搬送ロボット、円盤状搬送対象物アライメント方法
【課題】単一のセンサを利用してハンドに載置したウェーハの位置と正規の載置位置との差異を正確に求め、ウェーハを正確に搬送する。
【解決手段】ハンドに載置したウェーハ7のセンサ6に対する通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7がセンサ6を通過する距離と、ウェーハの半径とを利用して、ハンドに載置したウェーハ7の位置と正規の載置位置との差異を求める載置位置差異算出手段42と、その差異を旋回軸31a及びアーム2のロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段43と、その補正値を出力する補正値出力手段44とを有する搬送ロボット1とした。
【解決手段】ハンドに載置したウェーハ7のセンサ6に対する通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7がセンサ6を通過する距離と、ウェーハの半径とを利用して、ハンドに載置したウェーハ7の位置と正規の載置位置との差異を求める載置位置差異算出手段42と、その差異を旋回軸31a及びアーム2のロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段43と、その補正値を出力する補正値出力手段44とを有する搬送ロボット1とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェーハ等の円盤状搬送対象物を搬送する搬送ロボット、及びその搬送ロボットを用いた円盤状搬送対象物のアライメント方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来より、ウェーハ等の円盤状搬送対象物をアームの先端部(以下「ハンド」と称する)に載置して保持した状態で所定の移載位置へ搬送可能に構成された搬送ロボットが知られている。例えば搬送対象物がウェーハである場合、ウェーハは精密な円盤状(但し、ノッチやオリエンテーションフラット等の切欠が形成される場合もある)に製造されているため、搬送されるウェーハごとに誤差はないものと考えられる。このような搬送ロボットにおいて、円盤状搬送対象物がハンド上における正規の載置位置に載置されていれば、アームが適宜の動作を行うことにより、ハンド上の円盤状搬送対象物を正規の移載位置へ搬送することができる。
【0003】
しかしながら、円盤状搬送対象物がハンド上における正規の載置位置から僅かにでも変位した(ずれた)位置に載置されていれば、その変位量に応じて正規の移載位置から変位した位置に円盤状搬送対象物を搬送してしまうことになる。
【0004】
下記特許文献1には、ハンド上に載置された円盤状搬送対象物の搬送路を横切る方向に所定ピッチで複数(実施例では3つ)のセンサを設け、搬送中の円盤状搬送対象物が各センサを通過した際に、センサ毎に通過する円盤状搬送対象物の先端(搬送方向の先端)及び後端(搬送方向の後端)を検出し、計6つの検出値に基づいてハンド上に載置された円盤状搬送対象物の中心を検出するシステム及び方法が開示されている。具体的には、エンド上に載置された円盤状搬送対象物の中心を計算するステップとして、先ず、搬送路に略平行に決められた座標軸(X軸)に沿って円盤状搬送対象物の中心を決め、次にそのX軸上の中心座標を用いて第2の座標軸(Y軸)に沿って円盤状搬送対象物の中心を決めるステップが開示されている。なお、特許文献1において、Y軸は3つのセンサの中心線、すなわち各センサの中心を通る線であり、XY座標系の原点は3つのセンサのうち中央のセンサの位置によって決定されている。また、Y軸に沿って円盤状搬送対象物の中心を決める際には、搬送の都度、複数のセンサによるセンシング値に基づいて計算した円盤状搬送体対象物の半径を用いている。さらに、特許文献1には、複数のセンサによる少なくとも4つ以上の検出値に基づいてハンド上に載置された円盤状搬送対象物の中心位置を検出するとともに、選択点(円盤状搬送対象物の正規の移載位置)にアーム及び円盤状搬送対象物を移動させるという考えが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開昭64−48443号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献1に開示されている態様は、搬送路を横切る方向に複数のセンサを配置することが前提となるため、高コスト化を招来するとともにメンテナンスの回数も必然的に増加し得る。
【0007】
さらに、特許文献1では、ハンド上における円盤状搬送対象物の中心を求めるに際してXY座標系を用いているが、各センサの中心を通る線をY軸とし、座標系の原点を中央センサの位置で決定しているため、各センサ、特に中央センサに高い取付精度が要求される。そして、これら各センサを幾ら高精度で取り付けたとしても僅かな誤差が生じることは避けられないのが実情である。
【0008】
したがって、ハンド上における円盤状搬送対象物の中心を求める際、特に、Y軸に沿って円盤状搬送対象物の中心を決める際に、各センサの取付誤差やセンサの性能による影響を完全に除外しないことには、搬送の度に算出される円盤状搬送体対象物の半径と、その半径に基づいて算出される円盤状搬送対象物の中心が正確な値であることを保証するのは困難であると考えられる。このことは、すなわち、ハンド上における円盤状搬送対象物の実際の載置位置と正規の載置位置との差異を正確に算出できていない可能性があることを意味する。特に、特許文献1に記載の技術では、複数のセンサを設ける必要性から、センサ毎の性能差や配置誤差は必然的に大きくなりがちである。
【0009】
本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、1つだけのセンサを利用しながらも、搬送ロボットのハンドに載置保持した円盤状搬送対象物の位置と正規の載置位置との差異を正確に求め、円盤状搬送対象物を正確に搬送することができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
すなわち本発明は、基端部を旋回軸回りに旋回させながら先端部のハンドに載置して保持した円盤状搬送対象物を搬送可能なアームと、アームの基端部を旋回可能に支持する旋回軸を有する本体部と、アーム及び旋回軸の作動を制御する制御部とを備えた搬送ロボットに関するものである。
【0011】
ここで、第1軸と第2軸との交点、つまり直交座標系の原点は、先端部にハンドを有するアームの基端部を旋回可能に支持する旋回軸の中心であるため、アームとは別体であるセンサの取付位置自体を直交座標系の原点とする態様と比較して、原点自体に誤差が生じる可能性を排除することができる。また、円盤状搬送対象物は、円盤状のものであればよく、例えばウェーハや液晶等が挙げられる。
【0012】
そして、本発明の搬送ロボットは、旋回軸の中心を通る前記ハンドの正規の移動線である第1軸と、第1軸を含む水平面内において第1軸と直交し旋回軸の中心を通る第2軸とによって規定される直交座標系上における円盤状搬送対象物の移動を、搬送路上において搬送対象物が通過する所定位置に設けられた単一のセンサによって検出可能に構成し、制御部が、ハンドに載置した円盤状搬送対象物に単一のセンサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる円盤状搬送対象物のセンサに対する第1軸方向の通過距離と、前記ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して円盤状搬送対象物のハンド上の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出手段と、載置位置差異算出手段によって算出した載置位置の差異に基づいて、差異を旋回軸及びアームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段と、補正値算出手段で算出した補正値を出力する補正値出力手段とを有することを特徴としている。
【0013】
ここで、制御部は、本体部に内蔵又は付帯されるものであっても、本体部の外部に設けられるものであってもよい。また、本発明において「ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離」とは、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した実際の円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離を意味し、それに代えて、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物とみなすことができる代替物(例えば後述する実施形態における治具等)がセンサを通過する距離を採用することもできる。さらに、本発明における「円盤状搬送対象物の半径又は直径」とは、搬送される円盤状搬送対象物の実際の半径又は直径、或いはセンサ側の事情による誤差(取付誤差や個体ごとの性能誤差等)を考慮に入れた搬送中の円盤状搬送対象物の計算上の半径又は直径(実際に搬送される円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とは僅かに異なる場合がある)のことを意味している。
【0014】
そして、厳密に製造される実際の円盤状搬送対象物において、半径又は直径の値は個体毎の誤差が殆ど無いということを前提にして、本発明の搬送ロボットは、少なくとも、ハンド上に載置保持した実際の円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離とを、搬送路上の所定箇所に実際に取り付けた単一のセンサによるセンシング値に基づいて特定し、これら各値に加えて、予め取得している円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を利用して、制御部の載置位置差異算出手段により、ハンド上に載置保持した円盤状搬送対象物の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における正確な差異を求めるようにしている。
【0015】
さらに、本発明の搬送ロボットは、補正値算出手段において、載置位置差異算出手段で求めた円盤状搬送対象物の直交座標系上における差異を、ロボット動作極座標系における補正値に変換して算出し、その補正値を補正値出力手段で出力しているように構成しているため、ロボット動作極座標系における補正値もセンサの取付誤差やセンシング機能のばらつきを排除した正確な値になる。なお、本発明の搬送ロボットは、補正値出力手段で出力したロボット動作極座標系における補正値に基づいて旋回軸やアームを作動させて、円盤状搬送対象物を正規の移載位置へ移載させる態様、又は補正値出力手段によりロボット動作極座標系における補正値を、円盤状搬送対象物を受け取る側の装置に出力し、円盤状搬送対象物を受け取る側の装置で円盤状搬送対象物の受取位置を調整する態様、これら何れをも包含するものである。
【0016】
また、本発明では、円盤状搬送対象物の搬送路上に配置した単一のセンサを利用してハンド上の円盤状搬送対象物の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を正確に算出することが可能であるため、搬送路上に複数のセンサを配置する態様と比較して、センサ毎の性能差や配置誤差については考慮する必要がなくなり、低コスト化及びメンテナンス回数の低減化をも図ることができる。
【0017】
また、本発明に係る円盤状搬送対象物アライメント方法は、上述した搬送ロボットのハンドに載置保持した円盤状搬送対象物にセンサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる円盤状搬送対象物のセンサに対する第1軸方向の通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して円盤状搬送対象物のハンド上の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出ステップと、載置位置差異算出ステップによって算出した載置位置の差異に基づいて、この差異を旋回軸及びアームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値を算出する補正値算出ステップと、補正値算出ステップで算出した補正値を出力する補正値出力ステップとを有することを特徴としている。
【0018】
また、本発明の円盤状搬送対象物アライメント方法では、補正値出力ステップで出力した補正値に基づいて、旋回軸及びアームを、ハンドに載置している円盤状搬送対象物を正規の移載位置に移動させるように動作させる補正制御ステップをさらに有するようにすることもできる。
【0019】
このような円盤状搬送対象物アライメント方法であれば、適宜の演算処理で求めたハンド上の正規位置に置かれた際にセンサが横切る弦の長さと、ハンド上に載置した円盤状搬送対象物を搬送する際に単一のセンサで通過開始点及び通過終了点がセンシングされることで、その円盤状搬送対象物に対してセンサが横切った弦の長さを把握することができるため、第1軸方向の変位量(ズレ量)を算出でき、あわせて円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を利用して、第2軸方向の変位量も算出することができる(載置位置差異算出ステップ)。したがって、その算出値を搬送ロボットの動作極座標系上の値に変換して算出し(補正値算出ステップ)、その補正値を出力することによって(補正値出力ステップ)、ハンド上の円盤状搬送対象物を正規の移載位置に的確に搬送することができる(補正制御ステップ)。なお、本発明の円盤状搬送対象物のアライメント方法は、補正値出力ステップにおける補正値の出力先が、円盤状搬送対象物をこの搬送ロボットから受け取る側の装置であってもよい。この場合、円盤状搬送対象物を受け取る側の装置が、搬送ロボットから提供された補正値に基づいて円盤状搬送対象物の受取位置を適宜調整するように構成することが好ましい。
【発明の効果】
【0020】
本発明によれば、1つだけのセンサを利用しながらも、円盤状搬送対象物の半径又は直径の値と、センサに対する実際の円盤状搬送対象物の通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離とを利用して、ハンド上に載置した円盤状搬送対象物の載置位置と正規の載置位置との差異を正確に求めることができる。また、この算出値に基づいて搬送ロボットの旋回軸やアームを動作させることによって、円盤状搬送対象物を正規の移載位置に高精度で搬送することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットの全体構成概略図。
【図2】同実施形態においてハンドが受渡位置にある搬送ロボットの図1対応図。
【図3】同実施形態においてハンドが搬送初期位置と受渡位置との間にある搬送ロボットの模式図。
【図4】同実施形態で用いる治具を正規位置測定姿勢でハンドに取り付けた状態を示す模式図。
【図5】同実施形態で用いる治具を非正規位置測定姿勢でハンドに取り付けた状態を示す模式図。
【図6】同実施形態に係る搬送ロボットの制御部の機能ブロック図。
【図7】同実施形態に係るアライメント方法のフローチャート。
【図8】同実施形態においてセンサに対する各部分円弧部の通過距離を対比するための模式図。
