【課題】旋回移動されるアーム間に高い信頼性のもとに、しかも容易に外部配線を敷設することのできる多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】水平多関節ロボットは、第１のアーム１３を回転軸１２の軸心Ｃ１を中心として回動可能に支持する基台１１と、回転軸１２に平行な支持軸１４の軸心Ｃ２を中心として第１のアーム１３に回動可能に支持される第２のアーム１５とを備える。基台１１には第１保持部材２１が、第２のアーム１５には第２保持部材２５がそれぞれ固定される。そして、管形状の内部空間に外部配線が配置され、第１保持部材２１に保持され軸心Ｃ１の延長上にて回転軸１２に対して回動可能な基端部３１ａと、第２保持部材２５に保持され軸心Ｃ２の延長上にて支持軸１４に対して回動可能な先端部３１ｂとを有する配線ダクト３１を備える。配線ダクト３１を基端部３１ａと先端部３１ｂとの間で管の軸方向に沿って外周が分断される割体とする。 （もっと読む）

【課題】２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供する。
【解決手段】同軸配置された第１および第２の駆動軸と、第１の駆動軸に連結され、第１の駆動軸から２方向に延びる第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御機構と、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御機構と、第２の駆動軸に連結された操作用アームと、第１および第２の姿勢制御機構をそれぞれ操作する第１および第２の操作機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】アームの旋回移動を妨げることなくモータなどの発熱体から伝達される熱を効率よく放熱する機能を有する放熱機能付き旋回型アーム、及び該旋回型アームを備える水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】回転軸としての軸心Ｃ２を中心として旋回移動する熱伝導性の材料からなるアームの筐体２０に伝達される熱を放熱する機能を有する放熱機能付き旋回型アームには、その旋回移動方向に面する側面部２０Ｓに同アームの筐体２０の旋回軌跡と非平行な突条からなる複数の放熱フィン２０Ｆが設けられている。各放熱フィン２０Ｆは、上下方向に対して筐体の長さＨ１よりも短い長さＨ２に形成されており、天板２３と放熱フィン２０Ｆの上端Ｆ２との間にはそれぞれ突条の突出方向と交差する方向に空気を流通させる高さが通路幅Ｈ３の流通路が設けられている。 （もっと読む）

【課題】教示治具によって教示するマニピュレータにおいて、教示治具から導出される光ファイバやケーブルが周辺装置に干渉しないようにすること、またそれらのケーブルを適切に配線して教示精度を上げること。
【課題を解決するための手段】基板あるいは教示治具２１０を保持可能なハンド２５と、ハンド２５を支持するアーム部２４とを備え、教示治具２１０を保持した状態のハンド２５で検出対象物を検出して教示を行なう基板搬送用マニピュレータにおいて、アーム部２４の先端に回転可能に支持され、ハンド２５を固定するハンド基端部２５１にコネクタ接続部２６１を設け、教示治具２１０から導出された教示治具用信号伝達ケーブル２１１の端部に、コネクタ接続部２６１に接続可能なコネクタ２６を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的小さな設置面積に配置でき、上下への昇降範囲が広くできるとともに、安全にワークを移送することが可能な移送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４を一方向に移動させるアーム機構３０と、アーム機構３０を上下に移動する昇降機構２０を備えた移送ロボットにおいて、前記昇降機構２０が、ベース部材２に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され、リンク機構の関節軸の方向がハンド部１４の移動方向と同じとなるよう配置し、ハンド部１４が２組のリンク機構の間で昇降するよう動作させる。また、ハンド部１４のローリング方向、横ずれ動作などを行なう。 （もっと読む）

【課題】多関節マニピュレータの先端を所定の位置に精度よく位置制御することのできる多関節マニピュレータの先端位置制御方法を提供する。
【解決手段】軸回りに回転する複数の関節軸２，４と、これらの関節軸２，４からその径方向に延伸する複数のアーム１，３とを備えた多関節マニピュレータ５の先端を位置制御する方法であって、アーム１，３の各先端部に装着されたジャイロセンサ９，１０の出力から関節軸２，４の回転角度と回転速度を求めて多関節マニピュレータ５の先端を位置制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく、基板保持部に基板を受け渡すこと。
【解決手段】基板Ｐを保持する基板保持部としてのプレートホルダ９に基板Ｐを搬送する搬送装置は、基板Ｐを支持する支持装置としての搬送ハンド１２と、搬送ハンド１２を駆動し、プレートホルダ９からの搬送ハンド１２の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつその一部の高さ及び他部の高さを減少させて、搬送ハンド１２が支持する基板Ｐをプレートホルダ９に受け渡す駆動装置１３，１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットにおいて、直動軸を覆う蛇腹状カバーの異常変形を防止する。
【解決手段】直動軸５の停止時には、ブロアが所定量の空気を第２アーム４内から吸引し、第２アーム４内を所定の負圧圧力に保持する。直動軸５が蛇腹状カバー２１を伸長（収縮）させる方向に移動するとき、その移動に先立つ所定時間前に、ブロアの吸引空気量を減少（増加）させて第２アーム４内の圧力を上昇（低下）させ、その第２アーム４内の圧力上昇（低下）の影響が蛇腹状カバー２１内に及ぶ頃、直動軸５が下降（上昇）するようになす。すると、直動軸５の下降に伴う伸長による蛇腹状カバー５の内圧減少（増加）と、第２アーム４の内圧上昇（低下）による蛇腹状カバー５の内圧上昇（低下）とが相殺されるようになる。 （もっと読む）

