【課題】 装置全体としての大型化・重量化を避けつつハンド部の長い上下ストロークを確保し、尚かつハンド部の移動速度の高速化を図ることもできるようにしたロボットを提供することを目的とする。
【解決手段】 ハンド部２を上下動可能に支持する第１のフレーム３と、該第１のフレーム３を上下動可能に支持する第２のフレーム４とを備え、第１のフレーム３内には、ハンド部２を上下動させる第１のボールねじ５と、第２のフレーム４に対し第１のフレーム３を上下動させる第２のボールねじ６とを上下方向にかつ並列させて配列し、さらに、第１のボールねじ５と一体となって回転する第１の歯車および第２のボールねじ６と一体となって回転する第２の歯車と直接または間接的に連結されているモータ９を収納する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送機構のメンテナンスを容易にする。
【解決手段】基板処理装置６１０は、グレーチング６０５上に載置され、グレーチング６０５の上方空間である２階部分６０２に配置されている。基板処理装置６１０は、複数の処理ユニットと、主搬送ロボットＭＴＲとを備えている。複数の処理ユニットは、主搬送ロボットＭＴＲを囲むように設けられている。エレベータ機構６１５は、主搬送ロボットＭＴＲをグレーチング６０５の上方の２階部分６０２とその下方の１階部分６０１との間で昇降させるためのものである。このエレベータ機構６１５によって、主搬送ロボットＭＴＲを１階部分６０１に下ろすことにより、主搬送ロボットＭＴＲを全方向からメンテナンスできるようになっている。 （もっと読む）

【課題】
静止状態にある矩形基板を保持し、直進動作で別の位置へ搬送を行なう場合、基板移載ロボット装置上において、基準位置と基板の横方向（Ｘ方向）の位置ズレを検出し、搬入時に位置ズレを補正する技術を提供すること。
【解決手段】
静止状態にあるガラス基板Ｗを保持し搬送を行なう基板移載ロボット装置１であって、ハンドＨ１、Ｈ２の移載面上にガラス基板が位置し、且つロボット上での待機位置に移動した状態において、ロボット装置上の基準位置と基板位置との位置ズレ値を検知するセンサを基部１００に備え、搬入時の駆動制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】 作業工具の重量を担荷して作業者の負担を軽減できると共に工具を所望位置に容易に移動でき、また、工具ヘッドの移動による重心移動や慣性力も小さい建築物の外壁面作業装置を提供する。
【解決手段】 図示外壁面作業装置１は、固定基部１０の背面支柱１２の上端部にアーム駆動機構４０によって駆動されるアーム機構３０を備えて構成され、ゴンドラ装置２のゴンドラケージ２Ａに、着脱可能に装着される。アーム機構３０は、その先端の工具ヘッド５０に工具ユニットを支持し、制御装置９０によるアーム駆動機構４０の制御駆動によって揺動操作されて、工具ユニットによって建築物の外壁面に対して穿孔やブラッシング等の作業を行うように構成されている。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】インデクサロボット１３には、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７が備えられており、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７は、いわゆる３リンク方式とされている。これにより、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７を延ばした状態では、必要なリーチの長さを確保できる。よって、これらを折りたたんだ状態においては、インデクサロボット１３の占有面積を小さくすることができる。よって、回転昇降台を回転させた場合のインデクサロボット１３の旋回直径Ｌ１および移動範囲Ｐ１を小さくすることができ、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの先端に設けられ、簡単な機構により旋回時及び伸縮時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除できるようなコンパクトな把持構造を実現する。
【解決手段】 基板Ｗを保持させた状態で直進運動可能な搬送アームを、旋回軸回りに旋回して基板Ｗを搬送可能な基板搬送装置の把持機構１０において、旋回軸と一体的に回転して搬送アームの先端に取り付けられた搬送ベースプレート８の直進運動方向と一致する磁性体からなる規制プレート３５を設ける。搬送アームの縮退に伴って搬送ベースプレート８が規制プレート３５に近接した際に、搬送ベースプレート８上のクランク３０の一部に取着された永久磁石３２が規制プレート３５に磁力吸引され、クランク３０が支点回りの回動し、スライド部１３が直進運動方向に変換され永久磁石３２の磁力吸引力が及ぶ規制プレート３５の範囲において、スライド部１３先端の基板把持アーム１２の先端で基板Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の見地からスタート地点と目標地点を決定する上の判断材料となるように、スタート地点を決めると、との地点まで移動するのにどのくらい時間がかかるかを一目でわかるように画面上に表示できるようにする。
【解決手段】 産業用ロボットによりワークを搬送可能な領域を表示装置の表示画面上に表示し、表示画面上の任意の位置に前記産業用ロボットの移動開始地点が指定されると、移動開始点からの移動所要時間を所定の時間間隔で複数の区間に分け、各所要時間区間ごとに、移動可能な表示面上の領域を演算し、各移動可能領域相互を区別し得る視覚的表現をもって各移動可能領域を表示画面上に描画する。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】 第１平行リンク１０と第２平行リンク２０とが共有短節２６によって連結され、第１平行リンク１０のアーム端の回転軸に付与された旋回動作により、第２平行リンク２０の自由端側に設けられた搬送台５０を直線移動させる搬送アーム１において、共有短節２６を構成する各関節から、第１平行リンク１０の各アーム１１，１２を所定量延長した端部支点間を連結する下面連結プレート１６と、第２平行リンク２０の各アーム２１，２２上の所定量内側の中間支点２３，２４間を連結した上面連結プレートとを、連結プレート１６，１７間の直線移動方向への横ズレを規制し、連結プレート１６，１７が平行状態を保持して相対変位を許容するように平行保持を図る板バネ１８を連結した。 （もっと読む）