【図9】同実施形態における半径算出手段による演算処理の原理説明図。
【図10】同実施形態においてセンサに対する正規載置位置にあるウェーハの通過距離と非正規載置位置にあるウェーハの通過距離を対比するための模式図。
【図11】同実施形態における載置位置差異算出手段による演算処理の原理説明図。
【図12】同実施形態における補正値算出手段による演算処理の原理説明図。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【0023】
本実施形態に係る搬送ロボット1は、図1乃至図5に示すように、基端部を旋回軸31回りに旋回させながら先端部のハンド23に載置して保持した円盤状搬送対象物7を直線的に搬送可能なアーム2と、旋回軸31によりアーム2の基端部を旋回可能に支持する本体部3と、アーム2及び旋回軸31の作動を制御する制御部4とを備えたものである。そして、本実施形態では、円盤状搬送対象物7が搬送される搬送路上における所定位置に設けた1つのセンサ6を利用して、搬送ロボット1により円盤状搬送対象物7を正規の移載位置に搬送できるように構成している。
【0024】
本実施形態では、円盤状搬送対象物としてウェーハ7を適用している。ウェーハ7は、個体ごとに寸法誤差が生じることを排除すべく、高精度に形成されている。以下では、搬送ロボット1によって半径Wが例えば150mmのウェーハ7を正規の移載位置に搬送する場合について説明する。
【0025】
アーム2は、例えば、アーム2のうち最も基端側(本体部3側)に配置した第1リンク要素21と、第1リンク要素21の先端部に水平旋回可能に連結した第2リンク要素22と、第2リンク要素22の先端部に水平旋回可能に連結したエンドエフェクタであるハンド23とを備えたものである。このアーム2は、アーム長が最大になる伸長状態(図1参照)と、アーム長が最小になる折畳状態(図2参照)との間で形状が変わるリンク構造(多関節構造)のものである。また、第1リンク要素21の内部空間には、第2リンク要素22に動力を伝達して第2リンク要素22を回転させる動力伝達機構(例えばプーリ及びベルト)を設け、第2リンク要素22の内部空間にも、ハンド23に動力を伝達してハンド23を回転させる動力伝達機構(例えばプーリ及びベルト)を設けている(図示省略)。図1ではハンド23として平面視略矩形状のものを示しているが、例えば先端を二股状に分岐させたフォーク状など、他の形状をなすハンドを適用してもよい。
【0026】
このようなアーム2は、基端部を旋回軸31回りに水平旋回させたり、リンク要素同士を関節部分で水平旋回させてアーム2全体の形状を適宜変形させながら、ハンド23を図1に示す搬送初期位置(S)(折畳状態にあるアーム2におけるハンド23の位置)から図2に示す受渡位置(E)(伸長状態にあるアーム2のハンド23の位置)に移動させて、ウェーハ7を正規の移載位置にまで搬送するものである。なお、図3は、ハンド23が搬送初期位置(S)と受渡位置(E)との間の所定位置にある状態を図1及び図2に対応して示したものである。ここで、図1に示すように、旋回軸31の中心31aを通るハンド23の正規の移動線をX軸(本発明の「第1軸」に相当)とし、X軸を含む水平面内においてX軸と直交し旋回軸31の中心31aを通るY軸(本発明の「第2軸」に相当)とした場合、アーム2は、これらX軸及びY軸によって規定されるXY座標系(本発明の「直交座標系」に相当)の平面上を動くものとして捉えることができる。また、旋回軸31及びアーム2の動作座標系はロボット動作極座標系(r,θ)として示すことができる。「r」は旋回軸31の中心31aを通るハンド23の進行方向(r軸方向)であり、「θ」は、旋回軸31回りのr軸の回転方向である。そして、ウェーハ7の正規の移載位置を(r0,θ0)とした場合、X軸は、θがθ0である時のr軸方向と一致する。
【0027】
本実施形態に係る搬送ロボットは、図4に示すように、ハンド23に着脱可能な治具5(図4参照)を備えている。この治具5は、上述のXY座標系上に配置されるものである。治具5は、ウェーハ7の実際の半径Wと同一の半径W(本実施形態では150mm)であり且つ中心51aをX軸上に一致させた第1部分円弧部51と、ウェーハ7の半径Wと同一の半径Wであり且つ中心をY軸方向に所定寸法ΔYa変位させた第2部分円弧部52とを備え、これら第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52を同一の水平面内に形成している。第1部分円弧部51の中心51aに対する第2部分円弧部52の中心52aのY軸方向への変位値ΔYaは適宜の値に設定することができる。そして、このY軸方向の変位量ΔYa(変位値)は、当然のことながら、治具5を設計・製作する時点で正確に設定した値であり、事前に分かっている。
【0028】
本実施形態の治具5は、第1部分円弧部51と第2部分円弧部52とを相互に対向する位置に形成している。そして、このような第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52と、これら部分円弧部(第1部分円弧部51、第2部分円弧部52)の対向する端部同士を結ぶ一対の直線部53とによって概略小判状(トラック状)の外縁を形成している。また、本実施形態では、水平面内において対向する位置に形成した各部分円弧部(第1部分円弧部51,第2部分円弧部52)の弧の長さを同一に設定し、それらの弧の中点同士を結ぶ直線が、第1部分円弧部51の中心51a及び第2部分円弧部52の中心52aを通過するようにしている。したがって、一対の直線部53はY軸と平行な関係になる。
【0029】
このような形状をなす治具5は、ハンド23に対して、第1部分円弧部51がセンサ6を通過するように固定される正規位置測定姿勢(P)(図4参照)と、第2部分円弧部52がセンサ6を通過するように固定される非正規位置測定姿勢(Q)(図5参照)とを選択的に変更可能に構成している。
【0030】
本実施形態では、単一のセンサ6を、XY座標系上において、このXY座標の原点である旋回軸31よりもX軸及びY軸の正方向にそれぞれ所定寸法変位した位置であって、且つウェーハ7を載置したハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)に向かってX軸方向に搬送した際にウェーハ7が通過する位置に設けている。このような位置に設けたセンサ6の上方(又は下方)を治具5が通過した際に、一対の直線部53ではなく第1部分円弧部51又は第2部分円弧部52がセンサ6を通過するように構成している。なお、本実施形態では、センサ6として周知の光学センサや位置センサ等を適用することができる。
【0031】
また、治具5は、共通の固定具54を用いてハンド23における共通の取付位置に正規位置測定姿勢(P)及び非正規位置測定姿勢(Q)で固定可能に構成されている。本実施形態では、固定具として、第1部分円弧部51の中心51aを境に対称配置した複数のピン54を適用している。具体的には、治具5の外縁部において180度対向する点同士を結ぶ直線上、図示例では、第1部分円弧部51の中心51aと第2部分円弧部52の中心52aとを結ぶ直線上であって、且つ第1部分円弧部51の中心51aを境に対称となる位置に設けたピン54によって固定具54を構成している。このような治具5は、第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52を有する一枚の板状部材である治具本体55と、固定具として機能する下方に突出させたピン54(固定部)とを一体又は一体的に備えたものと捉えることができる。また、ハンド23には、XY座標系におけるハンド23のY軸方向の中心を境にした対称位置に、前記ピン54が挿入(嵌合)可能な孔を形成している。これら各孔の形成箇所によって規定されるハンド23に対する治具5の取付位置は、正規位置測定姿勢(P)及び非正規位置測定姿勢(Q)の何れにおいても共通である。
【0032】
そして、図4に示すように、治具5を正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付け、この状態でハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)に向かってX軸方向に沿って移動させた場合、治具5のうち第1部分円弧部51がセンサ6を通過し、このセンサ6によって通過開始点と通過終了点とを検出することができる。これら通過開始点と通過終了点との距離は、センサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離であり、第1部分円弧部51における任意の弦の長さである。また、図5に示すように、治具5を非正規位置測定姿勢(Q)でハンド23に取り付け、この状態でハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)に向かってX軸方向に沿って移動させた場合、治具5のうち第2部分円弧部52がセンサ6を通過し、このセンサ6によって通過開始点と通過終了点とを検出することができる。これら通過開始点と通過終了点との距離は、センサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離であり、第2部分円弧部52における任意の弦の長さである。図4及び図5では、説明の便宜上、第1部分円弧部51の通過距離及び第2部分円弧部52の通過距離を太線で示している。なお、この太線がセンサ6のビーム太さを示しているものではない。本実施形態では、センサ6の検出基準点(例えばビームを発する点)を当該センサ6の中心に設定している。
【0033】
また、本実施形態に係る搬送ロボット1の制御部4は、図6に示すように、半径算出手段41と、載置位置差異算出手段42と、補正値算出手段43と、補正値出力手段44と、補正制御手段45とを備えている。なお、図1等では、制御部4を本体部3に内蔵又は付帯させた態様を例示しているが、本体部3とは別体の情報処理装置等によって制御部4を構成することもできる。
【0034】
半径算出手段41は、ハンド23に装着した治具5の第1部分円弧部51と第2部分円弧部52にそれぞれ単一のセンサ6を通過させてセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる通過距離の差と、非正規位置測定姿勢(Q)における治具5のY軸方向の所定の変位量ΔYaとを利用してウェーハ7の半径W(センサ6との関係におけるウェーハ7の半径W)を求めるものである。具体的には、治具5をハンド23上に正規位置測定姿勢(P)で取り付けて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させることによってその通過距離を算出するとともに、非正規位置測定姿勢(Q)で取り付けて第2部分円弧部52にセンサ6を通過させることによってその通過距離を算出し、それらの通過距離の差、換言すればX軸方向の差異と、非正規位置測定姿勢(Q)における治具5のY軸方向の所定の変移量ΔYa、換言すれば第1部分円弧部51の中心51aのY座標と第2部分円弧部52の中心52aのY座標との差ΔYaとを利用してセンサ6との関係におけるウェーハ7の計算上の半径Wを求めるものである。
【0035】
載置位置差異算出手段42は、ウェーハ7にセンサ6を通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られるウェーハ7のセンサ6に対するX軸方向の通過距離と、治具5を用いて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させた際の通過距離と、半径算出手段41で求めたウェーハ7の半径Wの値とを利用してウェーハ7のハンド23上の載置位置と正規の載置位置との差異(XY座標系上における際)を算出するものである。具体的には、ウェーハ7のハンド23上における正規の載置位置に対する実際の載置位置の差異を、搬送路上に設けられた単一のセンサ6をウェーハ7に通過させた際の通過距離、すなわちセンサ6を通過したウェーハ7のX軸方向の距離と、治具5を用いて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させた際の通過距離とを比較してX軸方向における実際のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置との差異を算出するとともに、半径算出手段41で求めたウェーハ7の半径Wの値を利用してY軸方向における実際のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置との差異を算出するものである。
【0036】
補正値算出手段43は、載置位置差異算出手段42によって算出したXY座標系上における載置位置の差異に基づいて、当該差異を旋回軸31及びアーム2の動作座標系であるロボット動作極座標系(r,θ)上における補正値に変換して算出するものである。
【0037】
補正値出力手段44は、補正値算出手段43で算出した補正値を出力するものである。
【0038】
補正制御手段45は、補正値出力手段44からの出力値である補正値に基づいて旋回軸31及びアーム2を、ハンド23に載置しているウェーハ7を正規の移載位置(r0,θ0)に移動させるように動作させるものである。
【0039】
これら各部における詳細な演算処理は後述する。
【0040】
次に、このような搬送ロボット1及び単一のセンサ6を用いて、ハンド23上に載置されているウェーハ7の正規の載置位置に対する実際の載置位置の差異を検出し、その検出値を旋回軸31やアーム2の動作に実際に反映させて、ウェーハ7を正規の移載位置へ搬送する手順(アライメント方法)及び作用について説明する。
【0041】
先ず、実際のウェーハ7をハンド23上に載置する前に、治具5をハンド23に取り付けて、制御部4の半径算出手段41によりウェーハ7の半径Wを求める(半径算出ステップS1、図7参照)。具体的には、治具5を正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付け、旋回軸31及びアーム2を作動させてハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)へ移動させて、第1部分円弧部51にセンサ6を通過させる。なお、治具5を正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付ける作業は、第1部分円弧部51がセンサ6を通過可能な向きに設定した状態で治具5の固定部である一対のピン54をハンド23に形成した一対の取付孔にそれぞれ差し込む(嵌合)のみで容易に行うことができる。
【0042】
そして、第1部分円弧部51がX軸方向にセンサ6を通過し始める点、すなわち通過開始点をセンサ6で検出し、第1部分円弧部51がセンサ6を通過し終えた点、すなわち通過終了点をセンサ6で検出する。本実施形態では、通過開始点でON状態になり、通過終了点でON状態からOFF状態に切り替わるセンサ6を適用しており、制御部4は、図8に示すように、センサ6から出力される検出値のうち通過開始点のX座標値を「Aon」、通過終了点のX座標値を「Aoff」として、これらのX座標値を足した値「Aon+Aoff」を、センサ6に対する第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離として取得することができる。
【0043】
