【課題】硬化層が形成されたレジストを、基層にダメージを与えないように除去する。
【解決手段】レジスト除去方法は、イオンが注入されているレジストに、当該イオンの注入によって形成されたレジストの硬化層にアルカリ可溶性を生じさせる程度の紫外光を照射する照射工程と、前記レジストをアルカリ溶液に接触させて当該レジストをシリコン基板から剥離させる除去工程と、を含む。レジストには、１×１０^１４〜５×１０^１５個／ｃｍ^２のイオンが注入されており、前記照射工程における紫外光の照射量を少なくとも１８００ｍＪ／ｃｍ^２とし、前記除去工程では、６０℃以上に加熱された前記アルカリ溶液を用いる。 （もっと読む）

【課題】アンモニア蒸留塔内部に設置されているトレイ、バブルキャップ等に付着したタールピッチ等を短期間で効率的に、かつ安価に除去することが可能なアンモニア蒸留塔の洗浄方法を提案する。
【解決手段】コークス炉から発生するガスの冷却に用いた安水中に含まれるアンモニアを除去するアンモニア蒸留塔内部に洗浄液を循環させて付着物を除去する洗浄方法において、上記洗浄液として、コールタールを蒸留することによって得られる吸収油あるいは上記吸収油と安水との混合液を用いる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの内部流路に介設したシールゴムに付着した機能液やその他の異物を効率的に除去することのできるシールゴムの洗浄方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１を分解して取り出したシールゴム４を、付着した機能液が乾燥する前に機能液の溶媒に浸漬する浸漬工程Ｓ１と、浸漬工程Ｓ１の後、シールゴム４を洗浄液で超音波洗浄する洗浄工程Ｓ２と、洗浄工程Ｓ２の後、シールゴム４をアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程Ｓ３と、アルコール洗浄工程Ｓ３の後、シールゴム４を自然乾燥させる乾燥工程Ｓ４と、乾燥工程Ｓ４の後、シールゴム４の外観を顕微鏡で検査する検査工程Ｓ５と、から成り、洗浄工程Ｓ２では、洗浄液を循環させ且つフィルタリングしながら超音波洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物を均一に洗浄しつつ、複数種類の機械部品等の被洗浄物を安価に自動洗浄することのできる自動化された超音波洗浄機を提供すること。
【解決手段】 被洗浄物を回転可能な保持籠に入れ、超音波を用いて複数の槽で洗浄する超音波洗浄機であって、該保持籠を槽間移動せしめる移動機構を備えている自動超音波洗浄機とそれを用いた自動超音波洗浄方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 微細な箇所の汚染に対しても優れた洗浄効果を発揮できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、気泡混合液を通過させて噴出させることにより、気泡混合液中に微細気泡を発生させる環状スリットを備える微細気泡発生装置Ａと、前記微細気泡発生装置Ａで生じた微細気泡混合液を被洗浄機器又は装置Ｂに供給するための供給手段Ｃとで構成される。微細気泡発生装置Ａにおける環状スリットは、内径側から外径側に向かって間隙最小部から拡大するように設けられた流路拡大部を備えているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 薬液による危険作業に対し、薬液処理槽の薬液の貯液強度と、大型基板の薬液処理の操作性とを高め、安全に作業を行うことができる大型基板薬液処理装置を提供する。
【解決手段】 薬液処理槽１０と、薬液供給手段５０と、リンス液排水手段６０とを有し、薬液処理槽１０は、側壁部１０−２と底板部１０−１と溝部１０−４とにより構成され、底板部１０−１は、側壁部１０−２から溝部１０−４に向かって下降傾斜を有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ぬめりの少ない小魚を得ることができる小魚洗浄装置を提供する。
【解決手段】
