読む）

【課題】駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス１は、外部から入射される光の分布範囲Ｂ内に配置され、当該光を反射する金属膜１１を有する可動板１０と、可動板１０を軸Ａ周りに揺動可能に支持する軸部材２０と、可動板１０に設けられる永久磁石６１と、永久磁石６１との間に電磁力を発生させ、可動板１０を揺動させるように構成されたコイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３とを備え、コイル６２及び交流電流信号発生器（電源）６３における光の分布範囲Ｂ内に含まれる部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数の照射領域において、１画素に相当する距離を大幅に超える走査方向の位置ずれの補正を容易に実現する。
【解決手段】複数の光変調素子からの光がそれぞれ照射される基板上の複数の照射領域９２ａ〜９２ｃを、照射領域９２ａ〜９２ｃの配列に交差する走査方向に移動して描画を行う際に、１画素に相当する基板上の領域の走査方向の幅を単位幅として、基板上において複数の照射領域９２ａ〜９２ｃに対して相対的に固定された参照位置と各照射領域との間における走査方向の位置ずれ量と、単位幅のα倍（ただし、αは正の整数）との差が単位幅未満となる当該αだけ所定数から増減した数のダミー画素が、当該照射領域に対応する画素列の先頭に付加され、当該差が描画時に利用される位置補正シフト量として取得される。これにより、複数の照射領域において１画素に相当する距離を大幅に超える走査方向の位置ずれの補正が容易に実現される。 （もっと読む）

【課題】組み立て時の応力や、組立後の水分や温度変化よるミラー姿勢の変化を可及的に低減し、ミラー揺動軸の初期姿勢精度を向上させる。
【解決手段】 表面は反射面となっており共振振動により揺動する可動子を有するプレート部材と、可動子を共振駆動するアクチュエータと、プレート部材とアクチュエータを保持するホルダと、を備えた光偏向装置であって、前記プレート部材は金属支持部材を介してホルダに保持される構成で、プレート部材と前記金属支持部材がろう接によって一体的に固定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数ビームの光出力レベルの調整を、往復光走査時の任意の復路において、適正時間内に行える、新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】複数光ビーム発生手段１１と、発生した複数の光ビームを感光体１９に向けて偏向するビーム偏向手段１４と、複数光ビーム発生手段１１からの光ビームの各々に対応し、対応する光ビームの偏向方向を選択的に変更可能な複数の光偏向素子を有するマトリックスビーム偏向手段１０と、感光体１９に対する往復走査の際、往路では任意のグループの光偏向素子が、対応する光ビームを感光体１９に対する走査方向に偏向し、復路では任意のグループは、走査方向以外の方向（Ｂ１〜Ｂ３）に偏向するように光偏向素子の偏向方向を制御する制御手段Ｃｔｒと、偏向された光ビームの光量を検出する光検知素子１７と、検知結果に基づいて、対応する光ビームの光量を複数光ビーム発生手段に調整させる光出力制御手段８０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する梁１３と、を有する第１振動子１０と、可動基板２１と、可動基板２１を支持する梁２３と、を有する副振動子２０と、第１振動子１０および副振動子２０の梁をねじれ変形させて駆動軸Ｘまわりに駆動させる磁石１４，２４とコイル１５，２５と、を備え、第１振動子１０の駆動軸Ｘに沿って各梁１３，２３が配置されることで、第１振動子１０および副振動子２０が駆動軸Ｘに対して直列に配置され、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板１１と、光反射基板１１を支持する一対の梁１３と、を有する第１振動子１０と、第１振動子１０の一対の梁１３をねじれ変形させて光反射基板１１を一定の周波数で駆動させる磁石１４およびコイル１５と、第１振動子１０と同一面に設けられた副振動子２０と、副振動子２０を一定の周波数で駆動させる磁石２４およびコイル２５と、を備え、副振動子２０の駆動する周波数が第１振動子１０と同一で、かつ、位相が逆位相である。 （もっと読む）

【課題】捩れ連結部の捩れ抵抗が低く設定されつつミラー面の法線まわりの回転などのミラー形成部の不適切な動作が制御されたマイクロミラー素子を提供すること。
【解決手段】マイクロミラー素子１００において、フレーム１１３と、ミラー平面１１４を有するミラー形成部１１１と、フレーム１１３およびミラー形成部１１１を連結するように延びるとともに、ミラー形成部１１１をフレーム１１３に対して回転させるための回転軸心Ｘ１を規定し、さらにミラー平面１１４に対して平行する捩れ連結部１１２と、を備え、捩れ連結部１１２は２本のトーションバー１１２ａからなるとともに当該２本のトーションバー１１２ａは捩れ連結部１１２の幅を規定し、この幅は、ミラー形成部１１１に接続される部分では相対的に広く、フレーム１１３に至るまでは、ミラー形成部１１１から遠ざかるにつれて徐々に狭くなることとした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の損傷を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１と第一梁２を介して連結され、この第一梁２およびミラー部１の外周を囲う可動枠３と、この可動枠３と第二梁４を介して連結された支持体５と、第一梁２および第二梁４のそれぞれの中心軸を中心にミラー部１を反復回転振動させる駆動手段と、可動枠３のＸ軸方向またはＹ軸方向の少なくとも一方の振動を抑制する抑制手段とを備えたものとした。これにより本発明は、可動枠３の過剰な振幅を抑制でき、結果として光学反射素子の損傷を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】検出用圧電素子によって検出される位相差のばらつき量を抑え、高精度に反射ミラーの位相を検出することが可能な光スキャナ及びこの光スキャナを用いた画像表示装置を提供すること。
【解決手段】直流電源印加部１６０が、少なくとも交流電源印加部１５０によって第１圧電素子１３０に交流電圧が印加されないとき、第２圧電素子１４０に直流電圧を印加する。即ち、光スキャナ１００が駆動されないときに、第２圧電素子１４０に直流電圧が印加されることによって、第２圧電素子１４０の分極状態を調整する。従って、位相差のばらつき量を抑えることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】改良された特性を有するマイクロメカニカル素子およびマイクロメカニカル素子を監視するための空間を節約するセンサを提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子１００は、可動機能素子１１０と、第１から第４の保持素子１２０、１３０、１４０、１５０とを備える。第１の保持素子および機能素子が第１の接合１２２で接続され、第２の保持素子および機能素子が、第２の接合１３２で接続され、第３の保持素子および機能素子が、第３の接合１４２で接続され、かつ第４の保持素子および機能素子が、第４の接合１５２で接続される。また、第１の保持素子および第２の保持素子は、各々圧電駆動素子１２４、１３４を含み、第１の保持素子の駆動素子および第２の保持素子の駆動素子が、電気励起により機能素子を動かすよう構成される。 （もっと読む）