次に、受渡位置(E)から搬送初期位置(S)に戻したハンド23に治具5を非正規位置測定姿勢(Q)で取り付ける。治具5を正規位置測定姿勢(P)から非正規位置測定姿勢(Q)に変更する作業は、正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付けている治具5を上方へ移動させて(持ち上げて)固定部による固定状態を解除し、その治具5を水平面内で約180度回転させ、そのまま下方へ移動させて(降ろして)固定部(一対のピン54)をハンド23の取付孔に差し込む(嵌合)ことにより容易且つ適切に行うことができる。本実施形態では、正規位置測定姿勢(P)及び非正規位置測定姿勢(Q)、これら何れの姿勢においても共通のピン54でハンド23上の共通の取付位置に固定しているため、治具5を正規位置測定姿勢(P)から非正規位置測定姿勢(Q)に切り替えた際に、第2部分円弧部52の中心52aを第1部分円弧部51の中心51aよりもY軸方向に所定寸法ΔYa分だけ正確に変位させることができる。
【0044】
引き続いて、本実施形態に係る搬送ロボット1は、旋回軸31及びアーム2を作動させてハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)へ移動させて、第2部分円弧部52にセンサ6を通過させる。すると、センサ6は、第2部分円弧部52がX軸方向にセンサ6を通過し始める点、すなわち通過開始点を検出するとともに、第2部分円弧部52がセンサ6を通過し終えた点、すなわち通過終了点を検出する。制御部4は、センサ6から出力される検出値のうち通過開始点のX座標値を「A’on」、通過終了点のX座標値を「A’off」として、これらのX座標値を足した値「A’on+A’off」を、センサ6に対する第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離として取得することができる。制御部4は、これらの取得情報(センサ6に対する第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離「Aon+Aoff」、センサ6に対する第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離「A’on+A’off」を所定の記憶部46に記憶する。なお、図8では、説明の便宜上、センサ6に対する第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離を太線実線で示し、センサ6に対する第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離を太線破線で示している。
【0045】
そして、制御部4は、第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離(Aon+Aoff)と第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離(A’on+A’off)との差と、非正規位置測定姿勢(Q)におけるY軸方向の変位量とを利用して、このセンサ6との関係におけるウェーハ7の計算上の半径Wを求める。
【0046】
ここで、図8に示すように、第1部分円弧部51の中心51aのX座標は、通過距離の中間点、つまり「(Aoff−Aon)/2」であり、第2部分円弧部52の中心52aのX座標は、通過距離の中間点、つまり「(A’off−A’on)/2」であり、第1部分円弧部51の半径Wと第2部分円弧部52の半径Wとは同一であるため、第1部分円弧部51の中心51aのX座標値、及び第2部分円弧部52の中心52aのX座標値は同一になる。
【0047】
そして、第1部分円弧部51の中心51aのX座標値とセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過終了点(A’off)とを結ぶ線分(この線分は第1部分円弧部51の半径Wに相当する)、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)と第1部分円弧部51の中心51aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離の半分に相当する値(Aoff−Aon)/2だけ離間した点とを結ぶ線分、及び第1部分円弧部51の中心51aのX座標値と第1部分円弧部51の中心51aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離の半分に相当する値(Aoff−Aon)/2だけ離間した点とを結ぶ線分(この線分の長さは「(Aoff−Aon)/2」である)によって形成される直角三角形の斜辺の高さ、つまりセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値は、以下の式1で求めることができる。
√{W2―(Aoff―Aon)2/4} ・・・式1
【0048】
一方、第2部分円弧部52の中心52aを、図9に示すように、第2部分円弧部52の中心52aのY座標値と第1部分円弧部51の中心51aのY座標値との差、すなわちY軸方向の変位量ΔYaだけ移動させて、第1部分円弧部51の中心51aに一致させ、この図面上で、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値と、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値との差を求める。ここで、第2部分円弧部52の中心52aのX座標値とセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)とを結ぶ線分(この線分は第2部分円弧部52の半径W「W」に相当する)と、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)と第2部分円弧部52の中心52aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離の半分に相当する値(A’off−A’on)/2だけ離間した点とを結ぶ線分、及び第2部分円弧部52の中心52aのX座標値と第2部分円弧部52の中心52aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離の半分に相当する値(A’off−A’on)/2だけ離間した点とを結ぶ線分(この線分の長さは「(A’off−A’on)/2」である)によって形成される直角三角形の斜辺の高さ、つまりセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値は、以下の式2で求めることができる。
√{W2―(A’off―A’on)2/4} ・・・式2
【0049】
そして、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値と、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値との差ΔYは以下の式3で求めることができる。
ΔY=√{W2―(Aoff―Aon)2/4}―√{W2―(A’off―A’on)2/4} ・・・式3
【0050】
ここで、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値と、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値との差は、第2部分円弧部52の中心52aと第1部分円弧部51の中心51aとのY軸方向の変位値ΔYaそのものであり、その値ΔYaを式3に代入するとともに、センサ6の各センシング値(Aon,Aoff,Aon’,Aoff’)を式3に代入することによって、搬送路上における所定箇所に実際に取り付けたセンサ6に対する第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52共通の半径Wを求めることができる。本実施形態の搬送ロボット1は、半径算出手段41によって算出したセンサ6に対する第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52共通の半径Wを、センサ6に対するウェーハ7の計算上の半径Wの値として所定の記憶部46に記憶させている。なお、本実施形態では、この記憶部46に、半径算出手段41によって算出したセンサ6に対するウェーハ7の計算上の半径Wの値に関連付けて、この半径Wの値を算出する際に用いたセンサ6の検出値(Aon,Aoff,Aon’,Aoff’)、及びセンサ6に対する各部分円弧部(第1部分円弧部51、第2部分円弧部52)の通過距離(Aoff−Aon,A’off−A’on)も記憶させるように構成している。
【0051】
次いで、本実施形態に係る搬送ロボット1は、制御部4の載置位置差異算出手段42によって、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7の載置位置と、正規の載置位置とのXY座標系上における差異を算出する(載置位置差異算出ステップS2、図7参照)。具体的には、治具5を取り外したハンド23上にウェーハ7を載置保持した状態で、本実施形態の搬送ロボット1は、図10に示すように、旋回軸31及びアーム2を作動させてハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)へ移動させて、ウェーハ7にセンサ6を通過させる。すると、センサ6は、ウェーハ7がX軸方向にセンサ6を通過し始める点、すなわち通過開始点を検出するとともに、ウェーハ7がセンサ6を通過し終えた点、すなわち通過終了点を検出する。なお、図10では、説明の便宜上、ハンド23における正規の載置位置から変位した位置に載置保持したウェーハ7を破線で示し、ハンド23における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7を実線で示し、センサ6が横切る弦(通過距離)を太線で示す。また、上述した通り、ハンド23における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部の移動軌跡は、ハンド23に正規位置測定姿勢で取り付けた治具5の第1円弧部51の移動軌跡と同一であることから、図10及び後述の図11では、便宜上、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部に第1円弧部を意味する符号51を付すとともに、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部の中心に第1円弧部51の中心を意味する符号51aを付している。
【0052】
載置位置差異算出手段42は、センサ6から出力される検出値のうち通過開始点のX座標値を「A’’on」、通過終了点のX座標値を「A’’off」として、これらのX座標値を足した値「A’’on+A’’off」を、センサ6に対する実際のウェーハ7のX軸方向の通過距離として得ることができ、センサ6に対する実際のウェーハ7のX軸方向の通過距離「A’’on+A’’off」と、治具5を用いて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させた際の通過距離「Aon+Aoff」と、半径算出手段41で求めたセンサ6に対するウェーハ7の半径の値Wとを利用して、このウェーハ7の正規の載置位置に対するX軸方向の差異及びY軸方向の差異を算出する。
【0053】
ウェーハ7の正規の載置位置に対するX軸方向の差異は、実際のウェーハ7の中心7aのX座標値と、治具5の第1部分円弧部51の中心51aのX座標値とを比較することによって求めることができる。ハンド23上に載置した実際のウェーハ7の中心7aのX座標値は以下の式4で求めることができ、
(A’’on+A’’off)/2 ・・・式4
また、正規位置に載置したウェーハ7の中心7aのX座標値、つまり第1部分円弧部51の中心51aのX座標値は式5で求めることができる。
(Aon+Aoff)/2 ・・・式5
これらの中心7a,51aのX座標値の差がX軸方向の差異となることにより、以下の式6でハンド23上に実際に載置されているウェーハ7の正規の載置位置に対するX軸方向の差異ΔXを求めることができる。
ΔX=(A’’on+A’’off―Aon―Aoff)/2 ・・・式6
【0054】
一方、ウェーハ7の正規の載置位置に対するY軸方向の差異は、正規位置に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離(弦の長さ)と、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7がセンサ6と通過する距離(弦の長さ)との差異から求めることができる。ここで、正規位置に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離(弦の長さ)は、治具5の第1部分円弧部51がセンサ6を通過する距離に等しい。本実施形態では、正規位置に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離(弦の長さ)と、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7がセンサ6と通過する距離(弦の長さ)との差異を分かり易くするために、実際のウェーハ7の中心7aを第1部分円弧部51の中心51aに一致させた状態、つまりハンド23上に実際に載置したウェーハ7の中心を(―ΔX,―ΔY)に移動させた図11に示す状態でΔYを求めるようにしている。
【0055】
そして、正規の載置位置に載置したウェーハ7の円弧部(第1部分円弧部51)のセンサ6に対する通過終了点を斜辺の高さ位置とする直角三角形における斜辺の高さ(Y座標値)は、上述した式1で求めることができ、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7のセンサ6に対する通過終了点を斜辺の高さ位置とする直角三角形における斜辺の高さは、以下の式7で求めることができる。
√{W2―(A’’off―A’’on)2/4} ・・・式7
【0056】
そして、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7の通過終了点(A’’off)のY座標値と、正規の載置位置に載置したウェーハ7の円弧部(第1部分円弧部51)の通過終了点(Aoff)のY座標値との差ΔYは以下の式8で求めることができる。
ΔY=√{W2―(Aoff―Aon)2/4}―√{W2―(A’’off―A’’on)2/4} ・・・式8
【0057】
次いで、本実施形態に係る搬送ロボット1は、補正値算出手段43により、載置位置差異算出手段42で算出した載置位置の差異(ハンド23上におけるウェーハ7の実際の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異)をロボット動作極座標系(r,θ)における補正値(Δr,Δθ)に変換して算出する(補正値算出ステップS3、図7参照)。
【0058】
載置位置差異算出手段42で算出した載置位置のX軸方向の差異ΔX及びY軸方向の差異ΔYと、ロボット動作極座標系との関係を図12に示す。なお、図12においても、説明の便宜上、ハンド23における正規の載置位置から変位した位置に載置保持したウェーハ7を破線で示し、ハンド23における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7を実線で示し、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部に第1円弧部を意味する符号51を付すとともに、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部の中心に第1円弧部51の中心を意味する符号51aを付している。
