本発明の表面処理方法は、常温常圧で液体の物質をイオン化して形成したイオンビームを基材表面に照射することを特徴とする。本発明の表面処理装置は、常温及び常圧で液体の物質のクラスターを生成するための真空容器であるソースチャンバ（１）、ソースチャンバ（１）で生成されたクラスターを小さい開口を有するスキマー（１０）を通過させて細いビーム状にするための真空容器である差動排気チャンバー（２）、形成されたクラスタビームをイオン化し、質量分離によって構成分子数が選別されたクラスターイオンビームを基板表面に照射するための真空容器であるターゲットチャンバー（３）を基本構成とする。
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【課題】超純水中のＯＨ^-濃度を増大させれば、このＯＨ^-を利用して充分に加工することができるとの認識に基づき、超純水中のＯＨ^-を用いて被加工物の加工面に不純物を残さずに清浄な加工が行える全く新しい超純水中の水酸基による加工方法を提供する。
【解決手段】微量の不可避不純物を除き超純水のみを用い、超純水中に間隔を置いて配設した一対又はそれ以上の電極間に電流を流し、超純水を電気分解してイオン積を増大させ、この水酸基又は水酸基イオンの濃度が増大した超純水中に浸漬した被加工物を、水酸基又は水酸基イオンによる化学的溶出反応若しくは酸化反応によって除去加工若しくは酸化被膜形成加工する。被加工物がＳｉであり、その表面にＳｉ酸化膜を形成する。被加工物がＣｕであり、該Ｃｕを除去加工する。 （もっと読む）

【課題】 塵埃を確実に除去でき、しかも、塵埃除去の処理効率（処理数）を確保できる除塵装置を提供する
【解決手段】 複数の載置台５を具備することにより、一の載置台で除塵処理が行われている間、他の載置台においてワーク集積体２１の搬入、搬出の作業を行うことが可能となり、単位時間当たりのワーク２０の除塵処理数を増大させることができる。また、上部エアノズル７１と側部エアノズルと７２を具備し、ワーク集積体２１の上方及び側方からエアを吹き付け、ワーク集積体２１の各ワーク２０が偏り無く拡開して分離するように構成している。これにより、ワーク２０間に挟まった塵埃を確実に除去することが可能となる。従って、ワーク２０の除塵処理数が増大し、処理能率が向上する。また、除塵効果が高まり、ワーク２０への塵埃付着に伴う不良発生を防止できる。つまり、処理効率と除塵効果との向上を同時に実現することができる。 （もっと読む）

【構成】 ガラス基板８を載置するトレイ６の搬送システムに、ワーク洗浄装置２０を組み込む。トレイ６の底面の開口１７から支持体３２を上昇させて、トレイ底面の支持面１９と共に基板８を支持させる。ノズル２２を基板８の上部へ移動させ、クリーンエアを吹き付けて洗浄する。
【効果】 搬送する過程で、ガラス基板を洗浄できる。 （もっと読む）

【課題】 プラスチック廃材から、プラスチック廃材を主原料とするマテリアルリサイクルにより、高品位な特性を有するプラスチック成形体を得ることができ、サーマルリサイクルされるプラスチック廃材を低減することができる、効率的なプラスチック廃材の再資源化方法等を提供する。
【解決手段】 プラスチック廃材をプラズマ洗浄する工程を含むプラスチック廃材の再資源化方法、ならびに、プラスチック廃材の付着物、および／または、プラスチック廃材に施された表面加飾膜を被洗浄物とする洗浄手段として、一定濃度のラジカルを生成するプラズマ発生装置を備えるプラスチック廃材の再資源化装置。 （もっと読む）

【課題】 クリティカルな調整を不要とし、メンテナンスフリーと耐候性を大幅に向上させて、長期に亘ってスケール除去を含む水質改善作用を効率よく維持することができる水質改善装置の駆動機構を提供する。【解決手段】 駆動機構４は、複数の永久磁石要素５ｂを異なる磁化方向に周期的に配列した筒状の交番磁場発生体６を銅製の中空パイプ７に内嵌固定し、かつ大小径の異なる複数の孔を無作為に穿設した固定筒体８と、大小径の異なる複数の孔を無作為に穿設した回転筒体９を、交番磁場発生体６内に同軸状に配設し、中空パイプ７の軸芯位置に挿通した銅線１０に、回転筒体９の回転駆動により偏波長を伴う交流の電磁界誘起電流を発生させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】ＩＣコンポーネントのような基体表面から物質を除去する方法および装置を提供する。
【解決手段】チャンバー１０内の電極１２ａに電力を加えて、プラズマを真空チャンバー内に生成する工程、および基体２２の表面２４にプラズマのイオン、原子またはフリーラジカルの１以上と接触させる工程を含む。好ましくはＤＣである電力は、可変電圧として、好ましくはパルス電圧として、アーキングを避けるために電源１４から供給される。 （もっと読む）

