説明

Fターム[2H147FC04]の内容

光集積回路 (45,729) | 物質除去方法 (2,538) | エッチング (1,543) | 乾式(ドライエッチング) (771) | プラズマエッチング (79)

Fターム[2H147FC04]に分類される特許

1 - 20 / 79


【課題】光源と二分岐状の発光側光導波路コアとの間の調芯に水平方向のずれが生じた場合でも、光源の光をこの光源に隣接する枠の2辺に所定の比率で正確に分配することのできる入力デバイスを提供する。
【解決手段】入力デバイスの矩形状の検知空間Sの周りに配置された枠状の光導波路10における発光側の二分岐状光導波路コアC1は、角部10zに設けられた光源20に接する光入射側の共通部1と、この共通部の終端側の分岐点から分岐して上記枠の2辺に配置された2つの分岐コア部4,5とを備え、上記共通部1の光入射端面(光結合面)1aのコア幅Wが1mm以上の場合は、光入射端面1aから分岐点Jまでの距離Lが3mm以上に設定され、上記光入射端面1aのコア幅Wが1mm未満の場合は、上記光入射端面1aから分岐点Jまでの距離Lが、この光入射端面1aのコア幅Wの3倍以上〔(L/W)≧3〕になるように設定される。 (もっと読む)


【課題】光源と光導波路コアとの間の調芯に高い精度が必要なく、この光源からの光を、枠状の光導波路の2辺に均等に分配することのできる入力デバイスを提供する。
【解決手段】入力デバイスの矩形状の検知空間Sの周りに配置された枠状の光導波路10における発光側の光導波路コア1を、角部10aに設けられた発光素子3に接する光入射側の共通部1aと、共通部1aから発光素子3の発光の光軸に沿った枠の一辺方向に直線状に延びる第1のコア部1bと、共通部1aの分岐点Jから所定の曲率で湾曲しそれより光出射側が上記光軸に直交する枠の他辺方向に延びる第2のコア部1cとから形成するとともに、上記発光側光導波路コア1の分岐点Jにおける、上記第1のコア部1bのコア幅(W1)に対する上記第2のコア部1cのコア幅(W2)の比を1以上〔(W2/W1)≧1〕とする。 (もっと読む)


【課題】マイクロディスペンサ法を用いて微小領域に滴下する際に、光導波路の上面や側面に滴下し易くかつ安全に液状の充填材料を滴下する構造を備えた光導波路素子を提供すること。
【解決手段】伝搬する光のフィールドが光導波路5の外に染み出すように光導波路コア及びクラッドの幅が設定されているメサ型1またはリッジ型6の光導波路を備えた光導波路素子において、前記光導波路の近傍に、光導波路の高さよりも高い突起構造3a、3b、3cを設けた光導波路素子。または、前記突起構造の代わりに、前記光導波路の近傍から当該光導波路の上方に突出して形成した梁状の構造を設けてもよい。さらに、前記突起構造の代わりに、前記光導波路の片側に、当該光導波路の長手方向に沿って、該光導波路の高さよりも高い壁構造を設けてもよい。 (もっと読む)


【課題】メサ部上の樹脂領域の開口が狭い場合であっても、AuZn膜を含む金属膜をメサ部上に容易に形成することが可能な半導体光変調素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】メサ部32を保護膜22によって覆う第1の絶縁膜形成工程と、メサ部32を樹脂領域20によって埋め込むとともに、メサ部32上の該樹脂領域20の部分に開口20cを形成する工程と、開口20cにおいて露出した保護膜22、及び樹脂領域20を保護膜24によって覆う第2の絶縁膜形成工程と、メサ部32上の保護膜22,24の部分に開口を形成する工程と、Ti膜を含む金属膜26aを、該Ti膜と保護膜24とが互いに接触するように開口20c内を除く樹脂領域20上に形成する工程と、Au膜を含む金属膜26bを、該Au膜とメサ部32とが互いに接触するようにメサ部32上から金属膜26a上に亘って形成する工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】平面光回路(PLC)に基板面に対し傾斜し且つ傾斜角度の変化の少ない溝を形成する。
【解決手段】エッチングチャンバー内の下部電極上に、傾斜保持治具20によりPLCを基板面に対して傾斜して保持し、PLC近傍にチャンバー内の電界分布を制御する電解制御ブロック30を配置し、傾斜保持治具および電解制御ブロックを下部電極に電気的に接続した状態で、異方性プラズマエッチングによりPLCに溝を形成する。 (もっと読む)