【0059】
ロボット動作極座標系上におけるウェーハ7の正規の移載位置を(r0,θ0)とする場合、図12より、次式
ΔX=(R+r0+Δr)cosΔθ―(R+r0)
ΔY=(R+r0+Δr)sinΔθ
であることが分かる。ここで、「R」はr軸が原点(r=0)の時の旋回軸31の中心31aからウェーハ7の中心7aまでの距離を意味する。そして、cosΔθ,sinΔθを級数展開すると、次式
cosΔθ=1−Δθ2/2+Δθ4/24…
sinΔθ=Δθ−Δθ3/6+Δθ5/120…となり、Δθ<1であることから
cosΔθ≒1
sinΔθ≒θ
となる。よって、以下の式9及び式10が成立する。
ΔX≒Δr ・・・式9
ΔY≒(R+r0+Δr)Δθ ・・・式10
そして、式6、式8、式9、及び式10から以下の式11、及び式12が成立する。
Δr=ΔX ・・・式11
Δθ=ΔY/(R+r0+Δr) ・・・式12
【0060】
補正値算出手段43では、このような演算処理により、載置位置差異算出手段42の算出値(XY座標系上の差異)をロボット動作極座標系上の値に変換した補正値(Δr,Δθ)に算出する。次いで、本実施形態の搬送ロボット1は、制御部4の補正値出力手段44により、補正値算出手段43で算出した補正値(Δr,Δθ)を出力する(補正値出力ステップS4、図7参照)。本実施形態では、補正値(Δr,Δθ)を制御部4の補正制御手段45に出力するように設定している。
【0061】
次いで、本実施形態の搬送ロボット1は、制御部4の補正制御手段45により、補正値出力手段44からの入力値(Δr,Δθ)に基づいて、ハンド23上に実際に載置されているウェーハ7を正規の移載位置に搬送できるように旋回軸31及びアーム2を適宜動作させる(補正制御ステップS5、図7参照)。具体的には、ハンド23上に載置されているウェーハ7をロボット動作極座標系上における(r0−Δr,θ0−Δθ)の位置に移載するように、旋回軸31及びアーム2の動作を制御する。なお、ハンド23上におけるウェーハ7の載置位置が正規の載置位置と一致している場合、本実施形態の搬送ロボット1は、制御部4の補正制御手段45により、ハンド23上に載置したウェーハ7をロボット動作極座標系上における(r0,θ0)の位置に移載するように旋回軸31及びアーム2の動作を制御する。
【0062】
以上の手順により、ハンド23上に載置保持しているウェーハ7を正規の移載位置に移載することができる。そして、次に搬送するウェーハ7が存在する場合、つまり次に搬送するウェーハ7がハンド23上に載置された場合(S6:N、図7参照)には、上述のステップS2乃至ステップS5を繰り返し、各ウェーハ7を正規の移載位置に搬送することができる。
【0063】
このように、本実施形態では、ハンド23上にウェーハ7を載置して搬送する前に、治具5をハンド23上に正規位置測定姿勢(P)で取り付け、この治具5のうちウェーハ7の半径と同一の半径であり、且つその中心51aをX軸上に一致させた第1部分円弧部51を単一のセンサ6に通過させることによってセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離を算出し、さらに、治具5をハンド23上に非正規位置測定姿勢(Q)で取り付け、治具5のうちウェーハ7の半径と同一の半径であり、且つその中心52aをY軸方向に所定寸法変位させた第2部分円弧部52を単一のセンサ6に通過させることによってセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離を算出し、これらの通過距離と、治具5の製造段階で把握可能な第1部分円弧部と第2部分円弧部とのY軸方向の変位量とを利用して、所定箇所に取り付けたセンサ6との関係におけるウェーハ7の計算上の半径Wを求めるようにしている。そして、この半径の値Wと、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離と、センサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離とを利用して、ウェーハ7のハンド23上の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異を求めるようにしているため、センサ6の取付位置に誤差がある場合やセンサ6の個体誤差(性能誤差)がある場合にも、それらの誤差を完全に除外したウェーハ7の半径Wを算出することができ、このウェーハ7の半径Wに基づいて算出されるウェーハ7の載置位置のズレ量がセンサ6との関係において正確な値であることを保証することができる。したがって、ハンド23上のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異を正確に算出することができ、その算出値を搬送ロボット1の動作極座標系上の値に変換することにより、ハンド23上のウェーハ7を正規の移載位置に的確に搬送することができる。
【0064】
しかも、本実施形態では、ウェーハ7の搬送路上に配置した単一のセンサ6を利用してハンド23上のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異を算出するように構成しているため、ウェーハ7の搬送路上に複数のセンサ6を配置する態様と比較して、低コスト化を図ることができるとともに、メンテナンス回数の低減化も期待できる。また、本実施形態では、ウェーハ7を載置保持したハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)まで移動させる際に制御部4に入力されるセンサ6からの検出値が、1組のウェーハ7の通過開始点及び通過終了点のみであるため、複数のセンサ6からそれぞれウェーハ7の通過開始点及び通過終了点が検出値として制御部4に入力される態様と比較して、制御部4に入力される情報量を少なくすることができ、制御部4における演算処理の簡素化及び演算処理時間の短縮化を実現することができる。
【0065】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、治具として、第1部分円弧部と第2部分円弧部とを隣り合わせで形成したものや、第1部分円弧部と第2部分円弧部とを相互に正対しない位置に形成したものを適用することができる。
【0066】
また、治具を正規位置測定姿勢でハンドに取り付ける際に用いる固定具と、治具を非正規位置測定姿勢でハンドに取り付ける際に用いる固定具とが異なる態様でもよい。また、上述した実施形態では、固定具として、治具に一体又は一体的に設けたピンを例示したが、ピンに代えて、又は加えて、例えばクリップやビス等を用いることもできる。
【0067】
また、治具として、実際の円盤状搬送対象物の半径と同一の半径である単一の円弧部を備え、ハンドに対して、中心を第1軸(上記実施形態ではX軸)上に一致させた円弧部がセンサを通過する正規位置測定姿勢と、中心を第2軸方向(上記実施形態ではY軸)に所定寸法変位させた円弧部がセンサを通過する非正規位置測定姿勢とを選択的に変更可能に構成したものを適用してもよい。この場合、円弧部は、周回する円周部又は部分円弧部の何れでも構わない。そして、このような治具をハンドに対して正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替えるには、正規位置測定姿勢にある治具を第2軸方向(上記実施形態ではY軸)に所定寸法変位させればよい。この際、例えば、ハンドに第2軸方向に延びるガイド孔を形成し、治具のうち例えば円弧部の中心または中心近傍に設けた被ガイド部(スライダ)をガイド孔に沿って移動可能に構成すれば、正規位置測定姿勢と非正規位置測定姿勢との切替をスムーズに行うことができる。特に、ねじ等の一又は複数の固定具を用いて治具を正規位置測定姿勢でハンドに固定するようにしておき、正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替える場合に、固定具による固定状態を一時的に解除し、治具をスライド移動させて非正規位置測定姿勢にした状態で再度固定具で固定すれば、正規位置測定姿勢や非正規位置測定姿勢における治具の不用意な挙動を防止・抑制することができる。また、ガイド孔の長手方向両端の開口端に治具の被ガイド部を当ててそれ以上同一方向への移動が規制された状態をもって正規位置測定姿勢、または非正規位置測定姿勢と定義すれば、第2軸方向の変位量として、ガイド孔の長手方向の開口寸法を採用することができる。また、ハンドに複数の取付孔を第2軸方向に沿って所定寸法離間して形成し、治具をハンドに固定するための固定具(治具の一部であってもよく、治具とは別体のものであってもよい)を差し込む取付孔をY軸方向に離間している別の取付孔に変更することによって、治具を正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替えることができるように構成することもできる。なお、単一の円弧部を備えた治具を正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替えた際の第2軸方向の変位量は、その切替作業後に作業現場で実測して把握するようにしてもよい。
【0068】
また、載置位置差異算出手段(載置位置差異算出ステップ)では、治具を用いずに所定の演算処理で求めたセンサとの関係における円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を利用して円盤状搬送対象物のハンド上の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を算出するように構成しても構わない。特に、単一のセンサのセンシング性能や配置位置を考慮する必要がない場合には、予め分かっている厳密に製造された円盤状搬送対象物の規格上の半径又は直径の値を利用することもできる。また、載置位置差異算出手段(載置位置差異算出ステップ)で利用する値である「ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離」として、ハンド上における正規の載置位置に実際の円盤状搬送対象物を載置保持し、その円盤状搬送体対象物をセンサに通過させた際のセンサに対する円盤状搬送対象物の通過距離そのものを用いることもできる。
【0069】
また、円盤状搬送対象物が、ウェーハ以外のもの、例えば液晶等であっても構わない。さらには、円盤状搬送対象物として、外縁部にオリフラやノッチ等の切欠が形成されたものを適用することもできる。この場合には、単一のセンサを、搬送路上において円盤状搬送対象物搬送が通過する位置であって且つオリエンテーションフラットやノッチ等の切欠が通過しない位置に設ければよい。
【0070】
また、搬送ロボットのアームは、ハンドに載置保持した円盤状搬送物を直線的な搬送可能なものであればよく、リンク要素の数や形状、関節部(軸)の数は適宜変更することができる。さらには、リンク要素同士を、水平旋回動作に代えて、或いは加えて、スライド動作可能に連結してもよい。
【0071】
また、センサとして、通過開始点でOFF状態になり、通過終了点でOFF状態からON状態に切り替わるセンサを適用してもよい。その場合、上記各式における「on」「off」の関係は逆になる。
【0072】
また、ハンド上に載置した状態で保持する態様としては、真空吸引して保持する「真空吸着保持」、ベルヌーイ効果を利用したいわゆる「ベルヌーイ保持」、機械的な爪やローラを用いて円盤状搬送対象物に物理的に接触して保持する「メカニカル保持」、静電気力で円盤状搬送対象物を保持する「静電気保持」、円盤状搬送対象物自体の重力によって保持する(例えばハンドに溝または3点以上のノッチを設け、円盤状搬送対象物を溝や複数のノッチ内に収めて保持する)「重力保持」、これら何れの載置保持態様であっても構わない。
【0073】
また、上述した実施形態では、直交座標系の第1軸をX軸とし、第2軸をY軸とした態様を例示しているが、第1軸をY軸とし、第2軸をX軸とした態様、つまり旋回軸の中心を通るハンドの正規の移動線をY軸とし、Y軸を含む水平面内においてY軸と直交し且つ旋回軸の中心を通る軸をX軸とした直交座標系であってもよい。
【0074】
また、上述した実施形態以外の演算処理によって円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を求め、その値に基づいて載置位置の差異(ズレ量)を求めたり、その差異の補正を行うようにしても構わない。
【0075】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【0076】
1…搬送ロボット
2…アーム
23…ハンド
31…旋回軸
4…制御部
42…載置位置差異算出手段
43…補正値算出手段
44…補正値出力手段
6…センサ
7…円盤状搬送対象物(ウェーハ)
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェーハ等の円盤状搬送対象物を搬送する搬送ロボット、及びその搬送ロボットを用いた円盤状搬送対象物のアライメント方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
従来より、ウェーハ等の円盤状搬送対象物をアームの先端部(以下「ハンド」と称する)に載置して保持した状態で所定の移載位置へ搬送可能に構成された搬送ロボットが知られている。例えば搬送対象物がウェーハである場合、ウェーハは精密な円盤状(但し、ノッチやオリエンテーションフラット等の切欠が形成される場合もある)に製造されているため、搬送されるウェーハごとに誤差はないものと考えられる。このような搬送ロボットにおいて、円盤状搬送対象物がハンド上における正規の載置位置に載置されていれば、アームが適宜の動作を行うことにより、ハンド上の円盤状搬送対象物を正規の移載位置へ搬送することができる。
【0003】
しかしながら、円盤状搬送対象物がハンド上における正規の載置位置から僅かにでも変位した(ずれた)位置に載置されていれば、その変位量に応じて正規の移載位置から変位した位置に円盤状搬送対象物を搬送してしまうことになる。
【0004】
下記特許文献1には、ハンド上に載置された円盤状搬送対象物の搬送路を横切る方向に所定ピッチで複数(実施例では3つ)のセンサを設け、搬送中の円盤状搬送対象物が各センサを通過した際に、センサ毎に通過する円盤状搬送対象物の先端(搬送方向の先端)及び後端(搬送方向の後端)を検出し、計6つの検出値に基づいてハンド上に載置された円盤状搬送対象物の中心を検出するシステム及び方法が開示されている。具体的には、エンド上に載置された円盤状搬送対象物の中心を計算するステップとして、先ず、搬送路に略平行に決められた座標軸(X軸)に沿って円盤状搬送対象物の中心を決め、次にそのX軸上の中心座標を用いて第2の座標軸(Y軸)に沿って円盤状搬送対象物の中心を決めるステップが開示されている。なお、特許文献1において、Y軸は3つのセンサの中心線、すなわち各センサの中心を通る線であり、XY座標系の原点は3つのセンサのうち中央のセンサの位置によって決定されている。また、Y軸に沿って円盤状搬送対象物の中心を決める際には、搬送の都度、複数のセンサによるセンシング値に基づいて計算した円盤状搬送体対象物の半径を用いている。さらに、特許文献1には、複数のセンサによる少なくとも4つ以上の検出値に基づいてハンド上に載置された円盤状搬送対象物の中心位置を検出するとともに、選択点(円盤状搬送対象物の正規の移載位置)にアーム及び円盤状搬送対象物を移動させるという考えが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開昭64−48443号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献1に開示されている態様は、搬送路を横切る方向に複数のセンサを配置することが前提となるため、高コスト化を招来するとともにメンテナンスの回数も必然的に増加し得る。
