【課題】昇降部の上昇動作に伴って基台本体部内で舞い上がる粉塵が昇降部と基台本体部との隙間から上方へ放出されることを、ファンや排気口による排気機能や、シール部材によるシール機能に依存することなく、しかも昇降部の昇降速度を制限することなく、防止・抑制可能なロボットアーム装置を提供する。
【解決手段】アームを支持する基台を、基台本体部３と、基台本体部３の天井壁３２に形成した開口部３ａを通じて基台本体部３に対して昇降可能な昇降部４と、基台本体部３の内部空間３Ｓの上部及び下部に連通して内部空間３Ｓの空気を循環させる流路６とによって構成し、流路６のうち基台本体部３の内部空間３Ｓの上部に連通する上側流路口６１の開口断面積を、天井壁３２に形成した開口部３ａと昇降部４との隙間の断面積よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】清潔域と不潔域との交錯を防止可能な手術用動力伝達アダプタ、及びそれを備える医療用マニピュレータシステムを提供すること。
【解決手段】術具２４０とアーム２００との間に介在される手術用動力伝達アダプタ２２０であって、滅菌処理が施される清潔域に接触する第１の部位と滅菌処理が施されない不潔域に接触する第２の部位とを有するロッド２２２ａ、２２２ｂを備え、ロッド２２２ａ、２２２ｂが直動運動しても第１の部位が清潔域に位置し、かつ、第２の部位が不潔域に位置するように、ロッド２２２ａ、２２２ｂの直動運動の範囲が設定されている。 （もっと読む）

【課題】スカラロボットの関節部において、二重あるいはそれ以上の防水、防塵および吸水または塵埃の排出を可能としたスカラロボットの関節部を提供する。
【解決手段】スカラロボットの関節部６において、関節部内部と関節部外の外気に繋がる隙間に、入口側から関節内部に向って順にラビリンス部１０次いでＯリング１１を設けたこと、を特徴とするスカラロボットの関節部とした。さらにまた、空隙部１２と、内部に溜まった水や塵埃を抜き取る導出口１３を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】スライダ３０が特定の範囲で移動と停止を繰り返し、同じ位置に頻繁に停止することがあったとしても、当該停止位置で塵埃がこびりつく等の不具合を防止する。
【解決手段】略直方体形状の外殻を有する中空のケーシング１１の上面に配置されたスライダ３０と、前記ケーシング１１に設けられ、且つ前記ケーシング１１の上面に形成された開口部１７を介して前記スライダ３０を前記ケーシング１１の長手方向に往復移動させる駆動機構と、前記ケーシング１１の開口部１７を遮蔽するように前記スライダ３０を貫通する平板状のシャッタ４０と、前記スライダ３０の移動方向両側に設けられ、前記シャッタ４０の上面と非接触状態で前記シャッタ４０下面を吸引することにより、当該スライダ３０の両側での前記シャッタ４０の浮きを規制する一対の吸引手段３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】大重量の基板を高い信頼性で搬送できる基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】本ロボットは、それぞれが基板を保持する第１及び第２基板保持部11,12を有し、さらに、第１及び第２基板保持部11,12が装着された第１及び第２アーム機構13,14を備える。第１アーム機構13は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第１アーム19を有し、第１アーム19のそれぞれが、その中間部にて内向きに折曲可能に構成されている。第２アーム機構14は、主旋回軸を含む平面に関して互いに対称に配置された一対の第２アーム20を有し、第２アーム10のそれぞれが、その中間部にて外向きに折曲可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】設置形態がどの向きに変更されてもロボットコントローラの内部にオイルが流入することがないようにする。
【解決手段】フィルタ４のフィルタ外板５には、複数の第１の通気孔７、第１の筒部８、第１の鍔部９が形成され、フィルタ内板６には、第１の通気孔７に対して、フィルタ外板５とフィルタ内板６との対向方向で重ならない位置に、複数の第２の通気孔１０、第２の筒部１１、第２の鍔部１２が形成されている。さらに、第１の筒部８の長さと第２の筒部１１の長さとを足した長さは、前記フィルタ外板５とフィルタ内板６との対向距離よりも長く、第１の鍔部９と第２の鍔部１２とは、フィルタ外板５とフィルタ内板６との対向方向から見て重ならない形態に形成されている。 （もっと読む）

