【課題】ミニエンバイロメント装置のクリーンボックス内に、クリーンエアの好適なダウンフローを形成できる、ウェーハ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェーハ４ｂを加工するミニエンバイロメント装置１に備わるクリーンボックス２の背面の側の側壁部２３ｂにロボット本体２０の走行装置２１を備え、ロボット本体２０を走行させることで、クリーンボックス２の床部２３ａに、ロボット本体２０が走行する軌道を設置することなく、ロボット本体２０を走行できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの耐久性を向上し、発塵の量も軽減できる、多関節ロボットアームの関節部構造と、ミニエンバイロメント装置を提供することを課題とする。
【解決手段】多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を構成する第１関節軸２１ａ、第２関節軸２１ｂ、及び第３関節軸２１ｃを中空軸とする。中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１には、樹脂からなる円筒状の部材である保護部材２１３を圧入して、中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１の内周面を保護部材２１３で被覆し、ケーブル２３の通路となる配線挿通孔を形成する。このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な構造の上下軸機構を備えた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ワークを一方向に搬送するアーム部５と、前記アーム部５を昇降させるリンク機構２からなる昇降機構を備えた搬送ロボットにおいて、前記リンク機構２が、少なくとも２つの前記リンク機構２、３を備え、互いに直交する回転軸Ｒ１軸、Ｒ２軸に沿ってリンク６、７が回転動作をすることで前記アーム部５を昇降させるとするものである。 （もっと読む）

【課題】ウエハを所定方向に向いた回転軸を中心に旋回させかつ回転軸を中心とする径方向に往復動させることが可能なロボット部と、回転軸と直交するＸ方向へロボット部を移動させるロボット部移動手段と、を有するウエハ搬送装置において、ウエハが目標位置に搬送された時点でロボット部がウエハを移動させる径方向がＸ方向に正しく直交しているように、ウエハ搬送装置に対するティーチング作業における位置精度を高める。
【解決手段】保持部１０が保持する治具５０を径方向（Ｔ）へ移動させた前後において、治具５０の撮像手段５１で目標位置に設けられたマーク２８を撮像し、撮像画像上のマークの変位に基づいて、径方向（Ｔ）への移動に伴う治具５０のＸ方向移動量を検出し、検出されるＸ方向移動量が所定値以下となるようにロボット部１１のＸ方向位置を修正する。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供する。
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部の開口を移動する支持部材４と、開口部を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５ｂと、を備える。案内機構２２によって支持部材４が移動しても、シールベルト５ｂによって支柱９の内部が外部に露出しないよう構成され、シールベルト５ｂが、その両端を支柱９内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラ３５〜４２に巻装されて、開口部を封じるように張架されたものである。 （もっと読む）

【課題】ハンド全体の厚みを薄くし、小型・軽量化した基板把持装置を提供する。
【解決手段】基端側から先端側へ二股に分かれるベースプレート１１と、ベースプレート１１の上面に設けられる把持プレート１２と、ベースプレート１１と把持プレート１２の間に設けられる把持駆動部７と、前記二股の基端の先端と把持プレート１２の先端とから成る把持部１０と、前記二股の各先端で基板の一部を案内するガイド部２０と、を備え、把持駆動部７が、把持プレート１２の基端側にて基端側を常に上側へ付勢する付勢手段１５と、付勢手段１５の近傍で通電により把持プレート１２をベースプレート１１側に吸着させる電磁石部１４と、先端側にあって把持プレート１２がベースプレート１１に対して上下に揺動させる軸受部１３と、で構成し、ガイド部２０が基板の一部の周囲の表面と裏面と側面とに当接することのできる案内溝２３を先端に備えた。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】アームが、駆動部１からの回転動作を伝達する伝達機構と、伝達機構を収容するアームケース２０１と、伝達機構を覆うようにアームケース２０１の上面に装着されるアームカバー２１４と、によって構成された水平多関節ロボットにおいて、アームカバー２１４が、アームケース２０１が延在する方向に複数分割された複数のアームカバーからなるよう構成し、さらに複数のアームカバー２１４が互いに折り重なる部分を形成した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により搬送ロボットに対して搬送対象ポイントまでのハンドの移動経路を自動的に教示することが可能な自動教示システムを提供する。
【解決手段】 自動教示システムは、第１の光学センサ７２、第２の光学センサ７４、記録手段および算出手段を実現するＣＰＵ５０を備える。第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４は、搬送対象ポイントに対する相対位置が予め定められるように配置される。第１の光学センサ７２は、ハンド２０の水平方向の一端部を検出可能に構成される。第２の光学センサ７４は、ハンド２０の水平方向の他端部を検出可能に構成される。ＣＰＵ５０は、第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４によってハンド２０の端部が検出された時におけるロボット座標系における座標値を記録するとともに、その座標値に基づいてロボット座標系における搬送対象ポイントの座標値を算出する。 （もっと読む）

