【課題】簡単なセンサレスティーチングによって、ロボットハンドによるカセット内の各段の基板の受け渡しを精度よく行える基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを複数段収納するカセット３０と、カセット３０の各段に対してロボットハンド５０を用いて基板Ｗの受け渡しを行う基板搬送用ロボット７０とを用意する。カセット３０に収納される基板Ｗの最下段と最上段の基板Ｗの受渡位置にロボットハンド５０を移動してそれらの受渡位置をロボットハンド５０の位置情報として測定する。次に測定した基板Ｗの最下段と最上段の位置情報と、位置決め式とに基づいて、カセット３０のその他の段に収納される基板Ｗに対するロボットハンド５０の受渡位置の位置情報を算出する。そしてこれら位置情報を用いて、カセット３０の各段に対してロボットハンド５０を移動させることで基板Ｗの受け渡しを行う。 （もっと読む）

【課題】ロボット本体およびアーム相互間の成す角度を各々光学的に正確に検出することにより、最終的な搬送位置のズレを生じさせないようにしたワーク搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ロボット本体と、該ロボット本体に対して順次関節部を介して相対回動可能に連接された複数のアームと、該複数のアームの先端側アームに相対回動可能に取付けられたリストブロックと、上記複数のアームの各々を回動作動する連係手段と、上記連係手段を所定の連係関係で駆動する駆動手段とを備えてなるワーク搬送ロボットであって、上記ロボット本体および複数のアーム間の各関節部には、ロボット本体およびアーム相互の相対的な回転角度情報を示す角度情報表示部４２と、該角度情報表示部の角度情報を光学的に読み取る光学センサー５１とを設け、上記各関節部の連結軸を介して相互に相対回動するロボット本体およびアーム相互の実際の回転角を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ロボットのアームが変形する場合にもアームを位置精度良く制御する方法を提供する。
【解決手段】手部１６の位置を制御する位置制御方法にかかわる。手部１６の移動と手部１６の移動量の検出とを並行して行い、手部１６を目標とする場所に接近させる制御を行う第１移動工程と、手部１６の移動と手部１６が位置する場所の検出と目標とする場所の検出とを並行して行い、手部１６を目標とする場所に移動させる制御を行う第２移動工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持する器官の形状の個人差等に対応することができ、しかも部品点数の増加を抑えることができる医療用マニピュレータを備えた医療用ロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットアーム２４と、ロボットアーム２４に着脱自在に設けられ、子宮Ａを所定の位置に支持するための子宮マニピュレータ３４と、ロボットアーム２４及び子宮マニピュレータ３４を操作するコンソール２６と、を備えた医療用ロボットシステム１０であって、子宮マニピュレータ３４は、基部５８に設けられた第１アーム部６０と、第１アーム部６０よりも先端側に位置して子宮Ａを保持する第２アーム部６４と、第１アーム部６０と第２アーム部６４とを連結し、かつ第１アーム部６０に対する第２アーム部６４の向きを可変可能な連結部６８とを備え、第２アーム部６４は、長手方向に伸縮可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ロボットの制御を可能にするロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット制御装置は、基体１に対して回転運動可能なリンク３と、リンク３を駆動するモーター４と、モーター４のトルクをリンク３に減速比Ｎで伝達する減速機５と、モーター４の回転角θ_M1を検出する角度センサー６と、基体１に対するリンク３の角速度ω_L1を検出する角速度センサー１２と、角速度ω_L1の積分値のうち第１の周波数ｆ_H以上の高周波成分、及びθ_M1＊Ｎのうち第２の周波数ｆ_L以下の低周波成分を用いリンク３の回転角を算出する演算部１５と、を備え、第１の周波数ｆ_Hと第２の周波数ｆ_Lとが異なる。このことによって、角速度センサー１２のバイアスドリフトの影響を排除し、特定の周波数を強調したり除去した角度の信号を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