【0007】
さらに、特許文献1では、ハンド上における円盤状搬送対象物の中心を求めるに際してXY座標系を用いているが、各センサの中心を通る線をY軸とし、座標系の原点を中央センサの位置で決定しているため、各センサ、特に中央センサに高い取付精度が要求される。そして、これら各センサを幾ら高精度で取り付けたとしても僅かな誤差が生じることは避けられないのが実情である。
【0008】
したがって、ハンド上における円盤状搬送対象物の中心を求める際、特に、Y軸に沿って円盤状搬送対象物の中心を決める際に、各センサの取付誤差やセンサの性能による影響を完全に除外しないことには、搬送の度に算出される円盤状搬送体対象物の半径と、その半径に基づいて算出される円盤状搬送対象物の中心が正確な値であることを保証するのは困難であると考えられる。このことは、すなわち、ハンド上における円盤状搬送対象物の実際の載置位置と正規の載置位置との差異を正確に算出できていない可能性があることを意味する。特に、特許文献1に記載の技術では、複数のセンサを設ける必要性から、センサ毎の性能差や配置誤差は必然的に大きくなりがちである。
【0009】
本発明は、このような問題に着目してなされたものであって、主たる目的は、1つだけのセンサを利用しながらも、搬送ロボットのハンドに載置保持した円盤状搬送対象物の位置と正規の載置位置との差異を正確に求め、円盤状搬送対象物を正確に搬送することができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
すなわち本発明は、基端部を旋回軸回りに旋回させながら先端部のハンドに載置して保持した円盤状搬送対象物を搬送可能なアームと、アームの基端部を旋回可能に支持する旋回軸を有する本体部と、アーム及び旋回軸の作動を制御する制御部とを備えた搬送ロボットに関するものである。
【0011】
ここで、第1軸と第2軸との交点、つまり直交座標系の原点は、先端部にハンドを有するアームの基端部を旋回可能に支持する旋回軸の中心であるため、アームとは別体であるセンサの取付位置自体を直交座標系の原点とする態様と比較して、原点自体に誤差が生じる可能性を排除することができる。また、円盤状搬送対象物は、円盤状のものであればよく、例えばウェーハや液晶等が挙げられる。
【0012】
そして、本発明の搬送ロボットは、旋回軸の中心を通る前記ハンドの正規の移動線である第1軸と、第1軸を含む水平面内において第1軸と直交し旋回軸の中心を通る第2軸とによって規定される直交座標系上における円盤状搬送対象物の移動を、搬送路上において搬送対象物が通過する所定位置に設けられた単一のセンサによって検出可能に構成し、制御部が、ハンドに載置した円盤状搬送対象物に単一のセンサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる円盤状搬送対象物のセンサに対する第1軸方向の通過距離と、前記ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して円盤状搬送対象物のハンド上の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出手段と、載置位置差異算出手段によって算出した載置位置の差異に基づいて、差異を旋回軸及びアームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段と、補正値算出手段で算出した補正値を出力する補正値出力手段とを有することを特徴としている。
【0013】
ここで、制御部は、本体部に内蔵又は付帯されるものであっても、本体部の外部に設けられるものであってもよい。また、本発明において「ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離」とは、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した実際の円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離を意味し、それに代えて、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物とみなすことができる代替物(例えば後述する実施形態における治具等)がセンサを通過する距離を採用することもできる。さらに、本発明における「円盤状搬送対象物の半径又は直径」とは、搬送される円盤状搬送対象物の実際の半径又は直径、或いはセンサ側の事情による誤差(取付誤差や個体ごとの性能誤差等)を考慮に入れた搬送中の円盤状搬送対象物の計算上の半径又は直径(実際に搬送される円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とは僅かに異なる場合がある)のことを意味している。
【0014】
そして、厳密に製造される実際の円盤状搬送対象物において、半径又は直径の値は個体毎の誤差が殆ど無いということを前提にして、本発明の搬送ロボットは、少なくとも、ハンド上に載置保持した実際の円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離とを、搬送路上の所定箇所に実際に取り付けた単一のセンサによるセンシング値に基づいて特定し、これら各値に加えて、予め取得している円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を利用して、制御部の載置位置差異算出手段により、ハンド上に載置保持した円盤状搬送対象物の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における正確な差異を求めるようにしている。
【0015】
さらに、本発明の搬送ロボットは、補正値算出手段において、載置位置差異算出手段で求めた円盤状搬送対象物の直交座標系上における差異を、ロボット動作極座標系における補正値に変換して算出し、その補正値を補正値出力手段で出力しているように構成しているため、ロボット動作極座標系における補正値もセンサの取付誤差やセンシング機能のばらつきを排除した正確な値になる。なお、本発明の搬送ロボットは、補正値出力手段で出力したロボット動作極座標系における補正値に基づいて旋回軸やアームを作動させて、円盤状搬送対象物を正規の移載位置へ移載させる態様、又は補正値出力手段によりロボット動作極座標系における補正値を、円盤状搬送対象物を受け取る側の装置に出力し、円盤状搬送対象物を受け取る側の装置で円盤状搬送対象物の受取位置を調整する態様、これら何れをも包含するものである。
【0016】
また、本発明では、円盤状搬送対象物の搬送路上に配置した単一のセンサを利用してハンド上の円盤状搬送対象物の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を正確に算出することが可能であるため、搬送路上に複数のセンサを配置する態様と比較して、センサ毎の性能差や配置誤差については考慮する必要がなくなり、低コスト化及びメンテナンス回数の低減化をも図ることができる。
【0017】
また、本発明に係る円盤状搬送対象物アライメント方法は、上述した搬送ロボットのハンドに載置保持した円盤状搬送対象物にセンサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる円盤状搬送対象物のセンサに対する第1軸方向の通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して円盤状搬送対象物のハンド上の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出ステップと、載置位置差異算出ステップによって算出した載置位置の差異に基づいて、この差異を旋回軸及びアームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値を算出する補正値算出ステップと、補正値算出ステップで算出した補正値を出力する補正値出力ステップとを有することを特徴としている。
【0018】
また、本発明の円盤状搬送対象物アライメント方法では、補正値出力ステップで出力した補正値に基づいて、旋回軸及びアームを、ハンドに載置している円盤状搬送対象物を正規の移載位置に移動させるように動作させる補正制御ステップをさらに有するようにすることもできる。
【0019】
このような円盤状搬送対象物アライメント方法であれば、適宜の演算処理で求めたハンド上の正規位置に置かれた際にセンサが横切る弦の長さと、ハンド上に載置した円盤状搬送対象物を搬送する際に単一のセンサで通過開始点及び通過終了点がセンシングされることで、その円盤状搬送対象物に対してセンサが横切った弦の長さを把握することができるため、第1軸方向の変位量(ズレ量)を算出でき、あわせて円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を利用して、第2軸方向の変位量も算出することができる(載置位置差異算出ステップ)。したがって、その算出値を搬送ロボットの動作極座標系上の値に変換して算出し(補正値算出ステップ)、その補正値を出力することによって(補正値出力ステップ)、ハンド上の円盤状搬送対象物を正規の移載位置に的確に搬送することができる(補正制御ステップ)。なお、本発明の円盤状搬送対象物のアライメント方法は、補正値出力ステップにおける補正値の出力先が、円盤状搬送対象物をこの搬送ロボットから受け取る側の装置であってもよい。この場合、円盤状搬送対象物を受け取る側の装置が、搬送ロボットから提供された補正値に基づいて円盤状搬送対象物の受取位置を適宜調整するように構成することが好ましい。
【発明の効果】
【0020】
本発明によれば、1つだけのセンサを利用しながらも、円盤状搬送対象物の半径又は直径の値と、センサに対する実際の円盤状搬送対象物の通過距離と、ハンド上における正規の載置位置に載置した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離とを利用して、ハンド上に載置した円盤状搬送対象物の載置位置と正規の載置位置との差異を正確に求めることができる。また、この算出値に基づいて搬送ロボットの旋回軸やアームを動作させることによって、円盤状搬送対象物を正規の移載位置に高精度で搬送することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図1】本発明の一実施形態に係る搬送ロボットの全体構成概略図。
【図2】同実施形態においてハンドが受渡位置にある搬送ロボットの図1対応図。
【図3】同実施形態においてハンドが搬送初期位置と受渡位置との間にある搬送ロボットの模式図。
【図4】同実施形態で用いる治具を正規位置測定姿勢でハンドに取り付けた状態を示す模式図。
【図5】同実施形態で用いる治具を非正規位置測定姿勢でハンドに取り付けた状態を示す模式図。
【図6】同実施形態に係る搬送ロボットの制御部の機能ブロック図。
【図7】同実施形態に係るアライメント方法のフローチャート。
【図8】同実施形態においてセンサに対する各部分円弧部の通過距離を対比するための模式図。
【図9】同実施形態における半径算出手段による演算処理の原理説明図。
【図10】同実施形態においてセンサに対する正規載置位置にあるウェーハの通過距離と非正規載置位置にあるウェーハの通過距離を対比するための模式図。
【図11】同実施形態における載置位置差異算出手段による演算処理の原理説明図。
【図12】同実施形態における補正値算出手段による演算処理の原理説明図。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【0023】
本実施形態に係る搬送ロボット1は、図1乃至図5に示すように、基端部を旋回軸31回りに旋回させながら先端部のハンド23に載置して保持した円盤状搬送対象物7を直線的に搬送可能なアーム2と、旋回軸31によりアーム2の基端部を旋回可能に支持する本体部3と、アーム2及び旋回軸31の作動を制御する制御部4とを備えたものである。そして、本実施形態では、円盤状搬送対象物7が搬送される搬送路上における所定位置に設けた1つのセンサ6を利用して、搬送ロボット1により円盤状搬送対象物7を正規の移載位置に搬送できるように構成している。
【0024】
本実施形態では、円盤状搬送対象物としてウェーハ7を適用している。ウェーハ7は、個体ごとに寸法誤差が生じることを排除すべく、高精度に形成されている。以下では、搬送ロボット1によって半径Wが例えば150mmのウェーハ7を正規の移載位置に搬送する場合について説明する。
【0025】
アーム2は、例えば、アーム2のうち最も基端側(本体部3側)に配置した第1リンク要素21と、第1リンク要素21の先端部に水平旋回可能に連結した第2リンク要素22と、第2リンク要素22の先端部に水平旋回可能に連結したエンドエフェクタであるハンド23とを備えたものである。このアーム2は、アーム長が最大になる伸長状態(図1参照)と、アーム長が最小になる折畳状態(図2参照)との間で形状が変わるリンク構造(多関節構造)のものである。また、第1リンク要素21の内部空間には、第2リンク要素22に動力を伝達して第2リンク要素22を回転させる動力伝達機構(例えばプーリ及びベルト)を設け、第2リンク要素22の内部空間にも、ハンド23に動力を伝達してハンド23を回転させる動力伝達機構(例えばプーリ及びベルト)を設けている(図示省略)。図1ではハンド23として平面視略矩形状のものを示しているが、例えば先端を二股状に分岐させたフォーク状など、他の形状をなすハンドを適用してもよい。
【0026】
このようなアーム2は、基端部を旋回軸31回りに水平旋回させたり、リンク要素同士を関節部分で水平旋回させてアーム2全体の形状を適宜変形させながら、ハンド23を図1に示す搬送初期位置(S)(折畳状態にあるアーム2におけるハンド23の位置)から図2に示す受渡位置(E)(伸長状態にあるアーム2のハンド23の位置)に移動させて、ウェーハ7を正規の移載位置にまで搬送するものである。なお、図3は、ハンド23が搬送初期位置(S)と受渡位置(E)との間の所定位置にある状態を図1及び図2に対応して示したものである。ここで、図1に示すように、旋回軸31の中心31aを通るハンド23の正規の移動線をX軸(本発明の「第1軸」に相当)とし、X軸を含む水平面内においてX軸と直交し旋回軸31の中心31aを通るY軸(本発明の「第2軸」に相当)とした場合、アーム2は、これらX軸及びY軸によって規定されるXY座標系(本発明の「直交座標系」に相当)の平面上を動くものとして捉えることができる。また、旋回軸31及びアーム2の動作座標系はロボット動作極座標系(r,θ)として示すことができる。「r」は旋回軸31の中心31aを通るハンド23の進行方向(r軸方向)であり、「θ」は、旋回軸31回りのr軸の回転方向である。そして、ウェーハ7の正規の移載位置を(r0,θ0)とした場合、X軸は、θがθ0である時のr軸方向と一致する。
【0027】
