ダブルアーム型ロボット
【課題】独立して２組の多関節アームの高さを変化可能なダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】第１及び第２の多関節アーム１２、第１の多関節アーム１１の一端が回動可能に連結される第１のアーム支持部１６と、第２の多関節アーム１２の一端が回動可能に連結される第２のアーム支持部１７と、第１及び第２のアーム支持部１７の第１及び第２の多関節アーム１２と反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２をそれぞれ回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３をそれぞれ回動させる第１及び第２の関節回動部と、第１及び第２のアーム支持部１６，１７を基柱１４に対してそれぞれ独立して移動させる第１及び第２の上下駆動部とを備える。
【解決手段】第１及び第２の多関節アーム１２、第１の多関節アーム１１の一端が回動可能に連結される第１のアーム支持部１６と、第２の多関節アーム１２の一端が回動可能に連結される第２のアーム支持部１７と、第１及び第２のアーム支持部１７の第１及び第２の多関節アーム１２と反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２をそれぞれ回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３をそれぞれ回動させる第１及び第２の関節回動部と、第１及び第２のアーム支持部１６，１７を基柱１４に対してそれぞれ独立して移動させる第１及び第２の上下駆動部とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２組の多関節アームを備えたダブルアーム型ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、多関節アームを２組有する種々のダブルアーム型ロボットが開発されている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２７４２１８号公報
【特許文献２】特開２００５−１５０５７５号公報
【特許文献３】特開２０１０−６９５５２号公報
【特許文献４】特許第４２２１７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の特許文献１，３のダブルアーム型ロボットでは、２組の多関節アームがその基端部で一体的に固定されているために高さ方向に独立して変化させることができなかった。また、前述の特許文献４のダブルアーム型ロボットでは、２組の多関節アームの高さを独立して変化させることができるが、その範囲は、ストッカ等の、搬送する対象物を収納する棚のピッチにあわせる程度に限定されており、両多関節アームの高さを自由に変化させることはできなかった。したがって、これらのダブルアーム型ロボットでは、例えば、一方の多関節アームによってストッカの高い位置の搬送物を取り出し、他方の多関節アームによってストッカの低い位置の搬送物を取り出すということができなかった。
【０００５】
また、前述の特許文献２のダブルアーム型ロボットでは、各多関節アームの高さを独立して変化させることができるが、前述の特許文献１，４のダブルアーム型ロボットと同様に、２組の多関節アームが一緒に回転されるため、多関節アームごとに伸縮方向を変えることはできなかった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、より自由度の高い動作を行うことができるダブルアーム型ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明によるダブルアーム型ロボットは、搬送物が載置されるハンド部と、それぞれが関節部によって回動可能に連結された２以上のアームとを有し、ハンド部が２以上のアームの一端に関節部によって回動可能に連結されている、第１及び第２の多関節アームと、第１の多関節アームのハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第１のアーム支持部と、第２の多関節アームのハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第２のアーム支持部と、第１及び第２のアーム支持部の第１及び第２の多関節アームと反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台に固定される基柱と、第１の多関節アームを基端の関節部において回動させる第１のアーム駆動部と、第２の多関節アームを基端の関節部において回動させる第２のアーム駆動部と、第１の多関節アームにおける基端の関節部でない２以上の関節部においてアーム及びハンド部を回動させる第１の関節回動部と、第２の多関節アームにおける基端の関節部でない２以上の関節部においてアーム及びハンド部を回動させる第２の関節回動部と、第１のアーム支持部を基柱に対して移動させる第１の上下駆動部と、第２のアーム支持部を基柱に対して移動させる第２の上下駆動部と、を備え、第１及び第２の多関節アームのそれぞれの基端の関節部の回転中心軸は、同一直線上に存在する、ものである。
【０００８】
このような構成により、第１及び第２の多関節アームを基端の関節部において回動させることができるため、両多関節アームの伸縮方向を独立して自由に変化させることができる。また、第１及び第２の多関節アームの高さも独立して変化させることができる。したがって、自由度の高い第１及び第２の多関節アームの動作を実現することが可能となる。
【０００９】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１の多関節アームは、基端の関節部によって第１のアーム支持部の第２の多関節アーム側に連結される第１アームと、第１アームの基端の関節部と反対側の一端の第２の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、第２の多関節アームは、基端の関節部によって第２のアーム支持部の第１の多関節アーム側に連結される第１アームと、第１アームの基端の関節部と反対側の一端の第１の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、第１の多関節アームのハンド部は、第１の多関節アームの第２アームの第２の多関節アーム側に設けられ、第２の多関節アームのハンド部は、第２の多関節アームの第２アームの第１の多関節アーム側に設けられ、第１及び第２の多関節アームのハンド部における搬送物の載置面が略同じ高さになりうるものであってもよい。
【００１０】
このような構成により、一方の多関節アームの搬送物の高さと、他方の多関節アームの搬送物の高さとを同じにすることができる。その結果、多関節アームによる搬送物の移動の自由度が高くなることになる。例えば、搬送物に対して所定の加工を行う加工機（例えば、チャンバ等）の搬送物を出し入れする口は、通常１個であって、高さが決まっている。そのような状況で、例えば、第１の多関節アームがある加工機に搬送物を挿入している際に、第２の多関節アームは、その同じ高さまで搬送物を移動させることができるため、別の加工機に搬送物を挿入することができるようになる。
【００１１】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことを検知する検知部と、第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことが検知部によって検知された場合に、警告を出力する警告出力部と、をさらに備えてもよい。
このような構成により、例えば、両多関節アームが衝突する可能性のある場合に、警告を出力することができうる。
【００１２】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１の上下駆動部は、第１のアーム支持部の移動中に警告が出力された場合には、移動を中止し、第２の上下駆動部は、第２のアーム支持部の移動中に警告が出力された場合には、移動を中止してもよい。
このような構成により、例えば、両多関節アームが衝突する可能性のある場合に、それ以上両多関節アームの距離が近づかないようにすることができる。
【００１３】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、基台をさらに備えてもよい。
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１のアーム駆動部及び第２のアーム駆動部は、それぞれ独立して第１の多関節アーム、第２の多関節アームを回動させ、第１の関節回動部及び第２の関節回動部は、それぞれ独立して第１の多関節アームのアーム及びハンド部、第２の多関節アームのアーム及びハンド部を回動させてもよい。
【００１４】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１の多関節アームの第１アーム及び第２アームを伸ばしきった伸長状態と、第１の多関節アームの第１アーム及び第２アームを折り畳み、ハンド部を引き込んだ縮み状態との間で第１の多関節アームを伸縮させる伸縮動作の際に、第１の多関節アームが伸縮動作を行うように第１のアーム駆動部及び第１の関節回動部を制御し、第１の多関節アームの伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第１のアーム駆動部が第１の多関節アームを回動させるように制御する第１の制御部と、第２の多関節アームの第１アーム及び第２アームを伸ばしきった伸長状態と、第２の多関節アームの第１アーム及び第２アームを折り畳み、ハンド部を引き込んだ縮み状態との間で第２の多関節アームを伸縮させる伸縮動作の際に、第２の多関節アームが伸縮動作を行うように第２のアーム駆動部及び第２の関節回動部を制御し、第２の多関節アームの伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第２のアーム駆動部が第２の多関節アームを回動させるように制御する第２の制御部と、をさらに備えてもよい。
【００１５】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１及び第２の関節回動部はそれぞれ、第２アームを第１アームに対して回動させる駆動手段と、第１アームに対する第２アームの回動を伝達することにより、回動に応じてハンド部を第２アームに対して回動させる回動伝達手段と、を備えてもよい。
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、搬送物は、半導体基板、またはガラス基板であってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によるダブルアーム型ロボット等によれば、２組の多関節アームのより自由度の高い動作を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１によるダブルアーム型ロボットの外観を示す概略斜視図
【図２】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの上面図
【図３】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの側面図
【図４】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの電気的な制御について説明するための図
【図５】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの詳細な機構の一例を示す図
【図６】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの詳細な機構の一例を示す図
【図７】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの動作について説明するための図
【図８】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの動作について説明するための図
【図９】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの詳細な機構の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明によるダブルアーム型ロボットについて、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００１９】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１によるダブルアーム型ロボットについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態によるダブルアーム型ロボットは、２組の多関節アームの高さを独立して変化させることができるものである。
【００２０】
図１は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の外観を示す概略斜視図である。構成を示すブロック図である。図２は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の上面図である。図３は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の側面図である。図１〜図３において、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１は、第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２と、基柱１４と、基台１５と、第１のアーム支持部１６と、第２のアーム支持部１７とを備える。
【００２１】
第１の多関節アーム１１は、第１アーム２１と、第２アーム２２と、ハンド部２３とを備える。第１アーム２１は、関節部２４によって第１のアーム支持部１６と連結される。以下、関節部２４を、基端の関節部２４と呼ぶこともある。第２アーム２２は、第１アーム２１の基端の関節部２４と反対側の一端に、関節部２５によって回動可能に連結される。第２アーム２２の第１アーム２１と反対側の一端は、関節部２６によってハンド部２３と回動可能に連結される。ハンド部２３には、搬送物（ワーク）が載置される。搬送物は、例えば、ガラス基板や、半導体基板などの薄板状のものであってもよい。ハンド部２３は、搬送時に搬送物がずれたり落ちたりしないように固定することができるチャッキング機構を有してもよく、あるいは、有さなくてもよい。関節部２４，２５，２６の回転軸は、平行であることが好適である。本実施の形態では、関節部２４，２５，２６の回転軸が鉛直方向であるとする。
【００２２】
第２の多関節アーム１２も、第１の多関節アーム１１と同様なものである。より詳細には、第１アーム３１，第２アーム３２，ハンド部３３がそれぞれ、第１アーム２１，第２アーム２２，ハンド部２３に対応し、関節部３４，３５，３６がそれぞれ、関節部２４，２５，２６に対応する。第１及び第２の多関節アーム１１，１２のそれぞれの基端の関節部２４，３４の回転中心軸は、同一直線上に存在する。第１及び第２の多関節アーム１１，１２において、それぞれ対応するアームやハンド部は、大きさが同じであることが好適であるが、そうでなくてもよい。
