【課題】干渉縞画像のコントラストを向上させることができるミロー型干渉対物レンズの提供。
【解決手段】ミロー型干渉対物レンズは、光源から出射される光を被検面に集光させるレンズと、レンズにて集光される光の一部を反射させるとともに、他を透過させるビームスプリッタと、レンズ、及びビームスプリッタの間に設けられる基板６と、基板６におけるレンズ側の面に設けられ、ビームスプリッタにて反射される光を反射させるミラー７とを備える。ミラー７は、ミラー７の上面に成膜される多層膜８と、多層膜８に成膜されるフッ化マグネシウム、酸化ケイ素、または酸化アルミニウムからなる被覆膜９とを備える。多層膜８は、ミラー７側から順にクロム膜８１と、誘電体膜８２とを交互に積層した少なくとも２層とされている。 （もっと読む）

【課題】帯電防止性および耐久性の良好な光学物品の製造方法を提供する。
【解決手段】光学基材１の上に、直にまたは他の層を介して透光性の第１の層を形成することと、第１の層の表面に、遷移金属カーバイド、遷移金属シリサイド、遷移金属ゲルマニドの少なくともいずれかを含む透光性薄膜３３を物理的蒸着により形成することとを有する。透光性薄膜を物理的蒸着により形成することは、炭素、ケイ素、ゲルマニウムのいずれかを含む第１の化合物群に含まれる少なくとも１種を含む第１の気体をイオン化することを含む。 （もっと読む）

【課題】バックフォーカスを確保し、ゴースト、フレアをより低減させた高い結像性能を有する広角レンズと、これを有する撮像装置と、広角レンズの製造方法を提供すること。
【解決手段】物体側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とを有し、前記第１レンズ群は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズを少なくとも１枚有し、前記第２レンズ群は、物体側から順に、正レンズと、負レンズと、正レンズとを有し、所定の条件を満足し、第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする広角レンズ。 （もっと読む）

【課題】十分な耐久性を有し、波長400〜700 nmで製造ばらつきを考慮しても最大反射率が0.2%以下の反射防止特性を有し、分光反射特性の製造安定性に優れた反射防止膜を提供する。
【解決手段】550 nmの波長における屈折率1.4〜2.2の基板上に、前記基板側から順にSiO₂及びTiO₂を交互に11層積層してなる反射防止膜であって、最上層がSiO₂層であり、総物理膜厚が500〜630 nmであることを特徴とする反射防止膜。 （もっと読む）

【課題】低屈折率膜を有する光学素子を低コストで製造する。
【解決手段】低屈折率膜と高屈折率膜を交互に積層した多層膜を有する光学素子の製造工程において、ターゲットユニット１００を用いたスパッタ成膜装置により、基体１０１上に充填率０．８４以下の低屈折率材料からなる多孔質膜を成膜する。この多孔質膜を、５０℃以下の液体に浸すことで、屈折率を低減する。簡単な工程で、より低い屈折率の低屈折率膜を形成することで、低コストで高品質な光学素子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】諸収差が良好に補正され、ゴースト、フレアの少ない、高い光学性能を持つレンズ系、及びこれを有する光学装置を提供すること。
【解決手段】光軸に沿って物体側から順に、第１レンズ群Ｇ１と正屈折力の第２レンズ群Ｇ２とを有するレンズ系において、第１レンズ群Ｇ１は、正屈折力の第１１サブレンズ群ＧＳ１１と負屈折力の第１２サブレンズ群ＧＳ１２とから構成され、第１２サブレンズ群ＧＳ１２は、物体側に凸面を向けたメニスカス形状のレンズを有し、所定の条件を満足し、第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されるレンズ系。 （もっと読む）

【課題】プライマー層とハードコート層との間の密着性が良好であり、しかも、干渉縞の発生を抑制できる光学物品を提供する。
【解決手段】光学基材１の上に形成されたプライマー層２と、プライマー層２の上にバインダー層３を挟んで形成されたハードコート層４とを有する光学物品１０である。この光学物品１０では、プライマー層２の層厚は少なくとも７００ｎｍであり、バインダー層３の屈折率はプライマー層２の屈折率およびハードコート層４の屈折率よりも低く、さらに、その層厚は少なくとも３５ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】光反射抑制膜が形成されている光入出面が、光軸を中心として配列されており、前記光軸に対する角度が相互に異なり、かつ不連続に設けられている複数の光入出面部を含む光学素子であって、高い透過率を有する光学素子を提供する。
【解決手段】光の波長域Δλ_１及びΔλ_２とのそれぞれが、使用波長域Δλ_０を含むように、光反射抑制膜２０が構成されている。光の波長域Δλ_１は、光反射抑制膜２０の膜厚が最大膜厚ｄ_０であるときに光入出面１０ａにおいて反射が抑制される光の波長域である。光の波長域Δλ_２は、光反射抑制膜２０の膜厚が最小膜厚ｄ_１であるときに光入出面１０ａにおいて反射が抑制される光の波長域である。 （もっと読む）