【課題】低電圧で且つより広い電圧可変範囲で動作するエレクトロウェッティング装置、それを備えた各種装置及び駆動方法を提供する。
【解決手段】本発明のエレクトロウェッティング装置は、導電性または有極性を有する液体と、液体に電圧を印加する第１及び第２電極と、液体と第１電極との間に設けられた誘電体層と、電圧印加部とを備える構成とした。そして、本発明では、電圧印加部が０Ｖ以上の第１電圧と、第１電圧より大きい第２電圧との間で周期的に変化する電圧信号、すなわち、正極性の電圧範囲で変動する交流電圧を、第１及び第２電極間に印加するようにした。 （もっと読む）

【課題】結晶軸方位とエッチングマスクとの間にアライメント誤差があっても、加工寸法誤差の少ない構造体を形成可能なシリコンの加工方法、エッチングマスク付きシリコン基板等を提供する。
【解決手段】シリコンの加工方法で、主面が（１００）等価面１０３或いは（１１０）等価面である単結晶シリコン基板１００上に、マスクパターンを形成し、結晶異方性エッチングを施して、（１１１）等価面で構成され幅Ｗ１と長さＬ１を有する構造体を形成する。マスクパターンに、構造体の幅Ｗ１を決定する決定個所を持たせる。マスクパターンの幅Ｗ１の決定個所の幅は、幅Ｗ２を有する。マスクパターンの長さ方向にわたって、決定個所以外のマスクパターンの幅は、幅Ｗ２より大きい幅を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板のミラー部への伝播方向と垂直方向Ｘの曲げたわみを小さくすることにより、ミラー部の捻れ共振周波数の変化を押さえ、大きな電圧を印加した場合でも電圧に比例したミラー部の走査角度を増加させることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、基板と捻れ梁部との連結部から離れた基板の一部に駆動源を設けるとともに、上記駆動源が圧電体あるいは磁性体の薄膜あるいは薄板により基板上に形成され、平面形状が長方形を有し、その長辺が、ミラー部と駆動源を結ぶ方向に平行に配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ステッチング誤差の問題を解決するパターン作成装置の提供。
【解決手段】本発明に係る装置は、つぎ合わされた少なくとも２つの隣接する部分的画像が共通の境界でオーバラップし、オーバラップしている部分的画像の各々が、オーバラップ領域において本質的に同じパターン、及び減少された露光線量を有し、オーバラップ領域の減少された露光線量が、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態に設定する位相変調素子の能力を使って、位相変調アナログ空間光変調装置のアナログ機能により作られ、中間変調状態に設定された位相変調素子の微小領域素子から反射された光の複素振幅を一体化した光の複素振幅が、オーバラップ領域の減少された露光線量をつくることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アドレス・レゾリューションが改善されたパターン作成装置の提供。
【解決手段】本発明に係る装置は、ある種類の画素マップをパターン・フィーチャーの内部に、別の種類の画素マップをフィーチャーの外部に、中間画素マップを境界線上に作成するようにされる。境界線上の中間画素マップが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態を有する位相変調素子の画素を含み、加工品に投影される位相変調空間光変調装置の画素に比べて微細なアドレス・グリッドで境界線上の配置によって作成される。境界線の露光レベルが、オン状態とオフ状態との間の中間変調状態に設定する位相変調素子の能力を使って作られ、中間画素マップに一致する中間変調状態に設定された位相変調素子の微小領域素子から反射された光の複素振幅を一体化した光の複素振幅により、微細なアドレス・グリッド及び前記境界線の露光レベルが作成される。 （もっと読む）

【課題】可動構造体において、ヒンジ部のねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高めて、可動板の揺動動作の安定性を高める。
【解決手段】１対のフランジ部３ａ及びこの１対のフランジ部３ａに渡されているウェブ部３ｂによって、肉盗み部３ｃを有する断面Ｕ字形状のヒンジ部３を形成し、可動板２を回動自在に支持する。ヒンジ部３の肉盗み部３ｃによってヒンジ部３の回動軸周りのねじり剛性を抑制しつつ引張り剛性や曲げ剛性を高める。 （もっと読む）

【課題】ミラー表面の平滑性を向上させたマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、前記基板に連結されたねじりばね部材と、前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする。 （もっと読む）