【００２３】
第１の多関節アーム１１のハンド部２３と反対側の一端は、基端の関節部２４によって回動可能に第１のアーム支持部１６に連結される。また、第２の多関節アーム１２のハンド部３３と反対側の一端は、基端の関節部３４によって回動可能に第２のアーム支持部１７に連結される。本実施の形態では、図１等で示されるように、第１のアーム支持部１６の下面側に第１の多関節アーム１１が設けられており、第２のアーム支持部１７の上面側に第２の多関節アーム１２が設けられている。すなわち、第１アーム２１は、基端の関節部２４によって、第１のアーム支持部１６の第２の多関節アーム１２側に連結される。また、第１アーム３１は、基端の関節部３４によって、第２のアーム支持部１７の第１の多関節アーム１１側に連結される。また、本実施の形態では、図１等で示されるように、第１アーム２１の下面側に第２アーム２２が設けられており、第１アーム３１の上面側に第２アーム３２が設けられている。すなわち、第２アーム２２は、第１アーム２１の基端の関節部２４と反対側の一端の第２の多関節アーム１２側に関節部２５によって回動可能に連結される。また、第２アーム３２は、第１アーム３１の基端の関節部３４と反対側の一端の第１の多関節アーム１１側に、関節部３６によって回動可能に連結される。また、本実施の形態では、図１等で示されるように、第２アーム２２の下面側（すなわち、第２アーム２２の第２の多関節アーム１２側）にハンド部２３が設けられており、第２アーム３２の上面側（すなわち、第２アーム３２の第１の多関節アーム１１側）にハンド部３３が設けられている。そのようにして、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３における搬送物の載置面が、略同じ高さになりうることになる（例えば、図３参照）。なお、略同じ高さとは、両載置面の高さに誤差程度の違いが生じてもよいという意味である。その誤差は、例えば、チャンバ等の加工機に対して搬送物を出し入れする際の搬送物の高さの許容誤差であってもよく、ストッカ５の棚に搬送物を出し入れする際の搬送物の高さの許容誤差であってもよい。
【００２４】
また、第１のアーム支持部１６は、第１アーム２１が基端の関節部２４の回転軸を中心として、３６０度回転することができるようになっていることが好適である。すなわち、第１のアーム支持部１６は、第１アーム２１以上の水平方向の長さを有しており、さらに、第１アーム２１が連結されている第１のアーム支持部１６の下面側には、第１アーム２１の回転の妨げとなる突起等が存在しないことが好適である。
【００２５】
同様に、第２のアーム支持部１７は、第１アーム３１が基端の関節部３４の回転軸を中心として、３６０度回転することができるようになっていることが好適である。すなわち、第２のアーム支持部１７は、第１アーム３１以上の水平方向の長さを有しており、さらに、第１アーム３１が連結されている第２のアーム支持部１７の上面側には、第１アーム３１の回転の妨げとなる突起等が存在しないことが好適である。
【００２６】
第１及び第２の多関節アーム１１，１２は、後述する伸縮動作と回転動作を行うことによって、ストッカ５から搬送物を取り出したり、ストッカ５に搬送物を入れたり、チャンバ等の加工機に搬送物を出し入れしたりすることができる。
【００２７】
基柱１４は、第１のアーム支持部１６の第１の多関節アーム１１と反対側の一端と、第２のアーム支持部１７の第２の多関節アーム１２と反対側の一端とを鉛直方向に移動可能に保持している。その第１及び第２のアーム支持部１６，１７の上下移動機構については後述する。基柱１４は、基台１５に固定される。基台１５は、例えば、工場やクリーンルームの床に配置される台であってもよく、あるいは、工場やクリーンルームの床そのものであってもよい。なお、上記特許文献１，２，４では、基柱が基台に対して旋回可能であったが、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１では、基柱１４は基台１５に固定されているため、旋回することはできない。なお、基台１５が工場等の床に配置される台である場合には、その基台１５が工場等の床に対して動く可動構造にしてもよい。その場合であっても、基台１５を動かすのは、例えば、ロボットの設置の際や、工場等のレイアウトの変更の際であって、第１及び第２の多関節アーム１１，１２による運搬物の搬送を行っている際には基台１５は動かないものとする。
【００２８】
図４は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の電気的な制御について説明するための図である。図４において、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１は、第１の制御部１０１と、第２の制御部１０２と、第１の上下制御部１０３と、第２の上下制御部１０４と、検知部１０５と、警告出力部１０６と、第１のアーム駆動部１１１と、第１の関節回動部１１２と、第１のハンド駆動部１１５と、第２のアーム駆動部１２１と、第２の関節回動部１２２と、第２のハンド駆動部１２５と、第１の上下駆動部１３１と、第２の上下駆動部１４１とを備える。
【００２９】
第１のアーム駆動部１１１は、第１の多関節アーム１１を駆動する。すなわち、第１のアーム駆動部１１１は、第１の多関節アーム１１を基端の関節部２４において回動させる。この第１のアーム駆動部１１１による第１の多関節アーム１１の回動が行われることにより、例えば、第１の多関節アーム１１の全体が基端の関節部２４の回転軸を中心として回動することになる。
【００３０】
第１の関節回動部１１２は、第１の多関節アーム１１における基端の関節部２４でない２以上の関節部、すなわち、関節部２５，２６において、第２アーム２２及びハンド部２３を回動させる。この第１の関節回動部１１２による第２アーム２２及びハンド部２３の回動と、前述の第１のアーム駆動部１１１による第１アーム２１の回動とが連携することにより、第１の多関節アーム１１は、ハンド部２３に載置された搬送物を直線的に搬送することができる。この動作については後述する。
【００３１】
本実施の形態では、第１の関節回動部１１２が、駆動手段１１３と、回動伝達手段１１４とを備えているものとする。駆動手段１１３は、第２アーム２２を第１アーム２１に対して回動させる。回動伝達手段１１４は、第１アーム２１に対する第２アーム２２の回動を伝達することにより、その回動に応じてハンド部２３を第２アーム２２に対して回動させる。回動伝達手段１１４として、例えば、ベルトとベルト車を用いてもよく、あるいは、複数のギアを用いてもよい。
【００３２】
第１のハンド駆動部１１５は、ハンド部２３の関節部２６の位置において、ハンド部２３における搬送物の載置面の角度を変える。第１の多関節アーム１１は、基端の関節部２４からハンド部２３の先端までがそれなりの長さを有しているため、自重により、または、搬送物の重量により、たわむことがある。その場合に、搬送物を水平に保つことができるように、第１のハンド駆動部１１５によって、ハンド部２３をチルトさせることになる。
【００３３】
第１の制御部１０１は、第１の多関節アーム１１の第１アーム２１及び第２アーム２２を伸ばしきった伸長状態と、第１の多関節アーム１１の第１アーム２１及び第２アーム２２を折り畳み、ハンド部２３を引き込んだ縮み状態との間で第１の多関節アーム１１を伸縮させる伸縮動作の際に、第１の多関節アーム１１が伸縮動作を行うように第１のアーム駆動部１１１及び第１の関節回動部１１２を制御する。本実施の形態では、第１の関節回動部１１２の制御は、駆動手段１１３を制御することによって行われる。また、第１の制御部１０１は、第１の多関節アーム１１の伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第１のアーム駆動部１１１が第１の多関節アーム１１を回動させるように制御する。また、第１の制御部１０１は、ハンド部２３に搬送物が載置される際などに、第１のハンド駆動部１１５がハンド部２３の載置面を水平に保つように制御する。例えば、ハンド部２３に設けられた図示しない傾斜センサを用いて、第１の制御部１０１は、ハンド部２３の載置面が水平を保つように第１のハンド駆動部１１５を制御してもよい。
【００３４】
第２のアーム駆動部１２１は、第２の多関節アーム１２を駆動する。すなわち、第２のアーム駆動部１２１は、第２の多関節アーム１２を基端の関節部３４において回動させる。この第２のアーム駆動部１２１による第２の多関節アーム１２の回動が行われることにより、例えば、第２の多関節アーム１２の全体が基端の関節部３４の回転軸を中心として回動することになる。
【００３５】
第２の関節回動部１２２は、第２の多関節アーム１２における基端の関節部３４でない２以上の関節部、すなわち、関節部３５，３６において、第２アーム３２及びハンド部３３を回動させる。この第２の関節回動部１２２による第２アーム３２及びハンド部３３の回動と、前述の第２のアーム駆動部による第１アーム３１の回動とが連携することにより、第２の多関節アーム１２は、ハンド部３３に載置された搬送物を直線的に搬送することができることは、第１の多関節アーム１１の場合と同様である。
【００３６】
本実施の形態では、第２の関節回動部１２２が、駆動手段１２３と、回動伝達手段１２４とを備えているものとする。駆動手段１２３は、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回動させる。回動伝達手段１２４は、第１アーム３１に対する第２アーム３２の回動を伝達することにより、その回動に応じてハンド部３３を第２アーム３２に対して回動させる。回動伝達手段１２４として、例えば、ベルトとベルト車を用いてもよく、あるいは、複数のギアを用いてもよいことは、回動伝達手段１１４の場合と同様である。
【００３７】
第２のハンド駆動部１２５は、ハンド部３３の関節部３６の位置において、ハンド部３３における搬送物の載置面の角度を変える。第２の多関節アーム１２は、基端の関節部３４からハンド部３３の先端までがそれなりの長さを有しているため、自重により、または、搬送物の重量により、たわむことがある。その場合に、搬送物を水平に保つことができるように、第２のハンド駆動部１２５によって、ハンド部３３をチルトさせることになる。
【００３８】
第２の制御部１０２は、第２の多関節アーム１２の第１アーム３１及び第２アーム３２を伸ばしきった伸長状態と、第２の多関節アーム１２の第１アーム３１及び第２アーム３２を折り畳み、ハンド部３３を引き込んだ縮み状態との間で第２の多関節アーム１２を伸縮させる伸縮動作の際に、第２の多関節アーム１２が伸縮動作を行うように第２のアーム駆動部１２１及び第２の関節回動部１２２を制御する。本実施の形態では、第２の関節回動部１２２の制御は、駆動手段１２３を制御することによって行われる。また、第２の制御部１０２は、第２の多関節アーム１２の伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第２のアーム駆動部１２１が第２の多関節アーム１２を回動させるように制御する。また、第２の制御部１０２は、ハンド部３３に搬送物が載置される際などに、第２のハンド駆動部１２５がハンド部３３の載置面を水平に保つように制御する。例えば、ハンド部３３に設けられた図示しない傾斜センサを用いて、第２の制御部１０２は、ハンド部３３の載置面が水平を保つように第２のハンド駆動部１２５を制御してもよい。
【００３９】
第１の上下駆動部１３１は、第１のアーム支持部１６を基柱１４の長さ方向、すなわち鉛直方向に移動させる。この第１の上下駆動部１３１による第１のアーム支持部１６の上下の移動が行われることによって、第１の多関節アーム１１が鉛直方向に移動されることになる。
【００４０】
第２の上下駆動部１４１は、第２のアーム支持部１７を基柱１４の長さ方向、すなわち鉛直方向に移動させる。この第２の上下駆動部１４１による第２のアーム支持部１７の上下の移動が行われることによって、第２の多関節アーム１２が鉛直方向に移動されることになる。
【００４１】
第１の上下制御部１０３は、第１のアーム支持部１６を鉛直上向き、あるいは、鉛直下向きに移動させる際に、第１の上下駆動部１３１が第１のアーム支持部１６を上向き、あるいは、下向きに移動させるように制御する。
【００４２】
第２の上下制御部１０４は、第２のアーム支持部１７を鉛直上向き、あるいは、鉛直下向きに移動させる際に、第２の上下駆動部１４１が第２のアーム支持部１７を上向き、あるいは、下向きに移動させるように制御する。
【００４３】
検知部１０５は、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことを検知する。あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作（例えば、伸縮動作や回転動作）させた場合に、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉するようになる距離、すなわち、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の少なくとも一部が接触するようになる距離であってもよい。また、あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉しないぎりぎりの距離であってもよい。この場合には、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離がこれよりも少しでも近くなると、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉するようになる。また、あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、第２アーム２２，３２が干渉するようになる距離、すなわち、第２アーム２２，３２の少なくとも一部が接触するようになる距離であってもよい。また、あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、第２アーム２２，３２が干渉しないぎりぎりの距離であってもよい。この場合には、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離がこれよりも少しでも近くなると、第２アーム２２，３２が干渉するようになる。また、あらかじめ決められた距離は、これら以外の距離であってもよい。この検知は、例えば、前述の特許文献４に記載されているように、リミットスイッチや距離センサ等を用いて、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以下になったことを検知することによって実現されてもよい。また、例えば、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の一方に発光素子を設け、他方にフォトディテクタを設け、両者があらかじめ決められた距離以下になった際にフォトディテクタが発光素子の発した光を受光するようになっていてもよい。その場合には、検知部１０５は、フォトディテクタが発光素子の発した光を受光した場合に、両者があらかじめ決められた距離以下になったことを検知してもよい。また、検知部１０５は、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が徐々に小さくなっている場合に、両者の距離があらかじめ決められた距離となった時に、両者の距離があらかじめ決められた距離以下になったことを検知してもよい。また、そのあらかじめ決められた距離は、誤差を考慮して設定されてもよい。したがって、実際に使用されるあらかじめ決められた距離は、設計上のあらかじめ決められた距離に誤差を加算したものであってもよい。
