【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化が図れるとともに、清浄度を保ちつつ優れた搬送効率が得られ、且つ作業効率を向上させて、生産性とコストとをバランスよく達成できるようにした。
【解決手段】生産装置１は、一対の多軸マニピュレータ１０Ａ、１０Ｂを有する双腕ロボット１０を設けた清浄度管理エリアをなす作業室１Ａと、この作業室１Ａの下方に設けた清浄度管理外エリアをなす作業準備室１Ｂとが作業床１ａによって仕切られており、搬送対象物４を載置させて作業室１Ａと作業準備室１Ｂとの間の昇降通路内で上下方向に移動させるように、作業準備室１Ｂの側壁寄りに位置した昇降テーブル２１と、昇降テーブル２１の昇降通路に連通していて搬送対象物４を搬入、搬出を行うための開口部６と、この開口部６において搬送対象物４を昇降テーブル２１に対して取出し又は取込み可能な受渡し機構をなす伸縮シリンダ２３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットにおいて、直動軸を覆う蛇腹状カバーの異常変形を防止する。
【解決手段】直動軸５の停止時には、ブロアが所定量の空気を第２アーム４内から吸引し、第２アーム４内を所定の負圧圧力に保持する。直動軸５が蛇腹状カバー２１を伸長（収縮）させる方向に移動するとき、その移動に先立つ所定時間前に、ブロアの吸引空気量を減少（増加）させて第２アーム４内の圧力を上昇（低下）させ、その第２アーム４内の圧力上昇（低下）の影響が蛇腹状カバー２１内に及ぶ頃、直動軸５が下降（上昇）するようになす。すると、直動軸５の下降に伴う伸長による蛇腹状カバー５の内圧減少（増加）と、第２アーム４の内圧上昇（低下）による蛇腹状カバー５の内圧上昇（低下）とが相殺されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイロメント装置のクリーンボックス内に、クリーンエアの好適なダウンフローを形成できる、ウェーハ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェーハ４ｂを加工するミニエンバイロメント装置１に備わるクリーンボックス２の背面の側の側壁部２３ｂにロボット本体２０の走行装置２１を備え、ロボット本体２０を走行させることで、クリーンボックス２の床部２３ａに、ロボット本体２０が走行する軌道を設置することなく、ロボット本体２０を走行できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維強化樹脂複合材を用いて、その利点を生かしながら、パーティクル発生を抑制し、清浄環境下での基板等を搬送する用途に十分適した搬送用治具を提供する。
【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシート４Ｂを積層した積層板を加工してなり、板状物を搬送する搬送装置において板状物を直接接触して保持することができる搬送用治具であって、積層板の表面が樹脂シート４Ａで被覆され、加工端面が端面保護層５で被覆されている搬送用治具１。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】数ミリ以下の単位の位置精度を必要とする移動動作を行うロボットを運転する際、より安価かつ単純な方法で、ロボットの持つ位置情報の有効性を確認することにより事故を未然に防ぐ方法及び該方法を持つ移動システムを提供する。
【解決手段】予め移動システム１に設定された座標に数ミリ以下の単位の精度で移動動作をするロボット２が、該ロボット２のアーム２１の先端に取り付けられている作業手段２２により、所望の作業を行う際のロボットの移動動作精度の確認方法において、ロボット２の原点４とは異なる基準点５をロボット２の移動領域に設け、ロボット２が一作業を終了してから次の作業を開始する間の移動動作の際に、ロボット２を基準点５の座標に向かって移動させ、ロボット２が実際に移動した実位置と基準点５とを比較し、ロボットの移動動作精度の確認を行うことを特徴とするロボットの移動動作精度の確認方法及びロボットの移動システム１。 （もっと読む）

【課題】ハンドを用いた半導体ウエハを搬送する工程において、異物の発生を低減することのできる技術を提供する。
【解決手段】ロッド１７はピストン１６に固定されており、シリンダ１５には第１空間１８に接続されている第１圧力ライン１９および第２空間２０に接続されている第２圧力ライン２１が設けられており、ピストン１６には貫通穴２２およびこの貫通穴２２に嵌め込まれたネジ２３が設けられている。第２圧力ライン２１を閉じた状態で第１空間１８を第１圧力ライン１９から真空引きすることによって、ピストン１６が移動して可動部１３が可動し、第１圧力ライン１９を閉じた状態で第２空間２０へ第２圧力ライン２１から空気を流入することによって、ピストン１６が移動して可動部１３が可動する。 （もっと読む）

【課題】ロボットの関節部に組み込んだ駆動機構からの潤滑剤や塵埃の漏出を確実に防止するとともに、ロボットの外部環境から関節部内への異物の侵入を確実に阻止する。
【解決手段】ロボットの第１関節部１６に設けられる密封装置１０は、第１駆動機構３４に対して複数段に重複するシール部１１６、１１８を形成する。第１シール部１１６は、第１駆動機構３４に与えられる潤滑剤保有部（空所１０８ａ、減速機４２、軸受４４、４６、４８）に隣接して形成される第１の部材間隙１２０をシールする第１の接触シール要素１２２を備える。第１シール部１１６の外側に配置される第２シール部１１８は、第１駆動機構３４の収容空間１０８を画定する第１関節部１６の周囲壁１１０に形成される第２の部材間隙１２４をシールする第２の接触シール要素１２６を備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