ダブルハンドロボットにおいて、下側に配された歯付ベルト伝動機構の組み立てと歯付ベルトの張力の調整を容易に行えるようにすることである。
【解決手段】
第２アームＡ₂ の床板部２における下側の減速プーリユニットＵ₂ が配置される部分は部分的に開口されて、当該下面部分開口３は下蓋体２１により閉塞される構成にして、下側に配置される減速プーリユニットＵ₂ の第２アームＡ₂ の長手方向Ｑに沿った固定位置を当該第２アームＡ₂ の下側から前記下面部分開口３を通して調整可能にすることにより、下側の減速プーリユニットＵ₂ の軸心Ｃ₄₁，Ｃ₄₂とハンド旋回軸３６，３７の軸心Ｃ₃ との軸心間距離Ｌ₁,Ｌ₂ を調整して、下側の歯付ベルトＶ₂₂の張力を調整可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】ロボットによるビンピッキング作業を良好に行うことができながらも、設備全体の大型化を抑制して小型化の要求に応える。
【解決手段】作業台２上に、直角座標型のロボット３、多数個の部品Ｗをばら積み状態に収容する部品供給箱４、カメラ６、仮置き領域８、部品載置位置７ａを有するコンベア装置７を設ける。ロボット３の手首部１６に、水平方向に延びる軸を中心に回動するプレート１７を設け、このプレート１７に、吸着ノズル１９とチャック２０とをＶ字状に開いた形態（角度θが９０〜１３５度）で一体的に有する複合ハンドツール１８を取付ける。制御装置２１は、部品収容箱４内の部品Ｗをカメラ６によって認識し、吸着ノズル１９により１個ずつピックアップして仮置き領域８に仮姿勢とした上で載置し、チャック２０を用いて仮置き領域８の部品Ｗを最終確定姿勢に変換して部品載置位置７ａに載置する。 （もっと読む）

【課題】
複数のアームが連結されたアームユニットを備えた基板搬送ロボットにおいて、当該アームユニットの交換・組立、及び調整の作業性を高めることである。
【解決手段】
ベースＫに昇降可能に支持された昇降フレームＦと、当該昇降フレームＦ内に配置された駆動モータＭ₁ により旋回される基端アーム（第１アーム）Ａ₁ を含む複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ と、先端アーム（第２アーム）Ａ₂ 内に配置された駆動モータＭ₂ により旋回されるハンドＨ₁ ，Ｈ₂ とを備え、複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ のうち前記基端アーム（第１アーム）Ａ₁ を除く残りのアーム（第２アーム）Ａ₂ は、当該アームＡ₂ が旋回軸Ｓ₂ を介して支持されている手前側のアームＡ₁ 内に配置された駆動モータＭ₂ により旋回され、前記複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ が連結されたアームユニットＵは、前記昇降フレームＦに対して着脱可能な構成の基板搬送ロボットであって、前記アームユニットＵは、前記基端アーム（第１アーム）Ａ₁ の駆動モータと一体となって、前記昇降フレームＦに対して着脱可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】慣性センサーの出力の誤差によって制御装置が情報を誤認識することで、正しい制御が損なわれることを抑制することができるロボット、搬送装置、及び慣性センサーを用いた制御方法を提供する。
【解決手段】搬送装置は、移動部と、移動部の駆動源と、駆動源の位置情報を出力する位置センサーと、移動部が移動させられる際の慣性力情報を出力する慣性センサーと、移動部の移動を規定する制御指令を出力する制御指令発生部と、を備える搬送装置であって、移動部の移動動作を制御する際に、慣性力情報を用いるか否かを決定する制御切替決定部と、制御切替決定部が慣性力情報を用いることを決定した場合には、制御指令、位置情報、及び慣性力情報に拠って第一の制御を実施し、制御切替決定部が、慣性力情報を用いないことを決定した場合には、制御指令、及び位置情報に拠って第一の制御とは異なる第二の制御を実施する動作制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 予め定められた一方向にエンドエフェクタを移動させることで教示位置を教示可能な自動教示装置を提供する。
