【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に支持されて昇降する昇降ベース２と、昇降ベース２に対して垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持された第１アーム３と、第１アーム３の先端に対して垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持された第２アーム４と、第２アーム４の先端に対して垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されたハンド５Ａと、ハンド駆動機構６Ａと、を備え、ハンド駆動機構６Ａは、第１アーム３の内部に配置されたモータ６１ａと、第１ないし第２アーム３，４の内部に配置され、モータ６１ａの出力をハンド５Ａに伝達する伝動機構６２ａと、を含む。モータ６１ａと伝動機構６２ａの一部とを第１アーム３の内部空間に配置することで、第２アーム４先端の伝動機構６２ａの高さおよび固定ベース１ないし昇降ベース２の高さが低くなる。 （もっと読む）

【課題】２段のピンセットによる搬入出動作を同じタイミングで行い、基板搬送に係る処理時間を短縮する。
【解決手段】基台上に相対向して立設された一対の第一及び第二の昇降軸７，８と、前記第一の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第一のピンセット１５をステージに対し進退移動させる第一の進退移動手段１３と、前記第一の進退移動手段を前記第一の昇降軸に沿って昇降移動させる第一の昇降手段１１と、前記第二の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第二のピンセット１６をステージに対し進退移動させる第二の進退移動手段１４と、前記第二の進退移動手段を前記第二の昇降軸に沿って昇降移動させる第二の昇降手段１２と、前記第一及び第二の進退移動手段の駆動制御、及び前記第一及び第二の昇降手段の駆動制御を行う制御手段１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットに、３次元の作業に必要十分な構成を与えつつも、その操作について特にスクーリングを必要とせず誰でも視覚的・経験的にティーチング及び操作が可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボット１が、アーム２と、アームを支えることが可能な柱部材３と、柱部材の土台４とを備える産業用ロボットであって、アームは、柱部材に対して、アーム先端部２２からの長さを水平方向に手動で調節可能に取り付けられ、かつ上下（Ｚ軸）に自動でスライド可能であり、柱部材は、土台に対して鉛直線を軸として手動で回転可能に設けられており、かつ自動で水平方向にスライド可能に取り付けられ、ティーチング及び操作機器として、少なくとも１つの十字キー又はレバーと複数のボタンを有するゲームコントローラ６を備えていることからなる。 （もっと読む）

【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット５０は、第１及び第２ハンド５２，５３を備えている。第１及び第２ハンド５２，５３は、基板６を夫々保持する２つのブレード５６を有している。また、搬送ロボット５０は、回動ユニット、第１進退ユニット、第２進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら４つのユニットにより第１及び第２ハンド５２，５３を基板６が載置されている基板搬送中継装置２５及び４つのプロセスチャンバ２３に夫々移動させることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】基板の位置ずれを検出することが可能な基板搬送用ハンド、基板搬送用ロボットシステム、基板位置ずれ検出方法を提供する。また、基板位置補正方法を提供する。
【解決手段】基板搬送用ロボットシステム１０は、基板Ｗの下面に接触する接触部Ｐ_ＢＬ、Ｐ_ＦＬ、Ｐ_ＢＲ、Ｐ_ＦＲ及び接触部Ｐ_ＢＬ、Ｐ_ＦＬ、Ｐ_ＢＲ、Ｐ_ＦＲに接触した基板Ｗの重心位置を検出するための複数のセンサＳ_ＢＬ、Ｓ_ＦＬ、Ｓ_ＢＲ、Ｓ_ＦＲが設けられた基板搬送用ハンド６０を有する基板搬送用ロボット２０と、１）基板搬送用ハンド６０上の基準となる位置にて基板Ｗが支持された際の各センサＳ_ＢＬ、Ｓ_ＦＬ、Ｓ_ＢＲ、Ｓ_ＦＲの検出値である基準値と現在の各センサＳ_ＢＬ、Ｓ_ＦＬ、Ｓ_ＢＲ、Ｓ_ＦＲの検出値との差分をそれぞれ演算する差分演算部７０及び２）各差分に基づいて基板Ｗの位置ずれ方向を判断する第１の判断部７２を有する第１の制御装置３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】昇降駆動手段において必要となる昇降駆動力を低減することができる搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明の搬送ロボットは、第１軸線周りに回転可能に構成された第１リンク部材と、第１軸線に対して所定距離に位置する第２軸線周りに回転可能に構成された第２リンク部材と、第２軸線に対して所定距離に位置する第３軸線周りに回転可能であり且つ物品を保持可能に構成された保持部材と、少なくとも保持部材を昇降駆動するための昇降駆動手段と、を備える。第１リンク部材、第２リンク部材、及び保持部材が、この順番で連結されてアームリンク機構を構成しており、昇降駆動手段が、第１リンク部材と保持部材との間に配置されてアームリンク機構の一部を構成している。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド７に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点ＰＳに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、Ｒ方向に所定距離ＬＲ０離れた第１指標７３と第２指標７４とを設ける。第１指標７３が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を基準位置として、基準位置から、第２指標７４が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置までの変位量ＬＲを算出し、この変位量ＬＲと指標７３，７４間の距離ＬＲ０との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を、当該Ｒ方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 （もっと読む）