【課題】太陽光のような外乱光の照度が高い環境で使用しても、受光素子(光電変換素子)の誤作動を防止することができる光導波路デバイスおよびそのオーバークラッド層の形成に用いられる樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光導波路Aの一端部に受光素子Bが光結合されている光導波路デバイスにおいて、光導波路Aのオーバークラッド層3の表面が外乱光の入射面となっている。オーバークラッド層3は、紫外線硬化性樹脂を主成分とし、外乱光を吸収する色素を含有する樹脂組成物の硬化体からなっているとともに、コア2の頂面からオーバークラッド層3の表面までの厚みが100μm以上に設定されている。上記樹脂組成物として、光信号透過率T850と外乱光透過率T500と紫外線透過率T365とが、T500<T365<T850の関係を満たしているものを用いる。 (もっと読む)


【課題】本発明の光導波路フィルムは、光導波路フィルムの歪・応力に起因する光伝播損失変動を低減化することを目的とするものである。
【解決手段】上記課題を解決するために本発明の光導波路フィルムは、光導波路を平面に配列させたアレイ状光導波路において、コア部分とその周囲を囲むクラッド部分の領域を含む光導波路構造部分より、その光導波路間の間隙が低弾性強度の構造である応力緩和層をサンドイッチした構造を有することを特徴とする。 (もっと読む)



【課題】電気通信システムなどで使用される光送信及び受信装置を提供する。
【解決手段】1つ又はそれよりも多くのレーザ4と、この1つ又はそれよりも多くのレーザ4の各々によって出力された放射線を強度変調する変調手段10と、変調手段によって生成された変調放射線を例えば光ファイバ22の中に出力するための出力手段とを含む送信装置2。装置は、使用時に1つ又はそれよりも多くのレーザ4から変調手段10まで及び変調手段10から出力手段まで放射線を案内する基板に形成された中空コア光導波路20を含む。また、基板に形成された少なくとも1つの中空コア光導波路により、放射線が1つ又はそれよりも多くの光ファイバから1つ又はそれよりも多くの検出器まで案内されることを特徴とする受信器。組合せ受信器/送信器装置も示される。 (もっと読む)


【課題】低コストで低損失な、温度に依存しない導波路型光干渉計を提供する。
【解決手段】光分岐部、複数の長さの異なる光導波路、及び光結合部から構成される光干渉計が開示される。前記複数の長さの異なる光導波路の光路長の温度依存性を等しくするため、前記複数の長さの異なる光導波路の長手方向に平均したコア幅は、互いに異なるように調整される。 (もっと読む)


【課題】主路の幅が狭く、各分岐路から出射される光の強度が均一になる発光素子付光導波路を提供する。
【解決手段】発光素子付光導波路10は、発光素子11と光導波路12とを有する。コア13は主路14と複数の分岐路15とを有する。主路14は、分岐点16を有する辺14aと分岐点16を有しない辺14bとを備える。分岐点16は主路14の導光方向17とほぼ平行な直線上に設けられる。主路14は発光素子11から遠ざかるにしたがって幅Wが細くなる。分岐路15の分岐点16において主路14と導光方向17とのなす角度αは0.1°〜2.0°である。主路14の分岐点16を有しない辺14bと導光方向17とのなす角度θは、0.3°〜1.7°である。 (もっと読む)


【課題】例えば作製プロセスなどにおいて位相シフタ領域の導波路の幅や角度などが所望の値からずれてしまった場合であっても、特性が劣化してしまうのを抑制し、大きな作製トレランスが得られるようにする。
【解決手段】光デバイス1を、光信号を分岐する第1カプラ2と、光信号を干渉させる第2カプラ3と、第1カプラ2と第2カプラ3とを接続する第1導波路4と、第1カプラ2と第2カプラ3とを接続する第2導波路5とを備え、第1導波路4が、端部よりも幅が狭い部分を有する第1位相シフタ領域6を備え、第2導波路5が、端部よりも幅が広い部分を有する第2位相シフタ領域7を備えるものとする。 (もっと読む)


【課題】 従来の導波路型光フィルターと比較して、小型化及び低コスト化を図ることができる導波路型光フィルターを提供するものである。
【解決手段】 導波路型光フィルターは、1×3型マルチモード干渉導波路4aと、3×1型マルチモード干渉導波路5aの入力ポートに一端が接続される1本の入射光導波路1aからなる第1の光導波路群1と、1×3型マルチモード干渉導波路4aの出力ポートに一端が接続される3本の光導波路(直線導波路2a、第1の曲線導波路2b、第2の曲線導波路2c)からなる第2の光導波路群2と、を備え、第2の光導波路群2のうち、一の光導波路の長さが、他の光導波路の長さと異なる。 (もっと読む)


【課題】複数の段差を有する導波路構造において、簡易かつ精度よく、コア層と上部クラッド層におけるメサ中心のずれを小さくする。
【解決手段】下部クラッド層103とコア層102と上部クラッド層101とを積層し、上部クラッド層101上に、互いに並行に配置される第一及び第二のストライプ状マスク105a、105bと、第一のストライプ状マスク105aと第二のストライプ状マスク105bとの間に配置される第三のストライプ状マスク106とからなる3本のストライプ状マスク107を形成し、第一、第二のストライプ状マスク105a、105b及び第三のストライプ状マスク106をマスクとして第一メサを形成し、第一及び第二のストライプ状マスク105a、105bをそれぞれ除去し、第一及び第二のストライプ状マスク105a、105bを除去した後に、第三のストライプ状マスク106をマスクとして、第一メサの上部に位置し、第一メサよりも幅の狭い第二メサを形成する。 (もっと読む)