【課題】凹面レンズに膜厚ムラの無い反射防止膜を成膜する。
【解決手段】ターゲット１０に平行に設置された膜厚調整用のマスク２を介して、スパッタ法によって凹面レンズ１に反射防止膜を成膜する。マスク２は、凹面レンズ１のレンズ口径Ｄより小さい開口径Ａを有する円形の開口部２ａを備える。マスク２の開口部２ａを、凹面レンズ１の端縁における接平面の内側に配置して、凹面レンズ１を自転させながら成膜することで、曲率半径Ｒの小さい凹面レンズ１に対する膜厚の均一化を図る。 （もっと読む）

【課題】基材上に多層膜を形成する際に、より高精度な膜厚制御が可能な成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】基材上に多層膜を形成する成膜方法であって、前記多層膜の膜原料源を備える真空槽の内部に、基材と、基材上に形成される多層膜をモニタリングするためのモニタ基板とを配置する配置ステップと、真空中で膜原料源にエネルギーを付与して、基材上に膜原料を堆積させて多層膜のうちの３層以上の層を形成するとともに、モニタ基板上に、単層膜および、複数の互い異なる層構成の多層膜を同時に形成する形成ステップと、形成ステップにおいて、単層膜の光学膜厚を測定する光学膜厚測定ステップと、モニタ基板上の多層膜の分光光学特性を測定する分光光学測定ステップ、および測定された光学膜厚および／または分光光学特性から、基材上に形成される多層膜の残りの各層の厚みを再設定する再設定ステップを含む成膜方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】薄膜全体の光学特性を確実に向上させる。
【解決手段】２層以上の層を積層した光学的な薄膜を形成するための薄膜形成方法が開示されている。当該方法では、形成しようとする薄膜の設計条件を設定する工程Ｓ１と、前記設計条件に基づき、仮薄膜を形成する工程Ｓ２と、前記設計条件中の設計値と前記仮薄膜の実測値との間で光学特性のズレを算出する工程Ｓ３と、前記光学特性のズレ量に基づき、前記仮薄膜の各層のうち、前記光学特性のズレに大きな影響を及ぼす層又はその組合せを特定し、特定した層の前記設計条件を変更する工程Ｓ５，Ｓ６と、変更後の前記設計条件に基づき、本薄膜を形成する工程Ｓ９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プラスチック基材と、プライマー層およびハードコート層を含んで構成され、干渉縞がほとんど生じない光学物品およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】プラスチックレンズ１は、プラスチック基材１０と、その上面に形成されたプライマー層１１ａと、その上面に形成されたバインダー層１１ｂと、その上面に形成されたハードコート層１２と、その上面に形成された反射防止層１３とを備え、バインダー層１１ｂの屈折率は、プライマー層１１ａとハードコート層１３のいずれの屈折率よりも低く、該プラスチックレンズ１表面における色相角の変動幅が５度以内である。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影対物系、投影露光装置、及び半導体構成要素及び他の微細構造化構成要素を製造する方法を提供する。
【解決手段】物体平面の物体視野を像平面の像視野上に結像するためのマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系は、物体視野を第１の実中間像上に結像する第１の部分対物系、第１の中間像を第２の実中間像上に結像する第２の部分対物系、及び第２の中間像を像視野上に結像する第３の部分対物系を含む。第２の部分対物系は、厳密に１つの凹ミラー及び少なくとも１つのレンズを有する反射屈折対物系である。第１の折り返しミラー及び第２の折り返しミラーが設けられる。第２の部分対物系のレンズの少なくとも１つの面は、０．２％よりも低い反射率を有する。代替的又は追加的に、第２の部分対物系のレンズの全ての面は、周縁光線同心からのずれが２０°よりも大きいか又はそれに等しいように構成される。 （もっと読む）

【課題】帯電防止性の良好な層を形成できる光学物品の製造方法を提供する。
【解決手段】光学基材の上に、直にまたは他の層を介して透光性の第１の層を形成する工程と、チタン、ニオブ、チタンの酸化物およびニオブの酸化物からなる群から選ばれる少なくとも１つの組成をイオンアシスト蒸着することにより、第１の層の表層の少なくとも一部を低抵抗化する工程とを有する光学物品の製造方法を提供する。チタン−ニオブ系でありながら高温プロセスを用いずに表面の電気抵抗を下げることができ、また、高価なインジウムを用いずに表面の電気抵抗を下げることができる。 （もっと読む）