【００４４】
警告出力部１０６は、第１及び第２のアーム支持部１７の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことが検知部１０５によって検知された場合に、警告を出力する。この警告の出力は、例えば、ダブルアーム型ロボット１の管理者やユーザに対しての通知であってもよく、あるいは、ダブルアーム型ロボット１を制御する構成要素に対しての出力であってもよい。前者の場合には、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよい。後者の場合には、この出力は，例えば、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。この後者の場合に、第１の上下制御部１０３は、例えば、第１のアーム支持部１６の移動中に警告が出力された際に、第１のアーム支持部１６の移動を中止するように第１の上下駆動部１３１を制御してもよい。その結果、第１の上下駆動部１３１は、第１のアーム支持部１６の移動中に警告が出力された場合には、その移動を中止することになる。また、この後者の場合に、第２の上下制御部１０４は、例えば、第２のアーム支持部１７の移動中に警告が出力された際に、第２のアーム支持部１７の移動を中止するように第２の上下駆動部１４１を制御してもよい。その結果、第２の上下駆動部１４１は、第２のアーム支持部１７の移動中に警告が出力された場合には、その移動を中止することになる。なお、警告出力部１０６は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、警告出力部１０６は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４５】
なお、例えば、第１のアーム駆動部１１１、駆動手段１１３、第１のハンド駆動部１１５、第２のアーム駆動部１２１、駆動手段１２３、第２のハンド駆動部１２５、第１の上下駆動部１３１、第２の上下駆動部１４１は、サーボモータであり、第１の制御部１０１、第２の制御部１０２、第１の上下制御部１０３、第２の上下制御部１０４は、それらのサーボモータからのフィードバックを用いて、第１のアーム駆動部１１１等を制御するようにしてもよい。
【００４６】
また、第１のアーム駆動部１１１と、第２のアーム駆動部１２１とは、それぞれ独立して第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２とを回動させることができることが好適である。この場合には、第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２とは、連動しないで回動することができるようになる。なお、両者が連動して回動するようにしてもよい。
【００４７】
また、第１の関節回動部１１２と、第２の関節回動部１２２とは、それぞれ独立して第１の多関節アーム１１の第２アーム２２及びハンド部２３と、第２の多関節アーム１２の第２アーム３２及びハンド部３３とを回動させることができることが好適である。この場合であって、第１及び第２のアーム駆動部１１１、１２１が独立して第１及び第２の多関節アーム１１、１２を回動させる場合には、第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２とは、連動しないで伸縮動作を行うことができるようになる。なお、第１及び第２の関節回動部１１２、１２２が、連動して第２アーム２２及びハンド部２３と、第２アーム３２及びハンド部３３とを回動させるようにしてもよい。
【００４８】
ただし、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、ハンド部２３，３３が干渉する位置関係、すなわち、ハンド部２３，３３の少なくとも一部が接触するようになる位置関係（なお、第２アーム２２，３２は干渉しない位置関係であるとする）にある場合には、ハンド部２３，３３の少なくとも一部同士が同じ位置に存在することがないように（すなわち、ハンド部２３，３３が干渉しないように）、第１及び第２の制御部１０１，１０２による制御が行われてもよい。なお、ハンド部２３，３３が干渉することは、ハンド部２３，３３に載置されている搬送物が干渉することを含むものとする。
【００４９】
また、第１の上下駆動部１３１と、第２の上下駆動部１４１とは、それぞれ独立して第１のアーム支持部１６の移動と、第２のアーム支持部１７の移動とを行うことができることが好適である。例えば、第１の上下駆動部１３１は、第１のアーム支持部１６を、基柱１４の上端から、第２のアーム支持部１７とあらかじめ決められた距離となるまで、自由に移動させることができてもよい。また、例えば、第２の上下駆動部１４１は、第２のアーム支持部１７を、基柱１４の下端から、第１のアーム支持部１６とあらかじめ決められた距離となるまで、自由に移動させることができてもよい。その「あらかじめ決められた距離」は、次のようなものであってもよい。第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以上、離れている場合には、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしてもハンド部２３，３３が干渉しない、という距離であってもよい。また、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以上、離れている場合には、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしても第２アーム２２，３２が干渉しない、という距離であってもよい。また、その「あらかじめ決められた距離」は、例えば、前述の検知部１０５に関する説明で用いたものと同じであってもよく、そうでなくてもよい。
【００５０】
ここで、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉しないようにする方法について、簡単に説明する。
例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしてもハンド部２３，３３が干渉しない範囲において第１及び第２のアーム支持部１６，１７が移動されるのであれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２は干渉しないことになる。一方、この場合には、ハンド部２３，３３の載置面が略同じ高さになることはない。
また、例えば、仮にハンド部２３，３３の載置面が略同じ高さであってもハンド部２３，３３が干渉しないように、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離に関係なく、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を動作させてもよい。この場合には、図２の上面図のように上から見ても、ハンド部２３，３３の少なくとも一部が重なることがないことになる。また、この場合には、ハンド部２３，３３の載置面を略同じ高さとすることが可能となる。
また、例えば、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしてもハンド部２３，３３が干渉しない範囲であれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を自由に動作させ、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させるとハンド部２３，３３が干渉する範囲であれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２をハンド部２３，３３が干渉しないように動作させてもよい。この場合には、ハンド部２３，３３の載置面を略同じ高さとすることが可能となる。
【００５１】
次に、図５，図６を用いて、第１及び第２のアーム駆動部１１１，１２１、第１及び第２の関節回動部１１２，１２２、第１及び第２のハンド駆動部１１５，１２５によって、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が駆動される機構についてより詳細に説明する。
【００５２】
図５は、第１のアーム支持部１６と、第１アーム２１の一部との断面を示す概略図である。図５において、第１のアーム駆動部１１１であるモータ４１の回転がベルト４３によって伝達されてベルト車４５が回転し、関節部２４の減速機４７を介して第１アーム２１が回動される。このように、モータ４１が回転することにより、第１アーム２１が第１のアーム支持部１６に対して回動することになる。また、駆動手段１１３であるモータ４２の回転がベルト４４によって伝達されてベルト車４６が回転し、関節部２４の回転軸４８を介して、ベルト車４９が回転される。
【００５３】
図６において、ベルト車４９の回転がベルト５０によって伝達されてベルト車６１が回転し、そのベルト車６１の回転に応じて第２アーム２２が関節部２５の回転支軸６２を中心に回動する。一方、回転支軸６２は、第１アーム２１に固定されており、その回転支軸６２にベルト車６３が固定されている。したがって、ベルト車６１の回転に応じて第２アーム２２が第１アーム２１に対して回転することによって、ベルト車６３は、第２アーム２２に対して相対的に回転することになる。
【００５４】
また、図６において、ベルト車６３の相対的な回転がベルト６４によって伝達されてベルト車６５が回転し、そのベルト車６５の回転に応じてハンド部２３が第３関節部２６の回転軸を中心に回動する。なお、第２アーム２２に設けられているベルト車６３と、ベルト車６５との直径の比は、１：２であるとする。したがって、第２アーム２２に対してベルト車６３が１単位だけ回転すると、ベルト車６５は、１／２単位回転することになる。その結果、図７で示されるように、関節部２５において第２アーム２２が第１アーム２１に対して２θだけ回転すると、関節部２６において、ハンド部２３は、第２アーム２２の回転方向と逆方向にθだけ回転することになる。なお、第１アーム２１に対して固定されたベルト車６３と、ベルト６４と、ハンド部２３と連結されたベルト車６５とによって、回動伝達手段１１４が構成されることになる。
【００５５】
また、図６において、第１のハンド駆動部１１５であるモータ６６によってボールネジ６８が回転させられることによって、ナット６９が図中の右方向、あるいは、左方向に移動することになる。その結果、ハンド部２３が、支軸６７を中心として傾くことになる。なお、図６では、モータ６６やボールネジ６８が第２アーム２２側に存在する場合について示しているが、モータ６６やボールネジ６８は、ハンド部２３側に存在してもよい。その場合でも、ハンド部２３を第２アーム２２に対してチルトさせることができる。
【００５６】
なお、モータ４２の回転によって、第２関節部２５で第２アーム２２を回動させる際にも、第１関節部２４あるいは第２関節部２５において減速機を用いて回転速度を減少させ、トルクを向上させるようにしてもよい。
【００５７】
また、図５〜図７を用いて、第１の多関節アーム１１の構成について説明したが、第２の多関節アーム１２も、第１の多関節アーム１１と同様の構成を有しており、その説明を省略する。
【００５８】
また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の伸縮動作や回転動作は、例えば、前述の特許文献３で説明されているように、すでに公知であり、その詳細な説明を省略する。なお、伸縮動作時には、ハンド部２３，３３の櫛の長さ方向は、伸縮方向と同じ方向となる。また、本実施の形態では、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が回転動作を行うため、図８で示されるように、ハンド部２３の櫛形状の向きを、約２７０度の範囲において変更することができる。したがって、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１は、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を支える台座を旋回させなくても、基柱１４の向き以外の約２７０度の範囲においては、台座を旋回させた場合と同様の動作を行うことができるようになる。
【００５９】
伸縮動作と、回転動作とを組み合わせることによって、例えば、第１のストッカからガラス基板等の搬送物を取り出し、その搬送物を、第１のストッカの開口部と直行する方向に開口部を有する第２のストッカに収納することができる。その場合には、第１のストッカから搬送物を取り出すための伸縮動作を行い、縮み状態において回転動作を行って伸縮方向を９０度回転させ、その後、第２のストッカに搬送物を収納するための伸縮動作を行ってもよい。なお、ダブルアーム型ロボット１は第１及び第２の多関節アーム１１，１２を備えているため、一方の多関節アームで搬送物をストッカに収納する動作を行い、別の多関節アームで別の搬送物をストッカから取り出す動作を行うようにしてもよい。あるいは、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の両方で、搬送物をストッカに収納する処理、あるいは、搬送物をストッカから取り出す処理を同時に行ってもよい。また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が同一の伸縮方向で伸縮動作を行う際に、第２関節部２５，３５が伸縮方向の側方の同じ側に突出するようにしてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。
【００６０】
図９は、第１のアーム支持部１６の上下移動機構の構成を示す概略図である。図９において、第１のアーム支持部１６は、昇降ガイド７９，８０によって、基柱１４と一定の距離を保ったまま、上下に移動可能に構成されている。また、上下駆動部１３１である昇降モータ７１によって、ウォーム７２が回転され、そのウォーム７２と係合するウォームホイール７３が回転されることによって、ウォームホイール７３に固定されているシャフト７４が回転する。そのシャフト７４の回転に応じて、一組のピニオン歯車７５，７６が回転する。一組のピニオン歯車７５，７６に係合する一組のラック７７，７８は、基柱１４に固定されているため、第１のアーム支持部１６は、ピニオン歯車７５，７６の回転に応じて上下に移動する。したがって、上下制御部１０３は、上下駆動部１３１（昇降モータ７１）の回転方向と回転量とを制御することによって、第１のアーム支持部１６が任意の量だけ上下に移動するようにできる。なお、第２のアーム支持部１７の上下移動機構も、第１のアーム支持部１６の上下移動機構と同様の構成を有しており、その説明を省略する。
【００６１】
