【課題】内視鏡等の管状の医療用器具の洗浄及び／又は滅菌に適した洗浄装置を提案する。
【解決手段】第１のチャンバー及び第２のチャンバーを備えた容器であって、容器（８）は２つのチャンバー（９Ａ及び９Ｂ）に分割されており、洗浄／滅菌対象物は第１のチャンバー内にその一端が収められ、第２のチャンバー内に他の一端が収められるように配置される。第１のチャンバーには液体が第２のチャンバーへと強制的にサージされるように圧力がかけられる。このサージ効果は、第２のチャンバーにおけるいずれかのフレキシブルメンブレン（２０）の使用、若しくは、１８０度の位相差をもって駆動される一対ピストンの使用、により容易に得られる。これにより一方のチャンバーが加圧されているときに、第２のチャンバーが減圧される。 （もっと読む）

【課題】
切換バルブ装置から合流点までの間に逆流防止弁を設けなくても洗浄時の逆流を確実に阻止して、洗浄不良や塗装不良を起こさないようにする。
【解決手段】
主剤側洗浄工程（Ａ_ｎ）と硬化剤側洗浄工程（Ｂ_ｎ）を交互に繰り返す際に、主剤側洗浄工程（Ａ_ｎ）終了後、硬化剤側洗浄工程（Ｂ_ｎ）開始前に、少なくとも主剤供給管（２Ａ）に主剤用洗浄液を充填する主剤用洗浄液充填工程（Ｃ_ｎ）を行い、硬化剤側洗浄工程（Ｂ_ｎ）終了後、主剤側洗浄工程（Ａ_ｎ＋１）開始前に、少なくとも硬化剤供給管（２Ｂ）に硬化剤用洗浄液を充填する硬化剤用洗浄液充填工程（Ｄ_ｎ）を行なうようにした。
するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、洗浄漕部の下流側から洗浄液を排出するに当たり、泡の発生を防止し、従来のように排液漕部から洗浄漕部に逆流した泡が洗浄能力を低下させることがないだけでなく、洗浄漕部内の洗浄水の流れ分布の調整をより容易に行うことができる流水式洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の流水式洗浄装置１においては、洗浄漕部３の最下流側に設けられている排水プレート４１には一方が洗浄漕部３に向かって開口する複数の排水パイプ４５が取り付けられている。排水パイプ４５のそれぞれは各流量調整弁５１を備えた流量調整装置５を通った後、まとめられてポンプＰの吸入口に接続されている。ポンプＰの吐出口側には、ポンプＰから吐出された洗浄液の汚染物を取り除いて給液漕部へ循環供給するために洗浄液フィルターＦが設けられている。 （もっと読む）

パーツウオッシャー１０は、ウォッシングチャンバー１４、および所定の量の液体を保持するためのタンク１８を規定しているキャビネット１２を備えている。液的な連通路２０は、タンク１８とディスチャージバルブ２２との間に延びている。通常の洗浄サイクルの間、洗浄液はタンク１８から吸引され連通路２０を通ってウォッシングチャンバー１６内のマニフォールド４２に戻されウォッシングチャンバー１６に保持されている物品を洗浄する。セパレータ４８は、タンク１８と液的に連通しており、液体から汚濁を分離し、タンク１８へ還流される浄化された液体を生成する。ドレインシステムは、セパレータ４８からタンク１８へ排水でき、さらに、セパレータ４８およびタンク１８を液的に連通するドレインバルブ７８を備えている。アクチュエータシステム８４はディスチャージバルブ２２およびドレインバルブ７８と連結されており、ドレインバルブ７８を開いてセパレータからタンク１８へ排水し、ディスチャージバルブ２２を開いてタンク（そして、セパレータ４８も）を、ディスチャージバルブ２２を介してパージするようになっている。
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本発明は、物体の洗浄用の超音波アクチュエータに関し、当該超音波アクチュエータは超音波用の伝播容積３、４、１３を有し、当該伝播容積に１つ又は複数の超音波振動子５が配置されている。伝播容積３、４、１３は、洗浄される物体１、１２に音響結合する結合面を有する音響放出窓８と、放射された超音波のための１つ又は複数の反射面６、７とによって画定されている。超音波振動子５は、放射された超音波が、反射面６、７における１回又は複数回の反射の後に初めて、放出窓８を介して伝播容積３、４、１３から出るように、伝播容積３、４、１３に配置されている。反射面は、放出窓８において、強度ピークを伴わずに超音波エネルギーの事前設定可能な分散が生じるように設計されている。本発明の超音波アクチュエータによって、洗浄液をわずかに利用して物体を傷めない洗浄が達成される。 （もっと読む）

