本発明は、表面を、表面障壁放電により形成される大気圧プラズマを用いて乾式洗浄、活性化、被覆、変性及び生物汚染除去（細菌除去、消毒、滅菌）するための方法及び一連の装置に関する。本発明は、表面を、表面障壁放電により流動状の所定のガス雰囲気内に形成される大気圧プラズマを用いて乾式洗浄、活性化、被覆、変性及び生物汚染除去するために用いられ、誘電体又は強誘電体で覆われた高電圧電極、接地された導電性の接触電極、高電圧供給部及びガス供給部、並びにガス出口開口部を備えたガスノズルを含んでおり、この場合にガスノズルは、接地された接触電極のすぐ近くに配置され、又は、ガスノズルは、接地された接触電極内に組み込まれ、又は、ガスノズルはそれ自体、接地された接触電極として作動するようになっており、かつガス出口開口部は、流出するガス流を接地された接触電極に向けるように構成されている。方法は、ガスノズルを有する接触電極と処理すべき材料とを互いに相対的に運動させることを特徴としている。
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本発明は、Ｍをカルシウム、バリウム、マグネシウム若しくはストロンチウムまたはこれらの混合物として、化学式ＭＦ_２の金属フッ化物単結晶から作製される光学素子の表面を、保護材料の膜で被覆する処理に先立って、洗浄する方法に向けられる。方法は、少なくとも以下のステップ、（ａ）少なくとも１つの選択された液体に、ＭＦ_２単結晶の光学素子を浸し、メガソニック周波数で音波処理を行って微粒子を除去し、かつ、スラリーの残留物および前記光学素子の損傷した上面を磨くステップ、（ｂ）気相洗浄プロセスで洗浄を行い、光学素子の表面から紫外線／オゾン洗浄を用いて炭化水素を除去するステップ、および、（ｃ）気相プロセスにおいて、光学素子の表面を、真空雰囲気中でアルゴンおよび酸素を含む低エネルギー・プラズマにさらすステップを含む。
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【課題】 大面積基体処理チャンバを洗浄するための方法を提供する。
【解決手段】 チャンバ容積が大きくなるにつれて、驚くべきことに、洗浄条件の規模を単純に拡大しても、さらされたチャンバ表面からシリコンを事実上洗浄することができないことがわかった。さらされたチャンバ表面上の望ましくないシリコン堆積物は、ソーラーパネルの形成において汚染につながることがあり得る。チャンバを摂氏約１５０度と２５０度の間の温度に維持しつつチャンバの圧力を約１０トール以上に上げると、プラズマ洗浄の有効性が高められて、シリコン堆積物がチャンバから除去される。高圧と低温の組み合わせにより、ソーラーパネル製造の基板処理能力を犠牲にすることなく基板汚染を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】消毒液等の液体を用いずに、超音波プローブを充分に洗浄できる洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の洗浄方法は、超音波プローブの被洗浄部を容器内に配置し（Ｓ１）、マイクロ波を原料気体に照射させることによって原料気体をプラズマ化させ、被洗浄部が配置された容器内に、プラズマ化したプラズマ化気体を供給する（Ｓ５）。そして、容器内に供給されたプラズマ化気体によって、被洗浄部を洗浄する（Ｓ７）。 （もっと読む）

基材の処理を容易にするためにプラズマ処理環境内のプラズマ均一性を管理する統合ステアアビリティアレイ配置が提供される。配置は、電気素子のアレイを含む。また、配置は、ガスインジェクタのアレイを含み、電気素子のアレイおよびガスインジェクタのアレイは複数のプラズマ領域を形成するように配置され、複数のプラズマ領域の各プラズマ領域は実質的に同じである。配置は、さらに、ポンプのアレイを含み、ポンプのアレイの個々は電気素子のアレイおよびガスインジェクタのアレイの中に組み入れられている。ポンプのアレイは、プラズマ処理環境内の均一なプラズマ領域を維持するために排ガスの局所的除去を容易にするように構成される。 （もっと読む）

【課題】局所的な送風を行えて、かつ安定した送風能力を実現する。
【解決手段】外径１０ｍｍ以下の中空の筐体１２に、針電極１０と対向電極１１とによって構成される複数の送風部を設ける。各送風部は、送風方向に沿って直列に配置される。筐体１２は屈曲した形状とされ、屈曲箇所に送風部が配される。駆動回路１３から針電極１０に高電圧を印加すると、両電極１０、１１間に放電が生じる。イオン風が発生して、筐体１２内に風が流れる。屈曲箇所では、送風部により風が加速される。 （もっと読む）

