【課題】リンクアーム機構を有する搬送装置において、特にリンクアーム機構を冷却し、高温状態のワークからの輻射熱の影響を減少させることができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１００は、真空空間内においてワーク２００を搬送するためのリンクアーム機構２と、リンクアーム機構２を鉛直軸周りに回転可能に軸支する旋回軸３と、を備える搬送装置であって、リンクアーム機構２は、下段アーム３１Ｌ・３１Ｒと、下段アーム３１Ｌ・３１Ｒと連結される上段アーム３３Ｌ・３３Ｒと、上段アーム３３Ｌ・３３Ｒの他端と連結されるワーク２００を支持する水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒと、を有し、上段アーム３３Ｌ・３３Ｒと水平移動部材２２Ｌ・２２Ｒとの間に冷却板２５Ｌ・２５Ｒを配置した。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を正確に求め、ウェーハを正確に搬送する。
【解決手段】ハンドに載置したウェーハ７のセンサ６に対する通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持したウェーハ７がセンサ６を通過する距離と、ウェーハの半径とを利用して、ハンドに載置したウェーハ７の位置と正規の載置位置との差異を求める載置位置差異算出手段４２と、その差異を旋回軸３１a及びアーム２のロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段４３と、その補正値を出力する補正値出力手段４４とを有する搬送ロボット１とした。 （もっと読む）

【課題】ピックによる基板保持時に基板の異常を判定することで，異常な基板の搬送処理を続行することによる不具合を未然に防止する。
【解決手段】基板が水平方向に移動しないように規制する規制体４２０と，押圧体４４０をスライド駆動させて，ウエハＷの端部を規制体に押しつけることによって保持する押圧保持部４３０と，押圧体を駆動させるとともに，その押圧体の位置情報を出力可能な押圧体駆動部４４２とを有するピックを備え，このピックの基板保持時に押圧体をスライド駆動させてその押圧体が停止した位置を検出し，その検出位置が異常判定閾値以上にピックの先端側にある場合にはその基板は異常であると判定し，その基板の搬送処理を停止する。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を正確に求める。
【解決手段】ＸＹ座標系上で移動するハンド２３に着脱可能に取り付けた治具５を用いて、単一のセンサ６に対するウェーハの半径Ｗを算出し、その半径の値Ｗを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を求める。具体的には、円盤状搬送対象物の半径Ｗと同一の半径Ｗであり且つ中心５１ａをＸ軸上に一致させた第１部分円弧部５１のセンサ６に対する通過距離と、円盤状搬送対象物の半径Ｗと同一の半径Ｗであり且つ中心５２ａをＹ軸方向に所定寸法変位させた第２部分円弧部５２のセンサ６に対する通過距離と、中心５１ａ，５２ａ間のＹ軸方向の変位量ΔＹａとを利用してセンサ６に対するウェーハの計算上の半径Ｗを算出する。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置と産業用ロボットとの間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、第１ハンド３および第２ハンド４と、アーム５と、本体部６とを備えている。第１ハンド３の基端部と第２ハンド４の基端部とは、上下方向で重なるようにアーム５の先端部に取り付けられている。第１ハンド３と第２ハンド４とは、アーム５に対して個別に回転可能であり、かつ、上下方向から見たときにアーム５に対して共通の回転中心Ｃ１を中心にして回転可能である。また、第１ハンド３と第２ハンド４とは、上下方向から見たときに屈曲するように形成され、かつ、上下方向から見たときに回転中心Ｃ１を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】対象物を逃がさず且つ確実に決められた位置で把持することが可能なロボットを提供する。
【解決手段】一対の指部１２と一対の指部１２が接続された本体部１１とを有し、一対の指部１２の一端部１４が本体部１１と離間する位置に設けられた第１回転軸１３の周りに回転可能に接続され、一対の指部１２の他端側が第１回転軸１３を中心として対象物が載置された載置面と平行な面で揺動することにより一対の指部１２を開閉させて対象物を把持する把持部１０Ａと、対象物と把持部１０Ａとを相対移動させる移動装置と、移動装置を制御して把持部１０Ａを対象物に向けて相対移動させ、対象物の周辺に一対の指部１２を配置させた後、把持部１０Ａを制御して一対の指部１２を載置面と平行な面で開閉させ、対象物の側方から一対の指部１２の間に対象物を挟み込ませ、３点以上の接触点で把持部１０Ａに対象物を把持させる制御装置と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】始点から終点までの搬送対象物を直線移動させるにあたり、移動時間の短縮と振動の低減とを両立した軌道情報生成装置を提供する。
【解決手段】多関節ロボットで搬送対象物を直線移動させるにあたり、搬送装置１０３の動力学モデルに基づいて始点Ｓから終点Ｅまでの移動に要する時間ｔ_ｅをパラメータの一つとして含む評価関数の値が最小となるように最適化手法を用いて軌道情報１３２を生成する。動力学モデルとして搬送対象物Ｗを搬送する先端リンクの動作を直線動作に限定したモデルを予め設定しておき、予め設定された搬送装置の振動特性を用いて先端リンクの移動により生じる模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）を算出し、算出した模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）をパラメータの一つとして評価関数に含め、少なくとも上記２つのパラメータである移動時間ｔ_ｅ及び模擬振動の大きさ（ｘ−ｘ_ａ）を含む評価関数の値が最小となるように軌道情報１３２を生成する。 （もっと読む）