【課題】
薬液循環型の薬液洗浄装置において、洗浄により発生する薬液泡等により循環流路へエアが侵入して装置がエアーロックされることを防止でき、あるいはエアーロックが発生し難いワークの薬液洗浄方法および洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、オーバフロー槽の排出孔に渦が発生開始する薬液面の高さか、その手前で排出される薬液の液面を検出する第１の液面検出センサを設けているので、たとえ、オーバフロー槽から排出される薬液に泡が生じていても泡は渦に巻き込まれて薬液タンク側へに送り込まれないで済む。 （もっと読む）

【課題】湿式工程後に基板表面に存在する純水や湿気を乾燥工程を通じて容易にとり除くことが可能な基板乾燥装置及びこれを利用した基板乾燥方法を提供する。
【解決手段】本発明の基板乾燥装置１００は、純水供給手段１１を具備し、該純水供給手段１１の内部で基板Ｓの洗浄を行う洗浄槽１０と、前記洗浄槽１０で洗浄された前記基板Ｓを乾燥させるように、少なくとも一つ以上のノズル７０、８０、９０を具備し、前記ノズル７０、８０、９０を通じて前記基板Ｓに乾燥気体が噴射されるように構成され、いずれか一部が湾曲した形状を持つ乾燥槽３０と、前記基板Ｓを前記洗浄槽３０から前記乾燥槽３０に移送する移送手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた無機配向膜のイオン性不純物を確実、かつ簡便に除去できる、基板の洗浄方法を提供する。
【解決手段】無機配向膜１６が設けられた基板１０の洗浄方法である。洗浄槽２内の洗浄液中に設けられた一対の電極４ａ，４ｂ間に、基板１０を配置するとともに電極４ａ，４ｂ間に電圧を印加し、電極４ａ，４ｂ間に電界を生じさせることで無機配向膜１６中のイオン性不純物１７を除去する。 （もっと読む）

【課題】基板にダメージを与えることなく、イオン注入時にマスクとして用いられたレジストを良好に剥離（除去）することができる基板処理方法および基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面にレジスト剥離液としてのＳＰＭを供給するためのＳＰＭノズル１２と、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面に有機溶剤と窒素ガスとを混合して得られる混合流体を供給するための二流体ノズル１３とが備えられている。二流体ノズル１３からウエハＷの表面に混合流体が供給されることにより、レジストの表面の硬化層が破壊された後、ＳＰＭノズル１２からウエハＷの表面に高温のＳＰＭが供給されて、ウエハＷの表面からレジストが剥離される。 （もっと読む）

【課題】処理チャンバーの一次側に配設された濾過手段に捕捉された不要物質の高圧流体への吐き出しを防止することにより、清浄度の高い高圧流体を処理チャンバーに供給することのできる高圧処理装置および高圧処理方法を提供する。
【解決手段】高圧流体供給ユニット２と圧力容器１とをフィルタ２４を介して連通してＳＣＦ（高圧流体）を圧力容器１に導く主管路２６と、主管路２６に介挿されフィルタ２４を挟み込むようにフィルタ２４の一次側と二次側にそれぞれ開閉弁Ｖ２と開閉弁Ｖ４とを備えている。洗浄処理を実行する際には、開閉弁Ｖ２，Ｖ４を開状態として高圧流体供給ユニット２から圧力容器１にＳＣＦを送り込む一方で、洗浄処理を実行しない間は、開閉弁Ｖ２，Ｖ４を閉状態として開閉弁Ｖ２と開閉弁Ｖ４との間にＳＣＦを閉じ込めて封止させている。 （もっと読む）