【課題】双腕ロボットの双腕を協調動作させることによって生産性の向上を図ることのできる部品組み付け方法を提供する。
【解決手段】双腕ロボット１の一方の腕（アーム３）が一つの部品を保持または組み付けをおこなっている際には、該双腕ロボット１の他方の腕（アーム４）は他の部品を保持するなどして該他の部品の組み付け準備をおこなうことや、一方の腕（アーム３）が一つの部品を保持または組み付けをおこなっている際には、該双腕ロボットの他方の腕（アーム４）も該一つの部品の保持または組み付けを同時におこなうことによる部品の組み付け方法である。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の搬送ロボットの回動により、搬送ロボット自身から発生する塵埃を低減して、かつ、ガラス板を含む稼働範囲を狭くすると共にガラス板の可搬送範囲を広くする。
【解決手段】駆動源による駆動アームの回動を、ガラス板を保持するエンドエフェクタを回動可能に支持する従動アームに伝達する回動伝達手段を駆動アームと従動アームとから独立して備えることで、駆動源の上方領域をエンドエフェクタが進退運動により通過できる搬送ロボット。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化による装置の大型化及び設備コストの上昇、並びに、製造プロセスの長時間化による製造コストの上昇を生じることなく基板の角度位置を制御する。
【解決手段】基板受け渡し部材１２が基板把持部１のフィンガ３と干渉する場合には、フィンガ３を含む基板把持部１を基板Ｗとともにさらに補正角度値だけ回転させ、下限位置から搬出入位置まで上昇する基板受け渡し部材１２が基板把持部１のフィンガ３に当接しないようにする。演算処理部８は補正角度値をロボット制御部２２に伝送し、ロボット制御部２２は演算処理部８から伝送された補正角度値だけ基板把持部１の回転方向とは反対方向にロボットハンド１１を水平面内で回転させる。ロボットハンド１１における基板Ｗの相対的な角度は適正なままにされ、その後に基板Ｗを搬入すべきプロセス装置に対して適正な角度位置で基板Ｗが搬入される。 （もっと読む）

【課題】回転用モータの回転駆動力を搬送用アームに正しく伝達させるとともに回転駆動軸の回転角度を正確に検出することにより、搬送部における搬送対象物を正しい位置に搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、気密構造を有するハウジング６１内に、所定の同心回転軸を中心として互いに独立して回動可能に構成された第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃと、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃの所定の部位にそれぞれ取り付けられた永久磁石３２ａ〜３２ｃと、永久磁石３２ａ〜３２ｃと対応して設けられた電磁コイル３４ａ〜３４ｃとが配設されている。電磁コイル３４ａ〜３４ｃに対し所定の情報に基づいて駆動電流を供給して第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃを駆動し、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃに固定された第１及び第２リンケージ１２ａ、１２ｂによって搬送対象物を搬送する。 （もっと読む）

