【課題】物品を非接触で保持する物品保持装置において、物品の保持及び解除を迅速に行えるようにする。
【解決手段】物品保持装置２０は、ガラス基板を非接触で保持する装置であり、装置本体２１と、ファン制御部３０と、を備えている。装置本体２１は、ケース２２と、ファン２４と、吸い込み口２６と、吹き出し口２８と、を有している。ケース２２は、ガラス基板に対向可能な物品対向部４２及び内部に設けられた空間４０ａを有している。ファン２４は、ケース２２の空間４０ａに配置され、気体を吸い込んで吹き出す。吸い込み口２６は、ファン２４の吸い込み側と連通する。吹き出し口２８は、吸い込み口２６と異なる位置で物品対向部４２に配置され、ファン２４の吹き出し側と連通する。ファン制御部３０は、ガラス基板を保持可能にファン２４の回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】保持対象物が急激に引き寄せられることで、吹出す気体の圧力に抗して保持対象物が吸引保持面に接触することを抑制することができる吸引保持方法、搬送装置、搬送方法、及び吸引保持装置を提供する。
【解決手段】吸引保持方法は、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流に生じる負圧と、旋回流発生室の吹出し口から吹出し口が開口した吸引保持面に流出する気体とにより、吸引保持面を有する吸引パットに、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持方法であって、旋回流発生室に圧縮気体が供給されていない状態の吸引パットの吸引保持面を、保持対象物の被吸引保持面に対して、吸引パットが保持対象物を吸引保持している状態における吸引保持面と被吸引保持面との保持距離、又は保持距離より短い距離を隔てた吸引初期位置に位置させる工程と、吸引パットの旋回流発生室に圧縮気体を供給して、保持対象物を吸引して吸引保持状態にする工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】指掛かり部が軸心に対して片側に偏った位置に形成された既存の鉗子を位置決めし、且つ、鉗子を開閉させる機構を有し、鉗子開閉時に生じる回転モーメントを吸収することのできる手術用マニピュレータを提供する。
【解決手段】指掛かり部122,124が軸心に対して片側に偏った位置に形成された鉗子120を装着可能な保持手段61を具える支持台60と、前記鉗子の指掛かり部を開閉させる開閉機構70と、該支持台を複数の軸回りに回転可能に保持する回転台50と、該回転台を平面方向及び／又は垂直方向に直線及び／又は回転作動可能に支持するアーム部30と、を有する手術用マニピュレータであって、回転台は、アーム部に対する支持台の各軸回りの回転を固定するロック機構51,55,57を有する。 （もっと読む）

【課題】保持対象物を載置する区画に対して、保持対象物を載置又は取り上げる際の、当該区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができるチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】チャッキング装置は、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、吸引保持パットによって保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、第二の吸引保持面の面方向が、第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】多関節ロボットの例えば手首部において、より多くのケーブルを適切に収納及び動作時に処理し、アームを薄く、軽量化する構成を提供すること
【解決手段】基端軸からアーム１２内に配設されてきたケーブル４１ｂを収容して先端軸側へと案内するケーブルガイド７１と、先端軸で回動する部材とともに回転し、ケーブルガイド７１からのケーブル４１ｂを巻き取る巻き取り部材６２と、巻き取り部材６２とともに回転し、ケーブルガイド７１の先端を動作させるワイヤ３７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ドリフト現象による誤差と感度の変動による誤差とを較正する方法を提供する。
【解決手段】角速度センサーを用いた角度検出方法にかかわる。角速度センサーの姿勢を第１姿勢から第２姿勢へ変更し、その間の角速度センサーの出力を積分した第１出力積分１６ａと変更に要した第１経過時間１７とを検出する。角速度センサーの姿勢を第２姿勢から第１姿勢と同じ姿勢の第３姿勢へ変更し、第１姿勢から第３姿勢１３へ変更する間の角速度センサーの出力を積分した第２出力積分１６ｂと第１姿勢から第３姿勢へ変更する間の第２経過時間１８とを検出する。第２出力積分１６ｂを第２経過時間１８にて除算してオフセット補正係数を演算する。第１出力積分１６ａからオフセット補正係数と第１経過時間１７との乗算値を引き算した第１正味出力積分１９ａを演算し、第１姿勢と第２姿勢との回転角度の差を第１正味出力積分１９ａにて除算して感度係数を演算する。 （もっと読む）

