【課題】粒度分布を有する粒状物であっても、粒状物の洗浄ロスを効果的に低減でき、かつ洗浄効率を犠牲にしない洗浄方法を提供する。
【解決手段】粒度分布を有する粒状物（１）および不純物（２）を含んで成る洗浄対象物（１０）を洗浄媒体（３、３’）により洗浄して不純物（２）を除去する方法であって、洗浄対象物（１０）が容器（５）内で洗浄媒体（３’）と接触し、かつ、洗浄媒体（３’）の上昇速度が容器（５）内で変化するように、容器（５）に洗浄媒体（３’）を下方（５ａ）から上方（５ｂ）へ流通させる。 （もっと読む）

【課題】液処理工程中に基板を上方から支持する基板支持部、あるいは基板とともに回転する天板を基板へ供給されるリンス液を用いて洗浄する。
【解決手段】液処理装置１００はウエハＷを上方から支持する回転自在の基板支持部１０と、基板支持部１０の回転中心に設けられ少なくともリンス液をウエハＷに対して供給するトッププレートノズル１０ｎとを備えている。トッププレートノズル１０ｎは基板支持部１０に対して上下方向に移動可能となっており、トッププレートノズル１０ｎを基板支持部１０から離間した状態でトッププレートノズル１０ｎからリンス液をウエハＷに対して供給する。トッププレートノズル１０ｎを基板支持部１０に接近させた状態で、トッププレートノズル１０ｎからリンス液を基板支持部１０の下面に供給して洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ゴム栓内部の狭くて奥まった凹部に付着残存する塵等のを十分に除去できるようにしたゴム栓洗浄方法を提供する。
【解決手段】ゴム栓Ｇを貯留槽１に投入して、その下部の洗浄用配管２に導入し、洗浄用配管２の基端部側に設けた加速用ノズル３より供給される高圧水流によって配管長手方向に移送しながら、洗浄用配管２の複数箇所に設置した、洗浄用配管径方向及び軸線方向に対し斜め方向に高圧噴射水を噴射する複数の洗浄用ノズル４によって洗浄用配管２内に渦巻き状の乱流１６を発生させて、この乱流１６によりゴム栓Ｇを洗浄し、この洗浄によりゴム栓Ｇから除去された異物を洗浄用配管２の先端部側に設けた異物排出ポート５より排出させると共に、貯留槽１に設けたオーバーフロー口６から水及び水より軽い異物をオーバーフローさせて排出し、洗浄されたゴム栓Ｇを水と共に貯留槽１に戻して回収する。 （もっと読む）

【課題】 マイクロバブルの洗浄液中での分散性を向上させた洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄液の構成を、洗浄液を溜める洗浄槽と、超音波振動を供給する超音波振動子と、所定の方向の流れを形成するようにマイクロバブルを含有した洗浄液を供給する洗浄液供給系とし、超音波振動子を洗浄槽の内部底面との間に隙間を有し且つ所定の方向の洗浄液の流れと所定の方向とは異なる方向の洗浄液の流れの境界位置に超音波振動子を配置し、洗浄液供給系がこの隙間に向けて洗浄液を供給することとする。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板において、ガラス基板表面の粗さを大きくすることなく、換言すると、ガラス基板表面の粗さが大きくなることを抑えつつ、ガラス基板表面に付着した金属汚染物質を効果的に除去する。
【解決手段】ガラス基板の洗浄工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、洗浄工程においては、シュウ酸イオンと鉄の２価イオンとを含む洗浄液７を用いて酸性条件下で洗浄を行い、洗浄工程と並行して、または、相前後して、洗浄液に含まれる２価の鉄イオンが酸化されて生成した３価の鉄イオンを紫外線照射２により還元する操作を行う。 （もっと読む）

【課題】確実な洗浄効果で洗浄時間を短縮、安定させ、撹拌洗浄で発生する泡を抑制し、次工程への取り出しの自動化、節水を図る。
【解決手段】被洗浄物を水の中で撹拌させて洗浄を行う洗浄装置であって、水平な回転軸７を中心とする半円筒面で小さな排水穴１７があけられた底面とする断面がＵ字形状の洗浄槽１には、投入口２、シャッター１５で開閉できる排出口１５と取出口３が設けられている。
回転軸には撹拌板８が、螺旋状に配列させて取り付けられている、洗浄水位の保持に堰の形態のオーバーフロー１３と、洗浄完了後の取り出し時の被洗浄物の排出を補助する放水管１２を備えている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図ることのできる洗浄装置を得る。
【解決手段】洗浄装置１０には、洗浄対象物２２を洗浄する洗浄部１３と、当該洗浄部１３内に液体を導入する導入路１７ｅと、洗浄部１３内の液体を洗浄部１３から排出する排出路１７ａと、を少なくとも有する循環路１８が形成されている。そして、循環路１８の洗浄部１３以外の部位に、電圧を印加することで放電を行う電極５１ａ、５１ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】被洗浄処理対象部に付着した物理的汚れを除去することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１により生成された洗浄液中で洗浄対象物５１を洗浄し、洗浄仕上げ時に洗浄対象物５１に向けて注水部６０より液体を注水する。 （もっと読む）

