容器、例えば特にガラス管から残留物質および／または粒子を除去する方法および装置（５０）は、前記管（５）内の静電力を調整する手段（４０）と、前記残留物質を除去する手段（６０）とを備える。前記除去手段（６０）は、ノズル（２）によって前記容器（５）内に噴射する、調節した速度の流体噴流を用いることができる一方で、前記静電力を調整する手段（４０）は、調節した抵抗率を有する導電性流体（８）を前記容器（５）に流入させる要素（１）を有することができる。このようにして、前記流体（８）、例えばイオン化空気は、前記残留物質（３０）と前記容器の表面との間の静電荷を、従って静電力を減少させおよび／または消去するために作用し、流体の噴流または吸引手段による除去に役立つ。
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【課題】放射線の短い露出時間でもワークの内面を処理できる処理装置および処理方法を提供することにある。
【解決手段】ビーム（Ｐ、Ｐ’、Ｉ）と、該ビーム（Ｐ、Ｐ’、Ｉ）を発生する少なくとも１つの発生ユニット（２、２０、４１、６２）と、該少なくとも１つの発生ユニット（２、２０、４１、６２）を一回転軸線（１３、３４、４７、６３、８７、９３）の回りで回転させる駆動ユニット（４５、８６、９４）とを有し、前記少なくとも１つの発生ユニット（２、２０、４１、６２）が、発生されるビーム（Ｐ、Ｐ’、Ｉ）を、処理すべき表面（Ｏ）に向かう優先方向（Ｖ、Ｖ’、Ｖ”、Ｖ’’’、Ｖ’’’’）に指向させるように設計されている、ワーク（Ｗ）の内面（Ｏ）を処理する装置（１、２０、４０、６０、８０、９０）。 （もっと読む）

【課題】静電気によって、物体の表面に付着した付着物を、容易に除去することを目的とする。
【解決手段】静電気によって、物体の表面に付着した付着物にイオンエアーをブローしながら、物体の被付着面側に、付着物の付着面の帯電と同極性の高電圧を印加した電極を近接して、もしくは接触して配置する。あるいは＋−の高電圧を交互に印加する電極を、物体の被付着面側に近接して、もしくは接触して配置する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ＣＦ_４以外の最適なフッ素系ガスを使用すると共にプラズマ処理能力を向上させたプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】この発明は、処理ワークが配される処理空間と、該処理空間内にガスを導入するガス導入手段と、前記処理空間内に放電プラズマを形成するプラズマ生成手段とによって少なくとも構成されるプラズマ処理装置において、前記処理空間に導入されるガスは、フッ化カルボニル（ＣＯＦ_２）又はトリフルオロメタン（ＣＨＦ_３）を含むガスであり、このガス圧力は、０．００１Ｔｏｒｒ〜１００Ｔｏｒｒの範囲内であることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】操作が簡単で、異なる清浄オブジェクトの汚染特性に応じて印加するパワーを調整して、放電モードを変換し、有効に清浄でき、また電力の節約やコストが低減できるバイモデル仕事のプラズマ反応器装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、二つの気体入力ポートを有する気体螺旋流れ空チャンバーと、気体チャンバー内に設置される第１の電極と、気体チャンバー内に設置され、第１の電極に対応する第２の電極と、第１の電極と第２の電極の間に設置される絶縁隔離層と、第１の電極の外側に設けられる磁界発生装置と、気体螺旋流れ空チャンバーの外に設置される気体入力バッファチャンバーが備えられ、また、第１の電極と第２の電極に電気的に接続される高圧電源装置がある。気体放電により、気体螺旋流れ空チャンバー内において非熱プラズマを発生して、気流とともに出口から噴出されオブジェクトの表面を清浄する。 （もっと読む）

