【課題】簡便な構成でテープ状清掃材の送りを正しく行え、洗浄剤を必要部分に確実に塗布することができるガラス基板のクリーニング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板の縁部の表面付着物をワイパテープ１０によって除去するガラス基板のクリーニング装置において、供給リール１１Ａからワイパテープ１０を回転駆動される送りローラ１５と従動ローラ１６を備えたテープ送り機構１２Ａによって引き出して楔形状の押圧子８Ａ，８Ｂを周回させ、ここでワイパテープ１０をガラス基板の縁部に押しつけてクリーニングを行う。押圧子８Ａ，８Ｂはチャック機構により開閉駆動され、チャック機構は板バネから成るチャック支持手段により所定の高さ位置に弾性的に支持される。 （もっと読む）

【課題】 口金部に付着した塵埃を効果的、かつ確実に清掃することができる。
【解決手段】 有底円筒状をなし、一端側に口金部が形成された缶の清掃装置１おいて、口金部に接触可能に支持された布２１と、口金部に対して布２１を相対移動させる移動機構２０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ＡＬＣ板とパレットの両方を洗浄可能とする洗浄システムを提供するものである。
【解決手段】 本発明の洗浄システム１は、多孔質板（ＡＬＣ板２）を掴むワークチャック部８を備え、このワークチャック部８の昇降を可能とし、その本体が走行レール９に沿って走行可能に構成された移送機６と、パレット４を走行レール９方向に搬送する搬送ローラ５と、走行レール９の途中に設けられ、洗浄ブラシ１５，１８により前記ＡＬＣ板２と前記パレット４を洗浄する洗浄装置７とを備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、フェルトの交換が容易な汚れ拭取り装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ノズル等のための汚れ拭き取り装置は、汚れを拭取るエンドレスタイプのフェルトと、フェルトを移動可能に保持する一対の保持部であって、組立時に対の保持部の間にノズル等を挿入可能である保持部と、保持部を取付け取外し可能で且つ揺動可能に支持するベース部と、フェルトを保持部において移動させる第１の駆動部と、保持部を揺動開閉する第２の駆動部とを具備する。各保持部は、ベースとなる保持部本体と、両端にフェルトを支持するシャフトとを具備しており、第１の駆動部には直線状の溝が形成されており、保持部本体には、一方はテーパー状に他方は傾斜した平行状のカム溝が対で形成されており、各シャフトには平行面を有する突起を設け、第２の駆動部には丸ピンの突起が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 小型で、被洗浄物の汚れをきれいに落とすことができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 この洗浄装置は、大根Ｓの葉側を挟持して回転させながら搬送する第１コンベア１１および第２コンベア１２と、大根Ｓの搬送方向に略沿って配置されると共に大根Ｓの根側に接触する回転ブラシ２とを備える。そして、この大根Ｓを回転させつつ洗浄することができて、大根Ｓをきれいに洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＤの薄型化を可能にする実用的な技術を提供する。
【解決手段】 一対のガラス基板１の一方に電極１１を形成してガラス基板１をシール材１２を介して貼り合わせ、内部を封止した後、ガラス基板１の外面を機械研磨して厚さを薄くする。ノズル４に対して相対的に機械的に移動させながら、フッ酸より成る溶出液Ｌをノズル４からガラス基板１の外面に向けて噴射し、自重による加速度より大きな加速度を付けて０．５ｋｇ／ｃｍ^２〜３．５ｋｇ／ｃｍ^２の範囲で圧力で外面に吹き付ける。外面は溶出液Ｌにより溶出され、溶出液の衝撃による物理的作用を利用して外面が研磨される。 （もっと読む）

【課題】
回転ブラシを使用してシャワー洗浄を行うディスク洗浄装置の洗浄効率を向上させることができるディスク洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、洗浄対象となるディスクを表裏両面から狭持して回転させる一対の第１の回転ブラシと、第１の回転ブラシを回転駆動する駆動機構と、ディスクを回転可能にチャックするチャック機構と、ディスクを表裏両面から狭持して第１の回転ブラシによるディスクの回転に対して負荷を与える一対の第２の回転ブラシとを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 ワークに対するブラシの接触状態をチェックする機能を設けることにより、接触状態チェックの確実性を高め、また、必要なときにのみメンテナンスを行なうことで、洗浄能力低下による不良品を出さずに、効率的に洗浄精度を維持することが可能なスクラブ洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ブラシ２０２の接触状態をチェックするためのチェック用ワーク１０５を洗浄対象ワーク１０１に換えてチャック部材２０１により把持し、洗浄液を供給することなく、かつ接触位置を相対移動させることなく、ブラシ２０２をチェック用ワーク１０５の表面に接触させることにより、チェック用ワーク１０５の表面に接触痕を形成する接触痕形成手段と、チェック用ワーク１０５表面の接触痕の面積及び／又は形状を検査する表面検査部１０７とを備える。 （もっと読む）

本発明は、半導体ウエハや液晶基板などの基板を回転させながら、薬液処理、洗浄処理、乾燥処理を行う基板処理装置および基板処理方法に関する。本発明はまた、半導体ウエハなどの基板を回転させながら保持する基板保持装置に係り、特に、洗浄装置やエッチング装置などに好適に使用される基板保持装置に関する。本発明の基板処理装置は、基板を回転保持する基板保持部を有し、基板を回転させて基板に流体を供給して処理を行い、前記基板保持部には前記流体を吸引する保持部吸引部が配置されている。また、本発明の基板保持装置は、基板の端部に当接して該基板を回転させる複数のローラを備え、複数のローラは基板の半径方向に沿って移動する。

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【課題】より高い精密洗浄能力を有するスピン洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄体を被洗浄物２へ照射するノズル１と、ケーシング３で且つ被洗浄物２周囲の位置に複数枚の遠心翼４を有する回転体とを備えている。ノズル１から噴射され被洗浄物２から振り飛ばされた飛沫やミスト１５を、遠心翼４の回転により該遠心翼の外側へ排出させる排出機能と、排出された飛沫やミスト１５の遠心翼４の内側への回帰を防止する回帰防止機能とを生じさせ、被洗浄物２から除去されたゴミや塗膜の除去の実行性を高めている。これにより、所定のケーシング３内で被洗浄物２を回転しこの被洗浄物２に気体や液体またはそれらの混合物から成る洗浄体を噴射することで、被洗浄物２からゴミや塗膜を除去するスピン洗浄装置において、一度除去されたゴミや塗膜を含む飛沫やミスト１５が再び洗浄面に付着することを防止する。 （もっと読む）

【課題】小型で、しかも安価でありながら、汎用性に優れた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理部ＰＳでは、それぞれが互いに異なる現像処理を施す２つの現像処理ユニット１０Ａ、１０Ｂと、現像処理された基板に超臨界乾燥処理を施す超臨界乾燥処理ユニット２０と、これらの処理ユニット１０Ａ、１０Ｂ、２０に取り囲まれるように配置された主搬送ロボット３０とが設けられている。この主搬送ロボット３０は未処理基板Ｗを受け取ると、該基板Ｗに形成されているレジスト膜の膜材料に対応する現像処理ユニットに基板Ｗを搬送する。そして、現像処理が完了すると、いずれの現像処理ユニット１０Ａ、１０Ｂで現像処理されたのかを問わず、主搬送ロボット３０は現像処理を受けた基板Ｗを超臨界乾燥処理ユニット２０にウェット搬送する。 （もっと読む）