【課題】基板の表面に付着した塵埃などを効率良く除去すると共に、洗浄後にこれらが基板の表面に再付着することを防止した流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽２内で洗浄液Ｌを横方向に流し、この洗浄液Ｌに被洗浄物Ｗを浸漬させた状態で、洗浄液Ｌに超音波振動を印加しながら、被洗浄物Ｗの洗浄を行う流水式洗浄方法であって、洗浄槽２に洗浄液Ｌを供給する複数の供給口３と、洗浄槽２から洗浄液Ｌを排出する複数の排出口５とのうち、何れかの供給口３及び／又は排出口５を流れる洗浄液Ｌの流量を調整することによって、洗浄槽２内の洗浄液Ｌが層流の状態で流れるようにする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物を搬送する搬送手段を備えることなく、被洗浄物を洗浄液に浸漬し、洗浄液を振動させて被洗浄物を洗浄することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】コイン１が自重によって降下する洗浄路２が形成された洗浄部３と、洗浄部３の上側に設けられ、洗浄路２に水を供給して、水が洗浄路２を流下する給水管４と、洗浄部３の底板１０に取り付けられ、洗浄路２の振動面１３を振動させる振動子５とを備え、洗浄路２を降下するコイン１が浸漬されるように給水管４から洗浄路２に水が供給され、振動子５が洗浄路２の振動面１３を振動させることでコイン１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】限外濾過フィルタの復旧再生工程として実施する逆洗浄を、限外濾過フィルタの閉塞やリークといった異常状態にも効率的に対応できるようにする洗浄方法を提供すること。
【解決手段】複数の限外濾過フィルタを並列に並べて液を通過させる循環機構において、前記複数の限外濾過フィルタの内で順次一つずつの限外濾過フィルタを逆洗浄する工程を含む限外濾過フィルタの洗浄方法であって、前記逆洗浄する工程が、前記複数の限外濾過フィルタの各々の状態を検知する動作と、前記検知された状態に応じて個別に逆洗浄の条件を設定する動作と、を有する。 （もっと読む）

【課題】常圧型の洗浄槽を用いて被洗浄物の蒸気洗浄を簡易且つ廉価に行うとともに、この洗浄作業により汚染された溶剤の蒸留再生を、耐圧製の蒸気発生槽に於いて溶剤を熱劣化させることなく行う。被洗浄物の蒸気洗浄の際には常圧で使用する蒸気発生槽を、溶剤の蒸留再生時には減圧に切り換えて使用することにより、上述の如き技術効果を得る。
【解決手段】常圧型の洗浄槽1に、槽内を減圧可能とし、溶剤4の加熱源23を備えた耐圧製の蒸気発生槽14を開閉バルブ12を介して接続する。被洗浄物2の蒸気洗浄時には、開閉バルブ12を開放して蒸気発生槽14内の溶剤蒸気を洗浄槽1内に導入して被洗浄物2の蒸気洗浄を行う。汚染溶剤の蒸留再生時には、洗浄槽1から溶剤4を蒸気発生槽14に導入した後開閉バルブ12を閉止し、蒸気発生槽14内のみを減圧し、加熱源23により溶剤4を加熱することにより、蒸気発生槽14内で溶剤4の真空蒸留再生を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の洗浄液に被洗浄物を浸漬して、洗浄槽内の減圧と復圧とにより被洗浄物の洗浄を図る洗浄方法において、被洗浄物が管状部を有していても、その管状部内の洗浄を効果的に図る。
【解決手段】被洗浄物４は、管状部３の一端に洗浄補助具１を設けて、洗浄を図られる。洗浄補助具１は、洗浄槽８内の減圧時に洗浄液の沸騰による蒸気を溜める一方、洗浄槽８内の復圧時に前記蒸気の凝縮により、管状部３を介して洗浄液の流入を受ける。洗浄槽８内の減圧と復圧とにより、被洗浄物４の管状部３に洗浄液が流通するので、被洗浄物４の管状部３内は効果的に洗浄される。 （もっと読む）

【課題】基板から離脱した汚染物質による処理槽の汚染を防止することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理槽１０の下方に下部タンク４０を設けている。リフター５０によって基板Ｗを投入する前に、排液バルブ１５を開放して処理槽１０の底部から下部タンク４０に一旦全ての処理液を排出する。下部タンク４０から処理槽１０に処理液が再供給される過程において、全ての処理液が循環ライン２０に設けられたフィルタ２３を通過することとなるため、処理液に含まれている全ての汚染物質がフィルタ２３によって取り除かれる。このため、基板Ｗから処理液中に離脱した汚染物質が処理槽１０に付着して汚染するのを防止することができる。また、そのような汚染物質が基板Ｗに付着するのを防止することもできる。 （もっと読む）

