【課題】反射防止膜の広帯域化を図るとともに、光学素子を量産した際に反射防止膜の透
過率特性のバラツキを低減した広帯域反射防止膜を提供することを目的とする。
【解決手段】広帯域反射防止膜６は、基板７に７層からなる薄膜を積層した構造である。
薄膜を構成する薄膜材料としては、基板７に対して付着性の強いことが知られているＭｇ
Ｆ₂を第一の薄膜８の材料として成膜する。更に、以降、広帯域反射防止膜６は、第一の
薄膜８の表面から順に、第二の薄膜９の材料として、Ｈ₄（ＬａとＴｉＯ₂の混合物である
）を成膜しており、第三の薄膜１０の材料として、ＭｇＦ₂を成膜しており、第四の薄膜
１１の材料として、Ｈ₄を成膜しており、第五の薄膜１２の材料として、ＭｇＦ₂を成膜し
ており、第六の薄膜１３の材料として、Ｈ₄を成膜しており、第七の薄膜１４の材料とし
て、ＭｇＦ₂を成膜している。 （もっと読む）

【課題】短波長の露光光に対して良好な耐光性を有し、反射防止膜を備えた光学素子及びそれを有する露光装置を提供する。
【解決手段】１５０ｎｍ〜２５０ｎｍの波長域に中心波長を有する光を透過する基板と、当該基板上に形成され、ｎを３以上の整数とするｎ層膜からなる反射防止膜とを有する光学素子であって、前記基板から数えて第ｎ−２層目が高屈折率材料から構成され、第ｎ−１層目がＡｌＦ_３を含む非結晶性材料から構成され、第ｎ層目が低屈折率材料から構成され、前記高屈折率材料及び前記低屈折率材料は結晶材料を含むことを特徴とする光学素子を提供する。 （もっと読む）

【課題】スパッタ法によっても、低反射率の反射防止特性を有し、蒸着法に近い成膜時間で加工することが可能となる反射防止膜を提供する。
【解決手段】反射防止膜の基準波長をλ０としたとき、基板側から高屈折率膜で始まり、高屈折率膜と低屈折率膜を交互に１０層を積層した反射防止膜をつぎのように構成する。すなわち、前記高屈折率膜のλ０における光学膜厚の合計膜厚を、全層のλ０における光学膜厚の総合計膜厚の５５％以下に構成する。 （もっと読む）

【課題】反射防止効果が極めて高いことにより、優れた透過率特性を有し、フレアやゴースト等の発生の少ない反射防止膜及びこれを用いた光学部品を提供すること。
【解決手段】基板上に、第１層〜第５層を前記基板側からこの順に積層してなる反射防止膜であって、波長400〜700 nmの光において、
前記基板の屈折率が1.35〜2.05であり、
前記第１層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.5〜60 nmであり、
前記第２層の屈折率が1.30〜1.65、光学膜厚が20〜170 nmであり、
前記第３層の屈折率が1.85〜2.45、光学膜厚が0.5〜70 nmであり、
前記第４層の屈折率が1.30〜1.65、光学膜厚が20〜190 nmであり、
前記第５層の屈折率が1.05〜1.30、光学膜厚が100〜150 nmであることを
特徴とする反射防止膜。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィック投影照明システムが、反射率を低減または増加させるために反射防止コーティング（３２）または反射コーティングを支持する光学エレメント（３６）を含む。本発明によれば反射防止コーティングが、相互に直交する偏光状態（４２ｐ，４２ｓ）に対する反射防止コーティングの透過係数の互いの相違が７０°の入射扇形の角度にわたって１０％を超えない、好ましくは３％を超えない、より好ましくは１％を超えない態様で設計される。同じことが反射コーティングの反射係数に適用される。中間の透過または反射係数のより大きな角度依存によって引き起こされる誤りおよび位相に対する効果を補正するために、この投影照明システムは、強度を均質化または分配するための手段（５０）を含み、好ましくはそれが、視野平面または瞳平面内またはそれらの近傍に配置される。 （もっと読む）

【課題】 高い反射防止能を有し、屈曲耐性に優れ、かつ高温高湿下で長期間にわたり保存した際の密着性が向上した光学フィルムを提供する。
【解決手段】 透明高分子フィルム基材に金属酸化物層を有する光学フィルムであって、該金属酸化物層は、同一の金属元素からなり、屈折率が周期的に変化する多層構造を有していることを特徴とする光学フィルム。 （もっと読む）

