【課題】簡便で安価な構成により、液剤製品を製造する設備を効率的に洗浄することが可能な液剤配合設備の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】液剤を調製するための配合槽２と、配合槽２に原料を供給する原料供給ライン３と、配合槽２から液剤を循環させて再び配合槽２に戻す循環ライン４と、循環ライン４の経路内及び／又は循環ライン４から外部に接続するように設けられるバルブ５と、が備えられた液剤配合設備１を洗浄するための洗浄方法であり、配合槽２に洗浄媒体を供給して配合槽２を洗浄するとともに、前記洗浄媒体を配合槽２から循環ライン４に循環させて該循環ライン４を洗浄する際、バルブ５を開閉制御することによって前記洗浄媒体を移送制御する方法である。 （もっと読む）

【課題】ガス溶解水を用いて基板等を洗浄する場合の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ガスをガス溶解装置１で水中に溶解させ、ガス溶解水を殻体たる洗浄槽４に導入し、被洗浄物としての基板Ｓを洗浄する。ガス溶解装置１からのガス溶解水が配管２及び水圧調整弁３を介して洗浄槽４に導入される。水圧調整弁３で減圧されることにより、洗浄槽４内に導入されるガス溶解水中に微細気泡が多量に生じる。この微細気泡含有水によって基板が効率よく洗浄される。 （もっと読む）

【課題】ジェット洗浄による粗洗浄と超音波洗浄による精密洗浄に於いて、洗浄水量の減少化を図る。
【解決手段】洗浄槽１０内に向けて、洗浄水としてのジェット水流を噴射ノズル２２ａ，２２ｂから噴射して、洗浄器材に付着する汚れを除去し、汚れを含む洗浄処理水を洗浄槽１０から排水するジェット洗浄手段と、前記ジェット洗浄手段で洗浄された洗浄器材が収容されている洗浄槽１０内に、前記洗浄器材が浸漬するように洗浄剤を含有する洗浄液を貯留し、前記洗浄器材に対して超音波発信器２０から超音波を照射して、前記洗浄器材に残留している汚れを除去する超音波洗浄手段と、洗浄槽１０の上方に設けられたリザーブタンク１４に、前記超音波洗浄手段で用いた洗浄水を貯留する貯留手段と、リザーブタンク１４に貯留された洗浄水を、洗浄槽１０に移動して超音波用洗浄水として再使用する再使用手段とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 部品洗浄加熱器ポンプモジュールの提供。
【解決手段】 部品洗浄機は、洗浄液中に懸濁する金属粒子を回収するためにポンプ入口近くに配置された磁石と、取扱時に衝撃からポンプ機構を保護するケーシングと、一連の垂直層内での洗浄液の分離をうまく行う水平配向されたポンプと、貯留槽内の洗浄液の液位を計測する二つの液位センサーと、洗浄液の蒸発分を制限するために貯留槽と容器との境界部に位置する蒸発制限板と、衝撃から装置を保護するために制御部の操作部の隣りに設置された保護ハンドルバーと、可変調整器なしのポンプを使用して洗浄液の流量を低流量にできるポンプモーター制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】破砕プラスチックをローコスト、かつ低い環境負荷で洗浄する。
【解決手段】破砕プラスチック及び洗浄水を洗浄タンク３７内で螺旋状に渦流させ、吸入口３７ｃ、搬送パイプ４５、循環パイプ５０、吐出口５０ａを流して複数回循環させる。破砕プラスチックは、破砕プラスチック同士の摩擦、洗浄タンクとの摩擦、洗浄水の気泡や流れなどによって付着していた汚れや破砕粉が洗い流される。洗浄タンク３７内での洗浄中に、パンチ穴３７ｅから微細な破砕屑が排出され、再成形に適したサイズの破砕プラスチックだけが選別される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プリント基板の製造中に薬液中に発生するスカムなどを効果的に除去することができる、プリント基板製造装置を提供するものである。
【解決手段】 かゝる本発明は、管理槽１００の薬液を使用部位に供給すると共に、現像チャンバー部などでの使用済みの薬液を管理槽１００に戻す薬液循環型のプリント基板製造装置において、管理槽１００が、オーバーフロー式の薬液貯留部１１０と、薬液を戻すための連通管１２０と、薬液を一部オーバーフローさせるための漏洩口１３０と、マイクロバブルを発生させることにより薬液中のスカムを液面上に浮遊させる泡発生ノズル１４０と、浮遊されたスカムを漏洩口側に誘導させる泡押出スプレー１５０とからなるプリント基板製造装置にあり、泡発生ノズル１４０によるマイクロバブルの発生と、泡押出スプレー１５０によるマイクロバブルの押し出しにより、効果的にスカムを除去することができる。 （もっと読む）

