【課題】直動機構を用いることなくワークを出し入れすることができると共に、高速動作が可能で、かつ、低発塵、省スペース化に寄与する水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置を提供すること。
【解決手段】エンドエフェクタ２０、第１アーム３０、第２アーム４０に、さらに第３アーム５０を備え、第３アーム５０を揺動回転動作させることによって、例えば、アクセス位置Ｐ１の軸線Ｐ１ａの延長線上に第３回転軸Ｎ３がくるようにしてから直線状にエンドエフェクタ２０を移動させてワークの出し入れを行う。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームを構成する部材に、高いアライメント精度を要求することなく、その動作を実現することができるロボットアーム及びこれを用いた搬送装置を提供すること。
【解決手段】ガイド機構１０は、上述のガイド軸１５と、これらガイド軸１５の動きをガイドする部材としてガイドプレート１６とを備えている。ガイドプレート１６には、ガイド軸１５が挿通されるガイド穴１７ａを形成するためのガイド穴形成部材１７が固定されている。ガイド穴１７ａは、一方向であるＸ軸方向に長い形状に形成され、ガイドプレート１６をベースとしてガイド軸１５がＸ軸方向に移動するようにそれの動きをガイドする。軸受ローラ１８の外周面１８ａと、ガイド穴形成部材１７の内側壁１７ｂとの間には隙間Ｑが設けられている。これにより、実質的に重力方向でガイド軸１５の自由度を維持でき、ガイド軸１５及び軸受ローラ１８のＹ軸方向の動きの自由度も確保される。 （もっと読む）

【課題】目標とする位置に処理装置を素早く且つ正確に位置させ、所望の処理を行わせることができるロボットを提供する。
【解決手段】対象物Ｅを把持する把持部１０と、対象物Ｅと把持部１０とを相対移動させるアーム２０と、把持部１０に働く慣性力および対象物Ｅに働く慣性力の差分を検出する慣性センサー４０と、アーム２０を制御して把持部１０を対象物Ｅに向けて相対移動させるとともに、慣性センサー４０の検出結果を用いて把持部１０と対象物Ｅとの間の相対位置のずれを演算し、演算結果に基づいてアーム２０を制御して、ずれが相殺されるように把持部１０と対象物Ｅとの間の相対位置を調節する制御装置６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】上下軸の雰囲気と外環境とをジャバラにより隔離して当該雰囲気の外環境への流
出を抑制する上下軸を、ジャバラによる隔離を維持しつつ、より高速な上下動に対応させ
ることのできるスカラーロボットを提供する。
【解決手段】スカラーロボットには、支持軸１４に回動可能に設けられた第２のアーム１
５に、第２のアーム１５に貫通支持して第２のアーム１５に対して少なくとも軸線方向に
移動させる上下回転軸１６と、上下回転軸１６を外環境と隔離させるジャバラ１９，２０
とが設けられている。上下回転軸１６の下端部１７と第２のアーム１５の下部との間に設
けられる下側ジャバラ２０内の雰囲気を、上下回転軸１６の上昇に伴い下側ジャバラ２０
が収縮するとき下側ジャバラ２０の外環境に流出させずに第２のアーム１５の内部に流入
させるように下側ジャバラ２０内と第２のアーム１５内とを連通させる連通路３０を備え
る。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】アームカバーの取り付け、取り外しに複数個の固定用ボルトのため面倒な作業であり、経年変化によりボルトが落下するという欠点を解消し、取り付け、取り外しが容易なアームカバーを提供すること。
【解決手段】スカラロボットのアームカバー１０において、ロボットアームの縁部に全周に亘りガイドを設け、アームカバーの弾性変形によりこのガイドに沿ってアームカバー底部を嵌め込むとともに、カバー上面からアームに固定されたブラケット１３にボルト１４により固定するようにした。 （もっと読む）

【課題】ベルト駆動装置やロボットの動作性能の低下を防止するとともに、ロボットのメンテナンス時期を通知することを課題とする。
【解決手段】ベースに対して回転可能な駆動プーリ７と従動プーリ８との間に掛けられて一定の張力が維持されるベルト６と、駆動プーリ７を回転させるサーボモータ１１と、サーボモータ１１を制御するコントローラ１５と、張力を測定可能なロードセル１０と、を少なくとも備えたベルト駆動装置において、コントローラ１５が、ロードセル１０の測定結果からベルト６の固有振動数を算出する自動設定部１５５を備え、測定結果が問題の無い張力であったとき、サーボモータ１１を駆動するモータ駆動部１５２のノッチフィルタのカットオフ周波数として固有振動数を設定する。