以上のように、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１によれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部２４，３４において回動させることができるため、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の伸縮方向を独立して自由に変化させることができる。また、その伸縮方向の変化を、基柱１４等を旋回させることなく行うことができるため、前述の特許文献１，２，４の場合に比べて、簡易な構成であり、省スペースであるダブルアーム型ロボット１を実現することができる。また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の高さを独立して変化させることができるため、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の自由度の高い動作を実現できる。また、ハンド部２３，３３の搬送物の載置面が略同じ高さとなりうることによって、効率のよい作業が可能となりうる。例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のそれぞれによって、ストッカから搬送物を取り出して加工機に挿入したり、加工機から搬送物を取り出してストッカに格納したりする処理を行っていたとする。加工機は、搬送物（ワーク）に対する半導体プロセス等の加工を行う装置（例えば、チャンバ等）である。その加工機は通常、搬送物が挿入される一つの口のみを有している。そして、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が、それぞれ異なる加工機に対して搬送物の出し入れを行う状況を考えると、例えば、第１の多関節アーム１１が加工機の口に搬送物を挿入している時に、第２の多関節アーム１２は、同じ高さの別の加工機の口から搬送物を取り出すことができる。一方、ハンド部２３，３３の搬送物の載置面が略同じ高さとならない場合には、そのようなことはできず、例えば、第１の多関節アーム１１が加工機に対して搬送物を挿入している時には、第２の多関節アーム１２は、同じ高さの別の加工機の口から搬送物を取り出すことができないことになり、第１の多関節アーム１１の処理が終了するまで、第２の多関節アーム１２の処理が実行できないことになる。
【００６２】
また、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以下になったことが検知されると、警告が出力されることによって、例えば、管理者やユーザは、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉するかもしれない危険な状態になったことを知ることができるようになる。そして、例えば、ダブルアーム型ロボット１の動作を手動で停止することができうる。また、その警告の出力に応じて、第１及び第２の上下駆動部１３１，１４１による第１または第２のアーム支持部１６，１７の移動をストップさせることもできうる。その結果、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が接触する事態を回避することができうる。
【００６３】
また、第１のアーム駆動部１１１と第２のアーム駆動部１２１とが連動せず、第１の関節回動部１１２と第２の関節回動部１２２とが連動しないことによって、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を独立して動かすことができる。したがって、第１の多関節アーム１１によって、第１のストッカから搬送物を取り出して第２のストッカに収納する処理を行っている際に、第２の多関節アーム１２によって、第３のストッカから搬送物を取り出して第４のストッカに収納する処理を行うことも可能であり、処理の自由度が上がることになる。
【００６４】
また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２がそれぞれ２個のアームによって構成されることにより、各多関節アームにおいて、必要十分な処理を最低限のアームの構成によって実現することができるようになる。近年、液晶パネル等の搬送物が大型化してきており、それに伴って搬送物が重くなってきている。したがって、多関節アームを構成するアームの数を最小限にすることによって、重たい搬送物を搬送する際の第１及び第２の多関節アーム１１，１２のたわみを少なくすることができうる。
【００６５】
また、基柱１４が基台１５に直接固定されているため、旋回台を介して基台に固定されている場合に比べて安定させることができ、例えば、地震発生時にも、より安定していると考えられる。また、前述の特許文献１，２，４に比べると旋回させる対象となる重量が格段に軽くなるため、疲労の蓄積などもより少なくなると考えられる。また、特許文献１，２，４のような旋回台を旋回させる必要がないため、旋回台を旋回させる機構が不要となり、搬送物を搬送する際の下側の領域を拡大することができうる。また、上記特許文献１，２，４のロボットに対して、極端に機構が複雑化したり大型化したりすることもない。
【００６６】
なお、本実施の形態では、ダブルアーム型ロボット１が基台１５を有する場合について説明したが、そうでなくてもよい。基台１５は、例えば、ダブルアーム型ロボット１が用いられるクリーンルームの床や工場の床であり、その床に基柱１４を固定してもよい。その場合には、ダブルアーム型ロボット１は、基台を有していなくてもよい。
【００６７】
また、本実施の形態では、第１の関節回動部１１２が駆動手段１１３と回動伝達手段１１４とから構成され、第２の関節回動部１２２が駆動手段１２３と回動伝達手段１２４とから構成される場合について説明したが、そうでなくてもよい。第１の関節回動部１１２は、例えば、第２アーム２２を第１アーム２１に対して回動させる第１の駆動手段と、ハンド部２３を第２アーム２２に対して回動させる第２の駆動手段とを備えてもよい。この第１の多関節アーム１１における第１及び第２の駆動手段のそれぞれは、例えば、サーボモータであってもよい。同様に、第２の関節回動部１２２は、例えば、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回動させる第１の駆動手段と、ハンド部３３を第２アーム３２に対して回動させる第２の駆動手段とを備えてもよい。この第２の多関節アーム１２における第１及び第２の駆動手段のそれぞれは、例えば、サーボモータであってもよい。
【００６８】
また、本実施の形態では、第１及び第２の制御部１０１，１０２が、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が伸縮動作や回転動作を行うように第１のアーム駆動部１１１等を制御する場合について説明したが、第１及び第２の制御部１０１，１０２は、それ以外の制御を行ってもよい。
【００６９】
また、本実施の形態では、第１及び第２の多関節アーム１１，１２がそれぞれ２個のアームを備える場合について説明したが、第１及び第２の多関節アーム１１，１２は、３個以上の連結されたアームを備えてもよい。その場合でも、３個以上の連結されたアームの一端にはハンド部２３，３３が回動可能に連結され、他端は、第１または第２のアーム支持部１６，１７に基端の関節部２４，３４によって回動可能に連結されることになる。また、３個以上の連結されたアームのそれぞれも、第１アーム２１と第２アーム２２との関節部２５での接続のように、回動可能に連結されるものとする。また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２がそれぞれ３個以上の連結されたアームを備える場合であっても、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３の搬送物の載置面が略同じ高さとなりうるようになっていてもよい。
【００７０】
また、本実施の形態では、図１〜３で示されるように、第１のアーム支持部１６の下面側に第１アーム２１が設けられ、第１アーム２１の下面側に第２アーム２２が設けられ、第２アーム２２の下面側にハンド部２３が設けられ、第２のアーム支持部１７の上面側に第１アーム３１が設けられ、第１アーム３１の上面側に第２アーム３２が設けられ、第２アーム３２の上面側にハンド部３３が設けられる場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、第１のアーム支持部１６の上面側（第２の多関節アーム１２と反対側）に第１アーム２１が設けられ、第１アーム２１の上面側（第２の多関節アーム１２と反対側）に第２アーム２２が設けられ、第２アーム２２の上面側（第２の多関節アーム１２と反対側）にハンド部２３が設けられてもよい。また、例えば、第２のアーム支持部１７の下面側（第１の多関節アーム１１と反対側）に第１アーム３１が設けられ、第１アーム３１の下面側（第１の多関節アーム１１と反対側）に第２アーム３２が設けられ、第２アーム３２の下面側（第１の多関節アーム１１と反対側）にハンド部３３が設けられてもよい。
【００７１】
また、本実施の形態では、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のそれぞれの基端の関節部２４，３４の回転中心軸が同一直線上に存在する場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、両者の回転中心軸がずれていてもよい。
【００７２】
また、本実施の形態では、ハンド部２３，３３がチルトする場合について説明したが、そうでなくてもよい。ハンド部２３，３３はチルトしなくてもよい。その場合には、ダブルアーム型ロボット１は、第１及び第２のハンド駆動部１１５，１２５を備えていなくてもよい。
【００７３】
また、第１及び第２の上下駆動部１３１，１４１は、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の移動中に警告が出力されたとしても、その移動を中止しなくてもよい。その場合には、出力される警告は、管理者やユーザのみに対するものであってもよい。
【００７４】
また、本実施の形態では、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以下になると警告が出力される場合について説明したが、そうでなくてもよい。警告が出力されない場合には、ダブルアーム型ロボット１は、検知部１０５や、警告出力部１０６を備えていなくてもよい。
【００７５】
また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、第１及び第２の制御部１０１，１０２等の構成要素が実現され得る。
【００７６】
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
以上より、本発明によるダブルアーム型ロボット等によれば、第１及び第２の多関節アームの高さを独立して変化させることができ、例えば、ストッカに対して搬送物を出し入れするロボット等として有用である。
【符号の説明】
【００７８】
１ ダブルアーム型ロボット
１１ 第１の多関節アーム
１２ 第２の多関節アーム
１４ 基柱
１５ 基台
１６ 第１のアーム支持部
１７ 第２のアーム支持部
２３、３３ ハンド部
２４、２５、２６、３４、３５、３６ 関節部
１０１ 第１の制御部
１０２ 第２の制御部
１０３ 第１の上下制御部
１０４ 第２の上下制御部
１０５ 検知部
１０６ 警告出力部
１１１ 第１のアーム駆動部
１２１ 第２のアーム駆動部
１１２ 第１の関節回動部
１２２ 第２の関節回動部
１１３、１２３ 駆動手段
１１４、１２４ 回動伝達手段
１１５ 第１のハンド駆動部
１２５ 第２のハンド駆動部
１３１ 第１の上下駆動部
１４１ 第２の上下駆動部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２組の多関節アームを備えたダブルアーム型ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、多関節アームを２組有する種々のダブルアーム型ロボットが開発されている（例えば、特許文献１〜４参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２７４２１８号公報
【特許文献２】特開２００５−１５０５７５号公報
【特許文献３】特開２０１０−６９５５２号公報
【特許文献４】特許第４２２１７３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の特許文献１，３のダブルアーム型ロボットでは、２組の多関節アームがその基端部で一体的に固定されているために高さ方向に独立して変化させることができなかった。また、前述の特許文献４のダブルアーム型ロボットでは、２組の多関節アームの高さを独立して変化させることができるが、その範囲は、ストッカ等の、搬送する対象物を収納する棚のピッチにあわせる程度に限定されており、両多関節アームの高さを自由に変化させることはできなかった。したがって、これらのダブルアーム型ロボットでは、例えば、一方の多関節アームによってストッカの高い位置の搬送物を取り出し、他方の多関節アームによってストッカの低い位置の搬送物を取り出すということができなかった。
【０００５】
また、前述の特許文献２のダブルアーム型ロボットでは、各多関節アームの高さを独立して変化させることができるが、前述の特許文献１，４のダブルアーム型ロボットと同様に、２組の多関節アームが一緒に回転されるため、多関節アームごとに伸縮方向を変えることはできなかった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、より自由度の高い動作を行うことができるダブルアーム型ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明によるダブルアーム型ロボットは、搬送物が載置されるハンド部と、それぞれが関節部によって回動可能に連結された２以上のアームとを有し、ハンド部が２以上のアームの一端に関節部によって回動可能に連結されている、第１及び第２の多関節アームと、第１の多関節アームのハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第１のアーム支持部と、第２の多関節アームのハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第２のアーム支持部と、第１及び第２のアーム支持部の第１及び第２の多関節アームと反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台に固定される基柱と、第１の多関節アームを基端の関節部において回動させる第１のアーム駆動部と、第２の多関節アームを基端の関節部において回動させる第２のアーム駆動部と、第１の多関節アームにおける基端の関節部でない２以上の関節部においてアーム及びハンド部を回動させる第１の関節回動部と、第２の多関節アームにおける基端の関節部でない２以上の関節部においてアーム及びハンド部を回動させる第２の関節回動部と、第１のアーム支持部を基柱に対して移動させる第１の上下駆動部と、第２のアーム支持部を基柱に対して移動させる第２の上下駆動部と、を備え、第１及び第２の多関節アームのそれぞれの基端の関節部の回転中心軸は、同一直線上に存在する、ものである。