【課題】高い処理能力を備えることができ、処理ガスの使用量を削減できるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置は、被処理基材の搬入口および搬出口を有する筐体と、前記筐体内に設けられプラズマを発生させて前記被処理基材を処理するプラズマ処理部と、前記搬入口とプラズマ処理部とを接続する搬入路と、プラズマ処理部と前記搬出口とを接続する搬出路と、前記被処理基材を前記搬入路と搬出路を通って搬送する搬送部と、前記搬入路および搬出路の少なくとも一方に吸引口が露出しプラズマ処理部から気体を吸引する吸引部と、プラズマ処理部に設けられ前記被処理基材の搬送方向に沿って配列された複数対の対向電極と、プラズマ処理部に設けられ処理ガスを各対向電極間へ供給する処理ガス吹き出し部と、処理ガス吹き出し部の処理ガス供給量を設定する設定部とを備え、前記設定部は前記吸引口に近い処理ガス吹き出し部ほど処理ガス供給量が少なくなるように処理ガス供給量を設定する。 （もっと読む）

【課題】露光前のウェハの裏面全面を効率よく洗浄する。
【解決手段】処理容器１１０の一の側面には、搬送機構１０１の搬送アーム１２０に保持されたウェハＷを搬入出させる搬入出口１１１が形成されている。処理容器１１０内には、搬送アーム１２０に保持されたウェハＷの裏面の付着物を静電気によって捕集するために帯電可能な帯電部材１３０と、当該ウェハＷの裏面に気体を噴射できる気体噴射ノズル１４０が設けられている。処理容器１１０の底面であって、帯電部材１３０の周囲には、処理容器１１０内の雰囲気を排気する排気口１５０が形成されている。処理容器１１０内であって、搬入出口１１１側の内側面には、ウェハＷの裏面の付着物を検査する検査機構１６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】エラストマー物品の必要な洗浄に付随するコストを減少させる。
【解決手段】エラストマー物品の処理方法は、ハウジングの内部の物品支持場所に配置されたエラストマー物品と接触するようにガス状洗剤のガス流を送るステップより成る。ガス状洗剤は、粒状汚染物質をエラストマー物品から脱離させ、エラストマー物品を通過するガス流中に粒状汚染物質が同伴されるように作動可能である。ガス状洗剤の供給源は、ハウジングの内部に流入する蒸発した洗剤の噴霧源と、ハウジングの内部において物品支持場所に近接配置され、弱イオン化プラズマを物体支持場所に隣接する周囲雰囲気中に発生させる弱イオン化プラズマ源とより成る。 （もっと読む）

【課題】 長期にわたり安定的に、走行中のシート状物表面に付着した異物を除去し、かつ再付着を防止する付着異物除去装置、付着異物除去方法、シート状物を提供する。
【解決手段】 シート状物の少なくとも一方の表面に対して設置され、前記シート状物に対してエアーを吹き付け可能なエアー吹き付け手段と、前記エアー吹き付け手段から吹き付けられたエアーがシート状物表面で反射する方向を覆うように配置された吸引手段を有する付着異物除去装置であって、前記吸引手段の吸引フード内部に、開口断面を覆うフィルターを具備することを特徴とする付着異物除去装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レジスト剥離後に、静電気で引き寄せられて再付着したゴミを洗浄するためのマスク洗浄装置及びマスク洗浄方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、プラズマアッシャーでマスクからレジストを剥離するドライ洗浄機と、前記ドライ洗浄機でレジストを剥離した後、マスクにオゾン水をかけながら２２２ｎｍＵＶ光を照射してレジストを除去するオゾン水洗浄機と、前記オゾン水洗浄機で洗浄した後、薬剤とブラシによりパーティクルを除去するＳＣ−１洗浄機と、前記ＳＣ−１洗浄機で洗浄した後、１７２ｎｍＵＶ光を照射してレジスト残渣及びフッ素樹脂のパーティクルを除去するＵＶ洗浄機と、前記ＵＶ洗浄機で洗浄した後、オゾン水と純水でマスクを濯ぐ最終洗浄機と、前記最終洗浄機で洗浄した後、加温又は冷却することによりマスクを乾燥させる乾燥機とからなることを特徴とするマスク洗浄装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】被除塵体に付着した塵埃を確実に除去することのできる除塵装置及び除塵方法を提供すること。
【解決手段】外周面が接着力を有するピックアップローラ１２と、このピックアップローラ１２に接着した塵埃を除去する転着ローラ１３と、当該転着ローラ１３を介してピックアップローラ１２を回転させる駆動手段１５と、ピックアップローラ１２の両側に配置された第１及び第２の除電手段１６、１７とを備えて防塵装置１０が構成されている。被除塵体となるテーブルＴは第１の除電手段１６により除電された後にピックアップローラ１２により塵埃が除去され、その後に、第２の除電手段１７により更に除電される。 （もっと読む）