【課題】処理部中の塵埃を除去でき、装置の小型化、処理のスループットの向上及び歩留まりの向上を図れるようにすること。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるウエハを処理部に搬送して処理を施す基板搬送処理において、ウエハＷの処理前に、搬送手段であるメインアームＡ２によって搬送される、塵埃を捕集可能な状態の捕集プレートＰＬを塗布処理ユニット３２に搬入して、塗布処理ユニット内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。塵埃を捕集した捕集プレートを洗浄ユニット８０内に搬入し、この洗浄ユニット内において捕集した塵埃を洗浄により除去し、塵埃が除去された捕集プレートを、塵埃を捕集可能な状態例えばイオナイザ２００によって帯電して再生する。塵埃を捕集可能な状態に再生された捕集プレートを、メインアームによって処理前の処理部に搬入して、この処理部内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。 （もっと読む）

【課題】洗浄後にパーティクルが発生する虞がなく、短時間かつ低コストでの構成部材の洗浄を可能とする。
【解決手段】成膜装置の処理雰囲気に設置された成膜装置の構成部材の表面から付着物を除去するための洗浄方法であって、上記付着物と上記構成部材との密着力を低減させるプラズマエッチング処理と、上記プラズマエッチング処理によって上記構成部材との密着力が低減した上記付着物を水にて洗い流す水洗処理とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、且つ排気機構が不要な除塵装置を提供する。
【解決手段】クリーンルームに設置される除塵装置１であって、除塵対象物Ｔをセットするセットケース４と、セットケース４に設けられ、除塵対象物Ｔに向かってエアーを吹き付けるブローノズル３２と、ブローノズル３２にエアーを供給するブロワー６と、ブロワー６の吐出側４６とブローノズル３２とを連通する給気流路７と、セットケース４とブロワー６の吸込側４５とを連通する還気流路８と、給気流路７および還気流路８の少なくとも一方に介設した除塵フィルタ５と、を気密に構成したキャビネット３に収容する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄物の洗浄効率の向上及び洗浄による清浄度の向上を図ること。
【解決手段】 洗浄物を洗浄する溶剤が充填された洗浄槽内に洗浄物を浸漬して、洗浄を行う洗浄物洗浄方法であって、洗浄槽内にマイクロバブルを発生させて、当該マイクロバブルにて洗浄物を洗浄する。そして、上記マイクロバブルは、微小なゴミを吸着する性質を有し、数μｍ〜十数μｍという気泡径を有する微細気泡である。また、上記マイクロバブルを、洗浄槽内に浸漬した洗浄物の下方で発生させる。さらには、洗浄物を配置した洗浄物保持具を、洗浄物が下側を向くよう配置して洗浄槽内に浸漬し、マイクロバブルを洗浄物の下方で発生させる。 （もっと読む）

