【課題】 内軸用のマグネットと外軸用のマグネットとを一体とすることで、低コストのアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、中空構造を有し、中空構造の内側を真空排気可能に構成され、中空構造の外周側で第１コイル部を保持するハウジングと、ハウジングの内部において回転自在に支持され、外周に第２コイル部を有する内軸と、内軸の回転軸と同軸にハウジングの内部において回転自在に支持されており、内軸の外周側を囲むように配置されている円筒状の外軸と、外軸の外周側で第１コイル部に対向し、外軸の内周側で第２コイル部に対向する磁石と、内軸とハウジングの一方に設けられた整流子と、内軸とハウジングの他方に設けられ、内軸が少なくとも回転する際には整流子と摺接するブラシと、を備え、第２コイル部は、整流子とブラシを介して給電される。 （もっと読む）

【課題】アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９と、基台８に対して柱状部材７を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】実作動時において基準となるセンサー検出データと比較し、その検出データの差分から確実な故障判断を行うロボット装置および制御方法を提供する。
【解決手段】アクチュエーターを含む連結装置によりアームが回転もしくは直線移動可能に連結されたロボット装置であって、アームに取り付けられた慣性センサーと、アクチュエーターに備える角度センサーからの回転角度データから、アクチュエーターの角速度および角加速度を演算する第１演算部と、慣性センサーにより検出された出力より、アームの角速度または角加速度を演算する第２演算部と、第１演算部により演算された角速度または角加速度と、第２演算部により演算された角速度または角加速度とを比較する比較部と、比較部においてアクチュエーターとアームの角速度または角加速度との差の絶対値が、閾値より大きい場合に慣性センサーが故障と判定する。 （もっと読む）

【課題】 より大きな駆動源、直動ガイド能力を必要とせず、小型化が可能な基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板搬送装置は、第１駆動軸と、第１駆動軸に一端が連結されたアーム部と、基板を保持することが可能な基板保持部と、アーム部の他端と基板保持部を連結する連結部と、を有する。連結部は、アーム部に対して基板保持部を回転可能に支持する回転支持部と、回転支持部によって基板保持部が回転する回転軸の方向に、アーム部に対して基板保持部を上昇させ、または、降下移動させる移動部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、産業用ロボット１の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド３が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド３は、ハンド３の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド３の先端が衝突したときにハンド３の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構の高さをコンパクトにしたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、第１ロータと、第２ロータと、ステータとを有する。第１ロータの回転軸を基準として、第１ロータおよび第２ロータおよびステータは同心円状に配置される。ステータは第１ロータと第２ロータとの間に配置されており、第１ロータと対向する第１コイルと、第２ロータと対向する第２コイルと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構の高さをコンパクトにしたアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 アクチュエータは、第１ロータと、第１ステータと、第２ロータと、第２ステータとを備える。第１ロータの回転軸を基準として、第１ロータおよび第２ロータは同心円状に配置され、第１ロータの回転軸を基準として、第１ステータおよび第２ステータは同心円状に配置されている。 （もっと読む）

【課題】高精度な水平多関節ロボットを実現する。
【解決手段】水平多関節ロボット１０の座標値補正方法は、ガラスマスク８０に設けられた基準マークＰ１，Ｐ２，Ｐ３位置をＣＣＤカメラ４０で画像認識して作用点の基準となるＵ軸中心を測定し、基準マークＰ１，Ｐ２，Ｐ３とＵ軸とが一致するまで第１アーム５０と第２アーム６０とを旋回させて、その移動量からロボット座標に対するガラスマスク８０の傾きを算出し、ガラスマスク８０の傾きを考慮して少なくとも２箇所の基準ロボット座標を算出し、前記基準ロボット座標に一致するまで前記Ｕ軸を旋回移動させてモデルポイントを作成し、そのときのロボット座標とモデルポイントとの座標差を算出し、この座標差を用いてアーム長誤差（ΔＬ１，ΔＬ２）と組み付け角度誤差（Δθ１，Δθ２）からＵ軸の座標補正値を算出し、座標補正値に基づきＵ軸の指令座標値を補正する。 （もっと読む）