【課題】基板の被洗浄表面を基板の一度の相対移動工程中に確実に洗浄することができる基板洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板１の被洗浄表面を洗浄する複数の洗浄手段４、５、６が並列して配設されるとともに基板１の被洗浄表面を複数の洗浄手段４、５、６に対して相対移動させる移動手段３を備え、複数の洗浄手段４、５、６を構成する第１の洗浄手段は、大気圧プラズマを吹き出すプラズマ洗浄手段６であり、プラズマ洗浄手段６は、第１の不活性ガスの誘導結合型プラズマからなる一次プラズマ３６を吹き出す誘導結合型プラズマ発生部３３と、第２の不活性ガスと反応性ガスの混合ガス領域４０に一次プラズマ３６を衝突させてプラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ４１を発生するプラズマ展開部３７とを有している。 （もっと読む）

【課題】
接点材料の表面全面を洗浄することができ、しかも、多数個の接点材料を連続的に効率よく洗浄することができる接点材料の表面洗浄装置を提供する。
【解決手段】
絶縁材料で形成された複数の反応容器１の片側を吹き出し口２として開放する。希ガスと反応性ガスをプラズマ生成用ガスとして各反応容器１に導入すると共に大気圧近傍の圧力下で各反応容器１内にグロー放電を発生させる。これらのグロー放電により生成されるプラズマ５をプラズマジェットとして各反応容器１の吹き出し口２からそれぞれ吹き出して接点材料６の表面に供給することによって接点材料６の表面の汚染物を除去する。 （もっと読む）

【課題】被処理物の全面からの静電気と埃等の異物の除去と、除去された異物の被処理物への再付着の防止とが有利に実現可能な除電除塵技術を提供する。
【解決手段】イオンを気体と共に被処理物に吹き付ける複数の吹付ヘッド１３を、互いに所定距離を隔てて離間して、配設すると共に、それら吹付ヘッド１３同士の間を該被処理物１０が通過するように、該吹付ヘッド１３と該被処理物１０のうちの少なくとも何れか一方を移動させる移動手段１２を設け、更に、該吹付ヘッド１３同士の離間方向内方で、且つ該吹付ヘッド１３の移動方向の前方側又は該被処理物の移動方向の後方側に向かって、該吹付ヘッド１３から前記気体が噴射されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】オゾンにより床面の汚れを消臭除菌する汚れ分解装置において、汚れ分解を効率良く行う。
【解決手段】汚れ分解装置１は、筐体２と、筐体２内にオゾンを供給するオゾン発生部３とを備え、筐体２は、略矩形状の本体部２０と、本体部２０に対向する位置に配置される蓋部３０と、本体部２０及び蓋部３０を繋ぐ折畳み部４０とを有し、それら各部で囲まれ筐体２の開口５を有するテント状凹部１０を形成する。筐体２の開口周縁部６と汚れ７１を含む床面７０とを接触させて空間９を形成する。開口周縁部６は、ゴム６１により形成され、床面７０との接触により押圧変形する。これにより、開口周縁部６と床面７０とが強く密着されて空間９の密閉性が良くなるので、空間９内からのオゾンの漏出が抑制され、空間９内のオゾン濃度の低下が防止されて床面７０の汚れ分解を効率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】オゾンにより床面の汚れを消臭除菌する汚れ分解装置において、汚れ分解を効率良く行う共に、安全性の向上を図る。
【解決手段】汚れ分解装置１は、筐体２と、筐体２の凹部１０内にオゾンを供給するオゾン発生部４と、凹部１０内の気圧を減圧する減圧部５と、凹部１０内の気圧を測る気圧センサ部６とを備え、使用状態において、筐体２の底面部８と汚れ７０を含む床面６０とを接触させることにより凹部１０が密閉した空間９を形成する。減圧部５は、オゾン発生部４がオゾンの供給を開始する前に、空間９内の気圧を外部の大気圧より低くなるように減圧する。これにより、筐体２の底面部８と床面６０とが強く密着されて空間９の密閉性が良くなるので、オゾン供給後の空間９内からのオゾンの漏出が抑制され、空間９内のオゾン濃度の低下が防止されて床面６０の汚れ分解を効率良く行うことができると共に、安全性が向上する。 （もっと読む）

