【課題】簡単な構成で基板の外周端面の全体を均一に処理することができるとともに基板を高速に回転させることができる基板保持回転装置およびそれを備えた基板処理装置ならびに基板処理方法を提供することである。
【解決手段】保持ピン２３は、ピン固定板５１を有する。ピン固定板５１上には、ピン部材５３が設けられている。ピン部材５３は、円柱状の台座部材５４、鉛直方向に延びる棒状の軸部材５５およびローラピン５６からなる。ローラピン５６は、軸部材５５に自転自在に取り付けられている。ローラピン５６の外周面には、Ｖ字状の溝部５６ａが周方向にわたって形成されており、この溝部５６ａにより基板Ｗの外周端面が支持される。ピン固定板５１は、連結部材５７を介してリンク部５８に回転可能に取り付けられている。なお、リンク部５８は、スピンベース２２内に設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板の少なくとも一方表面の周縁領域および周端面を良好に洗浄することができ、かつ、その周縁領域における洗浄幅を容易に変更することができる、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】ブラシ１６を保持した揺動アーム１７は、ウエハＷの表面の周縁領域に対するブラシ１６の押し圧を調節するための押し圧保持機構３３を備えている。ブラシ１６は、鉛直軸線まわりに回転対称な略鼓状に形成され、中心軸線に対して４５度の傾斜角度を有して、下方ほど中心軸線に近づくように傾斜する第１洗浄面を有する。回転中のウエハＷの周縁部にブラシ１６の第１洗浄面が当接され、第１洗浄面がウエハＷの表面の周縁領域および周端面に押し付けられる。このとき、押し圧保持機構３３の働きによって、ブラシ１６の第１洗浄面は、予め設定された一定の押し圧で、ウエハＷの表面の周縁領域に押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】基板の両面の各周縁領域および周端面を洗浄することができ、かつ、各周縁領域における洗浄幅を容易に変更することができる、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、第１ブラシ８４および第２ブラシ８８を備えている。第１ブラシ８４の先端部の側面は、円錐面をなし、周縁領域１３および周端面１５に当接する洗浄面９８となっている。一方、第２ブラシ８８の先端部の側面は、円錐面をなし、周縁領域１４および周端面１５に当接する洗浄面９９となっている。第１ブラシ８４の洗浄面９８をウエハＷの表面の周縁領域１３および周端面１５に当接させて、その周縁領域１３および周端面１５を洗浄することができ、また、第２ブラシ８８の洗浄面９９をウエハＷの裏面の周縁領域１４および周端面１５に当接させて、その周縁領域１４および周端面１５を洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の厚みにかかわらず、その少なくとも一方表面の周縁領域および周端面を良好に洗浄することができる、基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】ブラシ１６は、略円板状の胴部２７と、この胴部２７の先端側の端面に接続され、先端側に向けて拡がる略円錐台状の第１周端面当接部２８とを備えている。胴部２７の先端側の端面における第１周端面当接部２８の周囲の円環帯状の部分が、基板の一方表面の周縁領域に当接する第１洗浄面２９Ａとなっている。また、第１周端面当接部２８の側面が、基板の周端面に当接する第２洗浄面２９Ｂとなっている。第１洗浄面２９Ａを基板の表面の周縁領域に押し付けるとともに、ブラシ１６の第２洗浄面２９Ｂを基板の周端面に押し付けることにより、基板の一方表面の周縁領域および周端面を同時に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】利便性に富み、かつ省スペースを実現できる食器洗い機を提供すること。
【解決手段】（イ）駆動装置と前記駆動装置に着脱可能に接続した洗浄部材とを有する１又は複数の洗浄装置本体と、（ロ）前記洗浄装置本体をシンクへ取り付ける本体設置器具とを有する食器洗い機であって、
