【課題】揺動体装置を構成する揺動体やねじりバネの製造過程に加工誤差がある場合でも、迅速かつ高精度に共振周波数を調整することができる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】固定部に対し、ねじりバネによってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、共振周波数で駆動される揺動体を備えた揺動体装置の製造方法であって、
前記揺動体の慣性モーメント量の想定値を決定する第１のステップと、
前記共振周波数を測定する第２のステップと、
前記第１及び第２のステップにおける慣性モーメント量の想定値及び測定された共振周波数から、前記ねじりバネのバネ定数を算出する第３のステップと、
前記第３のステップで算出されたバネ定数と、前記揺動体の共振周波数に対し決定された目標共振周波数から、該目標共振周波数に調整するための前記揺動体の慣性モーメントまたは前記ねじりバネのバネ定数の調整量を算出する第４のステップと、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、枠状をなす支持部２９と、この枠状をなす支持部２９の内側に設けられた光反射部２２１を有する可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持するように支持部２９と可動板２２とを連結する２組の連結部２０、２１とを有し、連結部２０は一対の弾性部材２５、２６を有し、連結部２１は一対の弾性部材２７、２８を有するものであって、弾性部材２５〜２８上には接合膜３を介して圧電素子５１〜５４が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】振動部と磁性体とを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部と磁性体とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能に支持された可動板２１と、可動板２１に設けられた磁石２１２と、磁石２１２の近傍で、通電により磁界を発生させるコイル２１２とを備えている。磁石２１２は、可動板２１に接合膜５ａを介して接合されており、接合膜５ａは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜５ａは、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜５ａの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜５ａの表面の領域に発現した接着性によって、可動板２１と磁石２１２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】異なる共振周波数のマイクロ揺動体を同じエッチングマスクで製造することができ、有効反射面積の低下及び共振周波数の製造ばらつきを抑制することが可能となる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板に、個々の揺動体が複数連結された繰り返し形状によるパターンを有するエッチングマスクを形成する工程と、エッチングマスクをマスクとして、単結晶シリコン基板をエッチングし、単結晶シリコン基板に繰り返し形状を形成する工程と、個々の揺動体として用いられる際に必要とされる共振周波数を規定する揺動体の可動部６及び支持基板の幅を決定し、ダイシングによって切断するダイシング工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】揺動体の中立位置を調整して、それによる反射光ビームの照射位置の調整やそれと対象物間の距離の調整などを可能とした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、中立位置を挟んで揺動軸2の回りに揺動可能に支持された揺動体1と、駆動手段4、5、6と、位置調整手段4、7、8とを有する。駆動手段は、揺動体1を揺動軸2の回りに揺動させるための手段であり、位置調整手段は、揺動体1の中立位置を調整するための手段である。 （もっと読む）