【課題】 最表面に入射する光の反射率を低減することができ、位相板または偏光分離素子などの製品に利用することができる素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】 凹凸が周期的に形成された基板の表面上に屈折率の異なる複数の誘電体膜が周期的に積層されている素子であって、基板の凹凸の周期に対する各誘電体膜の突出高さの比である各誘電体膜のアスペクト比（各誘電体膜の突出高さ／基板の凹凸の周期）が基板側から素子の最表面側に向かって順次減少している素子とその素子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に互いに層数の異なる多層膜を形成した場合に、各多層膜を構成する高屈折率層および低屈折率層の総層数を低減しつつ、基板に反りが生じるのを防止するとともに、所望の光学特性を得ることができる光学素子、および、この光学素子を備える光学装置を提供すること。
【解決手段】 光透過性を有する第１の基板２と、第１の基板２の一方の面に、高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数積層されてなる第１の反射膜２５と、第１の基板２の他方の面に、第１の反射膜の層数よりも少ない層数で、高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数積層されてなる第１の反射防止膜２６とを有し、第１の反射防止膜２６は、その光学特性を損なわない範囲で、第１の反射防止膜２６を構成する複数の層のうちの少なくとも１層の厚さを大きくして、第１の反射膜２５全体に生じる内部応力と第１の反射防止膜２６全体に生じる内部応力とをほぼ釣り合わせている。 （もっと読む）

【課題】 反射率を大幅に下げることが可能な低反射パターン膜を提供する。
【解決手段】 石英基板の上に、第１の酸化クロム層（厚さ４０ｎｍ）、第１のクロム層（厚さ２００ｎｍ）、第２の酸化クロム層（厚さ５７ｎｍ）、第２のクロム層（厚さ１０ｎｍ）、第３の酸化クロム層（厚さ６９ｎｍ）をこの順に積層し、エッチングによりピンホールパターンを形成した後、その上にフッ化マグネシウム層（厚さ１０１ｎｍ）を積層した。その結果、530ｎｍから590ｎｍの波長に対する表面反射率が0.5％以下で光学濃度が４以上であり、かつ、偏光特性のない低反射パターン膜が得られた。 （もっと読む）

【課題】 一般的な成膜装置を用いた場合でも、安価に所望の膜厚を有する多層膜を高精度で成膜できるようにする。
【解決手段】 開示される多層膜の成膜方法は、光学基板２上に、高屈折率膜４ａをその設計上の膜厚を制御膜厚として成膜する第１層成膜工程と、成膜された膜上に、低屈折率膜５ａ又は５ｂ、高屈折率膜４ａ又は４ｂを低屈折率膜５ａ又は５ｂあるいは高屈折率膜４ａ又は４ｂの設計上の膜厚の所定の割合の膜厚を制御膜厚として成膜する上層成膜工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】 光学部品の設計に基づくシミュレーション結果と成膜結果とがマッチングする多層膜の層数及び層構造と提供する。
【解決手段】 開示される光学部品である反射ミラー１は、光学基板２上に、高屈折率膜４ａ，４ｂと低屈折率膜５ａ，５ｂとの対を２２層〜３０層積層するとともに、最上層を低屈折率膜５ａとし、かつ、最上層としての低屈折率膜５ａの物理膜厚を１００ｎｍ〜１２７ｎｍとした多層膜３が成膜されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】 光学特性を劣化させることなく、ほぼ同形状した複数の光学素子を簡単に識別することができる光学ブロックを提供すること。
【解決手段】 ほぼ同形状した複数の光学素子１２、１３を接合してなる光学ブロック１１であって、各光学素子１２、１３にはその表面の反射率を低減する反射防止膜１２２ａ、１３２ａが形成されるとともに、各光学素子１２、１３の反射防止膜１２２ａ、１３２ａの色が異なる。 （もっと読む）

【課題】
表面反射率が低く、防眩性を有し画面のぎらつきを抑え色目がニュートラルな反射防止フィルム、およびそれを組み込んだ画像表示装置を提供する。
【解決手段】
本発明の反射防止フィルムは、０．３μｍ以上の膜厚を有し屈折率が１．６２以下であるＡ層および、屈折率がＡ層より低く、かつ１．４２以下であるＢ層の少なくとも２層が、Ｂ層よりＡ層の方が基材フィルムに近い位置で積層されている反射防止フィルムであって、該反射防止フィルムのヘイズが１．６〜３０．０％でありかつ波長４００〜７００ｎｍにおける表面反射スペクトルが次の３条件を全て満たすことを特徴とするものである。 （１）最低反射率が０．６％以上、２．０％以下であり、 （２）最高反射率が３．５％以下であり、 （３）最高反射率と最低反射率の差が２．５％以下である。 （もっと読む）