前記本体設置器具が、
（ａ）前記洗浄装置本体を着脱可能に固定する本体設置プレート部と、
（ｂ）前記本体設置プレート部をスライドして着脱できる台座部と、前記台座部と垂直に接続した背もたれ部とを有するアーム部と、
（ｃ）前記アーム部の背もたれ部又は台座部をスライドして着脱可能に固定するアーム結合部を有するアーム受け台部と、
（ｄ）前記アーム受け台部を着脱できるアーム受け台接続部と、シンクに着脱可能に固定するシンク取付部を有するシンク設置部とを有する構成とすること。 （もっと読む）

【課題】 洗浄ブラシを有する洗浄装置におけるブラシ回転駆動軸に用いる、エアバッファを有するブラシ回転駆動軸用ハウジングを提供する。
【解決手段】 洗浄ブラシのブラシ回転駆動軸のハウジングは、エアバッファを有するエアパージ部１と、エアパイプ２と、エア供給部３とから成り、エア供給部３は、エアパイプ２を介して圧縮エアをエアパージ部１へ供給し、エアパージ部１は、圧縮エアをエアバッファからブラシ回転駆動軸５に沿って放出する。 （もっと読む）

【課題】矩形の大型基板に対して、洗浄残りの発生を防止し高品質な洗浄を行うことが可能なスピン洗浄方法及びスピン洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】矩形のフォトマスク基板８を洗浄するスピン洗浄装置１は、フォトマスク基板８が収容される処理カップ２と、フォトマスク基板８を保持するとともに、フォトマスク基板８を回転させる回転板３と、長手方向の長さがフォトマスク基板８の対角長の１／２より長く、かつ、回転するフォトマスク基板８の外周部から中心部を越える部分にまで当接し、フォトマスク基板８の表面を接触洗浄するロールブラシ４とを具備した構成としてある。 （もっと読む）

【課題】基板サイズ情報を自動的に入力することによって、基板サイズ情報の手入力ミスを防止するとともに、生産性を向上させることができる洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】異なる複数のサイズのフォトマスク基板８に所望の洗浄処理を施すために、基板サイズに応じて可変する可変部位（三方弁２９３など）と、フォトマスク基板８とともに投入される基板保持部材８１に付された基板サイズ情報を読み取るバーコードリーダー１０１と、バーコードリーダー１０１により読み取られた基板サイズ情報にもとづき、可変部位を可変させる制御部７とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の削減等を図れると共に、操作性及び取扱性に優れ、然も、ガス冷却室の水噴霧ノズル周囲の壁面に付着・堆積したダストを迅速に除去できる。
【解決手段】 ガス冷却室２の壁部３に設けたノズル取付け用管台４に挿着されるガイド体７と、ガイド体７に挿通された支持体８と、支持体８に挿通された回転軸９と、回転軸９の先端部に揺動可能に取り付けられ、壁部３の内壁面に沿う掻き取り位置を取り得る掻き取り板１０と、回転軸９の基端部にこれを回転操作する操作位置と回転操作しない非操作位置とに亘って揺動可能に取り付けた操作ハンドル１１とから成る簡易ダスト除去装置１であって、前記操作ハンドル１１の基端部に、操作ハンドル１１の揺動操作により掻き取り位置にある掻き取り板１０を掻き取り位置にロックし得ると共に、そのロックを解除し得るカム板１１ｃを設ける。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄装置において、洗浄中のブラシと基板との接触状態を監視する装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板とブラシとの接触状態を監視する装置は、基板洗浄中および基板非洗浄中でブラシ空転中に、ブラシを回転させるモータのトルクデータを採取する機構（１０７）と、基板洗浄中に採取したモータのトルクデータと基板非洗浄中でブラシ空転中に採取したモータのトルクデータとの差を計算し、当該差を監視する機構（１０９）