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Fターム[2H147FA06]の内容

光集積回路 (45,729) | 膜形成、結晶成長 (3,006) | 膜形成方法、結晶成長方法 (2,523) | 気相成長 (1,163) | 物理的気相成長、蒸着 (696)

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【課題】特性の改善された屈折率変調型回折光学素子を簡便かつ低コストで作製する。
【解決手段】屈折率変調型回折光学素子の作製方法は、剥離剤(6)を介してDLC膜(2)上に位相格子マスク(3a)を接触させて配置し、その位相格子マスクを介してUV光(4b)によってDLC膜を干渉露光し、それによってDLC膜の局所的な屈折率を高めて屈折率変調型回折格子を形成し、その後に、DLC膜から位相格子マスクを剥離するとともに剥離剤を除去することを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、配線基板上に設けられ、光信号の伝送を行う光導波路と、光信号を反射するミラーとを備えた光電気混載基板の製造方法に関し、ミラーによる光信号の伝送損失を低減することのできる光電気混載基板の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】配線基板11と、配線基板11上に設けられ、光信号の伝送を行う光導波路17と、光信号を反射させるミラー14,15と、を備えた光電気混載基板10の製造方法であって、配線基板11上に平滑な傾斜面12A,13Aを有する絶縁部材12,13を形成し、その後、平滑な傾斜面12A,13Aに金属膜を成膜してミラー14,15を形成した。 (もっと読む)


【課題】十分な感度を有し、かつ、電子デバイスとの一体化が容易で、比較的サイズが小さい光導波路デバイスを提供する。
【解決手段】光導波路センサ100は、基板102、及び基板102の上面104上に配されたデバイス層110を含む。デバイス層110は、1又は複数の検知用光導波路を含み、その各々は検知領域122を有する。基板102は、検知領域122と位置合わせされた空隙領域106を有する。空隙領域は、基板材料の塊が除去されている基板の領域である。空隙領域は、検知用光導波路の検知領域に光学的に結合されており、検知用光導波路の検知領域を透過する光信号のエネルギの一部が、空隙領域と相互作用する。検知用光導波路は、コア124及び上位クラッディング126を含み、下位側に基板102及び空隙領域106が配される。 (もっと読む)


【課題】 貫通孔に設けられる光伝搬体のノイズを大きく低減させた光伝送基板およびその製造方法ならびにそれを用いた光モジュールを提供する。
【解決手段】 両主面間を貫通し、中心軸が前記両主面の少なくとも一方の主面に対して垂直な貫通孔を具える基板と、前記貫通孔の内部に設けられ、前記基板の一方の主面側の第一端面を有するとともに前記貫通孔の径方向において屈折率が周囲部よりも高くなったコア部を有する第一領域と、前記基板の他方の主面側の第二端面を有する第二領域と、前記第一領域と前記第二領域との境界部とを具え、前記第一領域および第二領域がそれぞれ前記第一端面および前記第二端面から前記境界部に向かって直径が単調減少している光伝搬体と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】一の出射導波路に出射される光と他の出射導波路に出射される光との強度比を任意に変更できる光分岐結合器の提供。
【解決手段】多モード導波路2と、光を単一モードで伝搬して多モード導波路2の一端に入力する1本の入射導波路1と、多モード導波路2を伝搬してきた光が単一モードで導出される2本の出射導波路6A、6Bと、多モード導波路2の一方の面上において夫々の側縁の近傍に位置するように設けられた1対の個別電極3A,3Bと、多モード導波路2の他方の面上に設けられた接地電極4とを有し、多モード導波路2は、入射導波路1から入射した光によって中央部と両側縁部とに3(n+1)個の輝点が生じる長さを有し、個別電極3A、3Bは、最も上流側の1対の輝点の上に設けられ、出射導波路6A,6Bは、多モード導波路2において最も下流側の1対の輝点が生じる位置に接続された光分岐結合器、前記光分岐結合器を有する光通信システム。 (もっと読む)


集積されたDWDM送信器装置は、シリカ層とシリコン層とを含むシリカ−オン−シリコン基板を含む。複数の入力導波路と、複数の回折格子とが、シリカ層内に提供される。複数の回折格子(151)のそれぞれは、入力導波路のうちの対応する1つに結合される。アレイ導波路と、シリカ層内の少なくとも1つの出力導波路とが、アレイ導波路回折格子に結合される。送信器は、シリカ−オン−シリコン基板の窪んだ領域内に、複数のレーザ(141、142、143、144)をさらに含み、レーザのそれぞれは、複数の入力導波路のうちの対応する1つに光学的に結合される。集積された送信器は、複数のフォトダイオードをさらに含み、複数のフォトダイオード(161)のそれぞれは、複数の回折格子のうちの対応する1つの上にある。
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【課題】製造が簡単で光損失の少ない光導波路、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板2には、細長い溝状の中空部4が形成され、溝状の中空部4の長さ方向の両端部には、45°の傾斜部2b、2cが形成されている。中空部4の底部2a、傾斜部2b、2c及び側面部は、拡散接合が可能な反射材である金属膜6で覆われている。金属膜6は、基板2の表面の中空部4の周囲にも設けられている。蓋材3の基板2と対面する表面には、拡散接合が可能な反射材である金属膜5が、底部2aに対面する部分とその周囲の部分に設けられているが、傾斜部2b、2cに対面する部分には設けられておらず、これにより光透過部3a、3bが形成されている。そして、中空部4の周囲の部分の金属膜5と金属膜6とが拡散接合により接合されて、基板2と蓋材3とが一体となり光導波路1を形成している。 (もっと読む)