【課題】 搬出時間を短縮し、半導体ウエーハ搬出時の半導体ウエーハの破損を防止可能な半導体ウエーハ加工装置を提供することである。
【解決手段】 半導体ウエーハを収容するカセットと、該カセットが載置されるカセット載置台と、該カセットに収容された半導体ウエーハを搬入・搬出する搬送手段とを備えた半導体ウエーハ加工装置であって、該カセットは、１枚の半導体ウエーハが表裏面を略水平方向とする向きで収容される複数のウエーハ収容部と、半導体ウエーハを該カセットに搬入・搬出する該搬送手段に対向した開口部とを有し、該開口部に対峙して配設され、該カセットの複数のウエーハ収容部を撮像する撮像手段と、該カセット載置台と該撮像手段とを相対的に垂直方向へ移動する移動手段と、該撮像手段で撮像された撮像画像を解析して半導体ウエーハの収容状態を判別する判別手段と、該判別手段で判別した判別結果を記憶する記憶手段と、を更に備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットにおいて、直動軸を覆う蛇腹状カバーの異常変形を防止する。
【解決手段】外気を蛇腹状カバー１９内に吸入する吸気路２８の途中にチャンバ３０を設け、このチャンバ３０を狭い内側連通路３１を介して蛇腹状カバー１９内に連通させる。そして、チャンバ３０内の空気を、直動軸５に形成された吸引路３２により吸引することにより、収縮時に蛇腹状カバー１９内の空気が内側連通路３１を通じてチャンバ３０内に流れるようにする。これにより、蛇腹状カバー１９内の圧力を、従来よりも、内側連通路３１の空気流通による圧力損失分だけ高くでき、伸長時に蛇腹状カバー１９内の圧力が低下しすぎて蛇腹状カバー１９が異常変形するといった事態の発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの引っ掻き傷や粒子による汚損を最少にして半導体ウエハを確実に移送し得る試料把持用端部エフェクタを提供すること。
【解決手段】光源、及び受光部に作動するように連結された本体を有する端部エフェクタを設け、前記光源、及び受光部は離間するそれぞれの光源光路開口、及び受光路開口を有し、これ等開口の間に光透過路に沿って光ビームが伝搬し、これ等光ビームが既知のビーム形状であるように前記光源光路開口、及び受光路開口の寸法を定め、前記試料と本体との空間を狭くするため、これ等試料と本体との間の相対運動を与え、前記相対運動を与えることに組み合わせて、前記光透過路に交差するように前記試料を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドに対して電動グリッパを取り付けたロボットにおいて、簡素な構成で、しかも簡単に電動グリッパを制御する。
【解決手段】グリッパ制御部４には共有メモリ４２が設けられており、当該共有メモリ４２に対してバスライン６を介してロボット本体制御部３がアクセス可能となっている。そして、ロボット本体制御部３がコマンドおよびＳＴＡＲＴ信号を共有メモリ４２に書き込むと、当該コマンドに基づきグリッパ制御部４がグリッパ本体２を駆動制御して当該コマンドに応じた動作が実行される。このように共有メモリ４２を介してロボット本体制御部３からグリッパ制御部４へのコマンド供給が行われてグリッパ本体２が動作する。したがって、ロボット本体制御部３がコマンドおよびＳＴＡＲＴ信号を共有メモリ４２に書き込むことでグリッパ本体２を駆動制御することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来装置に在ったタイムラグ等によりデッドロック状態の発生等も見られた干渉防止装置の欠点が取り除いた複数個のスカラ型ロボットを使用してワークを加工する装置を提供する。
【解決手段】 作業領域を共有する複数個のスカラ型ロボットを並べて作業する装置の干渉防止方法において、現在加工中のワークと次のワークとの間隔を決定し、加工中のワーク上に境界線を決定するとともに、この境界線の前後に夫々隣り合うロボットハンドの作動範囲決定し、さらに隣のロボットのハンドに届かぬ位置にロボットアームの動作を選択的に止める機械的ストッパを設けてなる複数個のスカラ型ロボットを並べて作業する装置の干渉防止方法とした。 （もっと読む）