【課題】浸漬液中に浸漬された洗浄対象物に対して洗浄処理を行う液中洗浄システムにおいて、ノズルから噴射される洗浄流体を高い速度の状態ままで効率的に洗浄対象物に噴射させることができるようにして、液中洗浄システムの洗浄能力の向上を図る。
【解決手段】噴射ノズル１０の先端から直進性を持って噴射された液体と気体とで構成される多相流体を洗浄流体９として、洗浄処理を行う。具体的には、この洗浄流体９は、加圧液体の液相２５、該液相２５の周囲を囲む加圧気体と加圧液体からなる第１の混合相２６、および該第１の混合相２６の周囲を囲む加圧気体と浸漬液とからなる第２の混合相２７の三種の流体で構成される三相流体とする。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子から発生した超音波振動を減衰させることなく処理槽内へ伝播させ、かつ、処理槽内においては、基板表面の微細パターンを保護しつつ、基板表面のパーティクルを良好に除去できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、処理液供給部４０に不活性ガス溶解部４３を備え、伝播水供給部５０に脱気部５３を備える。これにより、処理液中に不活性ガスを溶解させる一方、超音波振動を伝播させるための伝播水からは脱気を行う。このため、伝播水中に気泡が発生して超音波振動のエネルギーを減衰させる恐れはない。また、処理液中に溶解した不活性ガスがクッションの役割を果たすため、処理槽１０内においては超音波振動による衝撃が緩和される。したがって、基板Ｗ表面の微細パターンを保護しつつ、基板Ｗ表面のパーティクルを良好に除去できる。 （もっと読む）

【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の消費量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０の最上部の基点Ｐから，回転方向Ｆに２７０°から３００°回転した位置に，第１のブロック１１０が設けられ，その後方側に第２のブロック１３０が設けられる。第１のブロック１１０により，回転ロール９０との間に狭小の隙間Ｄが形成され，その表面１１０ａに洗浄液吐出口１１１と吸引口１１２が形成される。第２のブロック１３０には，排気口１３１が形成される。回転ロール９０の下部側には，滞留部１４１と洗浄液誘導部１４２が形成された第３のブロック１４０が設けられる。洗浄時には，回転ロール９０を回転させた状態で，洗浄液吐出口１１１から隙間Ｄに洗浄液Ｈが吐出され，洗浄液Ｈが回転ロール９０の表面を伝って流れ，滞留部１４１で一旦滞留された後，洗浄液誘導部１４２を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】容器内で強制的に液体の流速を変更させることにより、大小の気泡を効率よく分離できる気泡除去方法、及びこの方法を実現できる構造が簡単で小型化が可能な気泡除去装置を提供すること。
【解決手段】以下の（１）〜（３）の工程からなる気泡除去方法。
（１）大小の気泡を含有する液体を比較的長い流路に供給することで前記液体内の大きな気泡を液面に浮上させて除去する工程。
（２）前記比較的長い流路に供給された液体の流速を減衰手段により減衰させる工程。
（３）前記流速が減衰された液体を所定時間減衰された流速を維持させることにより、前記液体内の小さな気泡を液面に浮上させて除去する工程。 （もっと読む）

【課題】小型化され、洗浄能力が高く、かつ、洗浄水を再利用することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置は、被洗浄物が洗浄水で洗浄される洗浄槽１と、洗浄槽１の底面および側面を囲むように設けられた外槽２とを備えている。外槽２内には、洗浄槽１において洗浄のために使用された後の汚物を含む洗浄水４が貯留される。外槽２内の汚物を含む洗浄水４は、微細気泡発生機構８およびオゾン発生機構３によって浄化された後、ポンプ５によって、配管６および弁９を介して、再利用水４として、洗浄槽１に戻される。 （もっと読む）