【課題】相手材に付着している帯電塵埃を除電しながら粘着体により確実に除去することができる除電機能付きの除塵クリーナーの提供。
【解決手段】相手材Ａへの接触面に粘着層１５を有する粘着体１２としての粘着ローラー１３と、該粘着ローラー１３を着脱自在に支持する支持体２２と、該支持体２２に連結される把持体３２とで少なくとも構成され、支持体２２には、該支持体２２もしくは把持体３２に内蔵させた静電気除去装置が生成するイオンを粘着体１２としての粘着ローラー１３方向へと放出する除電ノズル２５を具備させた。 （もっと読む）

【課題】 例えば銀イオン生成器を備えた自動車用フロアマットの洗浄装置に好適で、銀イオン水による殺菌効果を確実かつ能率良く得られるとともに、銀イオン水の消費を節減し、使用コストの低減を図る一方、雑菌の繁殖やカビの発生並びに異臭の発生を防止し、洗浄後のマットを速やかに乾燥し、その速やかな利用を図れるマット洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 筐体２内にマット１２を移動可能なマット通路５０を設ける。
前記マット通路５０に沿って少なくとも送りロ−ラ１４と絞りロ−ラ１６とを配置する
前記マット通路５０に向けて洗浄液を噴出可能な散水管３６を配置する。
前記洗浄液の供給導管２３に、金属イオンを生成可能な金属イオン生成器２４を介挿する。
前記金属イオンを洗浄液に添加し、かつこれを前記散水管３６に供給可能にしたマット洗浄装置であること。
前記金属イオン生成器２４と散水管３６との間の洗浄液供給導管２３に開閉弁２８を介挿する。
前記開閉弁２８を前記送りロ−ラ１４と絞りロ−ラ１６の駆動前は閉弁可能にする。 （もっと読む）

【課題】 作業効率を向上して移送品の移送を簡便かつ円滑に行いながら移送品の異物を確実に除去することができ、かつ、種々の形態の移送品を確実に保持しながら安定的に移送することができ、さらに、簡易な構成によってコストの削減および小型軽量化を実現することができる移送品の異物除去装置を提供すること。
【解決手段】 移送コンベア３のコンベアベルト８上を移送される移送品の下方に臨み異物吸引手段１３による前記移送品の浮き上がりを防止する移送品吸着手段２３を有すること。 （もっと読む）

【課題】 被処理物に付着した塵埃の除電除塵操作を短時間で効率的に行うことができ、かつ取り除いた塵埃の漏出による作業環境の汚染を防止できる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】 この除電除塵装置は、空気流入口１６が設けられた基台ボックス１１と、基台ボックス１１に支持コラム２１を介して取り付けられる処理ヘッド２３とを有しており、空気流入口１６と処理ヘッド２３との間には処理空間２４が形成される。装置の正面開口部２９と左右の側面開口部２８には、空気噴出パイプ３３の噴出口からの空気により処理空間２４を外部から遮断するエアーカーテンが形成される。処理空間２４内には、イオン発生器４２により生成されたイオン化空気が噴出されて、処理空間２４内に配置される被処理物にはイオン化空気が吹き付けられて被処理物の塵埃が除去される。 （もっと読む）

電子部品が実装される基板の端子部分から余分な汚れとなっている塵埃を迅速かつ確実に除去することができるようにする。液晶セル１の縁部を擦り、この縁部に付着した塵埃を除去するブラシ１９と、このブラシの少なくとも液晶セル１の縁部と接触する部分に向けてイオン化された気体を噴射するイオナイザ２８と、このイオナイザ２８から前記ブラシ１９に向けて噴射された気体を吸引除去する清掃ケース２１に設けられた排気管３１とを具備する。
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基板を連続的に真空洗浄する方法であって、
-汚染の点から、スパッタリング効率が低く、化学的に活性な種を選択すること、
-少なくとも１つのリニアイオンソースを用いて、スパッタリング効率の低い種を主に含むガス混合物、特に酸素をベースとしたもの、からプラズマを発生させること、
-該基板の少なくとも一の表面部を該プラズマの照射対象とし、該イオン種が、該表面部に吸着または付着した汚染を、化学反応により、少なくとも部分的に除去することを特徴とする方法に関する発明である。 （もっと読む）