【課題】クリーンルームで使用可能でタクトタイムを短縮できる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】ワークを載置するハンド８と、前記ハンド８を前記ワークの所定の位置から取り出しおよび供給するアーム２と、前記アーム２と上下移動機構１１が支持部材１０により連結され、前記上下移動機構１１の下部に台座１３が設けられ、前記台座１３が旋回する基台１４に振り子ストッパ１７が備えられたものである。 （もっと読む）

【課題】
フィンガ部が水平面内で回転方向にずれて取り付けられていても、最適な位置教示データが自動で取得できる位置教示方法を提供する。フィンガ部の位置ずれ量を検出して、このずれ量を補正して、最適な位置に被搬送物を搬送できる位置教示方法を提供する。
【解決手段】
搬送ロボットが移動可能なＸ軸方向に対し平行に備えられた第１、第２の目的物を検出することで搬送ロボットの中心位置を特定し、その後、第３の目的物を検出する。これらの動作で得られた位置データから最適な搬送位置を自動で教示する。 （もっと読む）

【課題】ワークにそりや局部的な変形を発生させない吸着装置を提供する。
【解決手段】ワーク５を吸着する吸着装置２０であって、吸着板２１と、吸着板２１に設けられワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部２２と、多孔質吸着部２２に連通された負圧発生部２５と、を備えている。このため、ワーク５を吸着する部分がワーク５の外形付近であり、吸着する面積が広いためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。 （もっと読む）

【課題】ロボットの作業効率、運用効率の低下等を招くことなくキャリブレーションの簡易な実行を可能にするロボットのキャリブレーション方法、及び該キャリブレーション方法の実施に用いられるロボット用キャリブレーション装置を提供する。
【解決手段】ロボットのキャリブレーション方法では、スカラーロボット１１に対する相対位置の固定された治具１２に対してその座標系の基準位置を示す位置確認孔４３Ａ，４３Ｂを予め設けておき、スカラーロボット１１の先端部に取り付けられた画像認識用のカメラ３３により前記位置確認孔４３Ａ，４３Ｂを認識するとともに、該認識された位置確認孔４３Ａ，４３Ｂの位置に基づいてスカラーロボット１１の先端部の座標系を調整するキャリブレーションを行なう。 （もっと読む）

【課題】予め設定された搬送軌道を位置ズレに応じて補正するにあたり、補正前の搬送軌道の特性を損なうことなく、位置ズレに応じて搬送軌道を補正する新たな搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、始点Ｓから終点Ｅまで搬送軌道Ｐｔに沿って搬送対象物を搬送する装置であり、予め設定された搬送軌道Ｐｔを用いて搬送制御を行うにあたり、目標となる終点Ｅ’が搬送軌道Ｐｔの終点Ｅから位置ズレしている場合に搬送軌道Ｐｔの終点Ｅが目標終点Ｅ’となるように搬送軌道Ｐｔを補正する。軌道Ｐｔを補正するにあたり、搬送装置は、補正前の終点Ｅと補正後の目標終点Ｅ’とのズレベクトルを、始点Ｓから目標終点Ｅ’の区間にわたり、按分して、搬送軌道を漸次的に補正し、補正後の軌道Ｐｔ’とする。 （もっと読む）

