【課題】装置価格の上昇を抑えつつ処理時間を短縮することのできるプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマ洗浄装置１は、基板５０を搬送する搬送機構１５を備えた前チャンバ２と、主チャンバ入口１４に繋がっており、基板５０をプラズマ洗浄する高周波電極２５等を備えると共に、搬送機構１８を備えた主チャンバ３と、主チャンバ出口１７に繋がって、搬送機構２１を備えた後チャンバ４と、主チャンバ３に接続される主真空ポンプ７と、前チャンバ２および後チャンバ４に共通して接続される副真空ポンプ６とを備え、主真空ポンプ７によって真空引きされた主チャンバ３に前チャンバ２から基板５０を搬送するとき、および主チャンバ３から後チャンバ４に基板５０を搬送するときには、前チャンバ２、後チャンバ４を副真空ポンプ６で予め真空引きしておくものである。 （もっと読む）

【課題】パレット上に打抜かれた段ボールを積重ねてその切断端面を掃除機のアタッチメントによって吸引して紙粉を除去する従来の工程を省略することが可能であって、新たな紙粉の除去工程を設けることなくしかも打抜かれた段ボールから紙粉を除去する。
【解決手段】打抜かれた段ボールの抜きズレの検査のための検査台１０のケース２２の内部を空洞にし、吸引用ブロア３０によって吸引除去して内部を負圧にしておき、上面板１５の小孔１６、１７によって段ボール１１に付着している紙粉を吸引除去し、フィルタ３３によって捕捉して空気から分離する。そのときに上方に配置された除電機３７および送風機４２によって上方からイオン化された空気を吹きかけ、段ボール１１の静電気を中和する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、絶縁物で特にプリント基板の表面改質に係り、主に微小領域に対する処理対象の表面に付着する微小な有機物除去による洗浄および親水性向上を目的とし、微小放電プラズマを用いた、薬品・溶剤レスのドライ処理によりパターン印刷部のみの表面改質を行ない、製作工程の低減、環境面負荷低減、製品の歩留まり向上ならびに工業的付加価値を高める放電表面処理装置及び放電表面処理方法に関する。
【解決手段】 基板を可動ステージ上に載置し、少なくとも一方が誘電体で覆われた高電圧電極と接地電極を有する微細放電電極と基板とを相対位置合せし、高電圧電極と接地電極との間に高電圧を印加するとともに、微細放電電極に放電ガスを供給することにより、微細放電電極に微細な非平衡放電プラズマを発生させ、前記プラズマのなかで生成される活性種を被処理基板に対して吹きつけながら、可動ステージにより基板をＸＹ面内でＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、活性種を基板の表面に次々に作用させて該表面を改質する。 （もっと読む）

【課題】除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供する。
【解決手段】除塵ヘッド１００に対向するように配置され、噴射室１１１の噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスを受けて方向を転換させる受け部２００を備え、隣接する二個の除塵対象１０間の隙間に向けて噴射室１１１の噴射口１１１ａから洗浄ガスを噴射し、受け部２００で方向を転換させた洗浄ガスを上流側吸引室１１２の吸引口１１２ａおよび下流側吸引室１１３の吸引口１１３ａから吸引する除塵装置１とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機物質でコーティングされた材料２の表面を連続的にクリーニングするための方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、酸素を含むガス流が供給される処理領域へ材料２を導入する工程と、材料２を接地する工程と、材料２の表面と誘電体で覆われた少なくとも１つの電極３との間に電界を課すことによりプラズマを生成する工程とを備える。電界は、パルス状を成すとともに、材料２に対して正および負の一連の電圧パルスを含む。さらに、正パルスの最大電圧Ｕ^＋が、アーク開始電圧Ｕ_ａよりも大きく、負パルスの最大電圧Ｕ⁻の絶対値が、アーク開始電圧Ｕ_ａよりも小さい。本発明はまた、上記の方法を行なうために使用する発生器と装置に関する。 （もっと読む）

【課題】洗浄媒体の飛翔方向と姿勢を制御して運動速度と清浄度とを高めることにより洗浄品質と洗浄効率とを向上させると共に、幅の小さな溝が形成された複雑な形状の部品でも傷付けたり洗浄残しを発生したりすることなく洗浄可能な乾式洗浄装置を実現する。
【解決手段】本発明の乾式洗浄装置１は、可撓性洗浄媒体を収容した洗浄槽２と、飛翔した薄片状の可撓性洗浄媒体８を高速気流により洗浄対象物９に衝突させて洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去する洗浄媒体加速手段４と、洗浄対象物に衝突した洗浄媒体に付着した付着物を吸引して除去して洗浄媒体を再生する洗浄媒体再生手段５と、洗浄槽に収容した洗浄媒体を洗浄媒体加速手段まで搬送させる循環手段３とを備えた構成であり、さらに、洗浄媒体加速手段４からの高速気流により搬送された洗浄媒体８を整流し、洗浄媒体加速手段以外からの外乱を防ぐ洗浄媒体整流手段６を備えた構成とした。 （もっと読む）