【課題】並進する多関節アームを提供する。
【解決手段】多関節アーム１００は、ベース１０と第１のリンク１１０で連結した第１のアーム１０１と、第１のアーム１０１と中間リンク１３０で連結した第２のアーム１０２と、第２のアーム１０２と第２のリンク１２０で連結したエンドエフェクタ２００とを含む。第１のリンク１１０は、第１のアーム１０１に対して同期して動く第１の駆動歯車１１１と、ベース１０に対して同期して動く第１の伝達歯車１１２とを含む。中間リンク１３０は、第２のアーム１０２に対して同期して動き、第１の伝達歯車１１２とタイミングベルト１３９により接続された中間の駆動歯車１３１と、第１のアーム１０１に対して同期して動く中間の伝達歯車１３２とを含む。第２のリンク１２０は、エンドエフェクタ２００に対して同期して動き、中間の伝達歯車１３２とタイミングベルト１２９により接続された第２の駆動歯車１２１を含む。 （もっと読む）

【課題】装置を複雑化することなく移動物体の２重登録を防止することが可能な移動物体の位置管理方法及び該方法を適用したロボットコントローラを提供する。
【解決手段】コンベヤ１によって搬送されるワークの位置をカメラ２及び画像処理装置によって検出し、その検出したワークの位置データを管理する方法であって、位置データを管理するキューを設け、キューに位置データを登録してコンベヤ１の動作量に基づき逐次更新するようにし、位置データをキューに登録する際には、その登録しようとする位置データと、既にキューに登録されている位置データとを比較し、同じワークを示す位置データが既にキューに登録されている場合には登録しないようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】搬送中に基板の位置ずれを生じにくく、且つ、パーティクルの発生を抑制可能な基板搬送装置及びこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置は、基板Ｗを保持して水平方向に移動可能な保持部材１０を備え、この保持部材１０は基板Ｗの下面側の周縁部を保持するために基板Ｗの載置領域の周方向に沿って複数設けられ、垂直方向の断面が円弧状の凹曲面である保持面１３、１４を備えている。 （もっと読む）

【課題】他の物体への接触を検知する信頼性、経済性、及び、稼働率などを向上させることができ、接触トラブルによる損害をより低減することの可能なロボットアーム、ロボットアームの接触検知方法、及び、ロボットアームを備えた装置の提供を目的とする。
【解決手段】ロボットアーム１０は、駆動モータ２ａ、２ｂ、２ｃと、モータ軸用の角度センサ２２ａ、２２ｂ、２２ｃと、減速機と、出力軸用の角度センサ３２ａ、３２ｂ、３２ｃと、ロボットアーム部４ａ、４ｂ、４ｃと、モータ制御手段５０とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】ロボットの教示作業に必要な時間を短縮することが可能なロボット教示システムを提供する。
【解決手段】ロボット教示システム１０は、ロボット１１と、ロボットコントローラ１２と、ツール１３と、制御部２０とを備えている。制御部２０は、加工対象Ｗの図面データ２５を読み込む図面データ読込部２１と、位置領域情報３６を入力する入力部２２と、予め複数の図形ルートパターン３７を蓄積させたパターン蓄積部３８とを有している。通過位置設定部２４は、図面データ２５と、位置領域情報３６と、図形ルートパターン３７とに基づいてロボット１１の通過位置を設定する。プログラム作成部３１は、移動プログラム３２を作成し、移動プログラム３２は出力部３３によりロボットコントローラ１２へ送信される。 （もっと読む）