本発明は、リスト・アセンブリ１００の為の方法、装置、システムを提供する。リスト・アセンブリ１００は、キャップ１０４と底部１１２を有するハウジングと、上記ハウジングに少なくとも一部が内包され、ロボット・アームに結合されるように適合された少なくとも１つのピボットと、上記ピボットに結合され、ベアリングの周りに上記ピボットを回転させるように適合されたベルトとを含む。上記ハウジングの底部は、少なくとも１つのピボットとベアリングから離して熱を反射するように適合されている。
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【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供すること
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部１２を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部１２の開口を移動する支持部材４と、開口部１２を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５と、を備え、案内機構２２によって支持部材が移動しても、シールベルト５によって支柱の内部が外部に露出しないよう構成された基板搬送装置において、シールベルト５が、その両端を支柱内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラに巻装されて、開口部１２を封じるようにした。 （もっと読む）

【課題】 塵埃の飛散を抑えるとともに、ウェハ移載装置内での干渉を防ぐことができ、構造および制御が簡単なウェハ搬送ロボットを備えるウェハ移載装置を提供する。
【解決手段】 ロボットアーム４１の最小回転半径Ｒが、（Ｂ／２＜Ｒ≦Ｂ−Ｌ０）に設定される。これによってロボットアーム４１が正面壁１１０と干渉することを防いで、ロボットアーム４１のリンク体４１ａ〜４１ｃのリンク長さを大きくすることができる。またロボットアームの角変位動作領域を３６０°未満、たとえば１８０°程度に制限することで、ロボットアームが背面壁に干渉することも防ぐことができる。リンク長さを大きくすることで、ロボットを左右方向に走行駆動させる直動駆動機構をなくして、塵埃の発生を抑えることができる。またリンク長さを大きくすることで、ロボットアームに必要なリンク数を減らすことができ、ロボットの構造を簡単化してロボット制御を容易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 長い走行距離でも防塵機能を維持し、装置本体の高さを変えることのないコンパクトで安価な走行装置を提供する。
【解決手段】 移動側の発塵部近傍に送風装置を設け、固定側にも装置の位置によって排気量を調節出来るようにしたフィルタ付きの排気装置を備える。 （もっと読む）

【課題】移載室の内容積を小さくすることができる基板の搬送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送ロボット４ａは、同心状に備える２つの駆動源１５、１６と、各駆動源１５，１６の側面に突出して備える駆動アーム１７，１８と、駆動アーム１７，１８の他端に備える２つの従動アーム１９〜２２と、２つで１組をなす従動アーム１９〜２２の先端に備えるハンド２３，２４と、からなるものである。この搬送ロボット４ａは、各駆動源１５，１６を異方向、若しくは同方向に回動することで各アーム１７〜２２を介して第一ハンド２３、第二ハンド２４を進退動作、回動することができる。 （もっと読む）

液晶表示パネル、ガラス基板等の薄板状基板を処理装置内に搬送する搬送装置に関し、大型の薄板状基板を搬送する回動アーム（１６）を有する比較的大型のロボット（１４）を備えた搬送装置において、２ｍ程度の高さであっても安定して持ち上げることが可能であり、かつ回動アーム（１６）を伸ばしたときの撓み量を補正した搬送が可能な搬送装置及び薄板状基板搬送システムを提供する。２つの直立支持体（１２）に昇降可能に片持ち支持される水平支持台部（１３）を設け、水平支持台部（１３）に回動アーム（１６）を有する搬送ロボット（１４）を載置する。また、アームを伸ばしたときの撓み量は、水平支持台部（１３）の高さを撓み量に応じて上げることにより補正する。撓み量は、水平支持台部（１３）に載置されるロボット（１４）の設置の角度を変化させることにより補正することも可能である。
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【課題】 この発明は、非接触伝導によって発塵なく、かつ発ガスなく、クリーンルーム又は真空中で仕事をすることを目的としたものである。
【解決手段】 この発明は、複数のアームに夫々駆動軸を固定し、各駆動軸に夫々マグネット輪を固定すると共に、前記各駆動軸の各マグネット輪間に、遊動マグネット輪を非接触状に架設したことを特徴とする磁気による非接触駆動装置により解決した。 （もっと読む）

【課題】 基板をトレイに載せて搬送することなく、１台のロボットで複数枚の基板を同時に搬送することができる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】 本発明の基板搬送システム１は、複数枚のウェーハＷを支持するトレイ２と、複数枚のウェーハＷが載置されるステージ３と、伸縮自在な多関節アーム４Ｂの先端に複数枚のウェーハＷを支持するハンド部４Ａが設けられ、トレイ２とステージ３との間で複数枚のウェーハＷを一括的に移載する基板搬送ロボット４とを備え、ハンド部４Ａ及びトレイ２はそれぞれ、互いに係合する櫛型形状を有しており、ステージ３には、ハンド部４Ａとの間で複数枚のウェーハＷを受け渡すための機構部（リフターピン）３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】アームの連動機構を工夫することにより、高清浄な作業空間への塵埃の落下を確実に防止することのできるロボットアームを提供する。
【解決手段】ハンドの姿勢を保持する姿勢保持機構220は、各一対の等長リンクからなる所定長さ比の第１及び第２リンクを各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、第１又は第２リンクの何れかを先端側アーム部分の一対の回動中心Ｋ，Ｌの間のハンド213で構成した一方の四節機構と、各一対の等長リンクからなる前記所定長さ比の第３及び第４リンクを各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、第３又は第４リンクの何れかを先端側アーム部分の一対の回動中心Ｋ，Ｌと同一直線上でハンドに一体に連結した他方の四節機構と、含み、該一方及び他方の四節機構の特定のリンク間挟角が互いに一致するよう両四節機構の特定のリンク同士を一体に連結している。 （もっと読む）