【課題】従来のレーザ光用光学ミラーにおいては、Ａｕ膜もしくはＡｇ膜あるいはＡｕ膜もしくはＡｇ膜の上にさらに増反射膜もしくは表面保護膜が形成されていたが、Ａｕ膜もしくはＡｇ膜はレーザ光用光学ミラーを凹面形状に変形させるため好ましくなく、また、増反射膜にて凸面形状に変形させた構成ではレーザ耐力を低下させるという問題があった。
【解決手段】基材層と、基材層の上に形成され基材層を凸面形状に変形させる応力調整膜と、この応力調整膜基材の上に形成された反射膜を有するミラー基板を用い、レーザ耐力を低下させることなく、基材層の変形を抑制したレーザ光用光学ミラーを実現する。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整する機能を安定して維持できる振動ミラー及びこれを用いた光走査装置、光書込装置、画像形成装置を提供する。
【解決手段】ねじり梁１０２、１０３を回転軸として往復振動して光源からの光ビームを偏向するミラー基板１０１と、ミラー基板１０１と単一の基板を貫通してミラー基板１０１と一体形成され、ねじり梁１０２、１０３に結合してミラー基板１０１を支持する上部枠体１０４とを有し、ねじり梁１０２にその弾性係数を調整する調整構造１１８、１１９が配置された。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成で製造コストを低減しつつも、複数のビームを精度よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供する。
【解決手段】ビームを射出する複数の半導体レーザ４１と、ビームを偏向する光偏向ユニット１と、偏向されたビームを感光ドラム３２の表面に結像する複数の結像部材と、を備える光学走査装置において、光偏向ユニット１は、偏向面が形成される第１の偏向子３ｕ及び第２の偏向子３ｄと、駆動力を受ける駆動子４と、駆動子４を駆動させるアクチュエータ９を有し、第１の偏向子３ｕ、第２の偏向子３ｄ、及び駆動子４がねじりバネ５、６によって直列に連結されると共に、駆動子４が揺動することで、第１の偏向子３ｕ及び第２の偏向子３ｄがねじりバネ５、６の揺動軸Ｏ周りに揺動可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】光径を検出する検出手段やフィードバック制御が不要な液体レンズを備えた光走査装置を提供する。
【解決手段】液体レンズ１４は、負レンズを構成する導電性液体４０及び正レンズを構成する絶縁性液体４２を含み、レーザダイオード１２が出射した光を略平行光に変換すると共に、焦点距離を変化させることができる。ポリゴンミラー２０は、液体レンズ１４を通過した光を偏向する。走査レンズ２２，２４は、ポリゴンミラー２０が偏向した光を感光体ドラム３２に結像させる。導電性液体４０と絶縁性液体４２との界面の形状がエレクトロウエッティング現象により変形することにより、液体レンズ１４の焦点距離が変化する。導電性液体４０の温度変化に対する屈折率変化の比の値は、絶縁性液体４２の温度変化に対する屈折率変化の比の値よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】走査レンズの製造誤差や取り付け誤差等の製造により発生する像面湾曲を抑制できる光走査装置を提供する。
【解決手段】液体レンズ１４は、レーザダイオード１２が出射した光を集光すると共に、焦点距離を変化させることができる。ポリゴンミラー２０は、レーザダイオード１２を通過した光を偏向する。走査レンズ２２，２４は、ポリゴンミラー２０が偏向した光を感光体ドラム３２に結像させる。制御部３０は、感光体ドラム３２に光が走査されている期間において、予め定められたパターンで液体レンズ１４の焦点距離を変化させる。 （もっと読む）

【課題】省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の軸部材２３、２４とを有している。また、アクチュエータ１は、可動板２１の下面側に設けられた永久磁石５１とコイル５２とを有している。永久磁石５１は、回動中心軸Ｘと異なる方向に磁化されている。また、永久磁石５１は、コイル５２の内側に位置している。 （もっと読む）

【課題】液体レンズの故障等の異常を検出することができる光走査装置を提供する。
【解決手段】光源１２は、光を出射する。液体レンズ１４は、光源１２が出射した光を集光する。ポリゴンミラー２０は、液体レンズ１４を通過した光を偏向する。受光素子２８ａは、ポリゴンミラー２０が偏向した光を受光する。ＳＯＳ回路２８ｂは、受光素子２８ａが受光した光量に基づいて、ＳＯＳ信号を生成する。制御部３０は、ＳＯＳ信号の立ち下がりの有無を検出して、液体レンズ１４の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を備えた減圧封止が可能な構造を構成し、揺動体のジッタを低減する一方、揺動体の制御性を保持することが可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、
前記筐体には、該筐体の内部から外部に気体を通す逆止弁が一つ以上設けられ、
前記逆止弁によって減圧封止した前記筐体の内部に前記揺動体を配設することによって、該揺動体のジッタを低減する一方、制御性が保持可能とされた構成とする。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器への電圧の入力が不能となった場合に記録材料上に光が照射されることを防止する。
【解決手段】画像記録装置は、基準面３３１ｃに平行な帯状の固定反射面３３２ｂを有する固定リボン３３１ｂと基準面３３１ｃに平行な帯状の可動反射面３３２ａを有する可動リボン３３１ａとを所定の配列方向に交互に配列して備える回折格子型の空間光変調器３３を備え、光源からの光が照射される空間光変調器３３からの０次光が感光材料上へと導かれる。空間光変調器３３では複数の固定リボン３３１ｂおよび複数の可動リボン３３１ａが交互に並ぶ各変調素子の可動リボン３３１ａに電圧が入力されない状態にて、感光材料上において当該変調素子からの光の強度がほぼ０とされる。これにより、仮に、空間光変調器３３への電圧の入力が不能となった場合でも、感光材料上に光が照射されることが防止される。 （もっと読む）