【課題】基板に対して良好に洗浄処理を施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】薬液ユニット１０は、基板Ｗの薬液処理を可能とするユニットである。洗浄ユニット６０は、薬液ユニット１０により薬液が供給された基板Ｗにマイクロバブル水を供給して、マイクロバブル水による洗浄処理を可能とするユニットである。洗浄ユニット６０は、主として、複数の上側ノズル６１と、複数の下側ノズル６２と、液ナイフ６６と、貯留槽２０と、マイクロバブル発生部２１と、を備えている。これにより、薬液処理後の基板Ｗにマイクロバブル水を供給することができる。そのため、薬液処理において基板に付着した薬液をマイクロバブル水により迅速に置換することができ、洗浄処理に使用される処理液の量を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】 基板に付着した有機物を良好に除去できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 除去ユニット１０は、主として、マイクロバブル水１１ａを基板Ｗに向けて吐出する複数の吐出ノズル１１と、マイクロバブル発生部２１と、を備えており、基板Ｗに付着した有機物を除去する。洗浄ユニット６０は、主として、複数の上側ノズル６１と、複数の下側ノズル６２と、貯留槽８０と、を備えており、除去ユニット１０での有機物除去処理が施された基板Ｗに対して純水によるリンス処理を施す。 （もっと読む）

【課題】従来のバフの洗浄装置においては、手による揉み洗いで、洗浄し、天日乾燥か、強制脱水等による方法が一般的である。この方法は、能率が劣ること、厳寒時には大変に辛い作業であり、その改良が望まれていた。一部において、洗浄水を単にバフ装置に吹き付けて洗浄する方法では、バフ装置のバフの奥に付着した汚れが取れ難い等の問題がある。そして、また乾燥はエアを吹き付けることにより行なっているため、エアの供給が必要であった。
【構成】フレームに設けたケーシングにクロス状に軸支したローラと、洗浄水供給装置と、ホースとで構成した車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置で、ケーシングの上面に水噴出用の孔を複数個開設し、この孔を洗浄水供給装置に連通し、またケーシングの上面に排水用の孔を複数個開設する構成とした車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置である。 （もっと読む）