【課題】優れた耐擦傷性を有する反射防止層および、その製造方法、さらには、該反射防止層が形成されたプラスチックレンズを提供する。
【解決手段】本発明の光学物品は、基材上に反射防止層を備えた光学物品の製造方法であって、前記反射防止層の、最も基材側にある層を低屈折率層とし、低屈折率層と高屈折率層とを交互に蒸着により７層形成する蒸着工程を備え、前記蒸着工程は、設計主波長λ₀を４８０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の範囲として、前記最も基材側にある低屈折率層の光学膜厚をλ₁としたときに、０．７λ₀≦λ１≦１．２λ₀の範囲に蒸着する工程と、前記高屈折率層をイオンアシスト蒸着により蒸着する工程とを含む、ことを特徴とする光学物品の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ゴーストやフレアをより低減させ、良好な光学性能を達成することができるコンバータレンズ及びこれを有する光学装置を提供する。
【解決手段】 マスタレンズＭＬの像側に装着して用いられ、着脱可能なコンバータレンズＣＬであって、少なくとも、正レンズと、負レンズと、正レンズとからなる正屈折力の接合レンズ（図１ではレンズＬ３〜Ｌ５からなる接合正レンズ）を有し、前記コンバータレンズＣＬを構成する光学面のうち少なくとも１面（図１では面番号３０，３６）は、ウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んだ反射防止膜が施されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造可能であり、屈折率１．９以上の基板に適用しても良好な反射防止特性を発揮する反射防止膜を提供する。
【解決手段】光学ガラスからなる屈折率１．９以上の光学ガラス基板１００上に、薄膜が５層以上の奇数層積層されて形成された反射防止膜１０は、薄膜のうち、光学ガラス基板１００側から数えた第１層１及び第３層３は、屈折率１．５以下の物質からなり、光学ガラス基板１００側から数えた第２層２は、屈折率１．８以上の物質からなり、反射防止膜１０の設計波長をλとするとき、第１層１の光学膜厚は、（0.1〜0.20）×λ/４、第２層２の光学膜厚は、（0.7〜1.0）×λ/４、第３層３の光学膜厚は、（0.1〜0.32）×λ/４にそれぞれ設定されている。 （もっと読む）

【課題】 ゴーストやフレアをより低減させることができる、高い光学性能を備えたコンバーターレンズ及びこのコンバーターレンズを有する光学装置を提供する。
【解決手段】 撮影レンズＢ１の物体側（もしくは像面側）に装着して用いられるコンバーターレンズＡ１において、前記コンバーターレンズＡ１を構成するレンズ成分（図１ではレンズＬ１，Ｌ２）における光学面のうち少なくとも１面（図１では面番号２，３）は、ウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んだ反射防止膜が施されている。 （もっと読む）

【課題】使用する環境の湿度が変化した場合においても反射防止性能の変動・劣化が小さい反射防止膜、及びその反射防止膜を用いた光学素子を提供する。
【解決手段】基板上に、順に第１層〜第８層を積層してなる反射防止膜であって、波長400〜680 nmにおいて、基板の屈折率が1.43〜2.11であり、第１、３、５、７層が屈折率1.9〜2.6の高屈折率材料膜からなり、第２、４、６層が屈折率1.37〜1.47の低屈折率材料膜からなり、第８層が屈折率1.20〜1.30の超低屈折率材料膜からなり、第１層の光学膜厚が10〜160 nm、第２層の光学膜厚が2〜70 nm、第３層の光学膜厚が60〜140 nm、第４層の光学膜厚が2〜30 nm、第５層の光学膜厚が135〜180 nm、第６層の光学膜厚が30〜40 nm、第７層の光学膜厚が40〜60 nm、第８層の光学膜厚が120〜150 nmであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射防止性を損なわず、透過性に優れ、そして帯電防止性能を有して、汚れや埃の付着を抑え、傷が付き難い光学部材、あるいは当該光学部材を形成可能な製造方法を提供する。
【解決手段】光学部材は、真空度調節用の酸素ガスを導入した真空チャンバ内で不足当量酸化チタンを蒸着することにより形成された不足当量酸化チタン膜を備えており、前記真空チャンバ内での成膜時圧力ｐ（Ｐａ）と前記不足当量酸化チタン膜の光学膜厚（屈折率２．５０、設計中心波長５００ｎｍ）が、（１）ｐ≧０．００５、（２）光学膜厚≦０．５００λ、（３）光学膜厚≧（０．００１ｅｘｐ（９０５．７３ｐ）−０．０５０）λ、ｅｘｐは自然対数の底ｅを底とする指数関数、という関係を有する。 （もっと読む）