【課題】 オープンループ制御により、精確な動作が可能な駆動装置及び駆動装置の制御方法を提供する。
【解決手段】 駆動制御部１０から出力される制御信号に基づいて、ドライバ１１から所定の駆動信号が出力されて駆動源１５を動作させる。駆動制御部１０による制御動作が終了すると、振動制御部１２が駆動源を一定期間に正逆方向に交互に駆動させるような駆動制御信号を発生する。これにより駆動源１５は微振動する。駆動源の微振動による駆動力方向の力が、摩擦力等の負荷により抑制され最後まで動作できずに残存している駆動力と合算されて、駆動方向の力が摩擦等の負荷よりも大きくなると、動作部は残存駆動力に応じた距離だけ移動する。これにより、駆動制御部１０の制御信号に基づく動作が精確に実行される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、搬送を行う基板の材質や反りにより基板の吸着力が低下しても、確実に静電吸着により基板を保持して、搬送を行う基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、保持部に電極を形成し、電極に電圧を印加して、電極と被保持材との間に生じる電位差により電極と被保持材との間に静電保持力を発生させ、静電保持力により被保持材を保持して被保持材の搬送を行う搬送装置において、前記被保持材の搬送時に必要な必要保持力になるように、前記搬送装置の被保持材に対する静電保持力を変更することを特徴とする。 （もっと読む）

基板搬送装置は駆動セクションと該駆動セクションに作動自在に結合されたスカラアームとを有し、該駆動セクションは該スカラアームを作動する。該スカラアームは上方アームと少なくとも１つの前方アームとを有している。該前方アームは該上方アームに作動自在に搭載されてその上に基板を保持することが可能である。該上方アームは実質的に剛性であって該上方アームの所定の形態の変更を調整することが可能である。
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本発明は、ロボットと該ロボットの位置決め方法に関する。本発明の目的は、ピック・アンド・プレース作業を迅速に、エネルギー的に有利に行うことの出来るロボットの提供である。この目的のために、本質的に、水平に配置されたロボット・アーム（２４，２６）がその両端で、小寸法の回転ピン（３０）で接続され、これにより、アーム（２４）の第２の端部は、回転駆動装置（２２）に回転自在に接続される。アーム（２６）の第２の端部は、効果器（２８）を有している。回転駆動装置（２２）に接続された回転ピン（２０）は、回転自在に設けられまた他の回転駆動装置（１６）を有する機体（１８）に接続されている。これにより、両回転ピン（１０，２０）は、互いに距離を置く形で位置している。
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【課題】 物体（ＯＢ）を保持するための物体保持具、および物体（ＯＢ）を支持するための物体支持ユニットを提供する。
【解決手段】 物体保持具は：物体の輸送時に物体（ＯＢ）を把持ないし解放し得る把持ユニットを備え、拡張形状において第１の外側に向う把持面（９１）を画成すると共に、収縮形状において第２の内側に向う把持面（９３）を画成する。物体支持ユニットは：下方ベース部材（１０５）と；上方支持体（１０９）と；を具備し、この上方支持体（１０９）は第１と第２の同心窪み（１１１，１１３）を含み、それぞれは互いに異なる深さを有し、２つの異なる種類の一方の物体（ＯＢ）を受理するよう形成され、これら２種類の物体（ＯＢ）が各窪み（１１１，１１３）内にて支持されたとき、これら２種類の物体（ＯＢ）の上縁が同一の高さとなるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 アームにワーク収納作業などの所望の動作を行わせる際に合理的な動作計画を設定して全体としての機構の単純化および作業の効率化を図ることができるアーム制御方法およびアーム制御装置を提供する。
【解決手段】 前後軸および回転軸を有するアーム２を制御するものであって、前後軸の動作計画を始めに設定し、該動作計画が設定された前後軸の動作パラメータθに基づいて、アーム２先端が所望の動作を行うよう回転軸の動作計画を設定する手順を有するものである。 （もっと読む）

【課題】アームの熱膨脹収縮により生じるハンド部材の偏位量を許容範囲内に収めることができるアーム回動形のワーク搬送用ロボットを提供する。
【解決手段】固定プーリ８，２７と、一端が固定プーリ８，２７に対して回動自在に支持されたアーム１３，２６と、アーム１３，２６の他端に回転自在に支持された回転プーリ１５，２９と、固定プーリと回転プーリとの間に張設されたベルト１７，３０とを備えたアーム機構を多段に設けて、最終段のアーム機構の回転プーリ２９にハンド部材４０を取り付けたワーク搬送用ロボットにおいて、アーム１３，２６の熱膨脹収縮によりハンド部材４０に生じる偏位を許容範囲に収めるように、テンションローラ２２，３５からベルト１７，３０に与える張力を調整するようにした。 （もっと読む）