【課題】高い光結合効率を達成できるレンズ構造を有する高分子光導波路を、効率よく安価に製造可能な方法の提供。
【解決手段】コア層を第1クラッド層及び第2クラッド層で挟んでなり、且つ第1クラッド層と第2クラッド層との一方又は両方にレンズ構造を有する光導波路を製造する方法であって、第1クラッド層と第2クラッド層との一方又は両方の形成時に、レンズ構造を型の転写により形成し、且つ該レンズ構造の近傍にコア層を伝送する光を反射させて前記レンズ構造に導く反射端面構造を形成することを特徴とする光導波路の製造方法。 (もっと読む)


本発明は、光配線モジュール構造に関する。本発明による光配線モジュールは、基板の表面に実装される光源と、光源から出る光のTMモードで結合し、長距離表面プラズモンポラリトンを利用する金属光導波路と、光受信素子とを備える。本発明によれば、小型化及び高収率化に適した単純構造の光配線モジュールを提供することができる。
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【課題】光配線デバイス及びその製造方法の提供。
【解決手段】光配線デバイスは、第一基板、第二基板、光導波路、電気配線、及び、スイッチングデバイスを備える。第一基板は、電気配線回路、電気信号を光信号に変換するための電気−光コンバータ、及び、光を発する発光デバイスを有する。第二基板は、電気配線回路、光信号を電気信号に変換する光−電気コンバータ、及び、発光デバイスからの光を受信する受光デバイスを有する。光導波路は、発光デバイスと受光デバイスとを光学的に接続する。電気配線は、第一及び第二基板の電気配線回路を電気的に接続する。スイッチングデバイスは、データの高速信号が光学基板を介して伝送され、データの低速信号が電気配線を介して伝送されるよう判断する。 (もっと読む)


【課題】 生産性に優れた、光導波路部材、光導波路部材が含まれる光配線基板、光配線基板と光半導体素子とを含む光配線モジュール、及び光導波路部材が含まれる表示装置、ならびに光導波路部材及び光配線基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 転写シート26a及び金属膜26bを有し、転写シート26aと金属膜26bとが剥離可能な状態に保持されている転写部材26を準備する工程と、転写部材26の金属膜26b上に第1クラッド層6を形成する工程と、第1クラッド層6上に光を伝播させるコア層7を積層する工程と、コア層7上に、コア層7を被覆する第2クラッド層8を積層することにより、第1クラッド層6、コア層7、および第2クラッド層8を含んで構成される積層体を形成する工程と、を備えることを特徴とする光導波路部材の製造方法。 (もっと読む)


【課題】誘電体単結晶からなるスラブと、貫通孔によって形成されている格子列とを備えているスラブ型2次元フォトニック結晶構造を製造するのに際して、多数の貫通孔を精度良く高効率で形成できる方法を提供することである。
【解決手段】誘電体単結晶からなる誘電体単結晶基板1の一方の主面1aをエッチングすることによって、誘電体単結晶基板1に凹部4を形成する凹部形成工程、および
誘電体単結晶基板1の他方の主面1bを機械加工することによって、スラブ10を形成し、かつ凹部4を貫通させて貫通孔11を形成する貫通孔形成工程を有する。 (もっと読む)


【課題】折り曲げやねじれ等の変形に対して追従性があるフレキシブルなベルト状の高分子光導波路フィルムを用い、変形した状態でもフィルムに形成された光導波路を介して光信号の送受信を行うことができる光送受信モジュールを提供する。
【解決手段】双方向光送受信モジュール10は、光送受信部20側の反射面24cを有するサブマウント24と光送受信部21側の反射面25cを有するサブマウント25とに高分子光導波路フィルム11の端部を載置すると共に、背面発光型発光素子22から射出された光が反射面24c,25cを介して送信用光導波路に入射されるように背面発光型発光素子22を配置し、受信用光導波路からの光が反射面24c,25cを介して受光されるように背面受光型受光素子23を配置している。 (もっと読む)