【課題】ロボット、特にエンドエフェクタの位置決めの精度を維持しつつ、ロボット自身の設置にかかる自由度をも高く維持することのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節型ロボットには、第２のアーム１５に対して上下方向に直線移動可能な伸縮回転軸２０が備えられている。伸縮回転軸２０は、入れ子式の複数の筒体２２，２３が振出し可能に連結される伸縮ロッド状に構成されるとともに、内側の筒体２３の先端部１７にエンドエフェクタが設けられている。また伸縮回転軸２０は、外側の筒体２２が昇降モーターＭ４からの駆動力を受けて第２のアーム１５に対して直線移動されることに伴い、外側の筒体２２の内部に配置される内側の筒体２３が駆動連結されるかたちでその移動方向と同一の方向に上下移動されることによりエンドエフェクタが位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス性や耐環境性、位置決め精度を維持しつつ、モーターなどの発熱体から伝達される熱を効率よく放熱することのできる旋回型アームを備える水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節型ロボットには、基台１１に回転可能に設けられた基台軸１２に連結されて同基台軸１２の軸心Ｃ１を中心に水平旋回する第１のアーム１３と、第１のアーム１３の先端部に設けられた支持軸１４に連結されて同支持軸１４の軸心Ｃ２を中心に水平旋回する第２のアーム１５とが設けられている。第２のアーム１５は、その基端部にその外側面１５ａのうち反先端方向に面する後外側面１５ｂを有し、同後外側面１５ｂには同第２のアーム１５に対して一体成型された放熱機構２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】たとえ熱伝達経路が長距離化される場合であれ、モーター等の発熱体から発せられる熱を効率よく放熱可能とする放熱装置を有する放熱装置付き旋回型アーム及び該旋回型アームを備える水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】支持軸１４を中心として水平旋回する第２のアーム１５には、そこに設置された第２モーターＭ２と熱的に結合される吸熱部３６と、該吸熱部３６に熱的に結合されたヒートパイプ３５を介してこの吸熱された熱を第２のアーム１５の外部に放熱させる放熱部３１とが備えられている。放熱部３１は、支持軸１４に対して第２モーターＭ２よりも離れた位置に配置され、第２のアーム１５の旋回方向から受ける空気に基づいてその周囲に気流を形成しつつ、この形成した気流によって吸熱部３６から伝達される熱を放熱する。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際の基板のすべりや、搬送ロボットから基板保持台上への基板受け渡し時に生じる位置ずれを防止する。
【解決手段】処理室８内に設置された基板７の位置を検出するために搬送アーム４の先端に撮像部１２を備えた搬送ロボット４９を有する。処理室８への基板搬送完了後に再び処理室８へ搬送アーム４を伸ばし、基板７と基板保持台１０の各外周縁部の位置を計測し、代数計算により基板７の各中心座標Ｏｓと基板保持台１０の中心座標Ｏｂを求める。両中心座標Ｏｓ、Ｏｂの位置が実質的に一致しなければ、基板７の位置ずれが生じているので、その位置ずれを補正する方向へ基板７を搬送ロボット４９により再度移動する。 （もっと読む）

【課題】ロボット、特にエンドエフェクタの位置決めにかかる自由度を高く維持しつつ、ロボット自身の設置にかかる自由度をも高めることのできる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節型ロボットには、第２のアーム１５に対して上下方向に直線移動可能な伸縮回転軸１６が設けられている。伸縮回転軸１６は、入れ子式の複数の筒体１６Ａ〜１６Ｆが振出し可能に連結されてなる伸縮ポール形状に形成されていて、その最も内側の筒体１６Ｆの先端部１７にエンドエフェクタが設けられている。最も外側の筒体１６Ａが第２のアーム１５に対して固定されるとともに、最も内側の筒体１６Ｆが第２のアーム１５内で伸縮駆動装置２０により送り出し／引き込み駆動されるドライブコード２５に連結され、該ドライブコード２５の送り出し量もしくは引き込み量に応じてエンドエフェクタが位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 精密又は微小な部品を位置決めしながら組立作業を行うロボットの接触力や位置・姿勢を、組立作業に応じて調整することができる多軸の位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置決め装置４は、駆動軸４４を駆動するリニアアクチュエータ４２と、リンク機構４３とが駆動軸４４によって連結され、リニアアクチュエータ４２が駆動軸を駆動することでリンク機構４３が駆動されて部品の位置決めを行う。コントローラ４１は、変位センサ４５及び位置座標変換演算部４１４が求めたハンドの位置、速度、及び加速度から装置のインピーダンスを算出し、算出した装置のインピーダンスからリニアアクチュエータ４２の駆動力を算出する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造設備及び搬送ロボットが稼働できるまでの工期を短縮できるシミュレーションシステムを提供する。
【解決手段】 シミュレーションシステム１は、半導体製造設備に備わる処理装置を制御する制御装置３と、処理装置に半導体ウェハを搬送する搬送ロボットが動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするシミュレーション装置２と、制御装置３と前記シミュレーション装置２とを通信させるシリアル通信ケーブル４とを備える。制御装置３は、搬送ロボットの搬送動作を制御するために搬送ロボットに送信する制御指令をシミュレーション装置２に送信するようになっている。またシミュレーション装置２は、送信された制御指令が動作指令に対応している場合、対応する動作指令に応じて実行する搬送動作をシミュレーションするようになっている。 （もっと読む）

【課題】部品組立の時間が短縮でき、生産性の高いロボットおよびその制御方法を提供すること。
【解決手段】ハンド部１６５の指部１６６で第１の部品２１０を把持する際に、摂動アクチュエーター１６４によって摂動トルクを与えながら把持作業を行うことができ、ハンド部１６５の指部１６６と第１の部品２１０とがよく馴染み、第１の部品２１０の把持精度を向上することができる。 （もっと読む）