【解決手段】 半導体搬送ロボット１は、ハンド２と、第１及び第２光電センサ１４，１５と、制御部２８とを有する。第１及び第２光電センサ１４，１５は、ハンド２に設けられ、互いに異なる方向に延びる光軸Ｌ４，Ｌ５を有する。制御部２８は、予め定められた仮教示位置ｐ_ｃに向かってハンド２を移動させて第１及び第２光電センサ１４，１５により正教示位置ｐ_ｒに配置される冶具３１に立設されるピン３２を夫々検出させ、検出したときのハンド２の位置である第１及び第２検出位置ｐ_１，ｐ_２に基づいて正教示位置ｐ_ｒと仮教示位置ｐ_ｃとのズレ量Δｒ、Δθを演算して正教示位置ｐ_ｒを求める。制御部２８は、ピン３２を検出させる際、光軸Ｌ４．Ｌ５が延びる方向と異なる方向にハンド２を移動させる。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の基板移動方法に関し、大気搬送部分での、第１エンドエフェクタと第２のエンドエフェクタでの搬送機構を提供する。
【解決手段】半導体基板を第１位置から第２位置に移す装置。該第１及び第２位置は個別的な支持領域において複数の該半導体を保持するようになされている。その装置は、個別的に支える半導体の異なった最大数の支持領域をおのおのが有する２つの基板保持エンドエフェクタ４６，４８を有する搬送機構を含む。該半導体は該第１位置から該第２位置へと該第１エンドエフェクタ４６によって搬送され、該第２位置又は該第１位置における空の個別的支持領域が該第１エンドエフェクタ４６上の支持領域の該最大数よりも小さいときは、該第１位置から該第２位置へと該第２エンドエフェクタ４８を用いて基板を搬送する。 （もっと読む）

【課題】回動又は摺動自在に支持された移動部に取り付けられた慣性センサーに電力を供給するための、回動又は摺動自在に支持する支持部を経由して基体から移動部に達する電力供給用のケーブルや、発電用の動力を伝達する動力伝達機構などを不要にすることができるロボット、搬送装置、及び電力供給方法を提供する。
【解決手段】ロボット２０は、一端に作業端末を支持しもう一端を回動自在に支持されたアーム２１と、アームを回動させるための駆動源と、アームに取り付けられておりアームが回動する角速度を検出してアームの角速度情報を出力する慣性センサー３２と、アームに取り付けられており慣性センサーに電力を供給する発電装置４０と、発電装置で発電した電力を蓄える二次電池５２と、を備える。発電装置は、アーム２１の運動エネルギーによって駆動される発電機、または太陽電池であり、センサの近傍に設ける。 （もっと読む）

【課題】粉塵を発生させずに慣性センサーの出力を制御装置に伝送できるロボットを提供する。
【解決手段】昇降装置１３を有するロボットにかかわり、昇降装置１３に配置され昇降装置１３の動作を検出する角速度センサー１６と、角速度センサー１６が出力するセンサー信号を伝送する伝送部と、センサー信号を用いて昇降装置１３の動作を制御する制御装置２４と、を有し、伝送部は、センサー信号を用いて光を変調した信号光１９を生成し、信号光１９を送信する送信部１７と、信号光１９を受信して信号光１９からセンサー信号を復調する受信部１８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】水などの液体や塵埃が飛散する環境下で使用しても動作不良などを起こすことを抑制することのできるスカラロボットを提供する。
【解決手段】第２のアーム５に形成されたスプラインシャフト貫通部１４を貫通して上方に突出するボールねじスプラインシャフト６の上端部に接続された延長シャフト１７の上端部に、ボールねじスプラインシャフト６の軸方向に伸縮自在な蛇腹状カバー部材１８の一端部１８ａをベアリング１９を介して締着する。また、蛇腹状カバー部材１８の他端部１８ｂをスプラインシャフト貫通部１４に延長シャフト１７及びボールねじシャフト６を内包するように締着する。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】機能を維持しながらもより小型化することができるようにした、ロボット及び物品搬送システムを提供する。
