【課題】汎用の製造設備を用いて製造可能なフッ化物からなる光学薄膜であって、波長２００ｎｍ以下において高屈折率を示す、緻密な構造の光学薄膜および光学薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】光学薄膜は、ランタンとガドリニウムのフッ化物を含み、前記ランタンと前記ガドリニウムの合計モル数に対する前記ガドリニウムのモル数の比が０．０１〜０．９５である。光学薄膜の製造方法は、基板を用意することと、ランタンとガドリニウムの合計モル数に対する前記ガドリニウムのモル数の比が０．１〜０．９５となるように、フッ化ランタンとフッ化ガドリニウムを混合した蒸着原料を用意することと、前記基材上に前記蒸着原料を蒸着することを含む。 （もっと読む）

【課題】低屈折率膜を有する光学素子を低コストで製造する。
【解決手段】低屈折率膜と高屈折率膜を交互に積層した多層膜を有する光学素子の製造工程において、ターゲットユニット１００を用いたスパッタ成膜装置により、基体１０１上に充填率０．８４以下の低屈折率材料からなる多孔質膜を成膜する。この多孔質膜を、５０℃以下の液体に浸すことで、屈折率を低減する。簡単な工程で、より低い屈折率の低屈折率膜を形成することで、低コストで高品質な光学素子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】諸収差が良好に補正され、ゴースト、フレアの少ない、高い光学性能を持つレンズ系、及びこれを有する光学装置を提供すること。
【解決手段】光軸に沿って物体側から順に、第１レンズ群Ｇ１と正屈折力の第２レンズ群Ｇ２とを有するレンズ系において、第１レンズ群Ｇ１は、正屈折力の第１１サブレンズ群ＧＳ１１と負屈折力の第１２サブレンズ群ＧＳ１２とから構成され、第１２サブレンズ群ＧＳ１２は、物体側に凸面を向けたメニスカス形状のレンズを有し、所定の条件を満足し、第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むように構成されるレンズ系。 （もっと読む）

【課題】青色レーザ光を使用する光情報記録再生用光学系において、反射防止膜が設けられた光学素子の光学面に発生する微細な形状変化を防止する。
【解決手段】樹脂製の光学素子及び対物レンズを有する光情報記録再生用光学系が提供される。光学素子及び対物レンズの基材に高温耐久性の高い材料を用いて、かつ前記光学素子及び対物レンズの光学面に設けられる反射防止膜は、光触媒作用を有する化合物を与える元素を含まない材料のみから構成される。 （もっと読む）

【課題】金属・金属酸化物の酸化による光減衰膜の分光特性の変化を抑制することにより、分光特性を安定させたＮＤフィルタを得る。
【解決手段】透明基板２１上に、第１、３、５、７、９層として誘電体層のＡｌ₂Ｏ₃膜２２、第２、４、６、８、１０層として光吸収層のＴｉ_xＯ_y膜２３とを交互に積層した光減衰膜を設け、第１０層のＴｉ_xＯ_y膜２３上に、第１１層として水蒸気バリア層として機能するＳｉ₃Ｎ₄膜２４を積層し、更に最表層に反射防止膜であるＭｇＦ₂膜２５を成膜し、計１２層から成るＮＤ膜２６を形成している。Ｓｉ₃Ｎ₄膜２４により水蒸気等の浸入を防止し、光吸収層のＴｉ_xＯ_y膜２３の劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】 金属フッ化物エキシマ光学素子の表面形成を改良する。
【解決手段】 ２５０ｎｍ未満の電磁放射線を用いる光学リソグラフィシステムにおいて用いるのに適した、コーティングされたアルカリ土類金属フッ化物単結晶の光学素子は、電磁放射線が入射および出射する素子の表面上に選択されたコーティング材料を有する成形された金属フッ化物単結晶を具備し、かつ０．１〜０．４ｎｍの範囲の表面粗さを有する。コーティングが、そのコーティング材料を施す前に多結晶のＣａＦ_２準ビールビー層が除去された表面上にあり、コーティング材料は、最終研磨前に、そのコーティング材料の下にある、準ビールビー層が除去されたアルカリ土類金属フッ化物単結晶の上面粗さを複製する。 （もっと読む）

【課題】
低屈折率である組成物を供給すると伴に、常温・常圧にて低屈折率膜を形成でき、充分な機械強度を有する低屈折率膜及び反射防止膜を提供する。
【解決手段】
ボラジン系ポリマー又はボラジン珪素系ポリマーを母材とし、粒子径が５０ｎｍ以下のフッ化マグネシウムが１乃至９０重量％含まれる事により上記課題を解決した低屈折率組成物が提供可能となる。また、常温・常圧にて低屈折率膜が形成可能であり、透明基板上に形成する事で充分な機械強度を有する反射防止膜が提供可能となる。 （もっと読む）