本実施形態に係る搬送ロボットは、図4に示すように、ハンド23に着脱可能な治具5(図4参照)を備えている。この治具5は、上述のXY座標系上に配置されるものである。治具5は、ウェーハ7の実際の半径Wと同一の半径W(本実施形態では150mm)であり且つ中心51aをX軸上に一致させた第1部分円弧部51と、ウェーハ7の半径Wと同一の半径Wであり且つ中心をY軸方向に所定寸法ΔYa変位させた第2部分円弧部52とを備え、これら第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52を同一の水平面内に形成している。第1部分円弧部51の中心51aに対する第2部分円弧部52の中心52aのY軸方向への変位値ΔYaは適宜の値に設定することができる。そして、このY軸方向の変位量ΔYa(変位値)は、当然のことながら、治具5を設計・製作する時点で正確に設定した値であり、事前に分かっている。
【0028】
本実施形態の治具5は、第1部分円弧部51と第2部分円弧部52とを相互に対向する位置に形成している。そして、このような第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52と、これら部分円弧部(第1部分円弧部51、第2部分円弧部52)の対向する端部同士を結ぶ一対の直線部53とによって概略小判状(トラック状)の外縁を形成している。また、本実施形態では、水平面内において対向する位置に形成した各部分円弧部(第1部分円弧部51,第2部分円弧部52)の弧の長さを同一に設定し、それらの弧の中点同士を結ぶ直線が、第1部分円弧部51の中心51a及び第2部分円弧部52の中心52aを通過するようにしている。したがって、一対の直線部53はY軸と平行な関係になる。
【0029】
このような形状をなす治具5は、ハンド23に対して、第1部分円弧部51がセンサ6を通過するように固定される正規位置測定姿勢(P)(図4参照)と、第2部分円弧部52がセンサ6を通過するように固定される非正規位置測定姿勢(Q)(図5参照)とを選択的に変更可能に構成している。
【0030】
本実施形態では、単一のセンサ6を、XY座標系上において、このXY座標の原点である旋回軸31よりもX軸及びY軸の正方向にそれぞれ所定寸法変位した位置であって、且つウェーハ7を載置したハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)に向かってX軸方向に搬送した際にウェーハ7が通過する位置に設けている。このような位置に設けたセンサ6の上方(又は下方)を治具5が通過した際に、一対の直線部53ではなく第1部分円弧部51又は第2部分円弧部52がセンサ6を通過するように構成している。なお、本実施形態では、センサ6として周知の光学センサや位置センサ等を適用することができる。
【0031】
また、治具5は、共通の固定具54を用いてハンド23における共通の取付位置に正規位置測定姿勢(P)及び非正規位置測定姿勢(Q)で固定可能に構成されている。本実施形態では、固定具として、第1部分円弧部51の中心51aを境に対称配置した複数のピン54を適用している。具体的には、治具5の外縁部において180度対向する点同士を結ぶ直線上、図示例では、第1部分円弧部51の中心51aと第2部分円弧部52の中心52aとを結ぶ直線上であって、且つ第1部分円弧部51の中心51aを境に対称となる位置に設けたピン54によって固定具54を構成している。このような治具5は、第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52を有する一枚の板状部材である治具本体55と、固定具として機能する下方に突出させたピン54(固定部)とを一体又は一体的に備えたものと捉えることができる。また、ハンド23には、XY座標系におけるハンド23のY軸方向の中心を境にした対称位置に、前記ピン54が挿入(嵌合)可能な孔を形成している。これら各孔の形成箇所によって規定されるハンド23に対する治具5の取付位置は、正規位置測定姿勢(P)及び非正規位置測定姿勢(Q)の何れにおいても共通である。
【0032】
そして、図4に示すように、治具5を正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付け、この状態でハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)に向かってX軸方向に沿って移動させた場合、治具5のうち第1部分円弧部51がセンサ6を通過し、このセンサ6によって通過開始点と通過終了点とを検出することができる。これら通過開始点と通過終了点との距離は、センサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離であり、第1部分円弧部51における任意の弦の長さである。また、図5に示すように、治具5を非正規位置測定姿勢(Q)でハンド23に取り付け、この状態でハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)に向かってX軸方向に沿って移動させた場合、治具5のうち第2部分円弧部52がセンサ6を通過し、このセンサ6によって通過開始点と通過終了点とを検出することができる。これら通過開始点と通過終了点との距離は、センサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離であり、第2部分円弧部52における任意の弦の長さである。図4及び図5では、説明の便宜上、第1部分円弧部51の通過距離及び第2部分円弧部52の通過距離を太線で示している。なお、この太線がセンサ6のビーム太さを示しているものではない。本実施形態では、センサ6の検出基準点(例えばビームを発する点)を当該センサ6の中心に設定している。
【0033】
また、本実施形態に係る搬送ロボット1の制御部4は、図6に示すように、半径算出手段41と、載置位置差異算出手段42と、補正値算出手段43と、補正値出力手段44と、補正制御手段45とを備えている。なお、図1等では、制御部4を本体部3に内蔵又は付帯させた態様を例示しているが、本体部3とは別体の情報処理装置等によって制御部4を構成することもできる。
【0034】
半径算出手段41は、ハンド23に装着した治具5の第1部分円弧部51と第2部分円弧部52にそれぞれ単一のセンサ6を通過させてセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる通過距離の差と、非正規位置測定姿勢(Q)における治具5のY軸方向の所定の変位量ΔYaとを利用してウェーハ7の半径W(センサ6との関係におけるウェーハ7の半径W)を求めるものである。具体的には、治具5をハンド23上に正規位置測定姿勢(P)で取り付けて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させることによってその通過距離を算出するとともに、非正規位置測定姿勢(Q)で取り付けて第2部分円弧部52にセンサ6を通過させることによってその通過距離を算出し、それらの通過距離の差、換言すればX軸方向の差異と、非正規位置測定姿勢(Q)における治具5のY軸方向の所定の変移量ΔYa、換言すれば第1部分円弧部51の中心51aのY座標と第2部分円弧部52の中心52aのY座標との差ΔYaとを利用してセンサ6との関係におけるウェーハ7の計算上の半径Wを求めるものである。
【0035】
載置位置差異算出手段42は、ウェーハ7にセンサ6を通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られるウェーハ7のセンサ6に対するX軸方向の通過距離と、治具5を用いて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させた際の通過距離と、半径算出手段41で求めたウェーハ7の半径Wの値とを利用してウェーハ7のハンド23上の載置位置と正規の載置位置との差異(XY座標系上における際)を算出するものである。具体的には、ウェーハ7のハンド23上における正規の載置位置に対する実際の載置位置の差異を、搬送路上に設けられた単一のセンサ6をウェーハ7に通過させた際の通過距離、すなわちセンサ6を通過したウェーハ7のX軸方向の距離と、治具5を用いて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させた際の通過距離とを比較してX軸方向における実際のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置との差異を算出するとともに、半径算出手段41で求めたウェーハ7の半径Wの値を利用してY軸方向における実際のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置との差異を算出するものである。
【0036】
補正値算出手段43は、載置位置差異算出手段42によって算出したXY座標系上における載置位置の差異に基づいて、当該差異を旋回軸31及びアーム2の動作座標系であるロボット動作極座標系(r,θ)上における補正値に変換して算出するものである。
【0037】
補正値出力手段44は、補正値算出手段43で算出した補正値を出力するものである。
【0038】
補正制御手段45は、補正値出力手段44からの出力値である補正値に基づいて旋回軸31及びアーム2を、ハンド23に載置しているウェーハ7を正規の移載位置(r0,θ0)に移動させるように動作させるものである。
【0039】
これら各部における詳細な演算処理は後述する。
【0040】
次に、このような搬送ロボット1及び単一のセンサ6を用いて、ハンド23上に載置されているウェーハ7の正規の載置位置に対する実際の載置位置の差異を検出し、その検出値を旋回軸31やアーム2の動作に実際に反映させて、ウェーハ7を正規の移載位置へ搬送する手順(アライメント方法)及び作用について説明する。
【0041】
先ず、実際のウェーハ7をハンド23上に載置する前に、治具5をハンド23に取り付けて、制御部4の半径算出手段41によりウェーハ7の半径Wを求める(半径算出ステップS1、図7参照)。具体的には、治具5を正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付け、旋回軸31及びアーム2を作動させてハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)へ移動させて、第1部分円弧部51にセンサ6を通過させる。なお、治具5を正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付ける作業は、第1部分円弧部51がセンサ6を通過可能な向きに設定した状態で治具5の固定部である一対のピン54をハンド23に形成した一対の取付孔にそれぞれ差し込む(嵌合)のみで容易に行うことができる。
【0042】
そして、第1部分円弧部51がX軸方向にセンサ6を通過し始める点、すなわち通過開始点をセンサ6で検出し、第1部分円弧部51がセンサ6を通過し終えた点、すなわち通過終了点をセンサ6で検出する。本実施形態では、通過開始点でON状態になり、通過終了点でON状態からOFF状態に切り替わるセンサ6を適用しており、制御部4は、図8に示すように、センサ6から出力される検出値のうち通過開始点のX座標値を「Aon」、通過終了点のX座標値を「Aoff」として、これらのX座標値を足した値「Aon+Aoff」を、センサ6に対する第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離として取得することができる。
【0043】
次に、受渡位置(E)から搬送初期位置(S)に戻したハンド23に治具5を非正規位置測定姿勢(Q)で取り付ける。治具5を正規位置測定姿勢(P)から非正規位置測定姿勢(Q)に変更する作業は、正規位置測定姿勢(P)でハンド23に取り付けている治具5を上方へ移動させて(持ち上げて)固定部による固定状態を解除し、その治具5を水平面内で約180度回転させ、そのまま下方へ移動させて(降ろして)固定部(一対のピン54)をハンド23の取付孔に差し込む(嵌合)ことにより容易且つ適切に行うことができる。本実施形態では、正規位置測定姿勢(P)及び非正規位置測定姿勢(Q)、これら何れの姿勢においても共通のピン54でハンド23上の共通の取付位置に固定しているため、治具5を正規位置測定姿勢(P)から非正規位置測定姿勢(Q)に切り替えた際に、第2部分円弧部52の中心52aを第1部分円弧部51の中心51aよりもY軸方向に所定寸法ΔYa分だけ正確に変位させることができる。
【0044】
引き続いて、本実施形態に係る搬送ロボット1は、旋回軸31及びアーム2を作動させてハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)へ移動させて、第2部分円弧部52にセンサ6を通過させる。すると、センサ6は、第2部分円弧部52がX軸方向にセンサ6を通過し始める点、すなわち通過開始点を検出するとともに、第2部分円弧部52がセンサ6を通過し終えた点、すなわち通過終了点を検出する。制御部4は、センサ6から出力される検出値のうち通過開始点のX座標値を「A’on」、通過終了点のX座標値を「A’off」として、これらのX座標値を足した値「A’on+A’off」を、センサ6に対する第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離として取得することができる。制御部4は、これらの取得情報(センサ6に対する第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離「Aon+Aoff」、センサ6に対する第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離「A’on+A’off」を所定の記憶部46に記憶する。なお、図8では、説明の便宜上、センサ6に対する第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離を太線実線で示し、センサ6に対する第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離を太線破線で示している。
【0045】
そして、制御部4は、第1部分円弧部51のX軸方向の通過距離(Aon+Aoff)と第2部分円弧部52のX軸方向の通過距離(A’on+A’off)との差と、非正規位置測定姿勢(Q)におけるY軸方向の変位量とを利用して、このセンサ6との関係におけるウェーハ7の計算上の半径Wを求める。
【0046】
ここで、図8に示すように、第1部分円弧部51の中心51aのX座標は、通過距離の中間点、つまり「(Aoff−Aon)/2」であり、第2部分円弧部52の中心52aのX座標は、通過距離の中間点、つまり「(A’off−A’on)/2」であり、第1部分円弧部51の半径Wと第2部分円弧部52の半径Wとは同一であるため、第1部分円弧部51の中心51aのX座標値、及び第2部分円弧部52の中心52aのX座標値は同一になる。
【0047】
そして、第1部分円弧部51の中心51aのX座標値とセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過終了点(A’off)とを結ぶ線分(この線分は第1部分円弧部51の半径Wに相当する)、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)と第1部分円弧部51の中心51aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離の半分に相当する値(Aoff−Aon)/2だけ離間した点とを結ぶ線分、及び第1部分円弧部51の中心51aのX座標値と第1部分円弧部51の中心51aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離の半分に相当する値(Aoff−Aon)/2だけ離間した点とを結ぶ線分(この線分の長さは「(Aoff−Aon)/2」である)によって形成される直角三角形の斜辺の高さ、つまりセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値は、以下の式1で求めることができる。