【課題】電動モータの駆動力の増大を抑制した態様にて、ロボットの伸縮動作を確保すること。
【解決手段】フレーム間の相互変位に応じて伸縮可能に構成されたロボット１００であって、ロボット１００の基端側から先端側へ順に配置されるべきフレーム１４、１３、１５と、電動モータ１から供給される駆動力に基づいてフレーム１３を先端側へ駆動する駆動手段と、駆動手段と協調してフレーム１３を先端側へ付勢する付勢手段と、駆動手段及び付勢手段によるフレーム１３の先端側への搬送に同調して、前記フレーム１３からみてフレーム１４、１５を互いに逆方向へ搬送する搬送機構と、を備える。例えば、付勢手段は、ガススプリングから構成される。 （もっと読む）

【課題】基板カセットと基板受け渡し先との間でガラス基板の受け渡しを効率良く行うことのできる廉価でコンパクトな構成の基板搬送装置を提案すること。
【解決手段】基板搬送装置２は、ガラス基板７の縁端をクランプしエアー浮上させた状態で、基板カセットからガラス基板７を引き抜くので、狭い間隔で高密度に収納されているガラス基板を引き抜くことができ、エアー浮上状態でガラス基板７を移動させるので、ガラス基板に損傷、異物付着が生じない。基板載置面に引き込まれたガラス基板を基板支持アームで支持し、この状態で基板搬送装置２が収納先の基板カセットまで移動し、基板支持アームによってガラス基板を引き渡し先に渡す。一台で基板カセットからのガラス基板の引き抜き、移送、基板受け渡し先への引き渡しを行うことができ、設置スペースが少なくて済む廉価でコンパクトな基板搬送システムを構築できる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により作業時の安定性を確保できるロボット及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるロボット１は、ロボット本体１１、アーム１２、台車１３、センサ１４を備える。アーム１２は、ロボット本体１１に連結され、関節機構及び伸縮機構のうち少なくともいずれか一方を有する。センサ１４は、ロボット本体１１の周囲に存在する物体を検知する。ロボット１は、アーム１２が稼働する場合、台車１３によりセンサ１４が検知した物体に接近し、ロボット本体１１の一部を当該物体に当接させる。 （もっと読む）

【課題】アームの旋回位置によってアーム先端部における重力方向の変位差が生じ得るという不具合や、昇降部の上昇時に基台本体部の内部空間の埃等が舞い上がって基台の外部に放出され得るという不具合を抑制・防止可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】起立壁３３に正対した場合に、シータ軸Ｊ及び昇降軸（ネジ軸６１）の各軸心Ｊｃ，６１ｃを、起立壁３３の幅方向中央部３３ｃと一致させ、且つ、昇降部４を最下降させた状態で基台本体部３の内部空間で起立壁３３の高さ方向中間点３３ｈより下方に存在する部品、すなわち昇降駆動用モータ７、リニアガイド部８（ガイドレール８１）、可動部６２（可動部６２を構成するナット体６２１、ナット保持体６２２、被ガイド体６２３）、排気口９に付帯させたファンを、起立壁３３の幅方向中央部３３ｃを中心に左右対称となるように配置した。 （もっと読む）

【課題】棚の上などにおいた荷物を所定位置に好適に押すことのできる荷物移送用ロボットを提供する。
【解決手段】荷物移送用ロボット１であって、車輪２ｄを有するベース２と、ベース２に対して傾動可能に設けられるボディ３と、ボディ３をベース２に対して傾動させる傾動装置８と、ボディ３に対して動作可能に設けられるアームと、アームをボディ３に対して動作させる動作装置１０，１１と、制御装置１２を有する。制御装置１２は、傾動装置８を制御してボディ３をベース２に対して傾動させてボディ３の傾動方向の反対側にスペース１８を形成し、かつスペース１８を形成した時に動作装置１０，１１を制御してスペース１８にアームの一部または全部を移動させる制御モードを有する。 （もっと読む）