【０００８】
このような構成により、第１及び第２の多関節アームを基端の関節部において回動させることができるため、両多関節アームの伸縮方向を独立して自由に変化させることができる。また、第１及び第２の多関節アームの高さも独立して変化させることができる。したがって、自由度の高い第１及び第２の多関節アームの動作を実現することが可能となる。
【０００９】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１の多関節アームは、基端の関節部によって第１のアーム支持部の第２の多関節アーム側に連結される第１アームと、第１アームの基端の関節部と反対側の一端の第２の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、第２の多関節アームは、基端の関節部によって第２のアーム支持部の第１の多関節アーム側に連結される第１アームと、第１アームの基端の関節部と反対側の一端の第１の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、第１の多関節アームのハンド部は、第１の多関節アームの第２アームの第２の多関節アーム側に設けられ、第２の多関節アームのハンド部は、第２の多関節アームの第２アームの第１の多関節アーム側に設けられ、第１及び第２の多関節アームのハンド部における搬送物の載置面が略同じ高さになりうるものであってもよい。
【００１０】
このような構成により、一方の多関節アームの搬送物の高さと、他方の多関節アームの搬送物の高さとを同じにすることができる。その結果、多関節アームによる搬送物の移動の自由度が高くなることになる。例えば、搬送物に対して所定の加工を行う加工機（例えば、チャンバ等）の搬送物を出し入れする口は、通常１個であって、高さが決まっている。そのような状況で、例えば、第１の多関節アームがある加工機に搬送物を挿入している際に、第２の多関節アームは、その同じ高さまで搬送物を移動させることができるため、別の加工機に搬送物を挿入することができるようになる。
【００１１】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことを検知する検知部と、第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことが検知部によって検知された場合に、警告を出力する警告出力部と、をさらに備えてもよい。
このような構成により、例えば、両多関節アームが衝突する可能性のある場合に、警告を出力することができうる。
【００１２】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１の上下駆動部は、第１のアーム支持部の移動中に警告が出力された場合には、移動を中止し、第２の上下駆動部は、第２のアーム支持部の移動中に警告が出力された場合には、移動を中止してもよい。
このような構成により、例えば、両多関節アームが衝突する可能性のある場合に、それ以上両多関節アームの距離が近づかないようにすることができる。
【００１３】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、基台をさらに備えてもよい。
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１のアーム駆動部及び第２のアーム駆動部は、それぞれ独立して第１の多関節アーム、第２の多関節アームを回動させ、第１の関節回動部及び第２の関節回動部は、それぞれ独立して第１の多関節アームのアーム及びハンド部、第２の多関節アームのアーム及びハンド部を回動させてもよい。
【００１４】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１の多関節アームの第１アーム及び第２アームを伸ばしきった伸長状態と、第１の多関節アームの第１アーム及び第２アームを折り畳み、ハンド部を引き込んだ縮み状態との間で第１の多関節アームを伸縮させる伸縮動作の際に、第１の多関節アームが伸縮動作を行うように第１のアーム駆動部及び第１の関節回動部を制御し、第１の多関節アームの伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第１のアーム駆動部が第１の多関節アームを回動させるように制御する第１の制御部と、第２の多関節アームの第１アーム及び第２アームを伸ばしきった伸長状態と、第２の多関節アームの第１アーム及び第２アームを折り畳み、ハンド部を引き込んだ縮み状態との間で第２の多関節アームを伸縮させる伸縮動作の際に、第２の多関節アームが伸縮動作を行うように第２のアーム駆動部及び第２の関節回動部を制御し、第２の多関節アームの伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第２のアーム駆動部が第２の多関節アームを回動させるように制御する第２の制御部と、をさらに備えてもよい。
【００１５】
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、第１及び第２の関節回動部はそれぞれ、第２アームを第１アームに対して回動させる駆動手段と、第１アームに対する第２アームの回動を伝達することにより、回動に応じてハンド部を第２アームに対して回動させる回動伝達手段と、を備えてもよい。
また、本発明によるダブルアーム型ロボットでは、搬送物は、半導体基板、またはガラス基板であってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によるダブルアーム型ロボット等によれば、２組の多関節アームのより自由度の高い動作を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１によるダブルアーム型ロボットの外観を示す概略斜視図
【図２】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの上面図
【図３】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの側面図
【図４】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの電気的な制御について説明するための図
【図５】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの詳細な機構の一例を示す図
【図６】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの詳細な機構の一例を示す図
【図７】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの動作について説明するための図
【図８】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの動作について説明するための図
【図９】同実施の形態によるダブルアーム型ロボットの詳細な機構の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明によるダブルアーム型ロボットについて、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００１９】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１によるダブルアーム型ロボットについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態によるダブルアーム型ロボットは、２組の多関節アームの高さを独立して変化させることができるものである。
【００２０】
図１は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の外観を示す概略斜視図である。構成を示すブロック図である。図２は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の上面図である。図３は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の側面図である。図１〜図３において、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１は、第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２と、基柱１４と、基台１５と、第１のアーム支持部１６と、第２のアーム支持部１７とを備える。
【００２１】
第１の多関節アーム１１は、第１アーム２１と、第２アーム２２と、ハンド部２３とを備える。第１アーム２１は、関節部２４によって第１のアーム支持部１６と連結される。以下、関節部２４を、基端の関節部２４と呼ぶこともある。第２アーム２２は、第１アーム２１の基端の関節部２４と反対側の一端に、関節部２５によって回動可能に連結される。第２アーム２２の第１アーム２１と反対側の一端は、関節部２６によってハンド部２３と回動可能に連結される。ハンド部２３には、搬送物（ワーク）が載置される。搬送物は、例えば、ガラス基板や、半導体基板などの薄板状のものであってもよい。ハンド部２３は、搬送時に搬送物がずれたり落ちたりしないように固定することができるチャッキング機構を有してもよく、あるいは、有さなくてもよい。関節部２４，２５，２６の回転軸は、平行であることが好適である。本実施の形態では、関節部２４，２５，２６の回転軸が鉛直方向であるとする。
【００２２】
第２の多関節アーム１２も、第１の多関節アーム１１と同様なものである。より詳細には、第１アーム３１，第２アーム３２，ハンド部３３がそれぞれ、第１アーム２１，第２アーム２２，ハンド部２３に対応し、関節部３４，３５，３６がそれぞれ、関節部２４，２５，２６に対応する。第１及び第２の多関節アーム１１，１２のそれぞれの基端の関節部２４，３４の回転中心軸は、同一直線上に存在する。第１及び第２の多関節アーム１１，１２において、それぞれ対応するアームやハンド部は、大きさが同じであることが好適であるが、そうでなくてもよい。
【００２３】
第１の多関節アーム１１のハンド部２３と反対側の一端は、基端の関節部２４によって回動可能に第１のアーム支持部１６に連結される。また、第２の多関節アーム１２のハンド部３３と反対側の一端は、基端の関節部３４によって回動可能に第２のアーム支持部１７に連結される。本実施の形態では、図１等で示されるように、第１のアーム支持部１６の下面側に第１の多関節アーム１１が設けられており、第２のアーム支持部１７の上面側に第２の多関節アーム１２が設けられている。すなわち、第１アーム２１は、基端の関節部２４によって、第１のアーム支持部１６の第２の多関節アーム１２側に連結される。また、第１アーム３１は、基端の関節部３４によって、第２のアーム支持部１７の第１の多関節アーム１１側に連結される。また、本実施の形態では、図１等で示されるように、第１アーム２１の下面側に第２アーム２２が設けられており、第１アーム３１の上面側に第２アーム３２が設けられている。すなわち、第２アーム２２は、第１アーム２１の基端の関節部２４と反対側の一端の第２の多関節アーム１２側に関節部２５によって回動可能に連結される。また、第２アーム３２は、第１アーム３１の基端の関節部３４と反対側の一端の第１の多関節アーム１１側に、関節部３６によって回動可能に連結される。また、本実施の形態では、図１等で示されるように、第２アーム２２の下面側（すなわち、第２アーム２２の第２の多関節アーム１２側）にハンド部２３が設けられており、第２アーム３２の上面側（すなわち、第２アーム３２の第１の多関節アーム１１側）にハンド部３３が設けられている。そのようにして、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３における搬送物の載置面が、略同じ高さになりうることになる（例えば、図３参照）。なお、略同じ高さとは、両載置面の高さに誤差程度の違いが生じてもよいという意味である。その誤差は、例えば、チャンバ等の加工機に対して搬送物を出し入れする際の搬送物の高さの許容誤差であってもよく、ストッカ５の棚に搬送物を出し入れする際の搬送物の高さの許容誤差であってもよい。
【００２４】
また、第１のアーム支持部１６は、第１アーム２１が基端の関節部２４の回転軸を中心として、３６０度回転することができるようになっていることが好適である。すなわち、第１のアーム支持部１６は、第１アーム２１以上の水平方向の長さを有しており、さらに、第１アーム２１が連結されている第１のアーム支持部１６の下面側には、第１アーム２１の回転の妨げとなる突起等が存在しないことが好適である。
【００２５】
同様に、第２のアーム支持部１７は、第１アーム３１が基端の関節部３４の回転軸を中心として、３６０度回転することができるようになっていることが好適である。すなわち、第２のアーム支持部１７は、第１アーム３１以上の水平方向の長さを有しており、さらに、第１アーム３１が連結されている第２のアーム支持部１７の上面側には、第１アーム３１の回転の妨げとなる突起等が存在しないことが好適である。
【００２６】
第１及び第２の多関節アーム１１，１２は、後述する伸縮動作と回転動作を行うことによって、ストッカ５から搬送物を取り出したり、ストッカ５に搬送物を入れたり、チャンバ等の加工機に搬送物を出し入れしたりすることができる。
【００２７】
基柱１４は、第１のアーム支持部１６の第１の多関節アーム１１と反対側の一端と、第２のアーム支持部１７の第２の多関節アーム１２と反対側の一端とを鉛直方向に移動可能に保持している。その第１及び第２のアーム支持部１６，１７の上下移動機構については後述する。基柱１４は、基台１５に固定される。基台１５は、例えば、工場やクリーンルームの床に配置される台であってもよく、あるいは、工場やクリーンルームの床そのものであってもよい。なお、上記特許文献１，２，４では、基柱が基台に対して旋回可能であったが、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１では、基柱１４は基台１５に固定されているため、旋回することはできない。なお、基台１５が工場等の床に配置される台である場合には、その基台１５が工場等の床に対して動く可動構造にしてもよい。その場合であっても、基台１５を動かすのは、例えば、ロボットの設置の際や、工場等のレイアウトの変更の際であって、第１及び第２の多関節アーム１１，１２による運搬物の搬送を行っている際には基台１５は動かないものとする。
【００２８】
図４は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１の電気的な制御について説明するための図である。図４において、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１は、第１の制御部１０１と、第２の制御部１０２と、第１の上下制御部１０３と、第２の上下制御部１０４と、検知部１０５と、警告出力部１０６と、第１のアーム駆動部１１１と、第１の関節回動部１１２と、第１のハンド駆動部１１５と、第２のアーム駆動部１２１と、第２の関節回動部１２２と、第２のハンド駆動部１２５と、第１の上下駆動部１３１と、第２の上下駆動部１４１とを備える。