【課題】基材上に多層膜を形成する際に、より高精度な膜厚制御が可能な成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】基材上に多層膜を形成する成膜方法であって、前記多層膜の膜原料源を備える真空槽の内部に、基材と、基材上に形成される多層膜をモニタリングするためのモニタ基板とを配置する配置ステップと、真空中で膜原料源にエネルギーを付与して、基材上に膜原料を堆積させて多層膜のうちの３層以上の層を形成するとともに、モニタ基板上に、単層膜および、複数の互い異なる層構成の多層膜を同時に形成する形成ステップと、形成ステップにおいて、単層膜の光学膜厚を測定する光学膜厚測定ステップと、モニタ基板上の多層膜の分光光学特性を測定する分光光学測定ステップ、および測定された光学膜厚および／または分光光学特性から、基材上に形成される多層膜の残りの各層の厚みを再設定する再設定ステップを含む成膜方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ダイシングによりコーティング層が剥離することを防止できる光学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基材１１上にコーティング層１６が形成された光学素子の製造方法において、親基材１の裏面にダイシングシート２を貼着し、前記親基材１の表面側をダイシングして複数の前記基材１１に分割するダイシング工程と、前記ダイシング工程を行なった後、前記ダイシングシート２に貼着された複数の前記基材１１の表面に前記コーティング層１５を成膜する成膜工程と、前記コーティング層１５が成膜された複数の前記基材１１を、前記ダイシングシート２から剥離するピックアップ工程とを備えること構成とする。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影対物系、投影露光装置、及び半導体構成要素及び他の微細構造化構成要素を製造する方法を提供する。
【解決手段】物体平面の物体視野を像平面の像視野上に結像するためのマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系は、物体視野を第１の実中間像上に結像する第１の部分対物系、第１の中間像を第２の実中間像上に結像する第２の部分対物系、及び第２の中間像を像視野上に結像する第３の部分対物系を含む。第２の部分対物系は、厳密に１つの凹ミラー及び少なくとも１つのレンズを有する反射屈折対物系である。第１の折り返しミラー及び第２の折り返しミラーが設けられる。第２の部分対物系のレンズの少なくとも１つの面は、０．２％よりも低い反射率を有する。代替的又は追加的に、第２の部分対物系のレンズの全ての面は、周縁光線同心からのずれが２０°よりも大きいか又はそれに等しいように構成される。 （もっと読む）

【課題】４００〜１２００ｎｍの幅広い領域で高い光透過率を有し、基材との接着強度が強く、耐候性に優れ、親水性で防汚性がよく、帯電防止機能を有し、しかもコスト的に安価な親水性低反射部材を提供する。
【解決手段】透明基板と、該透明基板上に形成される低反射膜を有する低反射部材であって、該低反射膜が、粒子径５〜５００ｎｍの水酸化フッ化マグネシウム超微粒子を含むことを特徴とする親水性低反射材料。さらに屈折率調整剤として金属酸化物を混合することにより、長波長領域での透過性が改善され、４００〜１２００ｎｍの幅広い波長領域において高い透明性を示す。 （もっと読む）

本発明は、マイクロミラー構成体（１）であって、ミラー基板（２）に形成される反射面（１１）を有する少なくとも１つのマイクロミラー（３）と、反射面（１１）内でミラー基板（２）に形成される反射コーティング（８）とを備えるマイクロミラー構成体（１）に関する。反射コーティング（８）は、反射面（１１）内に形成され、少なくとも２つの層サブシステムを有し、第１層サブシステムは、非金属材料から構成される交互の光屈折率層及び低屈折率層の周期的配列から構成される層（８ｅ，８ｆ）を有し、マイクロミラー構成体の使用波長に関する反射率に関して最適化され、第２層サブシステムは、マイクロミラー構成体の測定波長に関する反射率に関して最適化され、上記測定波長は使用波長からずらしたものである。本発明は、コーティングを作製する方法であって、コーティングは反射コーティング（８）及び反射防止コーティング（７）を含む方法にも関する。この場合、反射防止コーティング（７）は、特に反射コーティング（８）の層応力を補償する役割を果たす。 （もっと読む）

【課題】 ゴーストやフレアをより低減させ、良好な光学性能を達成することができるコンバータレンズ及びこれを有する光学装置を提供する。
【解決手段】 マスタレンズＭＬの像側に装着して用いられ、着脱可能なコンバータレンズＣＬであって、少なくとも、正レンズと、負レンズと、正レンズとからなる正屈折力の接合レンズ（図１ではレンズＬ３〜Ｌ５からなる接合正レンズ）を有し、前記コンバータレンズＣＬを構成する光学面のうち少なくとも１面（図１では面番号３０，３６）は、ウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んだ反射防止膜が施されている。 （もっと読む）