【課題】反射防止性能を有するだけでなく、吸収が少なく、耐摩耗性及び帯電防止効果に優れた良好な光学部材を提供すること。
【解決手段】プラスチック基材と、真空蒸着で形成された多層反射防止膜とを有する光学部材であって、該多層反射防止膜中の少なくとも１層が、炭化金属、窒化金属、及び炭・窒化金属から選ばれる1種以上の無機物質よりなる帯電防止層である光学部材とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化した場合であっても、密着強度等に関する膜の信頼性を維持しつつ、波面精度等の光学部品として必要な性能を得ることができる光学部品、この光学部品を有する光ヘッド及びこの光ヘッドを用いて光ディスク等の光記録媒体にデータの記録又は再生を行う光記録再生装置を提供する。
【解決手段】 開示される光学部品は、光学基板２上に、１８０〜２２０ＭＰａの引張応力を有する高屈折率膜４と、−２２０〜−２６０ＭＰａの圧縮応力を有する低屈折率膜５との対を複数積層した多層膜３が成膜されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】耐熱性の向上した光学多層膜を有するプラスチック製光学部品およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】光学多層膜４において、低屈折率層５，７，９に圧縮応力を有する二酸化ケイ素を使用する。ここで、高屈折率層６，８としてチタン酸ランタンを含む層を圧力１×１０^−２Ｐａ未満の雰囲気中で通常の真空蒸着で形成すると、高屈折率層６，８についても圧縮応力を有する。つまり、反射防止膜４全体で圧縮応力を持たせることができる。したがって、高温でプラスチックの基材２が膨張しても、無機材料からなる反射防止膜４の圧縮応力により、各層の圧縮応力が開放されながら反射防止膜４は膨張することができ、反射防止膜４は基材２に十分追従しながら膨張する。その結果、反射防止膜４にクラックが生じる温度を高くでき、耐熱性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】 光の透過率を低下させることなく、従来と比較して耐久性を向上させる。
【解決手段】 １３００〜１６００ｎｍの波長域中、少なくとも２波長の光を透過させるレンズ５に備えられる反射防止膜６は、２つの高屈折率層６０，６２と、高屈折率層６０，６２よりも屈折率の低い２つの低屈折率層６３，６５と、高屈折率層６０，６２及び低屈折率層６３，６５に対して異なる組成を有し、当該高屈折率層６０，６２または当該低屈折率層６３，６５に隣接する２つの補助層６１，６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ耐光性及び耐環境性の向上を図る。
【解決手段】樹脂組成物からなる基材２の上面に、隣接する薄膜と屈折率が異なるように積層された主成分を同一とするアンダーコート４における複数の薄膜４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを、膜厚が３００〜５００ｎｍの範囲内で形成し、形成されたアンダーコート４の上面に、複数の薄膜５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄからなる反射防止膜５を形成する。 （もっと読む）

【課題】組成物を塗布して得られる１の塗膜から２以上の層を形成できる積層体の製造方法及びそれにより得られる積層体を提供する。
【解決手段】基材と、その上に多層構造を有する積層体の製造方法であって、 前記基材上又は基材上に形成された層の上に、下記成分（Ａ）〜（Ｄ）を含む紫外線硬化性樹脂組成物を塗布して塗膜を形成し、 この１の塗膜から溶媒を蒸発させることにより、２以上の層を形成することを特徴とする積層体の製造方法。［紫外線硬化性樹脂組成物］ （Ａ）金属酸化物粒子 （Ｂ）エチレン性不飽和基含有含フッ素重合体 （Ｃ）（Ｂ）エチレン性不飽和基含有含フッ素重合体に対する溶解性が高い溶剤 （Ｄ）（Ａ）金属酸化物粒子に対する分散安定性が高く、かつ、（Ｃ）の溶剤と相溶性である溶剤 かつ、（Ｃ）の溶剤の相対蒸発速度が、（Ｄ）の溶剤の相対蒸発速度よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 広い入射角度の光に対して優れた反射防止特性を有し、特に、ｓ偏光の光の反射率を低減して、優れた光学性能を達成可能な反射防止膜、当該反射防止膜を有する光学系、露光装置、並びに、デバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に施され、光の反射を防止する反射防止膜であって、前記光の入射角度範囲０度乃至６５度において、ｓ偏光の光の反射率ＲｓがＲｓ＜１．５％を満たし、前記光の入射角度範囲０度乃至５５度において、ｓ偏光及びｐ偏光の光の平均反射率ＲａがＲａ＜１．２％を満たし、前記光の入射角度範囲５５度乃至７０度において、ｓ偏光の光の反射率Ｒｓ及びｐ偏光の光の反射率ＲｐがＲｐ＞Ｒｓを満たし、前記光の入射角度６７度において、ｓ偏光の光の反射率ＲｓがＲｓ＜３％を満たし、前記光の波長に対する屈折率が１．３５乃至２．２、且つ、消衰係数が３×１０^−４以下の材料のみで構成されることを特徴とする反射防止膜を提供する。 （もっと読む）