【００２９】
第１のアーム駆動部１１１は、第１の多関節アーム１１を駆動する。すなわち、第１のアーム駆動部１１１は、第１の多関節アーム１１を基端の関節部２４において回動させる。この第１のアーム駆動部１１１による第１の多関節アーム１１の回動が行われることにより、例えば、第１の多関節アーム１１の全体が基端の関節部２４の回転軸を中心として回動することになる。
【００３０】
第１の関節回動部１１２は、第１の多関節アーム１１における基端の関節部２４でない２以上の関節部、すなわち、関節部２５，２６において、第２アーム２２及びハンド部２３を回動させる。この第１の関節回動部１１２による第２アーム２２及びハンド部２３の回動と、前述の第１のアーム駆動部１１１による第１アーム２１の回動とが連携することにより、第１の多関節アーム１１は、ハンド部２３に載置された搬送物を直線的に搬送することができる。この動作については後述する。
【００３１】
本実施の形態では、第１の関節回動部１１２が、駆動手段１１３と、回動伝達手段１１４とを備えているものとする。駆動手段１１３は、第２アーム２２を第１アーム２１に対して回動させる。回動伝達手段１１４は、第１アーム２１に対する第２アーム２２の回動を伝達することにより、その回動に応じてハンド部２３を第２アーム２２に対して回動させる。回動伝達手段１１４として、例えば、ベルトとベルト車を用いてもよく、あるいは、複数のギアを用いてもよい。
【００３２】
第１のハンド駆動部１１５は、ハンド部２３の関節部２６の位置において、ハンド部２３における搬送物の載置面の角度を変える。第１の多関節アーム１１は、基端の関節部２４からハンド部２３の先端までがそれなりの長さを有しているため、自重により、または、搬送物の重量により、たわむことがある。その場合に、搬送物を水平に保つことができるように、第１のハンド駆動部１１５によって、ハンド部２３をチルトさせることになる。
【００３３】
第１の制御部１０１は、第１の多関節アーム１１の第１アーム２１及び第２アーム２２を伸ばしきった伸長状態と、第１の多関節アーム１１の第１アーム２１及び第２アーム２２を折り畳み、ハンド部２３を引き込んだ縮み状態との間で第１の多関節アーム１１を伸縮させる伸縮動作の際に、第１の多関節アーム１１が伸縮動作を行うように第１のアーム駆動部１１１及び第１の関節回動部１１２を制御する。本実施の形態では、第１の関節回動部１１２の制御は、駆動手段１１３を制御することによって行われる。また、第１の制御部１０１は、第１の多関節アーム１１の伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第１のアーム駆動部１１１が第１の多関節アーム１１を回動させるように制御する。また、第１の制御部１０１は、ハンド部２３に搬送物が載置される際などに、第１のハンド駆動部１１５がハンド部２３の載置面を水平に保つように制御する。例えば、ハンド部２３に設けられた図示しない傾斜センサを用いて、第１の制御部１０１は、ハンド部２３の載置面が水平を保つように第１のハンド駆動部１１５を制御してもよい。
【００３４】
第２のアーム駆動部１２１は、第２の多関節アーム１２を駆動する。すなわち、第２のアーム駆動部１２１は、第２の多関節アーム１２を基端の関節部３４において回動させる。この第２のアーム駆動部１２１による第２の多関節アーム１２の回動が行われることにより、例えば、第２の多関節アーム１２の全体が基端の関節部３４の回転軸を中心として回動することになる。
【００３５】
第２の関節回動部１２２は、第２の多関節アーム１２における基端の関節部３４でない２以上の関節部、すなわち、関節部３５，３６において、第２アーム３２及びハンド部３３を回動させる。この第２の関節回動部１２２による第２アーム３２及びハンド部３３の回動と、前述の第２のアーム駆動部による第１アーム３１の回動とが連携することにより、第２の多関節アーム１２は、ハンド部３３に載置された搬送物を直線的に搬送することができることは、第１の多関節アーム１１の場合と同様である。
【００３６】
本実施の形態では、第２の関節回動部１２２が、駆動手段１２３と、回動伝達手段１２４とを備えているものとする。駆動手段１２３は、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回動させる。回動伝達手段１２４は、第１アーム３１に対する第２アーム３２の回動を伝達することにより、その回動に応じてハンド部３３を第２アーム３２に対して回動させる。回動伝達手段１２４として、例えば、ベルトとベルト車を用いてもよく、あるいは、複数のギアを用いてもよいことは、回動伝達手段１１４の場合と同様である。
【００３７】
第２のハンド駆動部１２５は、ハンド部３３の関節部３６の位置において、ハンド部３３における搬送物の載置面の角度を変える。第２の多関節アーム１２は、基端の関節部３４からハンド部３３の先端までがそれなりの長さを有しているため、自重により、または、搬送物の重量により、たわむことがある。その場合に、搬送物を水平に保つことができるように、第２のハンド駆動部１２５によって、ハンド部３３をチルトさせることになる。
【００３８】
第２の制御部１０２は、第２の多関節アーム１２の第１アーム３１及び第２アーム３２を伸ばしきった伸長状態と、第２の多関節アーム１２の第１アーム３１及び第２アーム３２を折り畳み、ハンド部３３を引き込んだ縮み状態との間で第２の多関節アーム１２を伸縮させる伸縮動作の際に、第２の多関節アーム１２が伸縮動作を行うように第２のアーム駆動部１２１及び第２の関節回動部１２２を制御する。本実施の形態では、第２の関節回動部１２２の制御は、駆動手段１２３を制御することによって行われる。また、第２の制御部１０２は、第２の多関節アーム１２の伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、第２のアーム駆動部１２１が第２の多関節アーム１２を回動させるように制御する。また、第２の制御部１０２は、ハンド部３３に搬送物が載置される際などに、第２のハンド駆動部１２５がハンド部３３の載置面を水平に保つように制御する。例えば、ハンド部３３に設けられた図示しない傾斜センサを用いて、第２の制御部１０２は、ハンド部３３の載置面が水平を保つように第２のハンド駆動部１２５を制御してもよい。
【００３９】
第１の上下駆動部１３１は、第１のアーム支持部１６を基柱１４の長さ方向、すなわち鉛直方向に移動させる。この第１の上下駆動部１３１による第１のアーム支持部１６の上下の移動が行われることによって、第１の多関節アーム１１が鉛直方向に移動されることになる。
【００４０】
第２の上下駆動部１４１は、第２のアーム支持部１７を基柱１４の長さ方向、すなわち鉛直方向に移動させる。この第２の上下駆動部１４１による第２のアーム支持部１７の上下の移動が行われることによって、第２の多関節アーム１２が鉛直方向に移動されることになる。
【００４１】
第１の上下制御部１０３は、第１のアーム支持部１６を鉛直上向き、あるいは、鉛直下向きに移動させる際に、第１の上下駆動部１３１が第１のアーム支持部１６を上向き、あるいは、下向きに移動させるように制御する。
【００４２】
第２の上下制御部１０４は、第２のアーム支持部１７を鉛直上向き、あるいは、鉛直下向きに移動させる際に、第２の上下駆動部１４１が第２のアーム支持部１７を上向き、あるいは、下向きに移動させるように制御する。
【００４３】
検知部１０５は、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことを検知する。あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作（例えば、伸縮動作や回転動作）させた場合に、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉するようになる距離、すなわち、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の少なくとも一部が接触するようになる距離であってもよい。また、あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉しないぎりぎりの距離であってもよい。この場合には、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離がこれよりも少しでも近くなると、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉するようになる。また、あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、第２アーム２２，３２が干渉するようになる距離、すなわち、第２アーム２２，３２の少なくとも一部が接触するようになる距離であってもよい。また、あらかじめ決められた距離とは、例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、第２アーム２２，３２が干渉しないぎりぎりの距離であってもよい。この場合には、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離がこれよりも少しでも近くなると、第２アーム２２，３２が干渉するようになる。また、あらかじめ決められた距離は、これら以外の距離であってもよい。この検知は、例えば、前述の特許文献４に記載されているように、リミットスイッチや距離センサ等を用いて、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以下になったことを検知することによって実現されてもよい。また、例えば、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の一方に発光素子を設け、他方にフォトディテクタを設け、両者があらかじめ決められた距離以下になった際にフォトディテクタが発光素子の発した光を受光するようになっていてもよい。その場合には、検知部１０５は、フォトディテクタが発光素子の発した光を受光した場合に、両者があらかじめ決められた距離以下になったことを検知してもよい。また、検知部１０５は、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が徐々に小さくなっている場合に、両者の距離があらかじめ決められた距離となった時に、両者の距離があらかじめ決められた距離以下になったことを検知してもよい。また、そのあらかじめ決められた距離は、誤差を考慮して設定されてもよい。したがって、実際に使用されるあらかじめ決められた距離は、設計上のあらかじめ決められた距離に誤差を加算したものであってもよい。
【００４４】
警告出力部１０６は、第１及び第２のアーム支持部１７の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことが検知部１０５によって検知された場合に、警告を出力する。この警告の出力は、例えば、ダブルアーム型ロボット１の管理者やユーザに対しての通知であってもよく、あるいは、ダブルアーム型ロボット１を制御する構成要素に対しての出力であってもよい。前者の場合には、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよい。後者の場合には、この出力は，例えば、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。この後者の場合に、第１の上下制御部１０３は、例えば、第１のアーム支持部１６の移動中に警告が出力された際に、第１のアーム支持部１６の移動を中止するように第１の上下駆動部１３１を制御してもよい。その結果、第１の上下駆動部１３１は、第１のアーム支持部１６の移動中に警告が出力された場合には、その移動を中止することになる。また、この後者の場合に、第２の上下制御部１０４は、例えば、第２のアーム支持部１７の移動中に警告が出力された際に、第２のアーム支持部１７の移動を中止するように第２の上下駆動部１４１を制御してもよい。その結果、第２の上下駆動部１４１は、第２のアーム支持部１７の移動中に警告が出力された場合には、その移動を中止することになる。なお、警告出力部１０６は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、警告出力部１０６は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４５】
なお、例えば、第１のアーム駆動部１１１、駆動手段１１３、第１のハンド駆動部１１５、第２のアーム駆動部１２１、駆動手段１２３、第２のハンド駆動部１２５、第１の上下駆動部１３１、第２の上下駆動部１４１は、サーボモータであり、第１の制御部１０１、第２の制御部１０２、第１の上下制御部１０３、第２の上下制御部１０４は、それらのサーボモータからのフィードバックを用いて、第１のアーム駆動部１１１等を制御するようにしてもよい。
【００４６】
また、第１のアーム駆動部１１１と、第２のアーム駆動部１２１とは、それぞれ独立して第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２とを回動させることができることが好適である。この場合には、第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２とは、連動しないで回動することができるようになる。なお、両者が連動して回動するようにしてもよい。
【００４７】
また、第１の関節回動部１１２と、第２の関節回動部１２２とは、それぞれ独立して第１の多関節アーム１１の第２アーム２２及びハンド部２３と、第２の多関節アーム１２の第２アーム３２及びハンド部３３とを回動させることができることが好適である。この場合であって、第１及び第２のアーム駆動部１１１、１２１が独立して第１及び第２の多関節アーム１１、１２を回動させる場合には、第１の多関節アーム１１と、第２の多関節アーム１２とは、連動しないで伸縮動作を行うことができるようになる。なお、第１及び第２の関節回動部１１２、１２２が、連動して第２アーム２２及びハンド部２３と、第２アーム３２及びハンド部３３とを回動させるようにしてもよい。
【００４８】
ただし、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させた場合に、ハンド部２３，３３が干渉する位置関係、すなわち、ハンド部２３，３３の少なくとも一部が接触するようになる位置関係（なお、第２アーム２２，３２は干渉しない位置関係であるとする）にある場合には、ハンド部２３，３３の少なくとも一部同士が同じ位置に存在することがないように（すなわち、ハンド部２３，３３が干渉しないように）、第１及び第２の制御部１０１，１０２による制御が行われてもよい。なお、ハンド部２３，３３が干渉することは、ハンド部２３，３３に載置されている搬送物が干渉することを含むものとする。
【００４９】