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の表面と溝内部のクリーニングを同時に行うとともに、一旦除去された微粒子の再付着を防止して、高い洗浄度の洗浄を行なうことができる基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板保持部１０により基板Ｗを保持して回転させ、揺動アーム１４を下降させて回転する基板Ｗの表面に洗浄体４２の下端を接触させ、揺動アーム１４を揺動させて洗浄体４２で基板Ｗのスクラブ洗浄を行うとともに、高圧ノズル３６から高圧洗浄液を噴出して洗浄体４２の内壁と基板Ｗで囲まれる空間を洗浄液で満たし、空間内に満たされた洗浄液と該洗浄液中を通過する高圧ノズル３６から噴出する高圧洗浄液との界面付近にキャビテーションによる気泡を発生させ、該キャビテーションによる気泡が潰れることで基板の高圧液洗浄を並行して行う。 （もっと読む）

【課題】高層ビルで自動窓拭き機と管理端末と自動窓拭き機格納ステーションを設置し、汚れ検知センサーを全窓取り付けることにより自動的に汚れを検知し汚れた窓を清掃する。更に、自動窓拭き機の清掃用具は格納ステーションの予備格納部へセットしておくと清掃用具寿命検出で自動的に交換を行う。
【解決手段】本発明の窓拭き自動システムは、日数管理を行う管理端末と、窓の汚れ検知を行い管理端末に通知する汚れ検知センサーと、所定の日数経過時又は汚れ検知時に管理端末から受けた命令に基づいて窓の清掃を自動実行する自動窓拭き機と、自動窓拭き機を格納する格納ステーションとを具備する。更に、格納ステーションは、自動窓拭き機の清掃用具の予備が格納されている予備格納部と、自動窓拭き機の使用済みの清掃用具と予備の清掃用具とを交換する清掃用具交換部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 従来の水洗用回転ブラシは回転駆動力源として、ケーシング内で回転部を構成する円板の半径片側において、羽根板に高速の噴水流を噴射して回転力を得る構成の型式が一般的である。そのため、高圧水発生装置も同時に別途必要となる。
【解決手段】 流水受圧面積の大きいベーン体を構成要素として備えた揺動ベーンモーターを利用する事で、家庭用の水道水圧程度の利用でも必要とされる十分な回転力を得ながら、さらに、円板の外周付近に、植設された刷毛と該円板を貫通した放水孔を備えた刷毛具を利用し、揺動ベーンモーターの排水を洗浄用の水として該刷毛具を回転させながら使用する水洗用回転ブラシを構成する。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なるガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】ローダーカセット（２）から送り出されたハードディスク（１）を第１ウォーターベアリング（６）で搬送する。第１検出間隙（８）を設けて第２ウォーターベアリング（７）を連接し、ハードディスク（１）をスクラブ洗浄部へ送る。このスクラブ洗浄部で、ハードディスク（１）はテーパー付のドライブローラ（１０）の傾斜面に当って回転される。スクラブ洗浄後のハードディスクは第３ウォーターベアリング（２４）及び第２検出間隙（２７）をあけて設けた第４ウォーターベアリング（２６）でアンローダーカセット（３１）に収納される。上記第１検出間隙（８）及び第２検出間隙（２７）には、ハードディスクを横方向から検出するセンサー（９）、（２９）がある。 （もっと読む）

【課題】洗浄時における基板表面に与えるダメージを軽減しつつ、充分な洗浄機能を確保する。
【解決手段】多数の毛からなる毛束を有する長尺状のブラシ２２１と、ブラシ２２１が延びる方向と交差する方向に、ブラシ２２１に対して基板Ｂを搬送する搬送ローラと、ブラシ２２１のブラシ毛束５０の先端５０Ｈが、搬送ローラによる基板Ｂの搬送方向下流側に向き、ブラシ２２１のブラシ毛束５０の側部５０Ｆが当該基板Ｂの上面に当接する状態として、ブラシ２２１を支持する支持機構と、支持機構によって支持されるブラシ２２１のブラシ毛束５０に対して処理液を供給する処理液供給ノズル２３１とを備える。 （もっと読む）