【課題】所望の始点から終点までの移動時間の短縮と移動によって生ずる振動の低減とを両立した軌道情報を生成する新たな軌道情報生成装置を提供する。
【解決手段】軌道情報生成装置２は、所望の始点から終点まで移動装置１０３を移動させるための軌道及び軌道上の速度に関する軌道情報１３２を生成するにあたり、予め設定された移動装置の振動特性を用いて移動により生ずる模擬振動の大きさ（θ_３−θ_ａ）を算出し、算出した模擬振動の大きさ（θ_３−θ_ａ）をパラメータの一つとし、始点Ｓから終点Ｅまでの移動に要する時間ｔ_ｅをパラメータの一つとして、少なくともこれら２つのパラメータを含む評価関数の値が最小となるように最適化手法を用いて軌道情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハを載置する位置やゲートの向きに係わらずウエハを略真直ぐ入れることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置１は、旋回ベース１３と、２つのハンド機構１３,１４と、２つのハンド用駆動機構３０，４０とを有する。２つのハンド機構１３，１４は、旋回ベース１３に回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に夫々設けられ、ハンド駆動機構３０，４０により個別に回動動可能に構成されている。ハンド機構１３，１４は、アーム２０と、ハンド２１と、連動機構２６とを有している。アーム２１は、回動軸線Ｌ２，Ｌ３を中心に回動可能に前記旋回リンクに夫々設けられ、ハンド２０は、ハンド用軸線Ｌ４，Ｌ５を中心に回動可能に前記アーム２１に夫々設けられている。連動機構２６は、アーム２０に対する前記ハンド２１の減速比が１．５５でアーム２０と前記ハンド２１とを連動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】無線化した加速度センサをロボットに取り付ける場合、センサを用いた振動抑制の効果を向上できるとともにセンサ基板における消費電力が低減できるようにする。
【解決手段】センサ信号の主成分の振動パラメータ（周波数、振幅、位相）を得る信号解析装置と、該パラメータからセンサ信号の近似波形を生成する信号発生器８１を備えて、該パラメータが変更された場合のみパラメータの無線伝送を行う。得られる近似波形から各軸モータの速度を求め、シミュレーションによりロボット動作に基づくモータ速度を得て、モータ速度の差をモータ速度の振動成分とする。モータ速度の振動成分をモータの位置−速度制御ループにフィードバックしてロボットアームに発生する振動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】待機時のアーム等の落下を防止しつつ待機時の産業用ロボットの消費電力を低減することが可能で、かつ、産業用ロボットのスループットを向上させることが可能なロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット制御装置１５は、産業用ロボットを駆動するためのモータ１７と、モータ１７を制動するための制動手段１８と、モータ１７を駆動するモータ駆動手段２０と、モータ駆動手段２０に電力を供給する電力供給手段２１と、制動手段１８、モータ駆動手段２０および電力供給手段２１を制御する制御手段２２とを備えている。制御手段２２は、制動手段１８を作動させてモータ１７を停止させるとともに、制動手段１８の作動中に電力供給手段２１を制御してモータ駆動手段２０に電力を供給しながらモータ駆動手段２０を制御してモータ１７への電流の供給を停止する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの把持を解放した後におけるウエハの位置ズレを抑え、且つウエハの搬送に要する時間を短縮する。
【解決手段】ウエハ２が載置されるハンド２０と、ウエハ２が載置される載置位置Ａからウエハ２をハンド２０から降ろす降ろし位置Ｄまでハンド２０を移動させるための移動装置１０において、ハンド２０は、載置されたウエハ２を受け部２３に押圧してウエハ２を把持し、且つ、押圧を解除してウエハ２を解放するための押圧装置３０を備えており、制御装置４０は、載置位置Ａにてウエハ２が載置されると押圧装置３０を制御してウエハ２を把持し、移動装置１０を制御してハンド２０をウエハ２を押圧する方向に移動させながら減速して降ろし位置Ｄへと移動させ、且つ、ハンド２０が減速している間に、押圧装置３０を制御してウエハ２を解放させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】生産効率を向上させる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワーク５に液滴を吐出する前にワーク５に前処理を施す前処理部２０と、液滴を水平方向に吐出可能に取り付けられた液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して液滴をワーク５に塗布する液滴吐出部３０と、液滴が吐出されたワーク５に後処理を施す後処理部５０と、ワーク５を鉛直方向に吊り下げて把持可能なチャック部７８を有する搬送部７０と、を有し、前処理部２０と、液滴吐出部３０と、後処理部５０とが搬送部７０のチャック部７８の移動範囲６内において順に配置され、搬送部７０のチャック部７８がワーク５を把持した状態で前処理部２０と、液滴吐出部３０と、後処理部５０とを順次移動可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板保護、装置保護のための基板有無検出、および衝突検出を小型、低コストな１つのセンサにて精度よく検出し、基板の大型化に対する鉛直方向の振動についても同時に低減できる基板搬送用装置を提供する。
【解決手段】 エンドエフェクタに取り付けたひずみセンサと、ひずみセンサ出力から基板有無を検出する基板有無検出部と、衝突有無を検出する衝突有無検出部と、鉛直方向の振動を低減する振動低減部を備える。 （もっと読む）