√{W2―(Aoff―Aon)2/4} ・・・式1
【0048】
一方、第2部分円弧部52の中心52aを、図9に示すように、第2部分円弧部52の中心52aのY座標値と第1部分円弧部51の中心51aのY座標値との差、すなわちY軸方向の変位量ΔYaだけ移動させて、第1部分円弧部51の中心51aに一致させ、この図面上で、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値と、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値との差を求める。ここで、第2部分円弧部52の中心52aのX座標値とセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)とを結ぶ線分(この線分は第2部分円弧部52の半径W「W」に相当する)と、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)と第2部分円弧部52の中心52aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離の半分に相当する値(A’off−A’on)/2だけ離間した点とを結ぶ線分、及び第2部分円弧部52の中心52aのX座標値と第2部分円弧部52の中心52aからX軸方向に沿ってセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離の半分に相当する値(A’off−A’on)/2だけ離間した点とを結ぶ線分(この線分の長さは「(A’off−A’on)/2」である)によって形成される直角三角形の斜辺の高さ、つまりセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値は、以下の式2で求めることができる。
√{W2―(A’off―A’on)2/4} ・・・式2
【0049】
そして、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値と、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値との差ΔYは以下の式3で求めることができる。
ΔY=√{W2―(Aoff―Aon)2/4}―√{W2―(A’off―A’on)2/4} ・・・式3
【0050】
ここで、第2部分円弧部52の通過終了点(A’off)のY座標値と、第1部分円弧部51の通過終了点(Aoff)のY座標値との差は、第2部分円弧部52の中心52aと第1部分円弧部51の中心51aとのY軸方向の変位値ΔYaそのものであり、その値ΔYaを式3に代入するとともに、センサ6の各センシング値(Aon,Aoff,Aon’,Aoff’)を式3に代入することによって、搬送路上における所定箇所に実際に取り付けたセンサ6に対する第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52共通の半径Wを求めることができる。本実施形態の搬送ロボット1は、半径算出手段41によって算出したセンサ6に対する第1部分円弧部51及び第2部分円弧部52共通の半径Wを、センサ6に対するウェーハ7の計算上の半径Wの値として所定の記憶部46に記憶させている。なお、本実施形態では、この記憶部46に、半径算出手段41によって算出したセンサ6に対するウェーハ7の計算上の半径Wの値に関連付けて、この半径Wの値を算出する際に用いたセンサ6の検出値(Aon,Aoff,Aon’,Aoff’)、及びセンサ6に対する各部分円弧部(第1部分円弧部51、第2部分円弧部52)の通過距離(Aoff−Aon,A’off−A’on)も記憶させるように構成している。
【0051】
次いで、本実施形態に係る搬送ロボット1は、制御部4の載置位置差異算出手段42によって、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7の載置位置と、正規の載置位置とのXY座標系上における差異を算出する(載置位置差異算出ステップS2、図7参照)。具体的には、治具5を取り外したハンド23上にウェーハ7を載置保持した状態で、本実施形態の搬送ロボット1は、図10に示すように、旋回軸31及びアーム2を作動させてハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)へ移動させて、ウェーハ7にセンサ6を通過させる。すると、センサ6は、ウェーハ7がX軸方向にセンサ6を通過し始める点、すなわち通過開始点を検出するとともに、ウェーハ7がセンサ6を通過し終えた点、すなわち通過終了点を検出する。なお、図10では、説明の便宜上、ハンド23における正規の載置位置から変位した位置に載置保持したウェーハ7を破線で示し、ハンド23における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7を実線で示し、センサ6が横切る弦(通過距離)を太線で示す。また、上述した通り、ハンド23における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部の移動軌跡は、ハンド23に正規位置測定姿勢で取り付けた治具5の第1円弧部51の移動軌跡と同一であることから、図10及び後述の図11では、便宜上、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部に第1円弧部を意味する符号51を付すとともに、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部の中心に第1円弧部51の中心を意味する符号51aを付している。
【0052】
載置位置差異算出手段42は、センサ6から出力される検出値のうち通過開始点のX座標値を「A’’on」、通過終了点のX座標値を「A’’off」として、これらのX座標値を足した値「A’’on+A’’off」を、センサ6に対する実際のウェーハ7のX軸方向の通過距離として得ることができ、センサ6に対する実際のウェーハ7のX軸方向の通過距離「A’’on+A’’off」と、治具5を用いて第1部分円弧部51にセンサ6を通過させた際の通過距離「Aon+Aoff」と、半径算出手段41で求めたセンサ6に対するウェーハ7の半径の値Wとを利用して、このウェーハ7の正規の載置位置に対するX軸方向の差異及びY軸方向の差異を算出する。
【0053】
ウェーハ7の正規の載置位置に対するX軸方向の差異は、実際のウェーハ7の中心7aのX座標値と、治具5の第1部分円弧部51の中心51aのX座標値とを比較することによって求めることができる。ハンド23上に載置した実際のウェーハ7の中心7aのX座標値は以下の式4で求めることができ、
(A’’on+A’’off)/2 ・・・式4
また、正規位置に載置したウェーハ7の中心7aのX座標値、つまり第1部分円弧部51の中心51aのX座標値は式5で求めることができる。
(Aon+Aoff)/2 ・・・式5
これらの中心7a,51aのX座標値の差がX軸方向の差異となることにより、以下の式6でハンド23上に実際に載置されているウェーハ7の正規の載置位置に対するX軸方向の差異ΔXを求めることができる。
ΔX=(A’’on+A’’off―Aon―Aoff)/2 ・・・式6
【0054】
一方、ウェーハ7の正規の載置位置に対するY軸方向の差異は、正規位置に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離(弦の長さ)と、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7がセンサ6と通過する距離(弦の長さ)との差異から求めることができる。ここで、正規位置に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離(弦の長さ)は、治具5の第1部分円弧部51がセンサ6を通過する距離に等しい。本実施形態では、正規位置に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離(弦の長さ)と、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7がセンサ6と通過する距離(弦の長さ)との差異を分かり易くするために、実際のウェーハ7の中心7aを第1部分円弧部51の中心51aに一致させた状態、つまりハンド23上に実際に載置したウェーハ7の中心を(―ΔX,―ΔY)に移動させた図11に示す状態でΔYを求めるようにしている。
【0055】
そして、正規の載置位置に載置したウェーハ7の円弧部(第1部分円弧部51)のセンサ6に対する通過終了点を斜辺の高さ位置とする直角三角形における斜辺の高さ(Y座標値)は、上述した式1で求めることができ、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7のセンサ6に対する通過終了点を斜辺の高さ位置とする直角三角形における斜辺の高さは、以下の式7で求めることができる。
√{W2―(A’’off―A’’on)2/4} ・・・式7
【0056】
そして、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7の通過終了点(A’’off)のY座標値と、正規の載置位置に載置したウェーハ7の円弧部(第1部分円弧部51)の通過終了点(Aoff)のY座標値との差ΔYは以下の式8で求めることができる。
ΔY=√{W2―(Aoff―Aon)2/4}―√{W2―(A’’off―A’’on)2/4} ・・・式8
【0057】
次いで、本実施形態に係る搬送ロボット1は、補正値算出手段43により、載置位置差異算出手段42で算出した載置位置の差異(ハンド23上におけるウェーハ7の実際の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異)をロボット動作極座標系(r,θ)における補正値(Δr,Δθ)に変換して算出する(補正値算出ステップS3、図7参照)。
【0058】
載置位置差異算出手段42で算出した載置位置のX軸方向の差異ΔX及びY軸方向の差異ΔYと、ロボット動作極座標系との関係を図12に示す。なお、図12においても、説明の便宜上、ハンド23における正規の載置位置から変位した位置に載置保持したウェーハ7を破線で示し、ハンド23における正規の載置位置に載置保持したウェーハ7を実線で示し、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部に第1円弧部を意味する符号51を付すとともに、正規の載置位置に載置保持したウェーハ7の円弧部の中心に第1円弧部51の中心を意味する符号51aを付している。
【0059】
ロボット動作極座標系上におけるウェーハ7の正規の移載位置を(r0,θ0)とする場合、図12より、次式
ΔX=(R+r0+Δr)cosΔθ―(R+r0)
ΔY=(R+r0+Δr)sinΔθ
であることが分かる。ここで、「R」はr軸が原点(r=0)の時の旋回軸31の中心31aからウェーハ7の中心7aまでの距離を意味する。そして、cosΔθ,sinΔθを級数展開すると、次式
cosΔθ=1−Δθ2/2+Δθ4/24…
sinΔθ=Δθ−Δθ3/6+Δθ5/120…となり、Δθ<1であることから
cosΔθ≒1
sinΔθ≒θ
となる。よって、以下の式9及び式10が成立する。
ΔX≒Δr ・・・式9
ΔY≒(R+r0+Δr)Δθ ・・・式10
そして、式6、式8、式9、及び式10から以下の式11、及び式12が成立する。
Δr=ΔX ・・・式11
Δθ=ΔY/(R+r0+Δr) ・・・式12
【0060】
補正値算出手段43では、このような演算処理により、載置位置差異算出手段42の算出値(XY座標系上の差異)をロボット動作極座標系上の値に変換した補正値(Δr,Δθ)に算出する。次いで、本実施形態の搬送ロボット1は、制御部4の補正値出力手段44により、補正値算出手段43で算出した補正値(Δr,Δθ)を出力する(補正値出力ステップS4、図7参照)。本実施形態では、補正値(Δr,Δθ)を制御部4の補正制御手段45に出力するように設定している。
【0061】
次いで、本実施形態の搬送ロボット1は、制御部4の補正制御手段45により、補正値出力手段44からの入力値(Δr,Δθ)に基づいて、ハンド23上に実際に載置されているウェーハ7を正規の移載位置に搬送できるように旋回軸31及びアーム2を適宜動作させる(補正制御ステップS5、図7参照)。具体的には、ハンド23上に載置されているウェーハ7をロボット動作極座標系上における(r0−Δr,θ0−Δθ)の位置に移載するように、旋回軸31及びアーム2の動作を制御する。なお、ハンド23上におけるウェーハ7の載置位置が正規の載置位置と一致している場合、本実施形態の搬送ロボット1は、制御部4の補正制御手段45により、ハンド23上に載置したウェーハ7をロボット動作極座標系上における(r0,θ0)の位置に移載するように旋回軸31及びアーム2の動作を制御する。
【0062】
以上の手順により、ハンド23上に載置保持しているウェーハ7を正規の移載位置に移載することができる。そして、次に搬送するウェーハ7が存在する場合、つまり次に搬送するウェーハ7がハンド23上に載置された場合(S6:N、図7参照)には、上述のステップS2乃至ステップS5を繰り返し、各ウェーハ7を正規の移載位置に搬送することができる。
【0063】
このように、本実施形態では、ハンド23上にウェーハ7を載置して搬送する前に、治具5をハンド23上に正規位置測定姿勢(P)で取り付け、この治具5のうちウェーハ7の半径と同一の半径であり、且つその中心51aをX軸上に一致させた第1部分円弧部51を単一のセンサ6に通過させることによってセンサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離を算出し、さらに、治具5をハンド23上に非正規位置測定姿勢(Q)で取り付け、治具5のうちウェーハ7の半径と同一の半径であり、且つその中心52aをY軸方向に所定寸法変位させた第2部分円弧部52を単一のセンサ6に通過させることによってセンサ6に対する第2部分円弧部52の通過距離を算出し、これらの通過距離と、治具5の製造段階で把握可能な第1部分円弧部と第2部分円弧部とのY軸方向の変位量とを利用して、所定箇所に取り付けたセンサ6との関係におけるウェーハ7の計算上の半径Wを求めるようにしている。そして、この半径の値Wと、ハンド23上に実際に載置したウェーハ7がセンサ6を通過する距離と、センサ6に対する第1部分円弧部51の通過距離とを利用して、ウェーハ7のハンド23上の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異を求めるようにしているため、センサ6の取付位置に誤差がある場合やセンサ6の個体誤差(性能誤差)がある場合にも、それらの誤差を完全に除外したウェーハ7の半径Wを算出することができ、このウェーハ7の半径Wに基づいて算出されるウェーハ7の載置位置のズレ量がセンサ6との関係において正確な値であることを保証することができる。したがって、ハンド23上のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異を正確に算出することができ、その算出値を搬送ロボット1の動作極座標系上の値に変換することにより、ハンド23上のウェーハ7を正規の移載位置に的確に搬送することができる。