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【課題】角速度センサーのバイアスドリフトの影響を除去するとともに外乱等によるノイズの影響を除去し、高精度な制御を行うことが可能なロボットを提供する。
【解決手段】基体に対して回転運動可能なリンクと、リンクを駆動するアクチュエーターと、アクチュエーターのトルクをリンクに所定の減速比で伝達するトルク伝達機構と、アクチュエーターの回転角度を検出する角度センサーと、基体に対する前記リンクの角速度を検出する角速度センサーと、所定の減速比と回転角度との積のうちカットオフ周波数以下の低周波数成分及び角速度の積分値のうちカットオフ周波数以上の高周波数成分を用いるとともに高周波数成分において特定の周波数特性を有するフィルタを用いてリンクの角度を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】第２のアーム１５の回動中心軸と平行に設けられた主軸１６と、主軸１６の上端部に連結した上側連結部材２１と、主軸１６の下端部に連結した下側連結部材２２と、上側連結部材２１と下側連結部材２２とを連結した２本の補助軸２３と、第２のアーム１５に固着され、２本の補助軸２３と係合する嵌合溝を有する補助軸係合部材とを備え、２本の補助軸２３は、第２のアーム１５の外郭面から外側に離れた位置に配置され、主軸１６の軸方向から見て、２本の補助軸２３は、主軸１６と第２のアーム１５の回動中心軸とを結ぶ線に対して、対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、特別な配管・配線スペースを必要とすることなく、正逆回転する中空作動軸に挿通した線状対象物の破損を有効に防止することができる線状対象物の配管・配線構造、ロボットの作業ヘッドおよび多関節ロボットを提供することである。
【解決手段】チューブ１７およびケーブル１６の少なくとも一方であるケーブル類１８を、軸線周りに所定の角度正逆回転する中空作動軸１２の中空部に挿通すると共に、中空作動軸１２の一方の軸端側において回転不能となるように相対的に固定とし、他方の軸端側において中空作動軸１２と同期回転するように相対的に可動としたケーブル類１８の配管・配線構造であって、中空作動軸１２の内壁とケーブル類１８との間に介設され、ケーブル類１８を囲繞するように保持すると共に、軸線周りに捻り変形自在な筒状プロテクター６１を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションを行う手間をかけることなく補正を行うことで、角速度センサーの検出値を正確に得ることが可能な角速度センサーの補正方法を提供する。
【解決手段】リンク３の一連の動きにおいて、角度センサー６がアクチュエーター４の回転角を検出する回転角検出工程と、回転角検出工程の後に演算部１５が回転角を微分して基準の角速度を算出する基準の角速度演算工程と、回転角検出工程と同じ工程で、角速度センサー１２が基体１に対するリンクの角速度を検出するリンクの角速度検出工程と、基準の角速度演算工程の後に、リンクの角速度が基準の角速度に近づくように補正するリンクの角速度補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】省スペースのロボット用信号伝達装置を提供する。
【解決手段】ロボットのエンドエフェクター５０へ信号伝達を行うロボット用信号伝達装置６０であって、アーム１８と、光導波路を備える光伝送路６２と、前記アーム１８と前記エンドエフェクター５０とのそれぞれに設けられ前記光伝送路６２を介して互いに光通信する光通信手段と、前記エンドエフェクター５０を動作させる駆動機構４０と、を備え、前記駆動機構４０は、前記エンドエフェクター５０を回転および昇降させる中空部３０ａを有する作業軸３０と、前記エンドエフェクター５０を動作させる気体を送風もしくは吸引するフレキシブルチューブと、を有し、前記光導波路は、前記フレキシブルチューブに沿って設けられ、前記フレキシブルチューブは、前記作業軸３０の前記中空部３０ａに収容されている。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットの内部で発生する粉塵の拡散を防止する。