また、第１の上下駆動部１３１と、第２の上下駆動部１４１とは、それぞれ独立して第１のアーム支持部１６の移動と、第２のアーム支持部１７の移動とを行うことができることが好適である。例えば、第１の上下駆動部１３１は、第１のアーム支持部１６を、基柱１４の上端から、第２のアーム支持部１７とあらかじめ決められた距離となるまで、自由に移動させることができてもよい。また、例えば、第２の上下駆動部１４１は、第２のアーム支持部１７を、基柱１４の下端から、第１のアーム支持部１６とあらかじめ決められた距離となるまで、自由に移動させることができてもよい。その「あらかじめ決められた距離」は、次のようなものであってもよい。第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以上、離れている場合には、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしてもハンド部２３，３３が干渉しない、という距離であってもよい。また、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以上、離れている場合には、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしても第２アーム２２，３２が干渉しない、という距離であってもよい。また、その「あらかじめ決められた距離」は、例えば、前述の検知部１０５に関する説明で用いたものと同じであってもよく、そうでなくてもよい。
【００５０】
ここで、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉しないようにする方法について、簡単に説明する。
例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしてもハンド部２３，３３が干渉しない範囲において第１及び第２のアーム支持部１６，１７が移動されるのであれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２は干渉しないことになる。一方、この場合には、ハンド部２３，３３の載置面が略同じ高さになることはない。
また、例えば、仮にハンド部２３，３３の載置面が略同じ高さであってもハンド部２３，３３が干渉しないように、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離に関係なく、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を動作させてもよい。この場合には、図２の上面図のように上から見ても、ハンド部２３，３３の少なくとも一部が重なることがないことになる。また、この場合には、ハンド部２３，３３の載置面を略同じ高さとすることが可能となる。
また、例えば、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させたとしてもハンド部２３，３３が干渉しない範囲であれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を自由に動作させ、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の距離が、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が各アームを自由に動作させるとハンド部２３，３３が干渉する範囲であれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２をハンド部２３，３３が干渉しないように動作させてもよい。この場合には、ハンド部２３，３３の載置面を略同じ高さとすることが可能となる。
【００５１】
次に、図５，図６を用いて、第１及び第２のアーム駆動部１１１，１２１、第１及び第２の関節回動部１１２，１２２、第１及び第２のハンド駆動部１１５，１２５によって、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が駆動される機構についてより詳細に説明する。
【００５２】
図５は、第１のアーム支持部１６と、第１アーム２１の一部との断面を示す概略図である。図５において、第１のアーム駆動部１１１であるモータ４１の回転がベルト４３によって伝達されてベルト車４５が回転し、関節部２４の減速機４７を介して第１アーム２１が回動される。このように、モータ４１が回転することにより、第１アーム２１が第１のアーム支持部１６に対して回動することになる。また、駆動手段１１３であるモータ４２の回転がベルト４４によって伝達されてベルト車４６が回転し、関節部２４の回転軸４８を介して、ベルト車４９が回転される。
【００５３】
図６において、ベルト車４９の回転がベルト５０によって伝達されてベルト車６１が回転し、そのベルト車６１の回転に応じて第２アーム２２が関節部２５の回転支軸６２を中心に回動する。一方、回転支軸６２は、第１アーム２１に固定されており、その回転支軸６２にベルト車６３が固定されている。したがって、ベルト車６１の回転に応じて第２アーム２２が第１アーム２１に対して回転することによって、ベルト車６３は、第２アーム２２に対して相対的に回転することになる。
【００５４】
また、図６において、ベルト車６３の相対的な回転がベルト６４によって伝達されてベルト車６５が回転し、そのベルト車６５の回転に応じてハンド部２３が第３関節部２６の回転軸を中心に回動する。なお、第２アーム２２に設けられているベルト車６３と、ベルト車６５との直径の比は、１：２であるとする。したがって、第２アーム２２に対してベルト車６３が１単位だけ回転すると、ベルト車６５は、１／２単位回転することになる。その結果、図７で示されるように、関節部２５において第２アーム２２が第１アーム２１に対して２θだけ回転すると、関節部２６において、ハンド部２３は、第２アーム２２の回転方向と逆方向にθだけ回転することになる。なお、第１アーム２１に対して固定されたベルト車６３と、ベルト６４と、ハンド部２３と連結されたベルト車６５とによって、回動伝達手段１１４が構成されることになる。
【００５５】
また、図６において、第１のハンド駆動部１１５であるモータ６６によってボールネジ６８が回転させられることによって、ナット６９が図中の右方向、あるいは、左方向に移動することになる。その結果、ハンド部２３が、支軸６７を中心として傾くことになる。なお、図６では、モータ６６やボールネジ６８が第２アーム２２側に存在する場合について示しているが、モータ６６やボールネジ６８は、ハンド部２３側に存在してもよい。その場合でも、ハンド部２３を第２アーム２２に対してチルトさせることができる。
【００５６】
なお、モータ４２の回転によって、第２関節部２５で第２アーム２２を回動させる際にも、第１関節部２４あるいは第２関節部２５において減速機を用いて回転速度を減少させ、トルクを向上させるようにしてもよい。
【００５７】
また、図５〜図７を用いて、第１の多関節アーム１１の構成について説明したが、第２の多関節アーム１２も、第１の多関節アーム１１と同様の構成を有しており、その説明を省略する。
【００５８】
また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の伸縮動作や回転動作は、例えば、前述の特許文献３で説明されているように、すでに公知であり、その詳細な説明を省略する。なお、伸縮動作時には、ハンド部２３，３３の櫛の長さ方向は、伸縮方向と同じ方向となる。また、本実施の形態では、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が回転動作を行うため、図８で示されるように、ハンド部２３の櫛形状の向きを、約２７０度の範囲において変更することができる。したがって、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１は、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を支える台座を旋回させなくても、基柱１４の向き以外の約２７０度の範囲においては、台座を旋回させた場合と同様の動作を行うことができるようになる。
【００５９】
伸縮動作と、回転動作とを組み合わせることによって、例えば、第１のストッカからガラス基板等の搬送物を取り出し、その搬送物を、第１のストッカの開口部と直行する方向に開口部を有する第２のストッカに収納することができる。その場合には、第１のストッカから搬送物を取り出すための伸縮動作を行い、縮み状態において回転動作を行って伸縮方向を９０度回転させ、その後、第２のストッカに搬送物を収納するための伸縮動作を行ってもよい。なお、ダブルアーム型ロボット１は第１及び第２の多関節アーム１１，１２を備えているため、一方の多関節アームで搬送物をストッカに収納する動作を行い、別の多関節アームで別の搬送物をストッカから取り出す動作を行うようにしてもよい。あるいは、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の両方で、搬送物をストッカに収納する処理、あるいは、搬送物をストッカから取り出す処理を同時に行ってもよい。また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が同一の伸縮方向で伸縮動作を行う際に、第２関節部２５，３５が伸縮方向の側方の同じ側に突出するようにしてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。
【００６０】
図９は、第１のアーム支持部１６の上下移動機構の構成を示す概略図である。図９において、第１のアーム支持部１６は、昇降ガイド７９，８０によって、基柱１４と一定の距離を保ったまま、上下に移動可能に構成されている。また、上下駆動部１３１である昇降モータ７１によって、ウォーム７２が回転され、そのウォーム７２と係合するウォームホイール７３が回転されることによって、ウォームホイール７３に固定されているシャフト７４が回転する。そのシャフト７４の回転に応じて、一組のピニオン歯車７５，７６が回転する。一組のピニオン歯車７５，７６に係合する一組のラック７７，７８は、基柱１４に固定されているため、第１のアーム支持部１６は、ピニオン歯車７５，７６の回転に応じて上下に移動する。したがって、上下制御部１０３は、上下駆動部１３１（昇降モータ７１）の回転方向と回転量とを制御することによって、第１のアーム支持部１６が任意の量だけ上下に移動するようにできる。なお、第２のアーム支持部１７の上下移動機構も、第１のアーム支持部１６の上下移動機構と同様の構成を有しており、その説明を省略する。
【００６１】
以上のように、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット１によれば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部２４，３４において回動させることができるため、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の伸縮方向を独立して自由に変化させることができる。また、その伸縮方向の変化を、基柱１４等を旋回させることなく行うことができるため、前述の特許文献１，２，４の場合に比べて、簡易な構成であり、省スペースであるダブルアーム型ロボット１を実現することができる。また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の高さを独立して変化させることができるため、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の自由度の高い動作を実現できる。また、ハンド部２３，３３の搬送物の載置面が略同じ高さとなりうることによって、効率のよい作業が可能となりうる。例えば、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のそれぞれによって、ストッカから搬送物を取り出して加工機に挿入したり、加工機から搬送物を取り出してストッカに格納したりする処理を行っていたとする。加工機は、搬送物（ワーク）に対する半導体プロセス等の加工を行う装置（例えば、チャンバ等）である。その加工機は通常、搬送物が挿入される一つの口のみを有している。そして、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が、それぞれ異なる加工機に対して搬送物の出し入れを行う状況を考えると、例えば、第１の多関節アーム１１が加工機の口に搬送物を挿入している時に、第２の多関節アーム１２は、同じ高さの別の加工機の口から搬送物を取り出すことができる。一方、ハンド部２３，３３の搬送物の載置面が略同じ高さとならない場合には、そのようなことはできず、例えば、第１の多関節アーム１１が加工機に対して搬送物を挿入している時には、第２の多関節アーム１２は、同じ高さの別の加工機の口から搬送物を取り出すことができないことになり、第１の多関節アーム１１の処理が終了するまで、第２の多関節アーム１２の処理が実行できないことになる。
【００６２】
また、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以下になったことが検知されると、警告が出力されることによって、例えば、管理者やユーザは、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が干渉するかもしれない危険な状態になったことを知ることができるようになる。そして、例えば、ダブルアーム型ロボット１の動作を手動で停止することができうる。また、その警告の出力に応じて、第１及び第２の上下駆動部１３１，１４１による第１または第２のアーム支持部１６，１７の移動をストップさせることもできうる。その結果、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が接触する事態を回避することができうる。
【００６３】
また、第１のアーム駆動部１１１と第２のアーム駆動部１２１とが連動せず、第１の関節回動部１１２と第２の関節回動部１２２とが連動しないことによって、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を独立して動かすことができる。したがって、第１の多関節アーム１１によって、第１のストッカから搬送物を取り出して第２のストッカに収納する処理を行っている際に、第２の多関節アーム１２によって、第３のストッカから搬送物を取り出して第４のストッカに収納する処理を行うことも可能であり、処理の自由度が上がることになる。
【００６４】
また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２がそれぞれ２個のアームによって構成されることにより、各多関節アームにおいて、必要十分な処理を最低限のアームの構成によって実現することができるようになる。近年、液晶パネル等の搬送物が大型化してきており、それに伴って搬送物が重くなってきている。したがって、多関節アームを構成するアームの数を最小限にすることによって、重たい搬送物を搬送する際の第１及び第２の多関節アーム１１，１２のたわみを少なくすることができうる。
【００６５】
また、基柱１４が基台１５に直接固定されているため、旋回台を介して基台に固定されている場合に比べて安定させることができ、例えば、地震発生時にも、より安定していると考えられる。また、前述の特許文献１，２，４に比べると旋回させる対象となる重量が格段に軽くなるため、疲労の蓄積などもより少なくなると考えられる。また、特許文献１，２，４のような旋回台を旋回させる必要がないため、旋回台を旋回させる機構が不要となり、搬送物を搬送する際の下側の領域を拡大することができうる。また、上記特許文献１，２，４のロボットに対して、極端に機構が複雑化したり大型化したりすることもない。