【課題】干渉のない立体交差を考慮しつつも、干渉判定を短時間で行う。
【解決手段】
識別番号を割り当てる識別番号割当部４２１と、干渉情報を格納する干渉情報格納部４１２と、干渉条件情報を格納する干渉条件情報格納部４１３と、３次元空間を２次元平面上に投影し、２次元平面をｎ１×ｎ２のマス目に区切るマス目管理部４２４と、障害物対応マス目を特定し障害物占有情報で初期化するメモリ領域初期化部４２５と、ロボット対応マス目を特定しロボット占有情報を記録する占有情報記録部４２６と、ロボット占有情報と干渉条件情報間の論理積を求め、論理積の全ての桁が「０」なら「干渉無し」と、少なくとも一つの桁が「１」なら「干渉有り」と判断する判断部４２７を備える。ロボット対応マス目のメモリ領域に障害物占有情報が記録されている場合に、障害物占有情報と識別番号間の論理和がロボット占有情報となる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により作業時の安定性を確保できるロボット及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるロボット１は、ロボット本体１１、アーム１２、台車１３、センサ１４を備える。アーム１２は、ロボット本体１１に連結され、関節機構及び伸縮機構のうち少なくともいずれか一方を有する。センサ１４は、ロボット本体１１の周囲に存在する物体を検知する。ロボット１は、アーム１２が稼働する場合、台車１３によりセンサ１４が検知した物体に接近し、ロボット本体１１の一部を当該物体に当接させる。 （もっと読む）

【課題】昇降部の上昇動作に伴って基台本体部内で舞い上がる粉塵が昇降部と基台本体部との隙間から上方へ放出されることを、ファンや排気口による排気機能や、シール部材によるシール機能に依存することなく、しかも昇降部の昇降速度を制限することなく、防止・抑制可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームを支持する基台を、基台本体部３と、基台本体部３の天井壁３２に形成した開口部３ａを通じて基台本体部３に対して昇降可能な昇降部４と、基台本体部３の内部空間３Ｓの上部及び下部に連通して内部空間３Ｓの空気を循環させる流路６とによって構成し、流路６のうち基台本体部３の内部空間３Ｓの上部に連通する上側流路口６１の開口断面積を、天井壁３２に形成した開口部３ａと昇降部４との隙間の断面積よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットを用いて、カセットに収容された液晶基板等の板状の基板を搬出する際に、基板検出センサを用いて基板の位置を検出していた。従来は、基板がカセットの手前側（入り口側）に寄せられてカセット内部に収容されていたが、基板がカセットの奥側に寄せられる場合があり、従来の搬送ロボットでは対応できない。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、振動吸収体６の先端部に取り付けられた基板の有無を検出する基板検出センサ５と、ハンドの位置を移動させる移動機構１１（アーム機構２等）と、ハンドの位置及び移動速度を制御する動作制御部１２と、基板のエッジ位置を演算する基板エッジ位置解析部１３とを備えた。上記構成にすると、基板がカセットの奥側に寄せられて収容された場合であっても、基板の位置を検出できる。 （もっと読む）

【課題】アームの制御性低下を効果的に抑制するとともに、吸着ＯＮ・ＯＦＦ状態の切替応答性が向上するリンク式ロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームの先端側に配置され且つ吸着用エア供給口Ｃ３を有するエンドエフェクタＣによって搬送対象物を吸着保持可能なリンク式ロボットアーム装置Ｘとして、アーム１の内部に設けたエア管４を介して吸着用エア供給口Ｃ３に接続され、吸着用エア供給口Ｃ３に吸着用エアを供給可能な状態と、吸着用エア供給口Ｃ３への吸着用エア供給を停止する状態との間で切替可能な吸着切替ユニット３を備え、この吸着切替ユニット３を、アーム１のうちアーム長１Ｌの半分１Ｃよりもシータ軸Ｊ３に近い位置に設けた。 （もっと読む）

【課題】アームの旋回位置によってアーム先端部における重力方向の変位差が生じ得るという不具合や、昇降部の上昇時に基台本体部の内部空間の埃等が舞い上がって基台の外部に放出され得るという不具合を抑制・防止可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】起立壁３３に正対した場合に、シータ軸Ｊ及び昇降軸（ネジ軸６１）の各軸心Ｊｃ，６１ｃを、起立壁３３の幅方向中央部３３ｃと一致させ、且つ、昇降部４を最下降させた状態で基台本体部３の内部空間で起立壁３３の高さ方向中間点３３ｈより下方に存在する部品、すなわち昇降駆動用モータ７、リニアガイド部８（ガイドレール８１）、可動部６２（可動部６２を構成するナット体６２１、ナット保持体６２２、被ガイド体６２３）、排気口９に付帯させたファンを、起立壁３３の幅方向中央部３３ｃを中心に左右対称となるように配置した。 （もっと読む）