【解決手段】アーム部材２３と、アーム部材２３を揺動させるアクチュエータ２２と、アーム部材２３の先端に設けられるハンド部材２４と、アーム部材２３とハンド部材２４とを回転可能に連結する関節部材と、アクチュエータ２２を支持し直線駆動するリニアアクチュエータ３と、アクチュエータ２２及びリニアアクチュエータ３を協働させての各ハンド部材を進退方向に直線移動させるコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】 低コストで信頼性が高く正確なロボット関節部におけるたわみ補正、力制御等ができるロボット装置を提供すること。
【解決手段】 基台側リンク１に備えた駆動モータ１１を駆動制御する制御装置と、この駆動モータの動力を入力軸５２、固定軸５３、出力軸５４の３要素を有する減速機５を介して先端側リンク２に伝達する関節部３を備え、この関節部３は、前記基台側リンク１に筐体が固定され、検出部で前記減速機５の入力軸５２の角度情報を検出する第一エンコーダ１２と、前記先端側リンク２に筐体２１が固定され、検出部２２で前記減速機５の入力軸５２の角度情報を検出する第二エンコーダ２３とを備え、前記制御装置は、前記第二エンコーダ２３で検出した前記入力軸５２の角度情報に基いて前記駆動モータ１１を駆動制御するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】特性の異なる螺合部品（雄ねじ、ボルト、ナット等）であっても、ばね等の交換や、段取り等なしに、被螺合部（雌ねじ穴、雄ねじ部材等）にねじ締めを正確かつ確実に行うことができる自動ねじ締め装置とその制御方法を提供する。
【解決手段】ロボットアーム先端５に取り付けられ、これに作用する外力を検出する力センサ１２と、力センサに取り付けられ、所定の螺合部品１を把持し所定の軸心を中心に回転駆動する把持回転装置１４と、力センサで検出した軸方向の外力が予め設定した押付力となるようにロボットアーム先端５を力制御する力制御装置１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】同時にベルト両辺のベルトテンションを偏りなく正確に調整することができ、しかも、誰が行っても簡易かつ短時間で正確なベルトテンションの調整を行えるようにする。
【解決手段】一方の片辺側ベルト１５ａに接する第１のアイドラ１６が取り付けられ、ベルト走行方向と直角な方向に移動可能なようにケーシング１２に取り付けられた第１のアイドラシャフト１８と、他方の片辺側ベルト１５ｂに接する第２のアイドラ１７が取り付けられ、ベルト走行方向と直角な方向に移動可能なようにケーシング１２に取り付けられた第２のアイドラシャフト２３と、第１アイドラ１６と第２アイドラ１７のそれぞれの端部に螺合する左右逆ねじで同一リードになったねじ部を有する左右ねじシャフト３０と、ケーシング１２上に固定され、左右ねじシャフトを回転可能に支持する支持ブラケット３２と、からベルトテンション調整装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】保持対象物を載置する区画に対して、保持対象物を載置又は取り上げる際の、当該区画に対する保持対象物の位置決めの許容誤差を大きくすることができるチャッキング装置、チャッキング方法、搬送装置、及び搬送方法を提供する。
【解決手段】チャッキング装置は、旋回流発生室と、旋回流発生室の吸引用吹出し口が開口した吸引保持面と、を有し、旋回流発生室に発生させた気体の旋回流の中心部に生じる負圧と、旋回流発生室の端から側方の吸引保持面上に流出する気体とにより、保持対象物を非接触で吸引保持する吸引保持パットを備え、吸引保持パットによって保持対象物をチャッキングするチャッキング装置であって、第一の吸引保持面を備える第一の吸引保持パットと、第二の吸引保持面を備え、第二の吸引保持面の面方向が、第一の吸引保持面の面方向と交差する方向である第二の吸引保持パットと、を備える。 （もっと読む）