【課題】洗浄溶液を循環させて，その洗浄溶液中の不純物金属成分を低減させてその洗浄溶液を再び洗浄槽に戻すことにより，洗浄溶液による洗浄後のすすぎ洗浄によって被洗浄物の表面に不純物金属成分が析出して付着することを防止する。
【解決手段】洗浄用薬液などの洗浄溶液を入れる洗浄槽１１０と，洗浄槽の洗浄溶液を循環路を介して循環させる循環系１２０と，循環路の途中に設けられ，洗浄溶液中の不純物金属成分を低減させる電気透析装置２００とを設けた。 （もっと読む）

【課題】環境安全性に優れ、洗浄溶剤の消費量を低減できると共に、ワークの蒸気洗浄及び乾燥をより効果的に行うことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄溶剤を用いてワークを洗浄する洗浄槽１２と、洗浄槽１２から分離して配置されると共に洗浄溶剤の蒸気を発生させる蒸気発生槽５２とを有している。この洗浄装置において、洗浄槽１２は、下部に設けられて洗浄溶剤の液体でワークを洗浄する液体洗浄エリア１６と、中間部に設けられて洗浄溶剤の蒸気でワークを洗浄する蒸気洗浄エリア１８と、上部に設けられて洗浄溶剤の蒸気を冷却して洗浄溶剤を液化させる蒸気冷却エリア２０とを少なくとも備えている。また、洗浄槽１２と蒸気発生槽５２との間には、蒸気発生槽５２で発生させた蒸気を蒸気洗浄エリア１８に供給するための第１配管５４が設けられ、その第１配管５４は、蒸気洗浄エリア１８側の取付位置２２よりも蒸気発生槽１４側の取付位置５６の方が低くなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、長尺反物状の繊維布材の洗浄を複雑な装置を使わず迅速且つ確実に行うことができる繊維布材の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】 繊維布材３に含まれる付着物Ａを除去するための繊維布材３の洗浄方法であって、第一リール１に巻き取られている前記繊維布材３を送り出し、循環洗浄タンク４に収容された洗浄液Ｗに浸漬し、第二リール２に巻き取る順方向洗浄工程と、前記第二リール２に巻き取られている前記繊維布材３を送り出し、前記循環洗浄タンク４に収容された前記洗浄液Ｗに浸漬し、前記第一リール１に巻き取る逆方向洗浄工程と、の二種類の洗浄工程を行う繊維布材の洗浄方法。 （もっと読む）

【目的】共通の洗浄槽にて洗浄と乾燥する場合において、洗浄装置の構造を簡単にしてコンパクト化するとともに、洗浄槽からの排水時に被洗浄物表面へ不純物が縞状に付着しないようにする。
【構成】洗浄槽１と洗浄液タンク２を上下に配置し、洗浄槽１内へ支持治具４に乗せたワーク３を入れ、洗浄液６を満たすとともに、ノズルユニット５のノズル１６から洗浄液と高圧エアによるミックス噴流を噴出させて、キャビテーション現象によりワーク３を洗浄する。その後、ノズル１６から高圧エアのみ噴出させながら洗浄槽１の洗浄液６を洗浄液タンク２へ排水させる。これにより洗浄液が対流してワーク３の表面に不純物を縞状に付着させない。排水後は洗浄時と共通のノズル１６から高圧エアのみ噴出させてワーク３を乾燥する。 （もっと読む）

【課題】物品を洗浄する工程において、洗浄剤中に汚れ成分の増加により発生する洗浄不良の抑制効果に優れ、洗浄剤の液寿命を飛躍的に改善する洗浄方法および洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】物品を洗浄する工程において、洗浄に先立って、汚れに対する溶解能が乏しく比重の大きい（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０³Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を含有する組成物（ｂ）によりプレ洗浄する。成分（ａ）としては、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）及び／またはハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）を用い、組成物（ｂ）は成分（ａ）を９０容量％以上１００容量％以下含有する。 （もっと読む）