【課題】同一の成膜材料を用いて繰り返し成膜を行った場合でも、各対象物における成膜速度を均一化することのできる成膜装置を提供する。
【解決手段】ターゲット１０１の表面に対向するように配置され、基板１００を設置する基板ホルダ６と、基板１００上の成膜環境を測定可能なセンサ部８とを備え、対象物ホルダ６は、ターゲット１０１に対して移動可能に構成されるとともに、基板ホルダ６の移動量及び移動方向と、センサ部８の移動量及び移動方向とが同一に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 耐擦傷性、耐摩耗性が良好な硬化物を得ることができる硬化性樹脂組成物、該樹脂組成物を硬化して得られるハードコート層を有する光学フィルムを提供すること。
【解決手段】無機微粒子（ａ）、無機微粒子（ｂ）及び硬化性樹脂（ｃ）を含有する硬化性樹脂組成物であり、無機微粒子（ａ）は、６以上のモース硬度、１０μｍ以下の平均粒子径を有し、無機微粒子（ｂ）は、５未満のモース硬度、１０μｍ以下の平均粒子径を有し、無機微粒子（ａ）のモース硬度と無機微粒子（ｂ）のモース硬度との積が、６以上、４０未満であり、硬化性樹脂組成物中の無機微粒子（ａ）と無機微粒子（ｂ）との合計の含有量が、０．０１〜６０重量％であり、無機微粒子（ａ）と無機微粒子（ｂ）との混合比が、１：０．００１〜１：１０であり、硬化性樹脂（ｃ）は、熱硬化性樹脂または活性エネルギー線硬化性樹脂であることを特徴とする硬化性樹脂組成物による。 （もっと読む）

【課題】同一の成膜材料を用いて繰り返し成膜を行った場合でも、各対象物における膜厚を均一化することのできる成膜装置を提供する。
【解決手段】ターゲット１０１を用いて基板１００の表面に成膜を行う成膜装置１は、ターゲット１０１が載置される載置面を有する材料設置部４と、基板１００を材料設置部４に載置されたターゲット１０１に対向させて支持する基板ホルダ６と、基板ホルダ６の材料設置部４に対向する面の第一の領域及び第二の領域の成膜環境を測定可能に配置されたセンサ部８と、センサ部８の測定結果に基づいて第一の領域及び第二の領域の成膜環境を比較し、両者の差が所定値以上であるときに材料設置部４と基板ホルダ６との位置関係を変化させるよう制御する制御部１０とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ゴーストやフレアをより低減させることができる、高い光学性能を備えたコンバーターレンズ及びこのコンバーターレンズを有する光学装置を提供する。
【解決手段】 撮影レンズＢ１の物体側（もしくは像面側）に装着して用いられるコンバーターレンズＡ１において、前記コンバーターレンズＡ１を構成するレンズ成分（図１ではレンズＬ１，Ｌ２）における光学面のうち少なくとも１面（図１では面番号２，３）は、ウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んだ反射防止膜が施されている。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトで高変倍でありながら、ゴーストやフレアを低減させ、良好な光学性能を達成することができる、変倍光学系、この変倍光学系を有する光学機器、及び、変倍光学系の製造方法を提供する。
【解決手段】 デジタル一眼レフカメラ１等に搭載される変倍光学系ＺＬであって、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、負の屈折力を有する第４レンズ群Ｇ４と、正の屈折力を有する第５レンズ群Ｇ５とを有する。これらレンズ群の中のいずれかのレンズ群の少なくとも一部を光軸と略垂直方向の成分を持つように移動させ、広角端状態から望遠端状態まで変倍する際には各レンズ群の間隔が変化するように構成し、第１レンズ群Ｇ１及び第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面にはウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んだ反射防止膜が施されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造可能であり、屈折率１．９以上の基板に適用しても良好な反射防止特性を発揮する反射防止膜を提供する。
【解決手段】光学ガラスからなる屈折率１．９以上の光学ガラス基板１００上に、薄膜が５層以上の奇数層積層されて形成された反射防止膜１０は、薄膜のうち、光学ガラス基板１００側から数えた第１層１及び第３層３は、屈折率１．５以下の物質からなり、光学ガラス基板１００側から数えた第２層２は、屈折率１．８以上の物質からなり、反射防止膜１０の設計波長をλとするとき、第１層１の光学膜厚は、（0.1〜0.20）×λ/４、第２層２の光学膜厚は、（0.7〜1.0）×λ/４、第３層３の光学膜厚は、（0.1〜0.32）×λ/４にそれぞれ設定されている。 （もっと読む）

【課題】基材に成膜時の熱による変形の影響を受け難く、反射率が低く複屈折の少ない透明樹脂基板を用いることにより、複屈折と反射率の双方の問題を低減した光学フィルタを得る。
【解決手段】光学フィルタの透明樹脂基板２１として、ガラス転位温度が１２０℃以上、屈折率が１．６以上、リタデーション値が３０ｎｍ以下のフルオレン構造を有するポリエステル樹脂を用いる。そして、この基板２１上にＮＤ膜３１と反射防止膜３２を積層することによりＮＤフィルタ１０を形成する。 （もっと読む）