【課題】複数の軌道情報を独立して生成するにあたり、複数の軌道を結合した全体での移動時間が最短となるように各々の軌道情報を生成する新たな軌道情報生成装置を提供する。
【解決手段】所望の始点から終点まで移動装置を移動させるための軌道及び軌道上の速度に関する軌道情報を互いに異なる制約条件の下で生成する二つの軌道情報生成部を有し、これら軌道情報生成部で生成される二つの軌道情報のうち一方の軌道の終点と他方の軌道の始点とを一致させて結合点とし、結合点を介して両軌道を連結可能に各々の軌道情報を生成する装置である。結合点で取り得る複数の速度Ｖ_０〜Ｖ_ＭＡＸ（移動に要する合計時間が最小となる速度Ｖ_ｓを含む）のうち、結合点における速度を制約条件の一つとして各々の軌道情報生成部で生成される各軌道情報に基づく移動に要する合計時間が最小となる速度Ｖ_ｓを繰り返し演算により算出する速度算出部を設けた。 （もっと読む）

【課題】真空処理装置において、試料の位置ずれが発生した際にそのずれ量を抑制し、予期しない搬送動作の停止を防ぐ。
【解決手段】試料の搬送を行う真空搬送室において、ロボットによる前記搬送の動作中に生じるアーム上に載せられたウエハの加速度はアームの伸長の開始または収縮の終了の際の加速度が最大であって、搬送中の試料の位置ずれを検出し、そのずれ量が所定の閾値（許容値）を超えた場合に、ロボットのアームの伸長の開始または収縮の終了の際の加速度をＡ‘からＡに低下させてずれ量が閾値を超えないようにする。 （もっと読む）

【課題】座標系を設定した後にその座標系の設定に用いた基準位置データが消失した場合にも、容易にその座標系を再現することを可能にする。
【解決手段】制御装置１０が、基準位置データを記憶するための基準値記憶部１０ａと、制御対象の所定の運動軸を所定の位置に変位させた状態で位置の検出を行うことにより位置データを取得しそれを保存する基準取得部（第１基準取得部１２ａ、第２基準取得部１３ａ）と、上記位置データと基準位置データとに基づいて座標系を設定する第１座標系設定部１２と、基準位置データに対する位置データの相対データを取得しそれを保存する相対値取得部（第１座標系設定部１２）と、基準位置データが消失したか否かを判断する判断部１３ｃと、基準位置データが消失したと判断された場合に、上記検出により位置データを取得し、その位置データと上記相対データとに基づいて、座標系を再現する第２座標系設定部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材７とを備えている。柱状部材７は、支持部材６を保持する柱部１８と、柱部１８を保持する柱部１７とを備えている。柱部１７、１８は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持し、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。 （もっと読む）

【課題】ロボットが一方の動作から他方の動作にスムースに移行することができるロボット制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ロボットの連続した動作を切り換えるロボット制御装置３０であって、前記動作に対応する複数のコントローラを備え、前記ロボットの状態が、切り換え後の動作における拘束条件から導出された不変集合に属すると、切り換え後の動作に対応する前記コントローラの初期状態を算出し、前記コントローラを動的に切り換えるものである。 （もっと読む）

【課題】従来のロボット装置の制御方法にあっては、制御装置における演算量が多くなり処理に時間が掛かったり、処理速度を上げるために制御装置のコストが増加したりする問題があった。
【解決手段】アクチュエーターの角度センサーの回転角度検出データより、前記角度センサーを備える前記アクチュエーターによって動作する前記アームの角速度を演算する第１演算部と、前記第１演算部の演算対象の前記アクチュエーターを含む連結装置を介して連結される前記アームに備える慣性センサーの角速度検出データより、前記連結装置を軸とする前記アームの角速度を演算する第２演算部と、低周波成分を除去した、前記アクチュエーターと前記アームとの間のねじれ角速度を演算する第３演算部とを備えるロボット装置。 （もっと読む）

【課題】独立して２組の多関節アームの高さを変化可能なダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】第１及び第２の多関節アーム１２、第１の多関節アーム１１の一端が回動可能に連結される第１のアーム支持部１６と、第２の多関節アーム１２の一端が回動可能に連結される第２のアーム支持部１７と、第１及び第２のアーム支持部１７の第１及び第２の多関節アーム１２と反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２をそれぞれ回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３をそれぞれ回動させる第１及び第２の関節回動部と、第１及び第２のアーム支持部１６，１７を基柱１４に対してそれぞれ独立して移動させる第１及び第２の上下駆動部とを備える。 （もっと読む）