【0064】
しかも、本実施形態では、ウェーハ7の搬送路上に配置した単一のセンサ6を利用してハンド23上のウェーハ7の載置位置と正規の載置位置とのXY座標系上における差異を算出するように構成しているため、ウェーハ7の搬送路上に複数のセンサ6を配置する態様と比較して、低コスト化を図ることができるとともに、メンテナンス回数の低減化も期待できる。また、本実施形態では、ウェーハ7を載置保持したハンド23を搬送初期位置(S)から受渡位置(E)まで移動させる際に制御部4に入力されるセンサ6からの検出値が、1組のウェーハ7の通過開始点及び通過終了点のみであるため、複数のセンサ6からそれぞれウェーハ7の通過開始点及び通過終了点が検出値として制御部4に入力される態様と比較して、制御部4に入力される情報量を少なくすることができ、制御部4における演算処理の簡素化及び演算処理時間の短縮化を実現することができる。
【0065】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、治具として、第1部分円弧部と第2部分円弧部とを隣り合わせで形成したものや、第1部分円弧部と第2部分円弧部とを相互に正対しない位置に形成したものを適用することができる。
【0066】
また、治具を正規位置測定姿勢でハンドに取り付ける際に用いる固定具と、治具を非正規位置測定姿勢でハンドに取り付ける際に用いる固定具とが異なる態様でもよい。また、上述した実施形態では、固定具として、治具に一体又は一体的に設けたピンを例示したが、ピンに代えて、又は加えて、例えばクリップやビス等を用いることもできる。
【0067】
また、治具として、実際の円盤状搬送対象物の半径と同一の半径である単一の円弧部を備え、ハンドに対して、中心を第1軸(上記実施形態ではX軸)上に一致させた円弧部がセンサを通過する正規位置測定姿勢と、中心を第2軸方向(上記実施形態ではY軸)に所定寸法変位させた円弧部がセンサを通過する非正規位置測定姿勢とを選択的に変更可能に構成したものを適用してもよい。この場合、円弧部は、周回する円周部又は部分円弧部の何れでも構わない。そして、このような治具をハンドに対して正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替えるには、正規位置測定姿勢にある治具を第2軸方向(上記実施形態ではY軸)に所定寸法変位させればよい。この際、例えば、ハンドに第2軸方向に延びるガイド孔を形成し、治具のうち例えば円弧部の中心または中心近傍に設けた被ガイド部(スライダ)をガイド孔に沿って移動可能に構成すれば、正規位置測定姿勢と非正規位置測定姿勢との切替をスムーズに行うことができる。特に、ねじ等の一又は複数の固定具を用いて治具を正規位置測定姿勢でハンドに固定するようにしておき、正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替える場合に、固定具による固定状態を一時的に解除し、治具をスライド移動させて非正規位置測定姿勢にした状態で再度固定具で固定すれば、正規位置測定姿勢や非正規位置測定姿勢における治具の不用意な挙動を防止・抑制することができる。また、ガイド孔の長手方向両端の開口端に治具の被ガイド部を当ててそれ以上同一方向への移動が規制された状態をもって正規位置測定姿勢、または非正規位置測定姿勢と定義すれば、第2軸方向の変位量として、ガイド孔の長手方向の開口寸法を採用することができる。また、ハンドに複数の取付孔を第2軸方向に沿って所定寸法離間して形成し、治具をハンドに固定するための固定具(治具の一部であってもよく、治具とは別体のものであってもよい)を差し込む取付孔をY軸方向に離間している別の取付孔に変更することによって、治具を正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替えることができるように構成することもできる。なお、単一の円弧部を備えた治具を正規位置測定姿勢から非正規位置測定姿勢へ切り替えた際の第2軸方向の変位量は、その切替作業後に作業現場で実測して把握するようにしてもよい。
【0068】
また、載置位置差異算出手段(載置位置差異算出ステップ)では、治具を用いずに所定の演算処理で求めたセンサとの関係における円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を利用して円盤状搬送対象物のハンド上の載置位置と正規の載置位置との直交座標系上における差異を算出するように構成しても構わない。特に、単一のセンサのセンシング性能や配置位置を考慮する必要がない場合には、予め分かっている厳密に製造された円盤状搬送対象物の規格上の半径又は直径の値を利用することもできる。また、載置位置差異算出手段(載置位置差異算出ステップ)で利用する値である「ハンド上における正規の載置位置に載置保持した円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離」として、ハンド上における正規の載置位置に実際の円盤状搬送対象物を載置保持し、その円盤状搬送体対象物をセンサに通過させた際のセンサに対する円盤状搬送対象物の通過距離そのものを用いることもできる。
【0069】
また、円盤状搬送対象物が、ウェーハ以外のもの、例えば液晶等であっても構わない。さらには、円盤状搬送対象物として、外縁部にオリフラやノッチ等の切欠が形成されたものを適用することもできる。この場合には、単一のセンサを、搬送路上において円盤状搬送対象物搬送が通過する位置であって且つオリエンテーションフラットやノッチ等の切欠が通過しない位置に設ければよい。
【0070】
また、搬送ロボットのアームは、ハンドに載置保持した円盤状搬送物を直線的な搬送可能なものであればよく、リンク要素の数や形状、関節部(軸)の数は適宜変更することができる。さらには、リンク要素同士を、水平旋回動作に代えて、或いは加えて、スライド動作可能に連結してもよい。
【0071】
また、センサとして、通過開始点でOFF状態になり、通過終了点でOFF状態からON状態に切り替わるセンサを適用してもよい。その場合、上記各式における「on」「off」の関係は逆になる。
【0072】
また、ハンド上に載置した状態で保持する態様としては、真空吸引して保持する「真空吸着保持」、ベルヌーイ効果を利用したいわゆる「ベルヌーイ保持」、機械的な爪やローラを用いて円盤状搬送対象物に物理的に接触して保持する「メカニカル保持」、静電気力で円盤状搬送対象物を保持する「静電気保持」、円盤状搬送対象物自体の重力によって保持する(例えばハンドに溝または3点以上のノッチを設け、円盤状搬送対象物を溝や複数のノッチ内に収めて保持する)「重力保持」、これら何れの載置保持態様であっても構わない。
【0073】
また、上述した実施形態では、直交座標系の第1軸をX軸とし、第2軸をY軸とした態様を例示しているが、第1軸をY軸とし、第2軸をX軸とした態様、つまり旋回軸の中心を通るハンドの正規の移動線をY軸とし、Y軸を含む水平面内においてY軸と直交し且つ旋回軸の中心を通る軸をX軸とした直交座標系であってもよい。
【0074】
また、上述した実施形態以外の演算処理によって円盤状搬送対象物の半径又は直径の値を求め、その値に基づいて載置位置の差異(ズレ量)を求めたり、その差異の補正を行うようにしても構わない。
【0075】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【0076】
1…搬送ロボット
2…アーム
23…ハンド
31…旋回軸
4…制御部
42…載置位置差異算出手段
43…補正値算出手段
44…補正値出力手段
6…センサ
7…円盤状搬送対象物(ウェーハ)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基端部を旋回軸回りに旋回させながら先端部のハンドに載置して保持した円盤状搬送対象物を搬送可能なアームと、当該アームの基端部を旋回可能に支持する旋回軸を有する本体部と、前記アーム及び前記旋回軸の作動を制御する制御部とを備え、
前記旋回軸の中心を通る前記ハンドの正規の移動線である第1軸と、当該第1軸を含む水平面内において第1軸と直交し前記旋回軸の中心を通る第2軸とによって規定される直交座標系上における前記円盤状搬送対象物の移動を、搬送路上において前記円盤状搬送対象物が通過する所定位置に設けられた単一のセンサによって検出可能に構成し、
前記制御部が、
前記ハンドに載置した前記円盤状搬送対象物に前記センサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる前記円盤状搬送対象物の前記センサに対する前記第1軸方向の通過距離と、前記ハンド上における正規の載置位置に載置保持した前記円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、前記円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して当該円盤状搬送対象物の前記ハンド上の載置位置と正規の載置位置との前記直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出手段と、
前記載置位置差異算出手段によって算出した載置位置の差異に基づいて、当該差異を前記旋回軸及び前記アームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段と、
前記補正値算出手段で算出した前記補正値を出力する補正値出力手段とを有することを特徴とする搬送ロボット。
【請求項2】
請求項1に記載の搬送ロボットの前記ハンドに載置保持した前記円盤状搬送対象物に前記センサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる前記円盤状搬送対象物の前記センサに対する前記第1軸方向の通過距離と、前記ハンド上における正規の載置位置に載置保持した前記円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、前記円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して当該円盤状搬送対象物の前記ハンド上の載置位置と正規の載置位置との前記直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出ステップと、
前記載置位置差異算出ステップによって算出した載置位置の差異に基づいて、当該差異を前記旋回軸及び前記アームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値を算出する補正値算出ステップと、
補正値算出ステップで算出した前記補正値を出力する補正値出力ステップとを有することを特徴とする円盤状搬送対象物アライメント方法。
【請求項3】
前記補正値出力ステップで出力した補正値に基づいて、前記旋回軸及び前記アームを、前記ハンドに載置している円盤状搬送対象物を正規の移載位置に移動させるように動作させる補正制御ステップをさらに有する請求項2に記載の円盤状搬送対象物アライメント方法。
【請求項1】
基端部を旋回軸回りに旋回させながら先端部のハンドに載置して保持した円盤状搬送対象物を搬送可能なアームと、当該アームの基端部を旋回可能に支持する旋回軸を有する本体部と、前記アーム及び前記旋回軸の作動を制御する制御部とを備え、
前記旋回軸の中心を通る前記ハンドの正規の移動線である第1軸と、当該第1軸を含む水平面内において第1軸と直交し前記旋回軸の中心を通る第2軸とによって規定される直交座標系上における前記円盤状搬送対象物の移動を、搬送路上において前記円盤状搬送対象物が通過する所定位置に設けられた単一のセンサによって検出可能に構成し、
前記制御部が、
前記ハンドに載置した前記円盤状搬送対象物に前記センサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる前記円盤状搬送対象物の前記センサに対する前記第1軸方向の通過距離と、前記ハンド上における正規の載置位置に載置保持した前記円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、前記円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して当該円盤状搬送対象物の前記ハンド上の載置位置と正規の載置位置との前記直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出手段と、
前記載置位置差異算出手段によって算出した載置位置の差異に基づいて、当該差異を前記旋回軸及び前記アームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値に変換して算出する補正値算出手段と、
前記補正値算出手段で算出した前記補正値を出力する補正値出力手段とを有することを特徴とする搬送ロボット。
【請求項2】
請求項1に記載の搬送ロボットの前記ハンドに載置保持した前記円盤状搬送対象物に前記センサを通過させることによってセンシングされた通過開始点と通過終了点とに基づいて得られる前記円盤状搬送対象物の前記センサに対する前記第1軸方向の通過距離と、前記ハンド上における正規の載置位置に載置保持した前記円盤状搬送対象物がセンサを通過する距離と、前記円盤状搬送対象物の半径又は直径の値とを利用して当該円盤状搬送対象物の前記ハンド上の載置位置と正規の載置位置との前記直交座標系上における差異を算出する載置位置差異算出ステップと、
前記載置位置差異算出ステップによって算出した載置位置の差異に基づいて、当該差異を前記旋回軸及び前記アームの動作座標系であるロボット動作極座標系における補正値を算出する補正値算出ステップと、
補正値算出ステップで算出した前記補正値を出力する補正値出力ステップとを有することを特徴とする円盤状搬送対象物アライメント方法。
【請求項3】
前記補正値出力ステップで出力した補正値に基づいて、前記旋回軸及び前記アームを、前記ハンドに載置している円盤状搬送対象物を正規の移載位置に移動させるように動作させる補正制御ステップをさらに有する請求項2に記載の円盤状搬送対象物アライメント方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2012−74469(P2012−74469A)
【公開日】平成24年4月12日(2012.4.12)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−217121(P2010−217121)
【出願日】平成22年9月28日(2010.9.28)
【出願人】(000002059)シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年4月12日(2012.4.12)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年9月28日(2010.9.28)
【出願人】(000002059)シンフォニアテクノロジー株式会社 (1,111)
【Fターム(参考)】
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