【課題】ロボット動作評価装置を比較的安価に構成可能とすること。
【解決手段】第２アーム６の先端に液滴吐出装置１０を取り付け、第２アーム６の移動領域の下方に経路記録用紙１３を配するようにした。そして、水平多関節ロボット１による特定動作中に、液滴吐出装置１０から経路記録用紙１３上の対向箇所に液滴を吐出し、吐出した液滴の着弾状態に基づいて第２アーム６の先端の動作状態を評価するようにした。そのため、第２アーム６の先端の水平面内の移動経路を経路記録用紙１３に記録し、記録した液滴の着弾状態を参照することで、第２アーム６の先端の動作状態を評価できる。それゆえ、動作状態の評価に高価なレーザ変位計を用いずに済み、ロボット動作評価装置を比較的安価に構成できる。 （もっと読む）

【課題】１個のエンドエフェクタにおいて、ウェハを２枚搬送することができるようにする。
【解決手段】ウェハを把持する把持機構を備えたエンドエフェクタ３において、エンドエフェクタ３の上面に把持機構を備え、上面の裏面にも把持機構を備え、エンドエフェクタの上面及び裏面の両方でウェハを把持可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】センサの応答差による誤差が加算されてしまうのを防ぐとともに、半導体ウェハがセンサ上を通過し終わらなくても、ずれ量を算出することが可能なロボットのハンドの制御方法及びワーク搬送ロボットシステムを提供する。
【解決手段】第１の位置から前記第２の位置にワーク１０を搬送する搬送路中に、ワーク１０の異なるエッジを検出する２個のセンサ３０１，３０２が、ワーク１０の基準位置を定義するアライメント座標系に基づいて配置されており、第１の位置から前記第２の位置までワーク１０を搬送する際、ワーク１０の異なるエッジを２個のセンサ３０１，３０２を用いて検出し、２個のセンサ３０１，３０２から出力された検出信号から、ワーク１０の基準位置からのずれ量を算出し、そのずれ量を、ロボット１００の動作軌道を定義するロボット座標系に変換し、ロボット１００のハンドの動作を制御する。 （もっと読む）

【課題】伸縮型移動体を構成する２つの移動部材が互いに連動して移動し、且つ一方の移動部材を他方の移動部材よりも長距離移動させるための機構を、大型化を避けながら、しかも、発塵を極力抑制できる形態にて実現する。
【解決手段】伸縮型移動体５を構成する第１の移動部材９および第２の移動部材１０に夫々第１のラック１９および第２のラック２０を設け、昇降用モータ１８の回転軸１８ａに設けられた小径側の第１のピニオン２１を第１の移動部材９の第１のラック１９に噛合させ、大径側の第２のピニオン２２を第２の移動部材１０の第２のラック２０に噛合させたので、第１の移動部材９および第２の移動部材１０を連動して、且つ第２の移動部材１０が第１の移動部材９の２倍の距離移動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに備えられたアームの絶対角度をより容易かつ高精度に検出することの
できる回転角度検出装置、及び該回転角度検出装置を備えるロボットのアーム回動機構、
及び該アーム回動機構を採用したロボットを提供する。
【解決手段】基台１１の上面１１Ａには基台１１内のモータにより回動される回転軸ＡＸ
１に固定される回転体としての連結軸１２が設けられている。基台１１の上面１１Ａには
反射型光センサ２１を配設し、連結軸１２の下面１２Ａには中心が軸心Ｃ１に一致する有
底円筒形状の反射体２０を固定する。反射体２０の円筒側壁２０Ｂの下面には、その底部
２０Ａに対して傾斜を有する反射面２０ｓが形成されている。反射型光センサ２１から発
せられる光Ｌ１の反射面２０ｓによる反射光Ｌ２の光量が、反射面２０ｓと反射型光セン
サ２１との対向距離Ｄにより変化することを利用して、基台１１に対する連結軸１２の回
転角度を絶対角度として得る。 （もっと読む）

