【課題】被処理物の処理箇所のみに対して、安定して効率的にかつ簡単な構成及び制御にて生産性良く、低コストにて処理を行う。
【解決手段】プラズマヘッド１０に設けた反応空間１１に第１の不活性ガス１５を供給するとともに高周波電界を印加して反応空間１１から一次プラズマ１６を吹き出させ、第２の不活性ガスを主とし適量の反応性ガスを混合した混合ガス領域２０をプラズマヘッド１０内又はその近傍に形成するとともにこの混合ガス領域２０に一次プラズマ１６を衝突させて二次プラズマ２１を発生させ、発生した二次プラズマ２１を被処理物５の処理箇所に吹き付けて処理するプラズマ処理方法であって、プラズマヘッド１０と被処理物５を相対移動させて処理箇所を処理するに際して、一次プラズマ１６は連続して発生させ、処理箇所でのみ混合ガス領域２０を形成して二次プラズマ２１を発生させるようにした。 （もっと読む）

【課題】異方性導電フィルムを使用した基板の接続、特にアクリル樹脂を基材とした異方性導電フィルムを使用したガラスエポキシ基板の接続を改善する。
【解決手段】少なくとも一方の基板を洗浄する洗浄ステップと、洗浄された基板に異方性導電性フィルムを配置する異方性導電性フィルム配置ステップと、洗浄された基板の上に配置された異方性導電性フィルムの上に他方の基板を配置して加熱圧着する加熱圧着ステップと、をおこなうが、洗浄ステップでは、少なくとも一方の基板の異方性導電性フィルムが配置される予定の部分について、先ず有機溶媒拭き洗浄を実施し、次いでプラズマ洗浄を実施する。その結果、有機溶媒拭き洗浄で付着した不純物がプラズマで焼失し、信頼性のある接続を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度状態の管理をより正確に行うことができるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】大気圧よりも減圧された雰囲気を維持可能な処理容器と、前記処理容器の内部を所定の圧力まで減圧する減圧部と、前記処理容器の内部に設けられた被処理物を載置する載置部と、内部にプラズマを発生させる領域を有し、前記処理容器から離隔された位置に設けられた放電管と、マイクロ波発生部から放射されたマイクロ波を伝播させて、前記プラズマを発生させる領域にマイクロ波を導入する導入導波管と、前記プラズマを発生させる領域にプロセスガスを供給するガス供給部と、前記放電管と、前記処理容器と、を連通させる輸送管と、前記放電管の温度を検出する第１の温度検出部と、を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】フィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができ、フィルムの洗浄ノズル装置からフィルムが通り抜けた際に洗浄水がフィルムに付着している量を減少させることができるフィルムの洗浄ノズル装置を提供する。
【解決手段】フィルム１２の表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、洗浄液吐出口５２の上流側及び下流側において、洗浄液がフィルムの一方の面上を流れるようにフィルムに対して平行に形成された、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂと、からなるフィルムの洗浄ノズル装置５１に対して、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂは、フィルム１２表面と等距離となるように配置し、下流側平面部５３Ｂは上流側平面部５３Ａよりも長く形成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面に付着した塵埃を効率良く確実に剥離することができ、剥離した塵埃を回収分析することで、対象物の清浄度を高感度且つ高精度に評価することを可能として、製造現場の洗浄工程に適用することで製造条件や洗浄条件の最適化を実現する。
【解決手段】減圧チャンバ１による減圧環境下で製品１１の表面にガス又はガスと微量な液体との混合物を拭き付け、当該表面に付着した塵埃１２を剥離除去し、ポンプ１０を用いて集塵フィルタ８に剥離除去された塵埃１２を回収し、集塵フィルタ８に付着した塵埃１２を観察して分析する。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ的確に大気圧プラズマの良否検査を行うことができるプラズマ検査方法、プラズマ処理方法、プラズマ検査装置及びプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定試料４２の表面に大気圧プラズマＰＺを照射するプラズマ照射工程（ステップＳＴ８）と、大気圧プラズマＰＺが照射された測定試料４２の表面の状態を検出する表面状態検出工程（ステップＳＴ９）と、検出した測定試料４２の表面の状態に基づいて大気圧プラズマＰＺの状態の良否判定を行う判定工程（ステップＳＴ１０及びステップＳＴ１１）を実行する。 （もっと読む）