無機支持体の表面調製のための方法であって、それが、支持体を反応室内に導入するか、又は支持体を反応室内で走行させる、但し、反応室では少なくとも二つの電極が配置され、少なくとも一つの誘電バリヤーがこれらの少なくとも二つの電極の間に配置される；高周波電圧を発生する、但し、前記電圧は、それが少なくとも二つの電極間にフィラメント状プラズマを発生するようなものである；電圧を発生する設備の固有インダクタと並列に配置された調整可能なインダクタを使用して、発生される電流と電圧の間の位相シフトを減少する；少なくとも一つのタイプの分子を反応室内に導入し、プラズマと接触すると、それらの分子が支持体の表面と反応することができる活性種を発生するようにする；発電機回路によって送出される電圧及び／又は周波数、及び／又は調整可能なインダクタのインダクタンスを、方法の開始時または方法の間に、最適な反応特性を得るように適合する；支持体を、前記支持体の少なくとも一方の側上に所望の表面調製を得るのに十分な時間の間、室内に保持する；及び発電機回路によって送出される電圧及び／又は周波数、及び／又はインダクタのインダクタンスを、電圧が放電を持続するための電圧より高い時間を延ばす高調波の生成を促進するように適合する操作を含む。 （もっと読む）

【課題】剥離フィルムを確実に、且つ連続的に清掃することができる剥離フィルムのリサイクル方法を提供すること。
【解決手段】剥離フィルムに第1粘着ロールを接触させて、剥離フィルムに付着した付着物を第1粘着ロールに付着させるフィルム清掃工程と、第1粘着ロールに第２粘着ロールを接触させて、第1粘着ロールに付着した付着物を第２粘着ロールに付着させる第１ロール清掃工程と、第２粘着ロールに付着した付着物を除去する第２ロール清掃工程と、を備え、第１ロール清掃工程において、第２粘着ロールの表面のうち付着物が除去された部分を第1粘着ロールに接触させる、剥離フィルムのリサイクル方法。 （もっと読む）

【課題】空気の噴射が停止した後の除塵結果の確認が容易な除塵装置を提供する。
【解決手段】放電針と、放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段と、放電針の針先付近へ空気を供給してイオンを噴射する空気噴射手段と、光源と、少なくとも、空気噴射手段による空気の噴射が停止した後の期間（Ａ期間）、光源を点灯し、当該期間の終了時に光源を消灯する光源制御手段と、を備える。作業者は光源の点灯を自身で行わなくてもよいので、空気の噴射が停止した後の除塵結果の確認が容易である。 （もっと読む）

【課題】操作が簡便で操作性の良い除電除塵装置を提供すること。
【解決手段】除電除塵装置１０の本体ケース１１（胴部１１ａ）には、照光ランプＬの点灯モードを設定するための点灯モード設定スイッチＳＷ２が設けられている。点灯モードは、トリガー１４のオン・オフに同期して照光ランプＬを点灯・消灯する同期点灯モードを含む。 （もっと読む）

【課題】使用停止後にイオン化した空気が滞留することがなく、滞留するイオン化した空気による構成部品の劣化・腐食を防止する除電除塵装置を提供する。
【解決手段】トリガースイッチＳＷ１からの起動制御信号ＳＧ１の立ち下がり信号に応答して、放電制御回路部２７は放電針２２とノズルＮ間への放電電圧の印加を停止した。このとき、電磁弁制御回路部１７も、起動制御信号ＳＧ１の立ち下がり信号に応答して、補助タイミング信号を生成して、電磁弁１６を予め設定した時間の間、開状態にした後、閉状態にする。そして、放電終了時においてイオン生成室に残っているイオン化された空気を吐出口から吐出して、イオン生成室内にイオン化した空気が残らないようにする。 （もっと読む）

【課題】ユーザに異常状態を速やかに気づかせることができ異常解消のための対策を速やかに実行することができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】印加する放電電圧に異常が生じたときに、その異常を報知する照光ランプを、ノズルＮから噴射したイオン化した空気を除電除塵対象物Ｗに吹き付けるとき、その除電除塵対象物Ｗの吹き付け場所Ｚにその可視光線Ｌｖが照射されるように、本体ケースの胴部１１ａに配置した。 （もっと読む）

【課題】 金属製建具の表面を鏡面状に仕上げるバフ研磨を行った後に残存するバフ研磨剤（バフかす）を、人体や環境に悪影響を与えることなく、効果的に除去することが課題である。
【解決手段】 プラズマ発生用高周波電源装置を用い、アルゴンガスをアルゴンプラスイオン（Ａｒ^＋）と電子に解離させる。そして、高電圧をかけることによって加速したアルゴンプラスイオン（Ａｒ^＋）をバフ研磨後の金属製建具の表面に照射してシリコン等からなるバフ研磨剤（バフかす）を除去する。 （もっと読む）