【課題】薬液及び純水の消費量を削減できる基板洗浄装置及び基板洗浄方法
【解決手段】洗浄液と基板１００を収納する洗浄槽１１と、洗浄槽１１中の洗浄液に超音波振動を印加する超音波振動子１５と、洗浄液を循環させて基板１００を洗浄する循環装置１０と、洗浄液中の溶存ガス濃度を測定する測定装置２０と、溶存ガス濃度の測定結果に基づき、溶存ガス濃度が一定値になるように大気から洗浄液に溶解されるガス量を調整する調整装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】より効率的に、除外物を処理対象物から分離することを目的とする。
【解決手段】水槽１２の横断面は、少なくとも底壁が円弧状を形成し、水槽１２の一方の上側縁部２１ａに側縁開口部２２を設けると共に、すだれ部２３を設け、側縁開口部２２を設けた上側縁部２１ａの外側に樋部２６を設け、この樋部２６の一部に分離部２７ａを設け、分離部２７ａの下方に排水回収部２７を設け、側縁開口部２２が設けられた側の側壁又は底壁に水送出装置３１を設け、水送出装置３１から、所定の水流を生じさせ、かつ、この水流を、所定の第１水流、及び第２水流に分離させ、側縁開口部２２に向かう第１水流にのって、除外物を樋部２６に排出させると共に、水槽１２の底部に向かう第２水流にのって、除外物を分離した処理対象物を水槽１２の底部に送って、再び、上記水流にのせることにより、処理対象物に付随する除外物を分離除去する。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能に優れ、かつ、機構全体も簡素化してメンテナンスを容易に行うことができるようにしたコイン洗浄装置の提供。
【解決手段】洗浄対象物としてのコインＣが投入されるホッパ１２と、該ホッパ１２からコインＣが供給される回転ドラム２２と、コインＣの外径よりも小径な多数の通孔２２ａを有して回転ドラム２２の下部側の洗浄液Ｌ中への浸漬を自在に配設される洗浄液槽３２と、該洗浄液槽３２内に配設される超音波振動子３４と、回転ドラム２２から導出されるコインＣを載せて前上がり方向へと搬送する第１搬送手段４２と、該第１搬送手段４２からコインＣを受け取って方向を変えた前上がり方向へと搬送する第２搬送手段５２と、該第２搬送手段５２による搬送後のコインＣの付着洗浄液を除去する脱水手段６２とを少なくとも具備させた。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハなどの電子材料基板上に付着した有機汚染物などを洗浄液で効果的に除去でき、かつ洗浄液の品質寿命を長く維持できる洗浄システムを提供する。
【解決手段】硫酸溶液を含む洗浄液１６によって被洗浄材を洗浄する洗浄槽１と、過硫酸溶液を生成する過硫酸溶液生成手段２０と、過硫酸溶液を前記洗浄液に添加する過硫酸添加手段（開閉弁１４、過硫酸添加ライン１５）とを備える。過硫酸溶液生成手段２０は、好適には過硫酸塩溶液を用いた電気透析装置により構成し、洗浄液の液温は８０〜２００℃に調整し、硫酸濃度を８〜１７Ｍに維持するのが望ましい。洗浄液である硫酸に過硫酸溶液を添加することで高度な洗浄が可能になり、洗浄プロセスのスループットを向上できる。さらに洗浄液ライフも長くできる。 （もっと読む）

【課題】 部品や部品組立体（ワーク）を短時間に十分に洗浄、乾燥させることができ、しかも、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができて、溶剤の消費量が少なく、環境を汚染することのない、溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ワークを溶剤で洗浄して、ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、ワークを乾燥させるために、ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽１１〜１３と、これらの洗浄槽のうちの最終段洗浄槽１３を出たワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽２０とを備えている溶剤洗浄装置が、蒸気乾燥槽２０を出たワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽３０と、該密閉型完全乾燥槽３０で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置４０とをさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】寝具を回転フレームの内周に沿ってセットして、回転フレームを回転させながら寝具の洗浄や乾燥を行なうにあたって、オゾン殺菌を行なうことができる寝具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】軸周りに回転駆動される筒かご状に形成され、内周に沿って出し入れ自在に寝具１がセットされる回転フレーム２を洗浄槽３内に配置して設けた寝具の洗浄装置に関する。回転フレーム２を回転駆動しながら回転フレーム２の内側から寝具１に洗浄水を供給して寝具１を洗浄する洗浄手段。洗浄後に回転フレーム２を回転駆動して寝具１を脱水する脱水手段。回転フレーム２を回転駆動しながらオゾンを洗浄槽３内に供給して寝具１をオゾン殺菌するオゾン供給手段。寝具１をオゾン殺菌した後に、回転フレーム２を回転駆動しながら温風を寝具１に吹き当てて寝具１を乾燥する乾燥手段。これらの各手段を具備して、寝具１を洗浄、脱水、オゾン殺菌、乾燥することができる。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２の薬液タンクを有する薬液処理装置を用いた薬液処理工程において、第１の薬液タンクと第２の薬液タンクとを切替える際に、流路中に残留する旧薬液が新薬液に混入して、薬液濃度の変化や薬液の劣化を生じさせるのを未然に防止すること。
【解決手段】本発明では、薬液を用いて被処理体を処理する薬液処理部(12,13)に循環流路(10)を介して第１及び第２の薬液タンク(2,3)を連通し、制御部(22)で第１又は第２の薬液タンク(2,3)を切替えて薬液処理部(12,13)に薬液を供給するように構成した薬液処理装置(1)において、制御部(22)は、第１の薬液タンク(2)から第２の薬液タンク(3)に切替えるときに、第２の薬液タンク(3)から供給される薬液を循環流路(10)を介して第１の薬液タンク(2)に送る薬液切替流路(D)を一時的に形成することにした。 （もっと読む）