【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】共振振動数の温度変動が少なく、低電圧駆動が可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー振動子１０のミラー部材１に永久磁石４が固定される。ミラー振動子１０及び永久磁石４は上下カバー２１，２２により包囲され、外部から熱的に隔離される。上下カバー２１，２２の外側に駆動用の電磁石３０が配置される。電磁石３０の熱、その他の熱源の熱は、ミラー振動子１０及び永久磁石４に伝わりにくいため、ミラー振動子の共振周波数の温度変動が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】簡単で低コストな構成により、揺動体が駆動される領域における雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減し、揺動体のブレを抑制することが可能となる揺動体装置、光偏向器及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、前記ねじり軸回りに少なくとも１つの固有振動モードを有する可動部を備え、可動部を固有振動モードで駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動部が駆動される領域における雰囲気を昇温する昇温手段を有し、該昇温手段による昇温によって該雰囲気からの非定常な抗力の影響を低減することが可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】電磁駆動（ムービングコイル）方式において、配線の断線を防止して、優れた信頼性を発揮することができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】可動板２１と、可動板２１を支持する１対の軸部材２２、２３とを備えた振動部と、振動部に設けられたコイル２１２と、コイル２１２に通電するための配線２２１、２３１と、コイル２１２に対向して設置された磁石４１、４２とを有し、磁石４１、４２の磁界中に配されたコイル２１２に通電することにより、可動板２１を各軸部材２２、２３の捩れ変形を伴って回動させるように構成され、配線２２１、２３１は、その一部が各軸部材２２、２３に対し離間するように配設されている。 （もっと読む）

【課題】偏向ミラーを用いた光走査装置において、偏向ミラーの揺動変動が生じても、その揺動変動に対応した像担持体への画像形成制御を行うことにより画質悪化を軽減する。
【解決手段】光ビームを発生する光ビーム発生手段４４と、光ビームを入射させ偏向ミラー４０により光ビーム６２を偏向・出射させる光ビーム偏向手段（４０，４１）と、光ビーム偏向手段により偏向された光ビームが往復走査しながら特定の光走査範囲で光ビームをＯＮ／ＯＦＦするよう光ビーム発生手段を制御する光ビームＯＮ／ＯＦＦ制御手段４２とを備えた光走査装置において、光ビーム走査全領域の中心部から離れた端部側任意の位置に基準点を設け、往復走査で光ビームが基準点を通過する時間または時間間隔を測定する光ビーム走査時間測定手段４６を有し、その測定値に応じて光ビームのＯＮ／ＯＦＦ動作タイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの共振周波数のばらつきを抑える。
【解決手段】可動板１０１、トーションバー１０３、フレーム部１０５がシリコン単結晶の基板を加工して一体形成された光スキャナ。基板の一面からのエッチング工程により、凹部１０２とトーションバー１０３が加工される。凹部１０２の底面と、トーションバー１０３の一面（図の上面）は同じ高さ位置にある。エッチング誤差があっても、可動板１０１の慣性モーメントの増減とトーションバー１０３のバネ定数の増減の影響が相殺されるため、共振周波数の変動が抑えられるため、共振周波数のばらつきの少ない光スキャナを実現できる。 （もっと読む）