【課題】塵埃を除去することができる清掃装置を提供すること。
【解決手段】帯電粒子を含み揮発性を有する溶液を保持する保持部２と、保持部２に保持された溶液を出力する出力部６と、帯電粒子と逆極性の電位を有し、帯電粒子を引きつけて回収する回収部８とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めることにより洗浄品質と洗浄効率とを向上させることができる洗浄媒体を提供する。
【解決手段】気流により飛翔することにより洗浄対象物に衝突して該洗浄対象物Ｗに付着している付着物ｄを除去するために用いられる洗浄媒体であって、上記洗浄媒体Ｍは、平坦面からなる基部から屈曲あるいは湾曲による立ち上がり部を有する可撓性薄片で構成され、基部Ｍの表裏各面と立ち上がり部との間の隙間に気流が進入できるようにすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性基板表面に形成された絶縁膜表面に発生した静電気を容易に除去する。
【解決手段】基板処理装置１はプラス電荷及びマイナス電荷を有するガス５を発生させるためのイオン発生部３と、除電対象基板７を保持するための基板保持部９を備えている。除電対象基板７では導体又は半導体からなるベース基板７ａの上に絶縁膜７ｂが形成されている。ベース基板７ａにマイナス電位を与えるための電源部１１を備えている。除電処理前の絶縁膜７ｂの表面は静電気によるマイナス電荷１３によりマイナス帯電している。ベース基板７ａ表面近傍にはマイナス電荷１３によって逆極性のプラス電荷１５が誘起されている（（Ａ）参照）。除電処理時には電源部１１によりベース基板７ａにマイナス電位を与え、ベース基板７ａ表面近傍に誘起されているプラス電荷１５を打ち消した状態でイオン発生部３からのガス５に絶縁膜７ｂ表面を暴露する（（Ｂ）参照）。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、ワークの処理面の形状に拘わらず、その形状に対応してプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、ワークを設置するワーク設置部２１と、第１の電極２と、ワーク設置部２１の第１の電極２の対向側に位置し、外周面が前記ワーク設置部２１に設置されたワーク１０の処理面１１に対面するように設置され、中心軸を回動軸として回転可能な円筒状の第２の電極３とを有し、発生したプラズマにより処理面１１を処理するものであり、第２の電極３は、その外周面に、周方向に沿って、有効電極領域３１ａの幅が変化している部分を有し、この第２の電極３を、その中心軸を回動軸として回転させることにより、処理面１１と対面する有効電極領域３１ａの幅が変化するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 多数の食品用プラスチックトレーを、押え枠で挟み付け搬送するネットコンベヤの上方からイオン化エアを噴射しトレーを１枚づつ分離させ除塵と集塵を行なう装置があるが、形態やサイズが多様な化粧品用瓶に転用できない。
【解決手段】
梁部材をケーシング内に横方向へ並列させて部材間の幅を可変可能に設け、各部材の両端部にモータ駆動軸とベルト掛けした従動軸を上端部を突出させて垂設し、従動軸の下端部に上下２連のプーリを離隔して設けプーリ間に弾性ベルトを褂架し、該ベルトのテンションロールを梁部材の非対称位置にワークを搬送する無端ベルトの上面から離隔して垂設し、コンベア上のワークを検知するとイオン化エアを噴射しワークが不在になると噴射を停止するセンサと連動するノズルをケーシングに設け、弾性ベルトに挟持され搬送されるワークへイオン化エアを常時噴射する噴射管を無端ベルトの上面から離隔して設けた。
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【課題】本発明は、作業効率を向上し、異物の拡散を防止し得る異物除去装置の提供を目的とするものである。
【解決手段】異物除去装置１は、遊技機の形成物品の所定領域を覆うための開口部１１を有するケース状のカバー１０と、カバー１０内にエアーを送り込むエアー吹出装置３０と、カバー内の電荷を除去する除電装置４０と、カバー１０内のエアーとともに異物を吸引するエアー吸引装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被処理物を相対移動させながら処理流体を被処理物に噴き付けて表面処理を行なう装置において、被処理物の端部の過剰処理（ローディング効果）を防止する。
【解決手段】噴き出し部３１の左側（一側）に第１吸い込み部３２Ｌを配置し、右側（反対側）に第２吸い込み部３２Ｒを配置する。間隔調節機構４０にて噴き出し部３１と各吸い込み部３２Ｌ，３２Ｒとの間隔を調節可能にする。処理流体を噴き出し部３１から噴き出すとともに、移動機構１２にて被処理物Ｗを左右方向へ移動させる。被処理物Ｗの右端部（第２側の端部）を処理する際は、噴き出し部３１と第１吸い込み部３２Ｌとの間隔を小さくする。これにより、ローディング効果の起きる領域を小さくする。 （もっと読む）

【目的】梱包資材の表裏両面を同時に、しかも梱包資材の厚さにかかわらず連続的に除塵できる梱包資材の除塵装置を提供すること。
【構成】上記課題を解決するために請求項１記載の除塵装置は、梱包資材を搬送するための搬送手段としてロープコンベアを用い、又、イオン化エア発生手段とイオン化エアを梱包資材の表面に吹き付けるイオン化エア吹き付け手段を備えた静電気除去器をロープコンベアにおける搬送経路の上面及び下面に配設して構成した。又請求項２記載の除塵装置においてはイオン化エアが梱包資材の上面及び下面に同時に、且つ、梱包資材に対して概ね垂直に吹き付けるように構成した。更に請求項３記載の除塵装置は、搬送経路の下面に吸引ファンを配設した。又請求項４記載の除塵装置は請求項１乃至３いずれかに記載の除塵装置において、複数の棒状の押さえ部材を静電気除去器配設位置近辺のロープコンベア上に設けて構成した。 （もっと読む）

【課題】煩雑な制御を行うことなく短時間で全てのプラズマ発生ノズルからプラズマを点灯させる。
【解決手段】受光素子１０１ａ〜１０１ｈは、近傍に配設されたプラズマ発生ノズル３１から放出されるプルームＰを受光する。スタブ制御部９０２は、全てのプラズマ発生ノズル３１からプルームＰが放出されたことが受光素子１０１ａ〜１０１ｈにより検出されるまで、スタブ７０１を連続的に変化させる。一方、スタブ制御部９０２は、全てのプラズマ発生ノズル３１からプルームＰが放出されたことが受光素子１０１ａ〜１０１ｈにより検出された後は、導波管１０とプラズマ発生ノズル３１とのインピーダンス整合を図ることができる規定出没長まで、スタブ７０１〜７０３を出没させる。 （もっと読む）

【課題】イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供する。
【解決手段】除塵器１００は、相互に対向して配置されている一対の電極１１０であって、当該電極間に発生させた放電により、当該電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、前記電極１１０と対向して配置され、イオン化された空気を放出するノズル１０２と、ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット１２０と、を備えている。 （もっと読む）