【課題】出力側でのクロストークを低減し、分光された光がそれぞれ単一波長の光として、固有の出力側端面から出力することができる平面導波路素子を提供する。
【解決手段】それぞれの光導波路アレイにおける光導波路5,6においては、光導波路5,6の並ぶ方向において一方向に向かって、等価屈折率分布に勾配が形成されている。第1光導波路アレイおよび第2光導波路アレイの連結部は、光が第1光導波路アレイから第2光導波路アレイに伝搬する際に、mを整数として、この光が起こす光学的ブロッホ振動の位相が(2m−1)×π変化するように形成されている。それぞれの光導波路アレイの光導波路の長さの平均値は、それぞれの光導波路アレイを伝搬する光が、光学的ブロッホ振動において1/2周期の振動する間に、光導波路5,6を伝搬する長さに略一致している。 (もっと読む)


【課題】他の光学部品への集光特性を向上させることが可能な面発光レーザ装置を提供する。
【解決手段】面発光レーザ素子110の光出射面110Aに直接、光導波路120を設けて、そのコア層121の径を、面発光レーザ素子110のニアフィールドパターンと同等またはニアフィールドパターンよりも小さくする。面発光レーザ素子110で発生した光は、出射して広がってしまう前に、すなわちニアフィールドパターンでまだ広がらない状態で、光導波路120のコア層121に入る。コア層121に入った光は、ニアフィールドパターンから広がらない状態のまま、コア層121を導かれ、次の光学部品へ光結合される。よって、出射光の拡大が抑えられ、次の光学部品への集光特性が向上する。 (もっと読む)


【課題】コアまたはクラッドの上層にさらにクラッドを形成する場合において、上層のクラッドの厚みを高精度に制御して、クラッドを平坦化できる積層光回路の製造方法を提供する。
【解決手段】クラッド上に形成されたコアの直上に金属マスクを形成する金属マスク形成工程101と、コア及び金属マスクをクラッドで埋め込むクラッド埋込工程102と、金属マスクが露出するまでクラッドを研磨して平坦化する研磨工程103と、露出した金属マスクを除去する金属マスク除去工程104と、平坦化したクラッドとコアとの段差の距離を計測する距離計測工程105と、平坦化したクラッド上及び金属マスク除去後のコア上に、段差の距離及びコアと次層のコアとの間の所望の距離に応じた厚さのクラッドを形成し、熱処理によってクラッドを一体成型することにより段差を平坦化する平坦化行程106とを含む。 (もっと読む)


【課題】分岐光導波路において、主路の幅が狭く、各分岐路から出射される光線の強度が均一である発光素子付光導波路。
【解決手段】発光素子付光導波路10において、コア13は主路14と、主路14から複数の分岐点16で分岐した複数の分岐路15とを有する。主路14は対向する二辺14a、14bを有し、二辺14a、14bのうち一辺14aは分岐点16を備え、他辺14bは分岐点を備えない。複数の分岐点16は、主路14の導光方向17とほぼ平行な直線上に設けられる。主路14は、発光素子11から遠ざかるにしたがって幅Wが細くなる。分岐点を備えない他辺14bと、主路14の導光方向17とのなす角度θは、0.3°〜1.7°である。 (もっと読む)


【課題】 光伝送損失を低減させる光伝送路を提供する。
【解決手段】 光伝送路は、光の進行方向を変換させる光路変換面を有するコアと、前記コアの周囲を覆い、前記コアの屈折率よりも低い屈折率を有するクラッドと、透過平面視にて前記光路変換面を含む含前記クラッドの表面が凹部の底面として露出するように、前記クラッド上に設けられた樹脂層と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】基板上に配置される光デバイスと基板に形成される光導波路とをインタフェース接続する光接続構造を提供すること。
【解決手段】本発明の製造方法では、ダイシング・テープ140上に、無機固体材料で形成されるウエハ130を準備するステップと、先端角を有するダイシングブレード142により、ウエハ130の裏面を略山形形状に切削するステップと、ダイシング・テープ140をウエハ130から剥離し、かつ略山形形状の谷で分離して、光接続要素として、ウエハ130の表面Mにあたる鏡面を有する3次元多面体の光反射部材114を得るステップとを含む。得られた光接続要素(114)は、光伝送基板100が備える光導波路106aに略直交して光伝送基板100の基板主面に開口するトレンチ内に挿入されて、外部との光接続構造を与える。 (もっと読む)


1 - 20 / 79