【課題】
流動により帯電した洗浄液や石油等の用剤を効率的に除電する除電装置を提供する。またこの除電装置を用いることで、洗浄液と被洗浄物を安全に扱うことができると共に洗浄性能を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】
本発明に係る除電装置１０は、用剤の通過する流路と、流路途中に設けられた、接地された導電性の容器１５と、前記導電性の容器内に収容された磁石１１と、を備える。用剤中に含まれる電荷１２は用剤と共に流路に沿って移動するため、磁石が形成する磁場によって電荷にローレンツ力１３が働く。このうち、磁石の存在する方向に引き寄せられた電荷は、磁石を囲む導電性の容器１５に接触し、容器が接地されていることにより除去される。 （もっと読む）

【課題】洗浄準備が煩雑で且つ多数本のチューブ状器具の洗浄が困難な従来の洗浄装置の課題を解消する。
【解決手段】複数本のチューブ状器具Ｔが、長軸に沿って収容可能に形成された筒状容器であって、筒状容器の一端側に洗浄液が供給される供給口２０が形成されていると共に、供給口２０から供給されてチューブ状器具Ｔの各内腔を洗浄した洗浄液が排出される排出口２２が筒状容器の他端側に形成されている洗浄容器１４と、洗浄容器１４が挿入される洗浄槽内に設けられ、洗浄容器１４の一端側を着脱可能に把持する把持部と、前記把持部に把持された洗浄容器１４の供給口２０に、洗浄水を供給する洗浄水の供給手段と、チューブ状器具Ｔ内に洗浄水が通液されるように、筒状容器１４の内圧を所定圧力に調整する圧力調整手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】部品等の被洗浄物を気泡によって洗浄する洗浄装置において、洗浄初期に大量に浮上分離されてくる汚れによって洗浄性能や洗浄装置の性能が悪化することを防止する。
【解決手段】洗浄槽１の洗浄水２の表面に浮かぶ浮上汚れ４と洗浄水２とが樋を通過し、はじめに大量の汚れ１８を分離するための分離槽１６へ流入させる。続いて、大量の汚れがほぼ流出した後、制御部によって開閉弁を制御し、第２分離槽１２へ微量の汚れを含んだ洗浄水を流入させる。第２分離槽１２には、循環水の取組口への汚れの流入を防ぐために仕切り板１３が設置されており、洗浄槽へ洗浄水を再供給するため、微細気泡生成器６に水配管１５と水循環ポンプ１１を介して接続されている。このような構成にすると微細気泡３を用いた洗浄において特徴的な洗浄初期の大量の汚れ１８を第１分離槽１６へ貯留させることができ、洗浄装置の安定運用が可能となる。 （もっと読む）

【課題】処理対象体の隅々まで液体を浸透させて処理対象体に対する処理を十分に行い得る処理装置を提供する。
【解決手段】洗浄液８１中に浸漬された部品８０に対して所定の処理を実行可能に構成され、洗浄液８１を貯留した状態で密閉可能に構成された貯留容器２と、貯留容器２内に気体を圧送して貯留容器２内を加圧する加圧処理を実行する加圧機構（給気ポンプ３等）と、貯留容器２に取り付けられた振動装置８とを備え、洗浄液８１が貯留されると共に洗浄液８１中に部品８０が浸漬された貯留容器に対する加圧機構による加圧処理の実行状態において、洗浄液８１を振動装置８によって振動させて部品８０を洗浄する洗浄処理を所定の処理として実行する。 （もっと読む）

【課題】農薬が付着した農薬散布機などをより効果的に洗浄できるようにする。
【解決手段】アルカリ性の水を用いて農薬散布機などの被洗浄物を洗浄した後、酸性の水を用いて被洗浄物を洗浄する。前記アルカリ性の水はｐＨ１０以上が好ましい。また、消石灰を水に溶解又は懸濁させたものが好ましい。前記アルカリ性の水に前記被洗浄物を３０〜１２０分間接触させるのが好ましい。前記酸性の水はｐＨ６以下が好ましい。前記農薬としては除草剤が好適である。 （もっと読む）

【課題】長尺フィルム等に対して、連続して均一な高圧処理を行える方法および装置の提供。
【解決手段】高圧処理チャンバー内でロール状に巻回された被処理体を繰り出して走行させながら超臨界または亜臨界状態の高圧流体と接触させて高圧処理を行った後、ロール状に巻回することを特徴とする連続高圧処理方法、および高圧処理チャンバーを備えると共に、高圧処理チャンバー内に、被処理体の繰り出し手段と、複数の送りローラと、処理体の巻き戻し手段とを備えたことを特徴とする連続高圧処理装置である。 （もっと読む）