小魚洗浄装置１は、槽６と、この槽６内へ海水又は真水を供給する液体供給部７３と、槽６内へ小魚等を供給する小魚供給部５と、槽６内へエアーを供給するエアー供給部８と、一端９ａが槽６の略中心で、且つ、槽６の液面の近傍にあって、開口し、他端９ｂが槽６の外に位置して、槽６内の浮上物を槽６の外へと導く排出通路９と、一端１１ａが槽６の底部に連通し、他端１１ｂが槽６の外に位置して、槽６内の小魚を前記海水又は真水と共に槽６の外へと導く小魚排出通路１１とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】二重管式熱交換器の外側配管の外表面にキャビテーション壊食を与えることなく、超音波振動を外側配管の内部に伝えて内部でのスケール付着を予防することを目的とする。
【解決手段】水を内部に貯留または通水して加熱する加熱部２と、前記加熱部２を覆うように設けられ不揮発性の液体または分散媒が不揮発性のゲルからなる伝播媒体３を貯留し前記加熱部２が前記伝播媒体３に浸るようにした伝播槽１と、前記伝播媒体３を超音波振動させて前記加熱部２内の水に超音波振動を伝播させて前記加熱部の内部に付着した付着物を剥離する超音波振動手段４と、前記超音波振動手段４および前記加熱部２を制御する制御部８とを有し、前記加熱部２と前記伝播媒体３との界面ではキャビテーションを発生させることなく前記加熱部２内の水中でキャビテーションを発生させるようにする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、長日時外気に曝され、時折行われる消毒等に依る内外両面の物理的、化学的付着物で曇化した園芸ハウス等の被覆シートを特定の浸漬液内に浸漬して清浄化して再利用する方法並びに装置を提供する事である。
【解決手段】 上記課題を解決する為に、本発明の方法及び装置は、清浄化されるべき園芸ハウスシートを含む農業園芸用シートをケージ内に収納するか或いはせずして準備し、自動的又は手動的に、此れを適量の重曹、市販洗剤、酢酸、天然ミネラルウォーター等を混合した浸漬混合液浴槽内に浸漬し、其の表裏両面に付着又は滞留する気泡又は空気を排除し且つ伸張しつつ，一定時間浸漬清浄化し、乾燥し、ロール化するか又は折畳んで再生品とする様構成した事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波振動を利用した加熱部のスケール防止装置において、超音波振動手段に熱損傷を与えることなく、超音波振動を加熱部に伝えて加熱部のスケール付着を予防することを目的とする。
【解決手段】加熱部２が加熱作動中に、水槽１の水位を低下させて超音波振動手段９の設置部と加熱部２との間に空気などの気体を導入して加熱部２から超音波振動手段９への熱伝導を抑制することによって超音波振動手段９の熱損傷を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄を効率的に行うとともに、洗浄装置の小型化、構成の簡素化を図った洗浄方法を提供する。
【解決手段】収納具の搬送方向に沿って複数配置したノズル１０、１１ごとに、搬送する収納具の上方側より洗浄水を順次噴射するとともに、前記噴射した洗浄水を複数の被洗浄物２８の略全体が浸漬するように収納具内に所定量貯水しながら収納具外に排水し、前記貯水した洗浄水中において、ノズルから噴射した洗浄水により、互いに隣り合う被洗浄物の離間した間隔内にある貯水した洗浄水を排除するとともに、前記ノズルから噴射した洗浄水を被洗浄物の表面と裏面に沿って流動させて、前記被洗浄物の洗浄を収納具の搬送方向に沿って順次行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気液混合水により金属・電子機器部材を洗浄するコンパクトな気液混合水洗浄機を提供する。
【解決手段】金属・電子機器部材を洗浄する洗浄槽１０と、気液混合水１５を生成する気液混合手段２０と、気液混合１５を安定化する気液混合水安定手段３０とを有し、気液混合手段２０は気液混合ポンプ２１とガス供給口２３と液体供給口２２とを有し、気液混合水安定手段３０は安定槽３６とガス分解器３４とを有し、気液混合手段２０により生成された気液混合水１５は、気液混合水安定手段３０及び洗浄槽１０を経由して、気液混合手段２０に循環する。 （もっと読む）