【課題】汚れの再付着を良好に阻止でき、これまでにない良好なシート洗浄を達成し得る画期的な技術を提供する。
【解決手段】洗浄液２が貯留する洗浄槽３内にシート材１を搬送通過させて前記洗浄液２にシート材１を浸漬することでシート材１を洗浄するシート洗浄装置において、洗浄槽３内に洗浄液２を供給する供給手段Ｓを設け、この供給手段Ｓは前記洗浄槽３内に洗浄液２を吐出供給するノズル部５を有し、このノズル部５は洗浄槽３内を搬送通過するシート材１に向けて前記洗浄液２を吐出することでこの洗浄槽３内に洗浄液２を供給し且つシート材１の巾方向中央部から巾方向左右側方へと向かう液流を発生させる液流発生供給部５として構成し、洗浄槽３の液貯留上限値を超えた洗浄液２をこの洗浄槽３からオーバーフローさせる余液排出部６を、この洗浄槽３内を搬送通過する前記シート材１の巾方向側に設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】粉体アルカリ洗浄剤の性能を損なうことなく、作業性、生産性及び洗浄品質に係る問題点を解決する。
【解決手段】本発明の洗浄装置１００は、液状の補給薬剤を補給しつつ洗浄処理を行う本槽部１０１を有する洗浄槽１０３と、洗浄液の循環ポンプユニット１０４と、補給薬剤の貯蔵用タンク１０５、１０６と、補給薬剤を補給する補給装置１０７、１０８と、補給装置１０７、１０８に補給の開始および停止の信号を出力する制御部１１０と、本槽部１０１内の洗浄液に補給薬剤を補給するための補給用ボックス１１１を備える。この補給用ボックス１１１は、貯蔵用タンク１０６からの補給薬剤が注がれる第一の流入部１１２と、ポンプユニット１０４からの洗浄液が注がれる第二の流入部１１３と、第一の流入部１１２から注がれた補給薬剤が第二の流入部１１から注がれた洗浄液に希釈されつつともに本槽部１０１内へと流出する流出部１１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】移送効率を向上できて省エネルギー化及び移送配管内洗浄を達成できる液体移送方法および液体移送装置を提供する。
【解決手段】この液体移送装置によれば、マイクロナノバブル発生ユニット７によってマイクロナノバブルを液体に含有させて移送配管１１内を移送する。これより、マイクロナノバブルを含有していない液体を移送する場合に比べて、移送配管１１内での配管摩擦抵抗を低減できる。また、マイクロナノバブルを含有する液体によって移送配管内洗浄ができる。よって、移送効率を向上でき、移送ポンプの消費電力を低減できて、省エネルギー化を達成できる。 （もっと読む）

【課題】例え気孔径が小さく、高密度で体積の大きな多孔質体であっても、この内部まで効率よく洗浄できるようにする。
【解決手段】密閉空間内に多孔質体１１０を配し、多孔質体１１０の内部を通過する加圧した洗浄液１２４で該多孔質体１１０の内部を洗浄し、その後、前記／又は別の密閉空間内に多孔質体１１０を配し、多孔質体１１０の内部を通過する加圧した純水を多孔質体１１０の内部に供給する。 （もっと読む）