【課題】干渉のない立体交差を考慮しつつも、干渉判定を短時間で行う。
【解決手段】
識別番号を各部位に割り当てる識別番号割当部４２１と、干渉情報を格納する干渉情報格納部４１２と、干渉条件情報を格納する干渉条件情報格納部４１３と、ロボットの動作する空間を２次元平面上に投影した上で、２次元平面をｎ１×ｎ２のマス目に区切るマス目管理部４２４と、対応マス目を特定し、占有情報を対応マス目ごとに記録する占有情報記録部４２５と、占有情報および干渉条件情報の桁ごとの論理積を求め、論理積の全ての桁が「０」なら干渉無しと判断し、少なくとも一つの桁が「１」なら干渉有りと判断する判断部４２６と、を備える。干渉情報は、立体交差する際に干渉を伴わないなら「０」、干渉を伴うなら「１」を表す。 （もっと読む）

【課題】ワークを把持したロボットが複数の処理装置間を順次移動してワークを製品化する生産システムにおいて、ロボットと処理装置との間のワークの授受位置を自動で効率的に取得可能とし、システムのフレキシビリティの向上を図る。
【解決手段】処理装置４は、指向性のある無線の通信部４１を備え、ロボット３は、処理装置４の通信部４１との間で相互に通信する指向性のある無線の通信部３１と、処理装置４上の所定の特徴点４２を撮像して位置認識を行う画像処理部（ＣＣＤカメラ３２ａ）と、ハンド部３３と、を備え、ロボット３は、相互の通信部３１，４１を用いて処理装置４に対する位置関係を検出し、その検出の後に、画像処理部を用いて特徴点４２を認識することにより処理装置４に対する精密な位置関係を検出し、これに基づいてワークの授受位置を取得する。２段階の位置検出により、狭いカメラの撮像範囲で精度良く効率的に位置を取得できる。 （もっと読む）

【課題】アームの上下のデッドスペースを低減したスカラロボットを得ること。
【解決手段】ベース１０と、第１関節軸を介して水平面内で回動可能にベース１０に連結された第１アーム１と、第２関節軸を介して水平面内で回動可能に第１アーム１に連結された第２アーム２と、第２アーム２の先端部に上下動するように設置された先端軸４とを備えたスカラロボットであって、ケーブル１５を収容してベース１０と第１アーム１との間に架け渡された第１ケーブルダクト１１及びケーブル１５を収容して第１アーム１と第２アーム２との間に架け渡された第２ケーブルダクト１２を備え、第１、第２ケーブルダクト１１、１２の一端は第１、第２関節軸上に位置しており、第１及び第２ケーブルダクト１１、１２は、上下方向に関して先端軸４の可動域上下動の範囲内に収まるように設置された。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能でかつパスラインを低くすることが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、本体部３と、第１アーム４と、第２アーム５と、第３アーム６と、本体部３と第１アーム４とを繋ぐ第１減速機２１と、第１アーム４と第２アーム５とを繋ぐ第２減速機２２と、第１減速機２１の入力軸２５と第２減速機２２の入力軸３２とを連結する連結機構２３と、第３アーム６を回転駆動する第２駆動用モータ４０とを備えている。産業用ロボット１では、第２アーム５と第３アーム６とを繋ぐ第３関節部の移動軌跡が直線状となるように、第１減速機２１の減速比および第２減速機２２の減速比が設定されるとともに、連結機構２３が所定の速比で入力軸２５と入力軸３２とを連結している。また、第２駆動用モータ４０は、第２アーム５の、第３関節部よりも先端側に、かつ、第１アーム４側へ突出するように第２アーム５に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】アームの駆動性を向上させて位置決めを向上させながらも、水平多関節ロボットのアームを薄型・小型化できるようにする。
【解決手段】第１アーム３が、第１アーム３の先端部上面において第１アーム３の基端側上面よりも高い面を有する第１アーム凸部４３を有し、第２アーム２７が、第２アーム２７の先端部下面において第２アーム２７の基端側下面よりも低い面を有する第２アーム凸部４４を有し、第１アーム凸部４３と第２アーム凸部４４とが、上下方向の配置高さ範囲の少なくとも一部が互いに重なるように配置されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、ハンド４の先端付近に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】ロボット設置領域を小さくして小型化を図ることが可能な基板搬送システムを提供する。
【解決手段】この基板搬送システム１０は、アーム部（第１アーム部１２３および第２アーム部１２４）およびハンド部１２５を水平面内で回動させることによって、処理装置２０側に設けられた開口部２０２を介して基板収納装置１１内から処理装置２０内に基板１１０を搬送するとともに、ハンド部１２５により基板１１０を支持した状態の最小旋回領域の外縁が開口部２０２を介して処理装置２０内に突出するように構成された基板搬送ロボットを備えている。 （もっと読む）