【解決手段】ロボットのハンドを有する作業軸３０およびその周辺から発生する塵の拡散を防止する防塵構造６０であって、蛇腹部６５と前記蛇腹部６５の両端にストレート部６６ａ，６６ｂとを有し、前記蛇腹部６５で前記作業軸３０を覆う蛇腹ホース６２と、前記ストレート部６６ａ，６６ｂが嵌合する接続部を有し、前記作業軸３０の軸線に沿って所定の間隔を空けて配置された２つのホース固定部６１，６３とを備え、前記ホース固定部６１，６３では、弾性部材６８，６９を介してクランプ材７０，７１で前記蛇腹ホース６２の前記ストレート部６６ａ，６６ｂを前記接続部に締め付けることによって固定する。前記ストレート部６６ａ，６６ｂは、前記クランプ材７０，７１による締め付けに対して浮きを低減させるため、ストレート部の円周方向に沿って複数形成された薄肉部からなる緩衝部を有している。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ搬送ロボット内部の配線作業が困難である配線箇所にてノイズ影響に強く、かつ配線作業効率を向上させることができるウェーハ搬送ロボット及びそれを用いたウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するアームと、そのアームを支持し内部にアームを旋回駆動させる旋回駆動モータ及びアームを伸縮駆動させる伸縮駆動モータを有するロボット本体部と、そのロボット本体部を移動させるための走行手段とを備えたウェーハ搬送ロボットにおいて、ロボット本体部の内部において旋回駆動モータの周囲を通って配線され、アームの駆動に用いられる信号を伝達するための旋回配線部は、シールド処理が施されたフレキシブルプリント基板を備えた。 （もっと読む）

【課題】
ストロークの大きな真空搬送装置であっても、適時にその駆動系を覆う容器の内部を真空排気出来る基板搬送装置を提供することを本発明の課題とする。
【解決手段】
本発明の係わる真空搬送装置は、内部を排気し得る第一の容器、前記第一の容器内に位置する内部を排気し得る第二の容器、前記第二の容器を一の方向に並進移動をさせる運動手段、排気手段と連通／遮断をするバルブ及び第一の容器に設けられた中空部分を有する第一の接合部、前記第二の容器に設けられた前記第一の接続部に対向する中空柱状体の突出部並びに前記中空柱状体の突出部の内側を移動可能で、前記第一の接合部に前記運動手段により接合可能な中空柱状体の部分を有する第二の接続部を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットを分解することなく移送でき、容易に設置できる及び生産設備の製造方法を提供する。
【解決手段】台座と、台座に立設され少なくとも上側ブロックと下側ブロックとを有するコラムと、コラムに設けられコラムに沿って移動する移動機構と、移動機構に連結された支持部材と、支持部材に支持され複数の関節を有するアームと、を有する多関節ロボットであって、上側ブロックが横倒し状態にまで揺動可能となるように上側ブロックと下側ブロックとを連結する可動部材と、上側ブロックが横倒し状態となった状態で上側ブロックを固定する固定部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに基板を真空吸着して搬送する場合において、容易に交換することができるとともに、長時間吸着してもウェハに固着することがなく、安定してウェハを真空吸着することができる真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】基板を真空吸着して搬送する基板搬送装置１６の搬送アーム１７（１９）に形成された取付孔２２又は貫通孔に取り付けられて、搬送アーム１７（１９）に設けられた真空吸引路２１と連結されて基板を真空吸着する真空吸着パッド２０であって、第１の開口部４４が形成された上面部４１と、取り付けられたときに取付孔２２または貫通孔と対向し、シール部材３２を装着する装着部４６が形成された側周面部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単なセンサレスティーチングによって、ロボットハンドによるカセット内の各段の基板の受け渡しを精度よく行える基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを複数段収納するカセット３０と、カセット３０の各段に対してロボットハンド５０を用いて基板Ｗの受け渡しを行う基板搬送用ロボット７０とを用意する。カセット３０に収納される基板Ｗの最下段と最上段の基板Ｗの受渡位置にロボットハンド５０を移動してそれらの受渡位置をロボットハンド５０の位置情報として測定する。次に測定した基板Ｗの最下段と最上段の位置情報と、位置決め式とに基づいて、カセット３０のその他の段に収納される基板Ｗに対するロボットハンド５０の受渡位置の位置情報を算出する。そしてこれら位置情報を用いて、カセット３０の各段に対してロボットハンド５０を移動させることで基板Ｗの受け渡しを行う。 （もっと読む）