【課題】洗浄効率の向上を図ることにより環境負荷となる洗浄水自体の使用量を低減し、洗浄後の洗浄水の処理に要するコストを低減する。
【解決手段】洗浄水が自由に流入出可能な構造を有すると共に複数の被洗浄体を収容する洗浄用籠、上記洗浄用籠を設置する洗浄槽、上記洗浄用籠を回転させる回転装置、上記洗浄用籠内の上記被洗浄体が集合する受噴射籠面に向けて洗浄水と気体との気液混合物を噴射する少なくとも２個の互いに分散設置されたインゼクター、上記洗浄槽の上方から流出する洗浄済み水を回収すると共に重量差を利用して上記洗浄済み水を汚れ成分と洗浄水とに分離する回収分離槽、上記回収分離槽において分離された上記洗浄水を上記各インゼクターに再供給する洗浄水再供給装置を備え、上記各インゼクターは、洗浄時間の後半では噴射を停止、あるいは弱めるように構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の定置洗浄方法を改良して、好適に連続洗濯機内の全体を自動洗浄することができる連続洗濯機の定置洗浄方法を提供する。
【解決手段】各浴槽６に配設され通常の洗濯時の水位よりも高水位に設定されたオーバーフロー管７と、オーバーフロー管から溢れ出た水を貯留する貯水タンク８と、貯水タンクの水を圧送するポンプ１１と、ポンプからの水を噴射すべく外側ハウジング２の内側に配設された噴射ノズル１０とを備え、浴槽内に洗浄液を入れて内側ハウジングを回動若しくは連続して回転することにより浴槽内を洗浄するとともに、噴射ノズルから洗浄液を外側ハウジング内に噴射して浴槽内の自動洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物における洗浄対象部分の形態が複雑な場合であっても、超音波振動を利用することによって効果的に洗浄することができ、かつ、被洗浄物における洗浄対象部分のみを選択的に洗浄することができる部分洗浄装置およびそれを用いた部分洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物を下方から部分的に洗浄するための部分洗浄装置等であって、内部に超音波洗浄槽およびエアー吹き付けノズルを有し、上方に第１の開口部を有するハウジングと、ハウジングにおける第１の開口部と連通した開口部を形成するための第２の開口部を有し、ハウジングに対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材と、を備え、被洗浄物に超音波振動を付与しつつ、当該被洗浄物を、超音波洗浄槽の開口部よりオーバーフローさせた洗浄液に対して、第１および第２の開口部を介して接触させることにより洗浄した後、エアー吹き付けノズルにてエアーを吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンを収納した容器を洗浄槽との間で円滑かつ確実に搬送することができ、作業効率を向上させて安定した品質を維持できる多結晶シリコン洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】多結晶シリコンＳを容器３に収納した状態で洗浄槽２１〜２７に浸漬して洗浄する多結晶シリコンの洗浄装置１であって、洗浄槽２１〜２７の内底部に容器３を載置状態に保持するガイド枠５を有しており、ガイド枠５には上方から容器３の導入を案内する複数のガイド板５２が上方に向かうにしたがってガイド枠５の保持中心から離間する方向に傾斜して設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の部材で構成される複合トレイを洗浄する複合トレイ洗浄装置を低コストで実現する複合トレイ分解／組立ユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、載置面を有するトレイ部材６１と仕切部材６２とを少なくとも含む複合トレイ６０を分解洗浄するための複合トレイ洗浄装置１に用いられる複合トレイ分解／組立ユニットに関する。複合トレイ分解／組立ユニットは、搬送面１１に載置された複合トレイ６０を所定の搬送方向Ａに搬送するコンベア１０によって搬送される複合トレイ６０を、トレイ部材６１と仕切部材６２とに分解する分解装置２０と、分解装置２０によって分解されたトレイ部材６１および仕切部材６２を洗浄する洗浄装置３０によって洗浄された仕切部材６２を、トレイ部材６１の載置面側に取り付けて、複合トレイ６０を組み立てる組立装置とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より安定してラジカルを生成することのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体を収容する液体収容部４と、気体を収容する気体収容部５と、気体収容部５中の気体を液体収容部４へ導く気体通路３ａが形成され、液体収容部４と気体収容部５とを隔てる隔壁部３と、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、気体通路３ａに微細化手段を設け、気泡を微細化するようにした。 （もっと読む）