【課題】ウェハー搬送工程において、クリーン雰囲気維持、スループット低下、及びコスト増の問題を解決して、半導体製造におけるスループット向上、及び不良率低下とコスト削減出来るロボットを提供する。
【解決手段】四つのアーム構造体ロボットにより、アームによる走行方向動作を可能にする事で、走行におけるクリーン気流の乱れを最小限に抑えると共に走行レールを工程から省く事で簡素化を実現した。また、運動速度の高速化も可能にした。 （もっと読む）

【課題】ウェハのデバイスが形成された面または形成される面に吸着痕や損傷を生じさせることなくウェハを搬送することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法を提供すること。
【解決手段】搬送ハンド３０の内部には、段差部２４に設けられた吸着孔３２と、複数の通気用の孔３１，３３とが設けられている。段差部２４は、リブウェハ１０のデバイス面２と重ならない位置に設けられている。第１通気用の孔３１は、吸着孔３２に接続されている。各第１通気用の孔３１同士は互いに独立している。各第１通気用の孔３１には、異なる第２通気用の孔３３が接続されている。各第２通気用の孔３３は、それぞれ異なる配管２５を介して真空発生源２６に連結されている。つまり、複数の吸着孔３２に対する真空系統が互いに独立して設けられている。リブウェハ１０の吸着状態は、搬送ハンド３０の内部に流れる空気の流速に基づいて判定される。 （もっと読む）

【課題】重力補償を行うエアシリンダ用の可動空間を小さくする。
【解決手段】上下方向に移動可能に設けられたシャフト５を収納する密閉筒体１３を備え、この密閉筒体１３に該密閉筒体１３内にエアを供給・排気するエア供給排気部２８を設けるように構成したので、シャフト５と密閉筒体（シリンダ本体）１３が一体化し、別途設けていた重力補償を行うエアシリンダ用の可動空間を不要にできるから、エアシリンダ用可動空間を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】俊敏な動作と高精度な位置制御を可能とする関節装置及び基板搬送装置を提供すること
【解決手段】本発明の関節装置は、第１の平行リンクと、第２の平行リンクと、伝達機構とを具備する。第１の平行リンクは、第１の支点を中心とする第１の回転が可能な第１のレバーと、第２の支点を中心とする第２の回転が可能な第２のレバーとを有する。第２の平行リンクは、第１の支点を中心とする第３の回転が可能な第３のレバーと、第２の支点を中心とする第４の回転が可能な第４のレバーとを有する。伝達機構は、第１の支点を中心として第１の回転と共に回転する第１のギアと、第２の支点を中心として第２の回転と共に回転する第２のギアと、第１のギア及び第２のギアに噛合して回転する第３のギアと、前記第３のギアの回転と第３の回転及び第４の回転とを同期させる連結部とを有し、第１の平行リンクの駆動と第２の平行リンクの駆動とを連動させる。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームで使用可能でタクトタイムを短縮できる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】ワークを載置するハンド８と、前記ハンド８を前記ワークの所定の位置から取り出しおよび供給するアーム２と、前記アーム２と上下移動機構１１が支持部材１０により連結され、前記上下移動機構１１の下部に台座１３が設けられ、前記台座１３が旋回する基台１４に振り子ストッパ１７が備えられたものである。 （もっと読む）