【課題】省スペース化と高スループット化を図ったウェーハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】昇降可能な支持台２００と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第１アーム部２０１と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第２アーム部２０２と、第１アーム内に設けられ、第１及び第２アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構２２１，２２２とで構成される水平多関節ロボット２２０と、第２アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された２つの機械式リンクアーム２４１，２４２と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ２０８，２０９とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム２４０とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第２アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。 （もっと読む）

【課題】アームの質量及び慣性を低減可能として、アームとしての応答性能や位置決め精度を高く維持することのできるスカラロボットの手首軸回転駆動機構を提供する。
【解決手段】手首軸１６にはそれを回転させるためのスプライン溝１６ｓが形成されている。手首軸１６の挿通されるスプラインナット２２は、固定筒２２ａと回転筒２２ｂからなり回転筒２２ｂが回転されると、スプライン溝１６ｓに嵌合されるベアリングを介して手首軸１６が回転される。回転筒２２ｂには第３モータＭ３の駆動力が回転動力の伝達機構により伝達される。すなわち第３モータＭ３からの回転動力が、基端側プーリ２３からタイミングベルト２６を介して先端側プーリ２５に伝達され、同プーリ２５に連動するピニオンギア２７に噛合されるシザーズギア２８から回転筒２２ｂに伝達される。これにより、第３モータＭ３の正逆回転により手首軸１６が正逆回転されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられた回転駆動装置における駆動用回転軸が短く、小型化及び軽量化を図れることを利用し、装置を大型化することなく、設計上及びコスト上の負担の少ない上下移動機構を有する回転駆動装置を提供すること。
【解決手段】駆動用回転軸１１７，１２７の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸１３９の昇降により前記駆動用回転軸１１７，１２７を同時に上下に移動させる上下移動機構を配置する。 （もっと読む）

【課題】衝突を精度良く検出できるとともに、誤判定による発生頻度を低減することができるようにした衝突検出装置及び方法並びにロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボットの衝突検出装置であって、関節部により回転可能に連結された先端側部材に取り付けられ、少なくとも先端側部材の回転面内の加速度を、角方向成分が前記先端側部材を駆動する関節の回転方向と一致する先端側部材に固定される極座標の動径方向成分と角方向成分として検出する多軸加速度センサ１５と、多軸加速度センサ１５の出力値を含む複数種類の判定用パラメータに基づいて衝突を判定する手段２１１と、ロボットの運転状態を取得する手段２３０と、運転状態に基づいて、ロボット２が衝突が生じたと判定するための判定条件を変更する手段２０１，２３５とを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成と省スペースを実現できるダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物２，３が載置されるハンド部２３，３３、各々が関節部で回動可能に連結された複数のアーム２１，２２，３１，３２を有し、ハンド部２３，３３がアーム２２，３２の一端に関節部で回動可能に連結される、第１及び第２の多関節アーム１１，１２と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の一端が、基端の関節部によって各々回動可能に連結されるアーム支持部１３と、アーム支持部１３の一端を鉛直方向に移動可能に保持し、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部で回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２における基端の関節部以外の関節部での回動を行わせる第１及び第２の関節回動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送過程におけるウェハーが微粒子に汚されて、ひいては工程の結果に影響することを無くすことのできるウェハーの汚れを予防するためのミニクリーンルーム本体構造を提供する。
【解決手段】ウェハー６の汚れを予防するためのミニクリーンルーム本体構造は、ロボットアーム１と、クリーンルーム本体２と、少なくとも一つの閉合手段３とを含み、前記クリーンルーム本体は、前記ロボットアームに摺接し、前記閉合手段は前記クリーンルーム本体に回転自在に接続される。ウェハーを搬送する際に、前記ロボットアームが前記クリーンルーム本体内に縮んで戻され、前記クリーンルーム本体により遮断保護の空間を提供し、ウェハーが汚されるのを防ぐ。本発明は、さらに、ウェハーの汚れを予防するためのミニクリーンルーム本体構造の使用方法を提出した。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】ベルト１１１の張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、テンション調整機構が、ベルト１１１に接触して張力を与えるアイドラ１３１と、アイドラ１３１を支持するとともにアームに対して第１支点１１９で回転可能に設けられたリンク１１８と、アームに対して第２支点１１７で回転可能に設けられ、リンク１１８の一部に接触するローラと、を備え、アームの温度上昇に伴って第１支点１１９と第２支点１１７とが離れると、リンク１１８がローラ１１７に接触しながら第１支点１１９で回転して張力を軽減するようにした。 （もっと読む）