【課題】大気圧下での多湿放電を使用し、処理対象物の表面を損傷することなく、かつ低コストでの表面処理を実現できる大気圧放電表面処理装置を提供することにある。
【解決手段】例えばＯＨラジカルなどの活性種を使用して、ガラス部材などの処理対象物１０に対する表面処理を行なう大気圧放電表面処理装置１において、水分を含む多湿化ガス１２を処理対象物１０の表面に吹き付けるブロア７及び放電プラズマ１１を発生する高電圧電極２を有する大気圧放電表面処理装置である。 （もっと読む）

【課題】オゾンガスや紫外線光により汚れを分解して消臭除菌する汚れ分解装置において、汚れの分解状況を容易に安全に確認できるようにする。
【解決手段】汚れ分解装置１は、開口３を有する筐体２と、筐体２の内部空間部１０にオゾンを供給するオゾン発生部４と、筐体２内で開口３に向けて紫外線を出射する紫外線光源部５と、開口３を外部から視認するための窓部６を備える。内部空間部１０の開口３で汚れ面Ｂを含む床面Ａを覆って、前記各部により内部空間部１０内にオゾン及び紫外線を供給・出射して汚れを分解する。窓部６には、紫外線光源部５から出射された紫外線を汚れ面Ｂが吸収することにより励起される可視光を透過し、紫外線をカットする透光部材６１が設けられている。これにより、窓部６から汚れ面Ｂの汚れの分解状況を容易に安全に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めて洗浄品質と洗浄効率とを向上させるとともに複雑な形状の部品であっても傷や洗浄残しが発生することを抑制する。
【解決手段】筒状に形成され可撓性を有する洗浄媒体１を、洗浄槽１２内で気流により飛翔させ洗浄対象物３に衝突させて洗浄対象物３に付着している付着物を除去する。洗浄媒体１が洗浄対象物３に衝突するとき、洗浄媒体１が洗浄対象物３に非弾性衝突するため一度の衝突における接触面積が大きく、かつ洗浄対象物３に衝突したときの接触力が大きくなると洗浄媒体１が撓んで洗浄対象物３の形状に倣うから、複雑な形状の洗浄対象物３を確実に洗浄して洗浄品質を高めて洗浄効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】モータユニットに付着した塵埃や汚染物質を、ユニットが完成した状態でも、軸受などに対して影響を及ぼすことなく効果的に除去することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】超臨界状態よりも低い圧力のチャンバ内で、超臨界二酸化炭素を噴出する第１のノズルと、超臨界二酸化炭素を吸引回収する第２のノズルとが一体になったノズルユニットを、被洗浄物の被洗浄表面に対して相対的にトラバースさせ、被洗浄面に対して第１のノズルから超臨界二酸化炭素を噴出すると共に、第２のノズルから、超臨界二酸化炭素と共に被洗浄物の表面から剥離した粉粒体または被洗浄物の表面から溶解した汚染物質を吸引回収する。これにより軸受オイルの二次汚染することなく確実に洗浄できると共に、被洗浄物に大きな荷重を与えないので、変形を防止できる。 （もっと読む）