【課題】昇降部の上昇動作に伴って基台本体部内で舞い上がる粉塵が昇降部と基台本体部との隙間から上方へ放出されることを、ファンや排気口による排気機能や、シール部材によるシール機能に依存することなく、しかも昇降部の昇降速度を制限することなく、防止・抑制可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームを支持する基台を、基台本体部３と、基台本体部３の天井壁３２に形成した開口部３ａを通じて基台本体部３に対して昇降可能な昇降部４と、基台本体部３の内部空間３Ｓの上部及び下部に連通して内部空間３Ｓの空気を循環させる流路６とによって構成し、流路６のうち基台本体部３の内部空間３Ｓの上部に連通する上側流路口６１の開口断面積を、天井壁３２に形成した開口部３ａと昇降部４との隙間の断面積よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材７とを備えている。柱状部材７は、支持部材６を保持する柱部１８と、柱部１８を保持する柱部１７とを備えている。柱部１７、１８は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持し、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。 （もっと読む）

【課題】独立して２組の多関節アームの高さを変化可能なダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】第１及び第２の多関節アーム１２、第１の多関節アーム１１の一端が回動可能に連結される第１のアーム支持部１６と、第２の多関節アーム１２の一端が回動可能に連結される第２のアーム支持部１７と、第１及び第２のアーム支持部１７の第１及び第２の多関節アーム１２と反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２をそれぞれ回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２のハンド部２３，３３をそれぞれ回動させる第１及び第２の関節回動部と、第１及び第２のアーム支持部１６，１７を基柱１４に対してそれぞれ独立して移動させる第１及び第２の上下駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】アームを支持する支持部材を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材を備えている場合であっても、比較的簡易な構成で、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が連結されるアーム４と、アーム４を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９と、基台８に対して柱状部材７を上下方向に直交する所定方向へ相対移動させる移動機構１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ハンドの先端と周辺機器とが衝突したときの衝撃が大きい場合であっても、ハンドの損傷を軽減することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】搬送対象物２を搬送する産業用ロボット１は、搬送対象物２が搭載されるハンド３と、産業用ロボット１の周辺機器にハンド３の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド３が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド３は、ハンド３の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド３の先端が衝突したときにハンド３の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】容易かつ迅速に対象物を任意の空間位置で固定することのできるアーム装置を提供する。
【解決手段】着脱自在に取り付けられた対象物Ｏを任意の空間位置で固定するためのアーム装置１であって、基台２に設けられた第１の関節機構３と、基端部４１が前記第１の関節機構３によって継合され、当該第１の関節機構３によって軸回りの回動と角度の変位とこれらの動作のロックとが行われ、先端部４２に前記対象物Ｏを着脱自在に取り付ける対象物着脱手段６を備えるアーム部４と、前記基端部４１と前記先端部４２との間に、前記アーム部４の軸回りの回動と角度の変位とこれらの動作のロックとを行う少なくとも１つの第２の関節機構５と、を有し、第１の関節機構３および第２の関節機構５はともに、伸縮する軸部材７１の伸縮に応じて縮径および拡径するように固定されたボール部７２を有するボールジョイント７４であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡素な構造で緩衝作用が得られる構造を備えるロボットアームの提供。
【解決手段】 ＸθＺ駆動方式ロボットのロボットアームにおいて、θ軸回転手段７で旋回する第１アーム１と、当該第１アーム１の先端部に連結し上下左右に揺動可能な第２アーム２を備えてなり、当該第２アーム２の先端部に作業部を備え、前記第１アーム１の先端部に横揺動軸４を支持し、当該横揺動軸４に前記第２アーム２の基部が支持する縦揺動軸５を支持し、前記第１アーム１と第２アームとの間に緩衝手段６を備え、当該緩衝手段６は、第２アーム２を第１アーム１に対する定常姿勢へ誘導する姿勢維持手段と、第２アーム２を第１アーム１に対する定常姿勢から第２アーム２の先端部を左右及び上方へ誘導可能な退避手段を備えるロボットアーム。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームで使用可能でタクトタイムを短縮できる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】ワークを載置するハンド８と、前記ハンド８を前記ワークの所定の位置から取り出しおよび供給するアーム２と、前記アーム２と上下移動機構１１が支持部材１０により連結され、前記上下移動機構１１の下部に台座１３が設けられ、前記台座１３が旋回する基台１４に振り子ストッパ１７が備えられたものである。 （もっと読む）