【課題】鋼管内の遮水板等の汚れの状態を十分に確認することのできる観察治具を提供する。
【解決手段】鋼管１０と鋼管１０とが遮水板１４を介して接合され、遮水板１４の上面の一端から他端に亘って排水溝１５，１６が形成された構造体において、排水溝１５の一端開口１５ａから鋼管１０内へ挿入してこの鋼管１０内を観察するための観察手段２５を保持する観察治具１８であって、排水溝１５の一端開口１５ｂから銅管１０内へ挿入されるベース部材１９と、このベース部材１９とともに一端開口１５ｂから鋼管内へ入れられるとともに前記観察手段２５を保持し且つ上下動可能な移動部材２０と、この移動部材２０を上下動させる操作部材２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板が一対の洗浄ブラシの間隔調整を容易に行うことができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理槽１内に供給された基板を所定の傾斜角度で搬送する搬送ローラ５と、搬送される基板の一方の板面と他方の板面を洗浄処理するブラシ洗浄部７を具備し、ブラシ洗浄部は、処理槽内に軸線を上下方向に沿わせて平行かつ回転可能に設けられた一対の取り付け軸３７と、一対の取り付け軸の上部に一端が連結された一対の上部アーム４１と、一対の取り付け軸の他方の下部に一端が連結された一対の下部アーム４２と、軸方向一端部が上部アームの他端に回転可能に支持され軸方向の他端部が下部アームの中途部に回転可能に支持されて設けられた一対の洗浄ブラシと、一対の下部アームの他端部に連結され下部アームを揺動させて上部アームを取り付け軸を介して連動させて一対の洗浄ブラシの間隔を取り付け軸を支点として調整する駆動機構とによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】ピアノ磨き作業にかかる、ピアノを解体しバフを交換する手間、作業者の身体への負担、ムラのある仕上がりの解消等。
【解決手段】本装置の入口中央にピアノを乗せる持ち上げ装置を設ける。その両サイドに、ピアノの幅を測定する為のフレキシブルで、ソフトタッチのハンドを用い、ピアノの幅を読み取る装置を設ける。一定の高さまでピアノを台車で持ち上げ、ピアノを傾斜させ、ピアノ移動台車で装置内に運び込む。バフ位置決め機構によりバフ移動装置でバフを移動し、汚れにあわせ数種類のバフの中から一種類を選択する。素材の状態にあわせバフの押し当てる力をコントロールしながら、直進又は蛇行走行等でバフ磨きを行う。上記の操作はタッチパネル及び操作スイッチ等で設定を、任意で都度変更出来ることにより、この課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】排水管内を効率良くクリーニングする。
【解決手段】排水管ＭＰの上流端部ＰＵ及び下流端部ＰＬの夫々に研磨材投入機１及び吸引装置２を接続し、該吸引装置２による排水管ＭＰ内の負圧化で研磨材投入機１から排水管ＭＰ内に吸入搬送される研磨材Ｇと共に排水管ＭＰ内にクリーニング補助具３を投入する排水管ＭＰのクリーニング装置において、前記クリーニング補助具３は、流体圧送装置13に可撓性を有する流体流通管14を介して接続されると共に排水管ＭＰ内に生ずる研磨材Ｇの搬送気流と隔絶したケーシング15に、流体圧力で回転する羽根車16を内装した駆動部17と、羽根車16の車軸18に連結した回転研磨具19とから構成することにより、研磨材Ｇの搬送気流に影響されない回転研磨具19の動力源となる圧力流体の搬送ルートを確保し、回転研磨具19を独立駆動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、住人や作業者等への悪影響がなく、水質汚染のおそれもないハウスクリーニングシステムを提供する。
【解決手段】本発明のハウスクリーニングシステムは、ハウスにおける家具類１の対象物にマイナスイオン洗浄水をスプレーする行程と、マイナスイオン洗浄水がスプレーされた対象物を所要時間放置する行程と、マイナスイオン洗浄水のスプレーにより対象物から浮き上がった汚れ成分を乾布類で拭き取る行程とを含むものである。 （もっと読む）