【課題】 例えば、ＰＰＳ樹脂素材のような超音波洗浄ではバリ取りに時間がかかる場合に、時間が経過してもバリ取り効率が低下せず、生産ラインのタクトタイムに合わせて効率的にバリ取りが行なえるようにする。
【解決手段】 洗浄槽３内の洗浄液Ｅ中に被洗浄物物を浸漬し、洗浄液Ｅを脱気回路１０により循環させながら脱気しつつ超音波洗浄・バリ取りを行うような操作において、洗浄槽３内の洗浄液Ｅに大気中の気体が入るのを抑制するため、洗浄液Ｅの液面に樹脂シート等の液面シャッター部材１３を被せて超音波洗浄・バリ取りを行う。また液面シャッター部材１３を洗浄槽３上部の二段開閉蓋１１に取付け、二段開閉蓋１１の開閉操作に連動して液面シャッター部材１３が液面に被せられたり、液面から退避できたりするようにする。 （もっと読む）

【課題】体積の異なるびんをより効率的に洗浄し得る洗びん方法を提供する。
【解決手段】ラベルが貼付されたびんを洗浄槽（２、３）内の洗浄液に浸漬してびんからラベルを剥離し、ラベル滓を洗浄液と共に洗浄槽からオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に移送し、およびクッションタンク（６）からラベル滓および洗浄液を抜き出して濾過し、ラベル滓が除去された洗浄液を洗浄槽（２、３）に戻す洗びん方法において、この洗びん方法を第１体積のびんに対して実施した後、第１体積と異なる第２体積のびんに対して実施する際に、第１体積より第２体積が大きいときは、洗浄槽（２，３）内の洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多くオーバーフローにより排出してクッションタンク（６）に貯留し、第１体積より第２体積が小さいときは、濾過によりラベル滓が除去された洗浄液を、その体積差に対応する分だけ多く洗浄槽（２，３）に戻す。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物に付着した水分等を除去するにあたり、乾燥速度が速いとともに、被洗浄物に対する濡れ性に優れ、かつ安全性が高い速乾性液体組成物、そのような速乾性液体組成物を用いた水分等の洗浄方法、および洗浄装置を提供する。
【解決手段】エチレングリコールモノノルマルブチルエーテル等と、水と、を含むとともに、全体量に対して、エチレングリコールモノノルマルブチルエーテル等の含有量を５〜６０重量％の範囲内の値とし、かつ、水の含有量を４０〜９５重量％の範囲内の値とする速乾性液体組成物、そのような速乾性液体組成物を用いた水分等の洗浄方法および洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】酸液による酸洗工程の後の水洗工程において、酸液の除去の完了を簡単に、かつ、精度良く判断することが可能な多結晶シリコンの洗浄方法及び洗浄装置、並びにその洗浄によって高品質の多結晶シリコンを製造する方法を提供する。
【解決手段】多結晶シリコンの洗浄方法であって、酸液による酸洗工程Ｓ４と、この酸洗工程Ｓ４の後に純水で洗浄する水洗工程Ｓ５とを有し、水洗工程Ｓ５では、純水を貯留した水洗槽に多結晶シリコンを浸漬し、少なくとも１回以上水洗槽内の純水を入れ替えて、多結晶シリコンの表面に残留した酸液の除去を行うとともに、水洗槽中の純水の電気伝導度Ｃを測定し、電気伝導度Ｃの測定値によって水洗工程Ｓ５の終了を判断する。 （もっと読む）

【目的】 灯油の入れ替え作業を軽減する灯油洗浄台を提供する。
【構成】 灯油を受け入れるための洗浄槽と、洗浄槽の底部に接続され、第１開閉弁が介在されたドレン管と、洗浄槽の下方に配置され、前記ドレン管と接続された圧力容器と、圧力容器の上部に接続され、第２開閉弁が介在された空気抜き管と、圧力容器に接続され、第３開閉弁が介在された圧縮空気供給管と、圧力容器の底部に接続され、前記第１開閉弁及び第２開閉弁を閉じた状態で前記圧縮空気供給管を介して圧縮空気を前記圧力容器内に圧入することにより該圧力容器内の灯油を押し出すための排油管と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄室を密閉したり、この密閉した洗浄室に窒素ガス等のパージガスを導入したりすることなく、洗浄槽内に収容した洗浄水としてのアルカリ性電解水のｐＨを、理想のｐＨになるようにコントロールして、アルカリ性電解水の洗浄力を維持できるようにした方法と装置を提供する。
【解決手段】 洗浄に先立ち、洗浄槽１０内の洗浄水としてのアルカリ性電解水ＡＤのｐＨを検出し、この洗浄水のｐＨを理想のｐＨにするために上記洗浄槽１０に注水する洗浄水の仮のｐＨと生成量を計算し、この計算値に従って電解水生成装置１に生成させて洗浄槽１０に注水する。洗浄水のｐＨが理想とするｐＨになったら、洗浄運転を開始し、一定時間経過後に再度洗浄水の生成条件を調整して、洗浄水のｐＨを理想とするｐＨに維持する。 （もっと読む）

本明細書で説明される実施形態は、半導体デバイス製造に関し、より詳細には、複数の基板を同時に洗浄するための垂直に配置されたデュアルメガソニックモジュールに関する。一実施形態では、複数の基板を洗浄するための装置が提供される。本装置は、少なくとも１つの側壁および底を含む、越流処理流体を収集するための外部タンクを備える。処理流体を含むように適合された第１の内部モジュールは、外部タンクの中に部分的に位置付けされている。第１の内部モジュールは、基板を実質的に垂直配置で保持する１つまたは複数のローラ組立品を備える。処理流体を含むように適合された第２の内部モジュールは、外部タンクの中に部分的に位置付けされている。第２の内部モジュールは、基板を実質的に垂直配置で保持するように適合された１つまたは複数のローラ組立品を備える。各内部モジュールは、処理流体を通して基板の方へ振動エネルギーを送るように適合されたトランスデューサを含む。
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【課題】 集積回路素子を製造するための基板が曲がることを減少させる。
【解決手段】 基板のディッピング又はケミカルのフローによって基板の一部分が曲がる場合、基板の一部分が曲がるように基板の一部分に印加される力と逆方向に力が作用するように基板の一部分に収容されたケミカル又は基板の一部分にフローされるケミカルをバスの外部にフローさせる。 （もっと読む）