【課題】搬送ハンドからウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を最小化してウエハーの高温化を防止するスピナーシステムの搬送ロボットハンドを提供する。
【解決手段】搬送対象のウエハーを真空で吸着固定する搬送ロボットであって、搬送ハンドに備えられる‘Ｕ’字形の吸着部上の分岐する両側端部と分岐開始部の中央部にそれぞれ一つずつ三角形の配置をなすように接触リング部が形成され、前記接触リング部の中心に、真空吸入圧が印加される真空ホールが形成される。よって、接触リング部によるウエハーの接触面積を減らし、その突出高を増大させることによって搬送ハンドから搬送されるウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を減少させ、また搬送ハンドがウエハーを下ろしてから帰還するかホームポジションで待機する時点で冷却されて、以後に搬送されるウエハーへの伝熱量を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】収納体から被搬送物を搬出入して交換する時間を短縮させると共にロボットの動作の調整作業を容易にすることができるロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、前進動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８を所定のカセット２４に向かって前進するように直進動作させる。同時に、回避動作手段により、前進動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０をＷ２軸２９を中心に反時計方向回りに回動させる。次に、第１ハンド部材２８にカセット２４内の半導体ウェハ２３を保持させる。次に、後退動作手段により、直線補間のもと、第１ハンド部材２８をカセット２４から後退するように直進動作させる。同時に、復帰動作手段により、後退動作手段による第1ハンド部材２８の直進動作に同期させて、第２ハンド部材３０を時計方向回りに回動させる。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。関節機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】開始点から目標点まで特異点を通過させてロボットを動作させ、搬送速度を向上させると共に装置の立上げ時間を短縮させたロボット制御装置を提供する。
【解決手段】制御部１４は、差分算出手段により、駆動軸の各々の差分θを算出する。時間算出手段により、予め設定可能な駆動軸の各々の速度条件と、上記差分θとから、駆動軸の各々の動作時間Ｔを算出する。比率算出手段により、上記算出された動作時間Ｔが最も長いＢ軸１９を基準軸として、その基準軸の動作量に対する他のＡ軸１７及びＷ軸２１の動作量の動作比率を算出する。算出される動作比率は、Ｂ軸１９を１として、Ａ軸１７は（−θ_ＡＳ／θ_ＢＳ）、Ｗ軸２１は（θ_ＷＳ／θ_ＢＳ）となる。動作手段により、上記算出された動作比率でＡ軸１７、Ｂ軸１９及びＷ軸２１の駆動軸の各々駆動させることにより、ロボット１１を開始点Ｓの姿勢から特異点Ｏの姿勢まで動作させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ搬送用のハンドが１８０°回転する構成のウエハ搬送装置において、ハンドに設けられたウエハ検出用のセンサ部の検出情報を本体側に支障なく伝達することを可能にする。
【解決手段】ウエハ搬送装置１１は、本体１３に対して回動軸２１を介してハンド１４が回動可能に支持され、ハンド１４には第１光ファイバ及び第２光ファイバが、その第１端部が本体１３と対向する位置で、かつ回動軸２１に対して対称位置に配置され、第２端部が載置部１９に載置されたウエハに光を出射及び反射光を受光可能に設けられている。本体１３には、ハンド１４が第１状態又は第２状態に配置された状態において、前記両光ファイバの第１端部の端面と対向する位置に投光部３０及び受光部３１が配置されている。ウエハの検出手段は、受光部３１の受光量に基づいてウエハの検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ワーク搬送ロボットを大型化することなく、高速搬送を可能とするハンドリングロボットを提供するものである。
【解決手段】水平に回転可能な第１アーム１０と、前記第１アーム１０の先端に前記第1アーム１０の回転軸と平行な軸に回転支持された回転可能な第２アーム１７と、前記第２アーム１７の先端部に前記第２アーム１７の回転軸と平行な軸に回転可能なフランジ２１と、前記フランジ２１にワーク把持部２５とを備えたワーク搬送ロボットにおいて、前記第１アーム１０の回転軸と平行な前記軸に少なくとも２つの出力軸を備えた減速機構１６，２０を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】位置決め装置と搬送ロボットとを具える半導体製造装置における設備立ち上げ時の各ポートでの基準位置教示の時間短縮を目的とする。
【解決手段】ウエハ等の円盤状物４７の円周と検出手段の軌跡４３とが交わる２点Ｗ１、Ｗ２を検出し、この２点とこれらを結ぶ線分の垂直二等分線４２上の特定点Ｏと円盤状物の半径ｒとを用いて円盤状物の中心位置Ａを算出する。これにより搬送ロボットに位置決め作業をさせ、その結果を用いて搬送経路の修正ばかりでなく設備立ち上げの際の基準位置教示も大部分自動化できた。ノッチがある場合は、円盤状物の円周を検出手段の２本の軌跡で検出し、正しい中心位置を見いだす。またノッチを有する半径未知の円盤状物では、その円周を検出手段の、共にノッチに掛からない距離だけ互いに離間した３本の軌跡で検出して半径を求めることで、直径の異なるウエハを用いる混合生産も可能となった。 （もっと読む）