【課題】粉塵を発生させずに慣性センサーの出力を制御装置に伝送できるロボットを提供する。
【解決手段】昇降装置１３を有するロボットにかかわり、昇降装置１３に配置され昇降装置１３の動作を検出する角速度センサー１６と、角速度センサー１６が出力するセンサー信号を伝送する伝送部と、センサー信号を用いて昇降装置１３の動作を制御する制御装置２４と、を有し、伝送部は、センサー信号を用いて光を変調した信号光１９を生成し、信号光１９を送信する送信部１７と、信号光１９を受信して信号光１９からセンサー信号を復調する受信部１８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】吸気口を通じて筐体内部に吸入される空気を通過させるフィルタの汚れ具合を精度よく判断することができる産業機器のコントローラを提供する。
【解決手段】吸気口１８を複数の開口１８ａにより細分化された構成とし、吸気口１８を通じて吸入される空気の流速を高め得るようにする。フィルタ２６は、取付枠２４、２５に取り付けられた状態において、筐体１１の前後方向に移動可能とする。取付枠２４、２５にフィルタ２６が取り付けられた状態で、互いに対向するような位置に筐体側電極２３およびフィルタ側電極２７を設ける。 （もっと読む）

【課題】ミニエンバイロメント装置のクリーンボックス内に、クリーンエアの好適なダウンフローを形成できる、ウェーハ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】半導体ウェーハ４ｂを加工するミニエンバイロメント装置１に備わるクリーンボックス２の背面の側の側壁部２３ｂにロボット本体２０の走行装置２１を備え、ロボット本体２０を走行させることで、クリーンボックス２の床部２３ａに、ロボット本体２０が走行する軌道を設置することなく、ロボット本体２０を走行できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】コネクタの周辺に付着した油が基板の電子部品取付面上を伝い落ちて電子部品に付着することを防止できると共に、設置方法を変更した場合であっても油が電子部品に付着してしまうことを極力抑制可能なロボットコントローラを提供する。
【解決手段】空気中に油ミストが浮遊するような特殊な環境において床面に降り注ぐ油ミストや粉塵対策に基板を立設する方向でコネクタ５を床面から離すように設置された場合は、コネクタ５の周辺に付着した油がプリント配線基板６の電子部品取付面６ａ上を伝い落ちるものの、電子部品７の上方を覆う油カバー８により油が電子部品７に付着することを低減できる。また、コントローラボックス２の内面に垂れ落ちた油は薄く広がって張付いているので、ロボットコントローラの設置方法が変更になった場合であっても、油が内面から垂れ落ちて電子部品７に付着することを極力抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】直動軸に懸架ユニットを懸架する構成において、懸架ユニットが移動した場合における配線保持具からの騒音や発塵を抑制できるロボットを提供する。
【解決手段】直動ユニット２と旋回ユニット３との間を曲面を持つ曲げ状態で接続するケーブルベア１５は、曲げ方向が水平方向となるように配置されているので、ケーブルベア１５自体が自分自身の重力方向の荷重を受けることが可能となる。これにより、ケーブルベア１５と保持部材１６とが衝突することがなくなり、衝突音、或いは衝突による発塵を抑制することができる。しかも、ケーブルベア１５は、直動軸４の側方に配置されているので、直動軸４の上面にケーブルベア１５を配置する構成に比較して、ロボット１の高さ寸法を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ロボットの関節部に組み込んだ駆動機構からの潤滑剤や塵埃の漏出を確実に防止するとともに、ロボットの外部環境から関節部内への異物の侵入を確実に阻止する。
【解決手段】ロボットの第１関節部１６に設けられる密封装置１０は、第１駆動機構３４に対して複数段に重複するシール部１１６、１１８を形成する。第１シール部１１６は、第１駆動機構３４に与えられる潤滑剤保有部（空所１０８ａ、減速機４２、軸受４４、４６、４８）に隣接して形成される第１の部材間隙１２０をシールする第１の接触シール要素１２２を備える。第１シール部１１６の外側に配置される第２シール部１１８は、第１駆動機構３４の収容空間１０８を画定する第１関節部１６の周囲壁１１０に形成される第２の部材間隙１２４をシールする第２の接触シール要素１２６を備える。 （もっと読む）