【課題】ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにする。
【解決手段】ノズル保持部３０により、ノズル本体５０の先端部を貯留槽２０内の液媒体に浸漬させ、ノズル本体５０の先端部が貯留槽２０の底面と所定の間隙を存して対向するようにノズル本体５０を保持する。そして、超音波振動子２１によってノズル本体５０を振動させている間に、吸引部４０によってノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引する。 （もっと読む）

【課題】高価なＨＦＥ溶剤液を用いて蒸気洗浄を行いながら、廉価な蒸気洗浄作業を可能にする。即ち、高価なＨＦＥ溶剤液を用いて蒸気洗浄を行いながら、ＨＦＥ溶剤液の消耗を小さなものとし、ＨＦＥ溶剤液を繰り返し使用し、結果的にはＨＦＥ溶剤液を用いた廉価な蒸気洗浄作業を可能とするものである。本発明は環境性能とともに洗浄性能に優れた高価なＨＦＥ溶剤液を用いながら廉価な蒸気洗浄を可能にする事が出来るものである。
【解決手段】ＨＦＥ溶剤液２の上面を、ＨＦＥ溶剤液２よりも比重が小さいとともに沸点が高い液体にて形成した表面被覆液４により被覆し、この表面被覆液４の上面にＨＦＥ溶剤液２を加熱して発生した洗浄蒸気を供給し、この洗浄蒸気を被洗浄物５に凝縮液化して被洗浄物５の蒸気洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物から剥離して洗浄水の液面に浮遊した油分を効果的に除去することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】ガラスリング１８の内周面１８Ａと接触する洗浄水Ｗの液面の縁部Ｅが、液面の一般部Ｇに比べて鉛直方向で高くなっている。このため、洗浄槽１２に供給された洗浄水Ｗによって溢れ出た洗浄水Ｗ及び洗浄水Ｗの液面に浮遊した油分Ａは、回収筒３４に流れ込む。このように、液面に浮遊する油分Ａが効果的に、回収筒３４に流れ込んで回収される。 （もっと読む）

【課題】 基板面内や基板間の処理のバラツキを低減することができるとともに、製品性能や製造歩留を向上させる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 処理基板１が収容される槽ＴＫと、処理槽ＴＫ内に液体、気体、又は液体と気体との両方を送り出す送出機構ＴＢ、Ａと、処理基板１に対して、液体、気体、又は気体と液体との両方が槽ＴＫ内へ送り出される位置と対向する位置から槽ＴＫ内の液体、気体、又は気体と液体との両方を排出する排出手段１０、２０、３０、４０と、を備えた基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】溶剤蒸気の流出や引火の危険を減少し洗浄効率の良い迅速な洗浄作業を可能にする。複数の洗浄部を設けて同時に被洗浄物を挿入したり複数の洗浄部を順次移動しながら異なる洗浄作業を被洗浄物に加える。この復数の洗浄部を個々に密閉可能にするとともに被洗浄物の外部への出入口を一個とし、溶剤蒸気の外部への流出を極度に減少させる。
【解決手段】蓋体２にて密閉可能な出入口３を上端に設けた基準室１を設ける。この基準室１の外周に基準室１との連通および遮断を可能にした側室８、９を設ける。前記基準室１に被洗浄物７を出入する上下搬送機構５と、被洗浄物７を側室８、９内に搬入または基準室１に搬出可能とした水平搬送機構１１，１２とを設ける。この水平搬送機構１１、１２に接続し、側室８、９と基準室１との連通または遮断を可能とした遮断壁２６、２７とから成る被洗浄物の洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】円筒状基体の脱脂洗浄において、円筒状基体からの切削油の除去効率を向上しつつ、除去された切削油の再付着を抑制する。
【解決手段】薬液供給手段により脱脂洗浄槽内に供給される薬液を脱脂洗浄槽上面よりオーバーフローさせ、円筒状基体の浸漬時には、薬液の流速が円筒状基体の内面側よりも外面側の方が速くなるよう脱脂洗浄槽内に薬液を供給し、脱脂洗浄槽に円筒状基体を浸漬させてから所定の時間が経過した後、円筒状基体を脱脂洗浄槽の液面よりも高い位置まで引き上げて第１の脱脂洗浄工程を終了し、円筒状基体が液面よりも高い位置で保持されている間に、円筒状基体から除去された油を薬液とともにオーバーフローにより脱脂洗浄槽の外に排出するために、薬液の流速が円筒状基体の外面相当位置よりも内面相当位置の方が速くなるように薬液を供給し、円筒状基体を脱脂洗浄槽に再度浸漬させて第２の脱脂洗浄工程を少なくとも１回行う。 （もっと読む）