【課題】ワークに対して異常放電が生じるのを防止しつつ、効率よくプラズマ処理を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１は、ワーク１０の上方に設けられた電極ユニット２と、通電手段３と、処理ガス供給手段４と、冷却手段５とを有している。電極ユニット２は、長手形状の柱状体で構成された電極本体２１１と、この電極本体２１１の内部に、長手方向に沿って設けられた貫通孔２１２とを備えるアース電極２１と、貫通孔２１２に挿通された電極棒２２１を備える印加電極２２とを有する。貫通孔２１２と電極棒２２１との間には隙間が形成されており、この隙間がプラズマ生成空間２７として機能する。また、アース電極２１には、プラズマ生成空間２７を外部に開放するスリット２８が形成されている。このスリット２８からプラズマＰを噴出することにより、ワーク１０にプラズマ処理が施される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機物質でコーティングされた材料４の表面をクリーニングするための方法に関する。
【解決手段】本発明の方法は、内部の圧力が１０ｍｂａｒから１ｂａｒであり、且つ容量で少なくとも９０％の酸素を含むガス流が供給される処理チャンバ２内に、材料４を導入する工程と、材料の表面と誘電体で覆われた電極（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ、５ｇ）との間で放電を引き起こすことによりプラズマを形成し、生成されたフリーラジカルＯ^・の作用により有機物質を分解する工程とを含むことを特徴とする。本発明はさらに、前記方法を行なうために使われる装置１に関する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、センサで受光される真空紫外線の強度と、被照射物へ照射される真空紫外線の強度とを近似させる紫外線照射装置を提供することにある。
【解決手段】
第１の発明に係る紫外線照射装置は、被照射物に対して真空紫外光を出射するエキシマランプと、この真空紫外光を受光すると共に光取込部を備えた光センサと、エキシマランプを取り囲む筐体と、からなる紫外線照射装置において、前記光取込部と前記エキシマランプとの間に、不活性ガスと酸素との混合ガスを吹き出すブロー管を有し、前記光取込部と前記エキシマランプとの距離をＹ１、その間の酸素濃度をＰ１とし、前記エキシマランプと前記被照射物との距離をＹ２、その間の酸素濃度をＰ２とするとき、以下の関係を満たすことを特徴とする。
０．８≦Ｙ２×Ｐ２／Ｙ１×Ｐ１≦１．２ （もっと読む）

【課題】円筒状の基材の外周面を容易に且つ精度良く処理することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ処理装置は、真空容器５内に立設された円柱状のカソード電極７とこの外周面と内周面とが対向するように配置された円筒状の防着部材１４とを有している。電極７の外周部には処理対象物である円筒状の基材１１が配置される。基材１１の内径寸法は電極７の外径寸法と略同じに設定されており、基材１１の内周面と電極７の外周面とはほぼ密着する。真空容器５内にエッチングガスを導入し、電極７に高周波電力を供給すると電極７と防着部材１４との間にプラズマが形成される。これにより、マスクパターンに覆われていない基材１１の表面が垂直にエッチングされて基材１１自身の表面全体に凹凸パターンが均一に形成される。 （もっと読む）

【課題】従来の洗浄方法でも除去できない灰化物等の汚染物を除去できる高清浄度の洗浄方法の提供。
【解決手段】固形炭酸粒子を被洗浄材に噴射することにより、前記被洗浄材上の付着物を除去した後に、炉内において前記被洗浄材を加熱冷却する加熱冷却工程を含む被洗浄材の洗浄方法であって、前記加熱冷却された被洗浄材を、比抵抗１５ＭΩ以上の純水に浸漬する浸漬工程と、前記浸漬工程において、前記被洗浄材に超音波振動を与える超音波振動工程を含む洗浄方法であり、前記洗浄後に、５０℃以上の窒素雰囲気下で前記被洗浄材を乾燥させる第１乾燥工程を含む洗浄方法。 （もっと読む）

本発明は、高圧処理器に関し、本発明による高圧処理器は、高圧の二酸化炭素が内側に供給され、該高圧の二酸化炭素でウェーハを洗浄することができる収納空間部と、該収納空間部の前段で該収納空間部の高さよりさらに高い空間である開閉空間部とを備える本体と；前記本体の収納空間部に固定設置されて前記ウェーハを実装し、前記流入された高圧の二酸化炭素を前記ウェーハの表面に沿って流れるようにして洗浄するウェーハ支持部と；前記本体の開閉空間部の一側を密閉し、且つ、前記ウェーハのローディング及びアンローディングが可能な開口部が設けられたドアカバーと；前記開閉空間部内で上下移動が可能であり、前記ドアカバー側に前後移動が可能なドアと；前記ドアを上下方向に駆動させるドア駆動部と；を含む。このような構成の本発明は、気密部分が高圧の二酸化炭素に露出することを最小化し、気密部の寿命を延長させることができるという効果があり、ドアを上下及び前後に移動させることができるようにして、気密性を向上させると共に、上下駆動時に周辺との摩擦を最小化し、摩耗量を低減し、高圧処理器の寿命を延長させることができ、異物の発生を防止することができるという効果がある。 （もっと読む）