【課題】２つのハンドを備えた搬送装置において、ハンドの動作にともなう振動の発生やアームのダレなどの不都合を低減する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に対し、旋回軸Ｏｓを挟んで旋回軸Ｏｓから等距離にある回動軸Ｏ１，Ｏ２周りに回動可能に支持されたアーム４Ａ，４Ｂと、アーム４Ａ，４Ｂのそれぞれに固定状に支持され、ワークＷを保持しうるハンド６Ａ，６Ｂと、旋回ベース２を回動させる旋回駆動手段と、アーム４Ａ，４Ｂを回動させるアーム駆動手段と、を備え、各ハンド６Ａ，６Ｂは、これに保持させるワークＷの中心が位置するべき基準点Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ有し、上記旋回駆動手段と上記アーム駆動手段が連動して、ハンド６Ａ，６Ｂのいずれか一方を、基準点Ｓ１または基準点Ｓ２が旋回軸Ｏｓを通る水平直線上の移動行程ＧＬを移動するように所定位置間を移動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】スカラ型ロボット１０は、基台１１に回動可能な回転軸１２に固着された水平方向に延びる第１のアーム１３を備え、そのアーム１３の先端部である支持部１４には第２のアーム１５が回動可能に連結され、該アーム１５の先端部には上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転可能な主軸１６が主軸筒に支持されている。主軸１６には、上端部に上部連結部材２１が、下端部に下部連結部材２２が各々回動可能に備えられている。両連結部材２１，２２は、主軸１６に平行な２本の補助軸２３にて接続されて、該アーム１５の先端下面に設けられた回転防止部材２４の嵌合溝２４ａに嵌合されている。この構造により、主軸１６の先端部の振動は好適に抑制される。 （もっと読む）

【課題】小型で装置環境を汚染しない搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１、２は、死点脱出機構５０が簡単な構造で厚みが薄い。また、ハンド部２０の連結部が薄くできるため、ハンド部２０を挿入するゲートバルブの開口を小さくすることができる。その結果、搬送室内のダストが処理室に侵入しにくくなる。第一、第二の回転軸１１、１２が、同心状に配置されているため、装置の設置面積が小さく、また、旋回半径が小さいので、この搬送装置１、２を配置する搬送室を小さくすることができる。 （もっと読む）

本発明は、概してマシーンに関し、より具体的には、パーソナルアフェクターマシーンを提供するためのシステムおよび方法に関する。一実施形態において、本発明は、上面フレーム、横断部材（横断部材は、上面フレームから延び、上面フレームに対して並進および回転のうちの任意の運動をするように構成可能である）、アフェクターヘッド（アフェクターヘッドは、横断部材に結合され、上面フレームに対して並進、回転および旋回のうちの任意の運動をするように構成可能であり、アフェクターを有する）、底面フレーム（底面フレームは、上面フレームに結合されている）、およびカセット（カセットは、その中に材料を取り外し可能に固定するように構成可能であり、底面フレームに取り外し可能に装着可能である）を含み、アフェクターは、カセットの中の材料を複数の次元においてアフェクトするように構成可能である。
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【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）