【課題】モードを適宜切り替えながらの作業効率を向上させることができる手持ち式の除電除塵装置を提供する。
【解決手段】本体ケース１１には、外部操作に基づき連続出射モード、第１間欠出射モード、及び第２間欠出射モードのいずれかで、電磁弁ユニット１５を動作させるためのモード切替手段としてのモード切替スイッチＭ１及びモードスイッチ回路Ｍ２が本体ケース１１に設けられる。 （もっと読む）

【課題】本体ケースやその内部部品の破損を未然に防ぐことができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】本体ケース１１は、筒形状の胴部１１ａと、その胴部１１ａの下部から延出形成された把持部１１ｂとを有し、その胴部１１ａに外部からの衝撃を吸収するための衝撃吸収部材としてのカバー部材３を備える。 （もっと読む）

【課題】液体容器の容器本体内部を短時間で効率よく確実に洗浄できる容器洗浄装置を提供すること。
【解決手段】保護用函体１内にプラスチック製の液体取出口２ｏ付き容器本体２を収納してなる液体容器３の容器本体２内部を洗浄する容器洗浄装置であって、 作業床部６と左右側壁部７，８と後側壁部９と天井部１０と前面側出入口１１とからなるクリーンブース４を設け、作業床部６には、床部６上面から垂直上向きに所要高さ突出して先端ノズルヘッド１５ａからイオンを含む清浄なエアを噴射させる静電ブローノズル１５を設けると共に、このノズル１５を囲繞して床部６上面に近い位置でノズル１５周囲に環状の吸引排出口１６ａを形成する洗浄済みエア吸引排出管１６を設け、クリーンブース４内の上部側にはイオン放出口１２ａ及び清浄エア放出口１３ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】各種の処理対象体を均一にプラズマ処理し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】処理対象管Ｚ（処理対象体）を貫通させる貫通孔２２ａが形成された筐体１１と、筐体１１に立設されると共に高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４とを備えて、高周波信号Ｓの放射によって放射器１４の近傍にプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、貫通孔２２ａに貫通させた状態で筐体１１に取り外し可能に取り付けられると共に、筐体１１の内面に対する接離方向への処理対象管Ｚの移動を規制しつつ、貫通方向に沿っての処理対象管Ｚの移動を許容する位置決め部材１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数のプリント配線基板の全面領域にわたって処理の均一性を改善できる多電極プラズマ処理システムの提供。
【解決手段】装置は、真空チャンバ１４と、隣接する対が真空チャンバ１４の内側に配置された、複数の並列配置された電極２８と、電極２８に電気的に接続されたＲＦ発生器３０とを具備している。装置は、ガス分配マニホールドと、ガス分配マニホールド６０に結合された複数のガス分配管６２とを具備している。それぞれのガス分配管６２は、開口部６３ａを有し、それぞれの隣接する電極２８の対の間に、源ガスを注入するように構成されている。装置はさらに、流れ制限部材を具備し、これが動作して、それぞれの隣接する電極の対の間の周辺ギャップを部分的に塞ぎ、それぞれの隣接する電極の対の間にて処理チャンバからの源ガスの逃げを制限する。 （もっと読む）

【課題】空気供給源の能力や高速除電するか否かなどに応じてより適した空気供給時間で除電、除塵を行うことができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】空気供給源からの空気を放電針の針先付近へ供給してイオンを除電除塵対象物へ吹き付ける空気供給手段と、空気供給手段による放電針の針先付近への空気の供給状態を第一状態と第一状態とは異なる第二状態との間で繰り返し制御する空気制御手段と、空気制御手段における１回当たりの第一状態の時間を変更する変更手段とを備え、第一状態は空気を供給する状態であり、第二状態は空気の供給を停止する状態である、又は、第一状態は空気を強く供給する状態であり、第二状態は空気を弱く供給する状態である。 （もっと読む）

【課題】ブラシの寿命を長くした洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する保持機構１０と、基板Ｗを洗浄可能な洗浄ブラシ２１とを備え、保持機構１０に保持された基板Ｗに洗浄ブラシ２１を当接させながら相対回転させて基板Ｗを洗浄するように構成された洗浄装置１において、洗浄ブラシ２１を洗浄するブラシ洗浄器５０を有し、このブラシ洗浄器５０は、洗浄ブラシ２１の表面電位を変化させて、洗浄ブラシ２１の表面電位および当該洗浄ブラシ２１に付着した異物の表面電位を互いに正負が同じ表面電位にすることにより、洗浄ブラシ２１から異物を分離して除去するようになっている。 （もっと読む）