【課題】第１電極への直流電圧を印加する方式を採用しながら、対向電極を実質的に必要としないプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマエッチング装置は、半導体ウエハＷが収容され、内部が真空排気可能なチャンバ１０と、チャンバ１０内に互いに対向して配置される、上部電極３４および半導体ウエハＷを載置する下部電極１６と、チャンバ１０内に処理ガスを供給する処理ガス供給ユニット６６と、下部電極１６にプラズマ生成用の高周波電力を印加する第１の高周波電源４８およびバイアス用の高周波電力を印加する第２の高周波電源９０と、上部電極３４に正負交互に変化する直流電圧を印加する直流電圧印加ユニット５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】大気圧プラズマ発生装置の組立及び分解を、容易とする。
【解決手段】固定台座１１０と、高圧電源部品１２０と、プラズマ発生本体１３０とを備える迅速分解式大気圧プラズマ発生装置１００において、固定台座は、対向する第１の端部１１２及び第２の端部１１４を備え、高圧電源部品は、固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４を備える。なお、第１の継手は第１の端部に位置する。プラズマ発生本体は、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４を含み、これらいずれもプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、第２の継手が内スリーブに設置されている。プラズマ発生本体が固定台座の第１の端部に取り付けられると、高圧外スリーブが内スリーブを覆って、第２の継手が第１の継手と接続する。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液を被処理部物に供給しながらブラシ処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、被処理物をブラッシング処理するためのブラシとを具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】除塵能力の高い除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に気体を吹き付けて除塵する除塵装置１であって、気体を噴射する噴射手段（イオナイザ１６ａ、１６ｂ）と、噴射手段から噴射される気体を対象物８７の同一箇所に複数の方向から吹き付ける吹き付け手段（噴射ノズル１９ａ、１９ｂ）と、を備える。対象物８７の同一箇所に向けて複数の方向から気体を吹き付けるので、１方向からのみ気体を吹き付ける場合に比べて塵埃が飛散し易い。よって、対象物に付着した塵埃を除塵する能力が高い。 （もっと読む）

【課題】外部から供給される気体を除塵性能の低下を低減しつつ複数の噴射手段から噴射する除塵装置、及び除電除塵装置を提供する。
【解決手段】対象物に向けて気体を噴射する除塵装置であって、複数の噴射手段と、外部から供給される気体を、複数の前記噴射手段を１つ以上の前記噴射手段からなるグループに分けた各グループから互いに異なるタイミングで噴射させる噴射制御手段と、を備える。各グループから互いに異なるタイミングで気体を噴射するので、あるグループからは気体が噴射され、別のグループからは気体が噴射されないという期間が生じる。したがって、少なくともその期間においては、全てのグループから同時に気体を噴射する場合に比べて噴射される気体の圧力の低下が小さくなり、除塵性能の低下を低減できる。 （もっと読む）

【課題】カップ状容器を積み重ねた状態のままで容器内部の異物を除去できる容器用除塵機を提供する。
【解決手段】本発明の容器用除塵機は、複数のカップ状容器を積み重ねた状態で保持する保持手段（ガイドポール）と、積み重ねたカップ状容器の軸線に対して横方向からエアブローするエアブロー手段と、を有することを特徴とする。なお、エアブロー手段から発生されるエアブローにイオンを含ませることが好ましい。 （もっと読む）

本発明は、密封された筐体内に用意されたオブジェクトの洗浄および／または殺菌方法に関し、筐体の内部容積と周囲との間に気圧差をもたらし、オブジェクトの前記洗浄および／または殺菌方法のための筐体内部のみにプラズマを発生させる。また、本発明は、これを可能にする装置に関する。装置１０は、真空ポンプ２を使って空気が抜かれる真空チャンバ１と、筐体８内に適切なガスのプラズマを発生させるように構成されたプラズマ源３とを備え、筐体８は、真空チャンバの周囲に対して略密封して閉じられる。筐体８は、可塑性タイプでも、剛性材料から製造されてもよい。筐体が剛性のときの場合、筐体内部の気圧は、外の気圧より低くてもよい。
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【課題】除塵作業後の被除塵物に粉塵が再付着するのを抑止する。
【解決手段】粉塵拭き取り用又は粉塵掃き取り用のワイプ部材４を備える除塵ロボット６を設け、搬送手段により搬送される被除塵物２をワイプ部材４で除塵する除塵用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にするとともに、被除塵物２から離れた位置に設定した清掃域でワイプ部材４の清掃が実施可能なように、除塵用動作後のワイプ部材４を清掃域に移動させる清掃用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にする。 （もっと読む）