【目的】搬送ロボットをチャンバ等に衝突させずにティーチング可能な装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の荷電粒子ビーム装置は、ロボットハンド１４３を有し、荷電粒子ビームが照射される基板をロボットハンドに配置して搬送する搬送ロボット１４２と、搬送ロボットによって基板が搬送される描画室１０３と、搬送ロボットの移動位置をティーチングする際のロボットハンドの予定位置を示す予定位置座標を入力し、予定位置座標にロボットハンドを移動させた際にチャンバに干渉するかどうかを検証する検証部１４と、検証の結果、干渉しない場合に、予定位置座標にロボットハンドを移動させるロボットコントローラ１１４と、検証の結果干渉しない予定位置座標をティーチング座標として登録する登録部１６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、トレイの有無やトレイ高さを検出することができるトレイ移載装置及び方法を提供する。
【解決手段】複数の積載スペースａ，ｂ，ｃにそれぞれ段積み可能な複数のトレイ１０と、トレイに設けられたトレイ把持部１１とトレイ上に積載されたワーク１を把持可能なハンド１２と、ハンドに取り付けられトレイをその上方から撮影するカメラ１４と、ハンドを３次元的に移動可能なロボット１６と、カメラで撮影した画像を画像処理してロボットを制御するロボット制御装置２０とを備える。各積載スペースの上方から撮影した画像５に基づき、最上段のトレイ把持部１１の位置及び姿勢と、各積載スペースのトレイ１０の段積み数とを計測し、これに基づき最上段のトレイ１０の移載及び最上段のトレイ上のワーク１の移載を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板搬送装置の待機姿勢時における消費電力を、低減する方法を提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節を備え、前記ハンド部１４を一方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０を上下に移動するベース部材に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され昇降機構２０と、から構成され、前記水平アーム機構３０の待機位置は、前記水平アーム機構３０が最下降位置に移動し、前記水平アーム機構は前記昇降機構２０の間に配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】移動するワークに追従して作業するロボットのワークへの追従能力を高めて、当該ロボットの可動限界の有効利用を図ることのできる制御装置、及びロボット、及びロボットシステム、及びロボットの追従方法を提供する。
【解決手段】ロボットコントローラーは、コンベヤー１により搬送されるワークＷに対し追従動作を行うロボット４の制御を行う。ロボットコントローラーは、ロボット４がワークＷに対し追従動作を行う追従領域を設定する追従領域設定部を有し、追従領域は、コンベヤー１上に設定された第１境界ＢＬ１および第２境界ＢＬ２を有し、第１境界ＢＬ１および第２境界ＢＬ２の少なくとも一方のうち少なくとも一部は、コンベヤー１がワークＷを搬送する方向である搬送方向Ｃｖに対して非直交に設定される。 （もっと読む）

【課題】ウェハーアライメント・オリフラ合わせ機構を備えるウェハー搬送ロボットであり、ウェハー搬送ロボットの本来有する機構および制御系を利用して当該機構を簡素に構成でき、センサユニット取付け部を配置する必要のないウェハー搬送ロボット、及び、ウェハー搬送ロボットを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ウェハー搬送ロボットの駆動機構より延設された支柱を軸として動作する第１アームの上方にウェハーのセット箇所を固定配置し、かつ、第１アームにはセンサを配設させ、ウェハーチャックによりウェハーをセンサ上に移動させてセンサとウェハーの位置を合わせてから該センサでセンシングを行い、この状態から駆動機構により支柱を昇降させてウェハーをセット箇所に載置させ、支柱を軸に所定の角度に回転させることによりウェハーのオリフラ合せを行うオリフラ合せ手段を具備した構造を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２組のリンク機構から構成された、昇降機構において、リンクへの負荷を軽減する機構を提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部と、前記ハンド部と連結され少なくとも２つ以上の回転関節を備え前記ハンド部を一方向に移動するように伸縮し旋回軸方向に対向するように配置された２組の水平アームからなる水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０の支持ベース８に連結され水平アーム機構３０を昇降する少なくとも２組のリンク機構から構成される昇降機構２０と、から構成され、前記支持ベース８と前記昇降機構２０の第３関節部８ｂとの間には水平アーム機構３０をＸ方向に移動自在に支持する直動機構が配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】 安価で正確且つ迅速に位置出しを行なうことができる自動機による位置出し方法及び自動機の位置出し装置の提供。
【解決手段】 Ｘ軸方向へ移動し、且つθ方向へ旋回するアーム１と、当該アーム１の旋回面に対して平行であり、且つ略平坦な作業テーブル２を備え、アーム１の先端部に作業テーブル２へ向けたチャック３を回転自在に支持した自動機による位置出し方法において、アーム１の先端部に作業テーブル２又は作業テーブル２上の物体の表面の高低を検出するセンサ４を支持し、作業テーブル２又は作業テーブル２上の物体におけるターゲットポイントに球面状ゲージ５を載せ、センサ４で作業テーブル２又は作業テーブル２上の物体のターゲットエリアをＸ軸方向への移動とθ方向への旋回で走査し、センサ４から得た検出信号の変化を以って球面状ゲージ５の頂部を検出し、当該頂部の位置座標を保存する自動機による位置出し方法。 （もっと読む）

【課題】スカラロボットの関節部において、二重あるいはそれ以上の防水、防塵および吸水または塵埃の排出を可能としたスカラロボットの関節部を提供する。
【解決手段】スカラロボットの関節部６において、関節部内部と関節部外の外気に繋がる隙間に、入口側から関節内部に向って順にラビリンス部１０次いでＯリング１１を設けたこと、を特徴とするスカラロボットの関節部とした。さらにまた、空隙部１２と、内部に溜まった水や塵埃を抜き取る導出口１３を備えて構成した。 （もっと読む）