【課題】リッジ型導波路デバイスを製造するためのウェーハ・スケール方法、およびそれによって製造された改良型導波路に関する。
【解決手段】寸法的に安定した、ウェーハ・スケール製造におけるキャリヤ・ウェーハ12と光透過型ウェーハの間の平面関係を変えることなく中に接着剤16を導入することができるウェーハ・アセンブリを用意することによって、光導波層の厚さをサブ・ミクロンで制御することができる。この方法によれば、薄い光透過層14を備えた光導波路デバイス10をウェーハ・スケールで製造することができる。マスタ表面からキャリヤ・ウェーハ12への表面情報を薄い光透過型ウェーハ14に正確に引用するために、付着およびエッチ・バックによって、あるいは表面エッチ・プロセスによってスペーサ・ペデスタルのパターンが生成される。 (もっと読む)


【課題】薄型化や小型化を達成することを可能とし、配線の自由度を大きくすることを可能としたフレキシブル光導波路フィルム、光送受信モジュール、マルチチャンネル光送受信モジュール、及び製造工程の容易化と単純化を可能としたフレキシブル光導波路フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】フレキシブル光導波路フィルムで10は、二芯導波路コア11の一端部に配された光入出射部11a,11bと、光入出射部11a,11bの内部に空隙からなる光路変換部12を有している。光入出射部11a,11bの光入出射端面のそれぞれが、空隙の周面の一部を構成する光路変換面に向けて平面的に設けられている。 (もっと読む)


【課題】本願発明は、熱電気効果または素子の急激な温度変化に起因する素子の表面を横切る温度変化の結果として、光変調器として機能するように形成された集積光素子に生じるエラーの減少方法および装置を提供する。
【解決手段】本願発明の光素子は上面、+Z面および−Z面を有し、リチウムニオブ酸縁等の高い電子−光係数を有する結晶から形成する。当該光素子の部品を方向付ける目的で、+Z結晶軸が+Z面から外側に伸びている。素子の上面に形成された+Z軸と直交する入力導波路は入力ポートから光信号を受信し、この信号を導波路ネットワークを介して、導波路ネットワークを出力ポートに接続する出力導波路に通す。金属被覆が第1および第2のレールを形成するために光素子の上面上に施され、当該第1および第2のレールは、入力導波路の一部に非常に近接してまたがるように配置される。導通ブリッジは第1および第2のレールを接続し、第1および第2のレール間に電荷差が展開するのを防止する。 (もっと読む)


【課題】煩雑な工程を排除することができるとともに、安価であり、簡便な方法により生産効率の向上を図ることができる光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】光導波路10の製造方法は、下部基材11上に導波路コア12を形成し、上部基材13上に未硬化の薄膜クラッド14aを形成し、導波路コア12上に上部基材13の薄膜クラッド形成面を被せ、薄膜クラッド14aが流動して導波路コア12の側面を被い、下部基材11、薄膜クラッド14a及び上部基材13間に、導波路コア12に沿って貫通する空洞15を形成し、薄膜クラッド14aを硬化し、そして空洞15内に導電性物質16を充填・硬化する。 (もっと読む)


【課題】高密度実装又は小型化が可能で、しかも光電素子の実装が容易に且つ低結合損失で行えるため、光電気複合基板に用いることが出来る光路変換部品の製造方法及び光路変換部品とそれを用いた多層光電気複合基板を提供する。
【解決手段】第1の基板と、コアとクラッドを有する光配線層とスルーホールを形成した第2の基板とを順に積み重ね、第2基板表面に光電変換素子を実装した光電気複合基板において、前記コアとクラッドから構成された光導波路はコア、クラッドが複数層積層した構造の多層光配線であり、該多層光導波路内を伝搬する光信号が、光導波路のスルーホールに埋設された、傾斜面を有するコア及びクラッドからなる90度光路変換部品内を伝送することを特徴とする光電気複合基板である。 (もっと読む)


【課題】薄膜ヒータと温度検出部とを別工程で実装せずに、生産性を高めるとともに精度よく温度検出することができる光導波路モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】平板型の導波路板に薄膜ヒータ8を形成する熱光学型光導波路モジュールの製造方法であって、同一面に薄膜ヒータ8と光導波路モジュールの温度を検出する温度検出部7とを同一の材料から同時に形成する同時形成工程を含む。そして、パターニングされた抵抗体層3によって薄膜ヒータ8と温度検出部7とを形成する。 (もっと読む)


【課題】複雑な工程を要さず、安価に、局所気密封止された光集積回路を提供すること。
【解決手段】局所気密封止された光集積回路は、ヘリウムに対する透過係数が5×10−9(25℃)以下のガスバリア性を有する薄膜が形成されたコア12a及びクラッド12bからなる光導波路12と、第1の面において、コアを含む所定の領域を囲むように形成された凸部を有し、薄膜が形成されたキャップと、光導波路の第2の面において、コアと光学的に接続する位置に実装された光素子と光導波路の第2の面において、光素子に電気的に接続されるメタル配線とを備えている。キャップと光導波路との実装の際に、光導波路とキャップとが半田により接合することにより気密封止された空隙を形成し、気密封止された空隙に光素子が位置している。 (もっと読む)


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