【００６６】
なお、本実施の形態では、ダブルアーム型ロボット１が基台１５を有する場合について説明したが、そうでなくてもよい。基台１５は、例えば、ダブルアーム型ロボット１が用いられるクリーンルームの床や工場の床であり、その床に基柱１４を固定してもよい。その場合には、ダブルアーム型ロボット１は、基台を有していなくてもよい。
【００６７】
また、本実施の形態では、第１の関節回動部１１２が駆動手段１１３と回動伝達手段１１４とから構成され、第２の関節回動部１２２が駆動手段１２３と回動伝達手段１２４とから構成される場合について説明したが、そうでなくてもよい。第１の関節回動部１１２は、例えば、第２アーム２２を第１アーム２１に対して回動させる第１の駆動手段と、ハンド部２３を第２アーム２２に対して回動させる第２の駆動手段とを備えてもよい。この第１の多関節アーム１１における第１及び第２の駆動手段のそれぞれは、例えば、サーボモータであってもよい。同様に、第２の関節回動部１２２は、例えば、第２アーム３２を第１アーム３１に対して回動させる第１の駆動手段と、ハンド部３３を第２アーム３２に対して回動させる第２の駆動手段とを備えてもよい。この第２の多関節アーム１２における第１及び第２の駆動手段のそれぞれは、例えば、サーボモータであってもよい。
【００６８】
また、本実施の形態では、第１及び第２の制御部１０１，１０２が、第１及び第２の多関節アーム１１，１２が伸縮動作や回転動作を行うように第１のアーム駆動部１１１等を制御する場合について説明したが、第１及び第２の制御部１０１，１０２は、それ以外の制御を行ってもよい。
【００６９】
また、本実施の形態では、第１及び第２の多関節アーム１１，１２がそれぞれ２個のアームを備える場合について説明したが、第１及び第２の多関節アーム１１，１２は、３個以上の連結されたアームを備えてもよい。その場合でも、３個以上の連結されたアームの一端にはハンド部２３，３３が回動可能に連結され、他端は、第１または第２のアーム支持部１６，１７に基端の関節部２４，３４によって回動可能に連結されることになる。また、３個以上の連結されたアームのそれぞれも、第１アーム２１と第２アーム２２との関節部２５での接続のように、回動可能に連結されるものとする。また、第１及び第２の多関節アーム１１，１２がそれぞれ３個以上の連結されたアームを備える場合であっても、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３の搬送物の載置面が略同じ高さとなりうるようになっていてもよい。
【００７０】
また、本実施の形態では、図１〜３で示されるように、第１のアーム支持部１６の下面側に第１アーム２１が設けられ、第１アーム２１の下面側に第２アーム２２が設けられ、第２アーム２２の下面側にハンド部２３が設けられ、第２のアーム支持部１７の上面側に第１アーム３１が設けられ、第１アーム３１の上面側に第２アーム３２が設けられ、第２アーム３２の上面側にハンド部３３が設けられる場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、第１のアーム支持部１６の上面側（第２の多関節アーム１２と反対側）に第１アーム２１が設けられ、第１アーム２１の上面側（第２の多関節アーム１２と反対側）に第２アーム２２が設けられ、第２アーム２２の上面側（第２の多関節アーム１２と反対側）にハンド部２３が設けられてもよい。また、例えば、第２のアーム支持部１７の下面側（第１の多関節アーム１１と反対側）に第１アーム３１が設けられ、第１アーム３１の下面側（第１の多関節アーム１１と反対側）に第２アーム３２が設けられ、第２アーム３２の下面側（第１の多関節アーム１１と反対側）にハンド部３３が設けられてもよい。
【００７１】
また、本実施の形態では、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のそれぞれの基端の関節部２４，３４の回転中心軸が同一直線上に存在する場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、両者の回転中心軸がずれていてもよい。
【００７２】
また、本実施の形態では、ハンド部２３，３３がチルトする場合について説明したが、そうでなくてもよい。ハンド部２３，３３はチルトしなくてもよい。その場合には、ダブルアーム型ロボット１は、第１及び第２のハンド駆動部１１５，１２５を備えていなくてもよい。
【００７３】
また、第１及び第２の上下駆動部１３１，１４１は、第１及び第２のアーム支持部１６，１７の移動中に警告が出力されたとしても、その移動を中止しなくてもよい。その場合には、出力される警告は、管理者やユーザのみに対するものであってもよい。
【００７４】
また、本実施の形態では、第１及び第２のアーム支持部１６，１７があらかじめ決められた距離以下になると警告が出力される場合について説明したが、そうでなくてもよい。警告が出力されない場合には、ダブルアーム型ロボット１は、検知部１０５や、警告出力部１０６を備えていなくてもよい。
【００７５】
また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、第１及び第２の制御部１０１，１０２等の構成要素が実現され得る。
【００７６】
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
以上より、本発明によるダブルアーム型ロボット等によれば、第１及び第２の多関節アームの高さを独立して変化させることができ、例えば、ストッカに対して搬送物を出し入れするロボット等として有用である。
【符号の説明】
【００７８】
１ ダブルアーム型ロボット
１１ 第１の多関節アーム
１２ 第２の多関節アーム
１４ 基柱
１５ 基台
１６ 第１のアーム支持部
１７ 第２のアーム支持部
２３、３３ ハンド部
２４、２５、２６、３４、３５、３６ 関節部
１０１ 第１の制御部
１０２ 第２の制御部
１０３ 第１の上下制御部
１０４ 第２の上下制御部
１０５ 検知部
１０６ 警告出力部
１１１ 第１のアーム駆動部
１２１ 第２のアーム駆動部
１１２ 第１の関節回動部
１２２ 第２の関節回動部
１１３、１２３ 駆動手段
１１４、１２４ 回動伝達手段
１１５ 第１のハンド駆動部
１２５ 第２のハンド駆動部
１３１ 第１の上下駆動部
１４１ 第２の上下駆動部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物が載置されるハンド部と、それぞれが関節部によって回動可能に連結された２以上のアームとを有し、前記ハンド部が前記２以上のアームの一端に関節部によって回動可能に連結されている、第１及び第２の多関節アームと、
前記第１の多関節アームの前記ハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第１のアーム支持部と、
前記第２の多関節アームの前記ハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第２のアーム支持部と、
前記第１及び第２のアーム支持部の前記第１及び第２の多関節アームと反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台に固定される基柱と、
前記第１の多関節アームを前記基端の関節部において回動させる第１のアーム駆動部と、
前記第２の多関節アームを前記基端の関節部において回動させる第２のアーム駆動部と、
前記第１の多関節アームにおける前記基端の関節部でない２以上の関節部において前記アーム及び前記ハンド部を回動させる第１の関節回動部と、
前記第２の多関節アームにおける前記基端の関節部でない２以上の関節部において前記アーム及び前記ハンド部を回動させる第２の関節回動部と、
前記第１のアーム支持部を前記基柱に対して移動させる第１の上下駆動部と、
前記第２のアーム支持部を前記基柱に対して移動させる第２の上下駆動部と、を備え、
前記第１及び第２の多関節アームのそれぞれの基端の関節部の回転中心軸は、同一直線上に存在する、ダブルアーム型ロボット。
【請求項２】
前記第１の多関節アームは、
前記基端の関節部によって前記第１のアーム支持部の前記第２の多関節アーム側に連結される第１アームと、
当該第１アームの前記基端の関節部と反対側の一端の前記第２の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、
前記第２の多関節アームは、
前記基端の関節部によって前記第２のアーム支持部の前記第１の多関節アーム側に連結される第１アームと、
当該第１アームの前記基端の関節部と反対側の一端の前記第１の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、
前記第１の多関節アームのハンド部は、当該第１の多関節アームの第２アームの前記第２の多関節アーム側に設けられ、
前記第２の多関節アームのハンド部は、当該第２の多関節アームの第２アームの前記第１の多関節アーム側に設けられ、
前記第１及び第２の多関節アームのハンド部における搬送物の載置面が略同じ高さになりうる、請求項１記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項３】
前記第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことを検知する検知部と、
前記第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことが前記検知部によって検知された場合に、警告を出力する警告出力部と、をさらに備えた、請求項１または請求項２記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項４】
前記第１の上下駆動部は、前記第１のアーム支持部の移動中に前記警告が出力された場合には、当該移動を中止し、
前記第２の上下駆動部は、前記第２のアーム支持部の移動中に前記警告が出力された場合には、当該移動を中止する、請求項３記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項５】
前記基台をさらに備えた、請求項１から請求項４のいずれか記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項１】
搬送物が載置されるハンド部と、それぞれが関節部によって回動可能に連結された２以上のアームとを有し、前記ハンド部が前記２以上のアームの一端に関節部によって回動可能に連結されている、第１及び第２の多関節アームと、
前記第１の多関節アームの前記ハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第１のアーム支持部と、
前記第２の多関節アームの前記ハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によって回動可能に連結される第２のアーム支持部と、
前記第１及び第２のアーム支持部の前記第１及び第２の多関節アームと反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台に固定される基柱と、
前記第１の多関節アームを前記基端の関節部において回動させる第１のアーム駆動部と、
前記第２の多関節アームを前記基端の関節部において回動させる第２のアーム駆動部と、
前記第１の多関節アームにおける前記基端の関節部でない２以上の関節部において前記アーム及び前記ハンド部を回動させる第１の関節回動部と、
前記第２の多関節アームにおける前記基端の関節部でない２以上の関節部において前記アーム及び前記ハンド部を回動させる第２の関節回動部と、
前記第１のアーム支持部を前記基柱に対して移動させる第１の上下駆動部と、
前記第２のアーム支持部を前記基柱に対して移動させる第２の上下駆動部と、を備え、
前記第１及び第２の多関節アームのそれぞれの基端の関節部の回転中心軸は、同一直線上に存在する、ダブルアーム型ロボット。
【請求項２】
前記第１の多関節アームは、
前記基端の関節部によって前記第１のアーム支持部の前記第２の多関節アーム側に連結される第１アームと、
当該第１アームの前記基端の関節部と反対側の一端の前記第２の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、
前記第２の多関節アームは、
前記基端の関節部によって前記第２のアーム支持部の前記第１の多関節アーム側に連結される第１アームと、
当該第１アームの前記基端の関節部と反対側の一端の前記第１の多関節アーム側に関節部によって回動可能に連結される第２アームとを備え、
前記第１の多関節アームのハンド部は、当該第１の多関節アームの第２アームの前記第２の多関節アーム側に設けられ、
前記第２の多関節アームのハンド部は、当該第２の多関節アームの第２アームの前記第１の多関節アーム側に設けられ、
前記第１及び第２の多関節アームのハンド部における搬送物の載置面が略同じ高さになりうる、請求項１記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項３】
前記第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことを検知する検知部と、
前記第１及び第２のアーム支持部の距離が、あらかじめ決められた距離以下になったことが前記検知部によって検知された場合に、警告を出力する警告出力部と、をさらに備えた、請求項１または請求項２記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項４】
前記第１の上下駆動部は、前記第１のアーム支持部の移動中に前記警告が出力された場合には、当該移動を中止し、
前記第２の上下駆動部は、前記第２のアーム支持部の移動中に前記警告が出力された場合には、当該移動を中止する、請求項３記載のダブルアーム型ロボット。
【請求項５】
前記基台をさらに備えた、請求項１から請求項４のいずれか記載のダブルアーム型ロボット。
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１】
【図２】
【図３】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−２４９００（Ｐ２０１２−２４９００Ａ）
【公開日】平成２４年２月９日（２０１２．２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６７８０５（Ｐ２０１０−１６７８０５）
【出願日】平成２２年７月２７日（２０１０．７．２７）
【出願人】（３９００００５９４）株式会社レクザム (64)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月９日（２０１２．２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２７日（２０１０．７．２７）
【出願人】（３９００００５９４）株式会社レクザム (64)
【Ｆターム（参考）】
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