洗浄システム（１０、１１０、２１０、５１０、６１０、７１０、８１０）ならびに荷電活性化液を形成すること、及び荷電活性化液とで洗浄システム（１０、１１０、２１０、５１０、６１０、７１０、８１０）を作動させることを含む方法。
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【課題】ペットボトルの洗浄破砕に伴って生じる汚水を処理し、不都合なく再度洗浄に利用できるペットボトルの洗浄破砕装置への循環型給水装置を提供する。
【解決手段】ペットボトルが洗浄水とともに供給され水と混在して破砕されるバッチ式の洗浄破砕装置に、破砕されたペットボトルチップが水とともに流送されて水が排除されてから遠心分離機に掛けられる脱水装置と、こうしてペットボトルチップから分離された汚水が送られ振動により水中のゴミが除去される振動分離装置と、さらに送られた汚水が濾過される活性炭吸着塔と、ここでの活性炭での処理水が送られるとともに、途中で消失した不足分の清水が補充される濾過水貯水タンクと、濾過水貯水タンクで補充水と混和された洗浄水を洗浄破砕装置に供給する濾過水移送ポンプとを循環して配置してなり、脱水装置では、脱水されたペットボトルチップを搬出側の袋詰め装置に圧送パイプで送る風圧送り装置が具備されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構成で被処理体を容易に且つ確実にすることができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置１は、上部が開口された略直方体の箱状容器であって、その内部に洗浄液を貯留する洗浄槽１０と、内部に水を貯留すると共に洗浄槽１０を収容する外槽１５と、洗浄槽１０の内部に配設され、洗浄すべき被処理体としての半導体ウエハＡを支持する支持部材２０と、外槽１５の外部に配設され、洗浄槽１０内部に超音波を発振する超音波発振装置６０を備える。洗浄槽１０は、超音波発振装置６０からの超音波を透過する側面部１２ｂと、側面部１２ｂに対向して配され、超音波発振装置６０からの超音波を反射する側面部１２ａとを有している。そして、超音波発振装置６０は、外槽１５に貯留された水を介して洗浄槽１０に超音波を発振し、且つ洗浄槽１０の側面部１２ｂから側面部１２ａに向かって超音波を伝播させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、被洗浄対象物を効率よく洗浄することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗濯機１は、二酸化炭素ボンベ１２０と三方弁１２１とポンプ１３０と開閉弁１３１と、加圧手段と、減圧手段と、洗浄槽１１０とを備える。二酸化炭素ボンベ１２０と三方弁１２１とポンプ１３０と開閉弁１３１は、水と界面活性剤とを含む洗浄液に、気体状態の二酸化炭素を供給する。加圧手段は、二酸化炭素ボンベ１２０と三方弁１２１とポンプ１３０と開閉弁１３１によって供給された気体状態の二酸化炭素の少なくとも一部を洗浄液に溶解させるように、洗浄液を加圧する。減圧手段は、加圧された洗浄液を減圧することによって、洗浄液に溶解された二酸化炭素を発泡させる。洗浄槽１１０は、減圧されて発泡した二酸化炭素を含む洗浄液によって繊維構造体１０を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ホットメルト接着剤を供給する管を、複雑な装置を用いず、かつ簡単な操作により、洗浄可能とする。
【解決手段】ホットメルト接着剤を供給する管を洗浄するために用いられる治具（１５）として、管の内側断面より小さい孔（１７）が設けられ、および管からの排出口を該孔（１７）に制限するように管の排出側開口端部（１１）に取り付けられることを特徴とする治具（１５）を用いる。治具（１５）は管の排出側開口端部（１１）に、例えば継手（１３）を介して取り付けられ、ホットメルト接着剤を、軟化点以上かつ使用温度未満の温度にて、管に加圧送給して該治具（１５）の孔（１７）より排出させることにより、管を洗浄し得る。 （もっと読む）

【課題】置換気体を再利用することが可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】第１実施形態の洗浄システム１は、超臨界または液体状態の二酸化炭素によって被洗浄対象物６００を洗浄する洗浄システム１において、洗浄槽３１０と、供給手段と、排出手段と、窒素分離装置４２０とを備える。洗浄槽３１０は、被洗浄対象物６００を収容する。供給手段は、洗浄槽３１０内の気体と置換するための窒素を洗浄槽３１０に供給する。排出手段は、窒素と洗浄槽３１０内の気体とを含む混合気体を洗浄槽３１０から排出する。窒素分離装置４２０は、排出手段に配置され、混合気体から窒素を分離する。 （もっと読む）

【課題】給水することで掃除具を清掃できる掃除具の収納装置を提供する。
【解決手段】駆動手段６と、駆動手段６をＯＮ，ＯＦＦするスイッチ手段９を備えた掃除具５を収納し得る収納装置１は、収納装置１内に水を溜めることのできる給水手段２，２ａと、収納装置１内の水を抜くことのできる排水手段３，３ａを備えているとともに、収納装置１内に水が溜まった状態でスイッチ手段９をＯＮして、掃除具５を駆動させて自己洗浄させることができ、水が抜かれた状態でスイッチ手段９をＯＦＦとして、掃除具５の駆動を停止させることのできるスイッチ切替手段４を備えている。 （もっと読む）

【課題】紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置を提供する。
【解決手段】本発明の紙素子からのイソプロピルアルコールの除去装置は、イソプロピルアルコールでＰＣＢを洗浄除去した例えば紙素子１１を投入する洗浄籠１２と、前記洗浄籠１２内に洗浄水１３を供給する洗浄水供給部であるシャワー部１４と、洗浄後のＩＰＡを含む洗浄水を受けると共に、外部へ洗浄排水１５として排出する洗浄槽１６と、洗浄排水１５中のＩＰＡの残量を判定する判定器１７とを具備する。 （もっと読む）