【課題】搬送アームに付着しているコンタミを除去する基板処理装置の制御方法を提供する。
【解決手段】基板の搬送を行うための静電チャックを有する搬送アームの洗浄方法であって、前記搬送アームに帯電している異物が付着している場合において、前記搬送アームに前記基板が載置されていない状態で、前記静電チャックの電極の各々に帯電している異物の電荷の極性と同じ極性の電圧を印加する電圧印加工程を有し、前記搬送アームに付着している異物を除去することを特徴とする搬送アームの洗浄方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 基板の両面を同時に保持することにより、保持面積の拡大、保持力の向上を図ると共に、基板受け渡し面のチルト補正の容易化、基板の面精度の維持を可能にし、装置全体の基板搬送スループット向上、および搬送精度の向上を実現する。
【解決手段】 基板８の両面の一方を吸着する第１保持部２，３と、他方に当接してそれを支持する第２保持部６，７と、基板を吸着した第１保持部を第２保持部側へ付勢する付勢手段４，５とで基板保持機構１を構成する。 （もっと読む）

【課題】ウエハー移送装置を提供すること。
【解決手段】ウエハー移送装置は、セラミックブレード、電極、複数のパッド、コーティング膜、及びロボットアームを含む。ブレードはウエハーを支持する。電極は、ブレード内部に備えられ、ウエハーを吸着するための静電気力を発生する電源が印加される。パッドは、ブレードの上部面に備えられ、これによって前記ウエハーとパッド間に摩擦力が提供される。コーティング膜は、ブレード上に具備される。ロボットアームは、ブレードと接続されてブレードを移動させる。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】絶縁性基板を吸着した状態で搬送できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置２０の腕部２２に、幅４ｍｍ、間隔２ｍｍ以下の電極を有する吸着装置２３を取り付ける。大きなグラディエント力が得られるので、絶縁性基板１１を吸着できる。その場合、絶縁性基板１１をつり下げた状態にしたり、立てた状態で搬送することができる。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】絶縁性基板を吸着した状態で搬送できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置２０の腕部２２に、幅４ｍｍ、間隔２ｍｍ以下の電極を有する吸着装置２３を取り付ける。大きなグラディエント力が得られるので、絶縁性基板１１を吸着できる。その場合、絶縁性基板１１をつり下げた状態にしたり、立てた状態で搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】低い電圧で大きな被吸着力が得られ、被吸着物の表面粗さを吸収できる静電誘導吸着具及び静電誘導吸着方法を提供する。
【解決手段】静電誘導により被吸着物を吸着する静電誘導吸着具において、糸状の誘電材１２内に並置された複数本の導電線１４ａ，１４ｂを有する静電誘導糸１０と、導電線間に静電場を発生する電源と、を備え、電源により導電線間に静電場を発生し、静電誘導により静電誘導糸の表面付近で被吸着物を吸着する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の信頼性の向上を図る。
【解決手段】ダイボンディング工程において、平坦な吸着面９ａと吸着力を発生させる内部電極とを有し、かつ吸着面９ａの大きさ≧半導体チップ１の主面１ａの大きさの関係である静電吸着コレット９を用いて半導体チップ１をピックアップすることにより、半導体チップ１の被吸着面全面を押さえて吸着保持することができ、ダイシングテープ１２から剥離する際に半導体チップ１の外周部が撓むことを防止できる。これにより、ピックアップ時の半導体チップ１のワレ、欠け等のダメージの発生を防止することができ、半導体装置の信頼性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】１本のプローブでも容易に試料の採取が行うことができるマイクロマニピュレータを提供する。
【解決手段】プローブ７は、中心部１５と、中心部１５を同心円状に覆う外周部１６とからなり、中心部１５の先端１７を外周部１６から露出させている。中心部１５はガラス１５などの絶縁体で形成されており、電源９に接続されて、電源９に接続されて選択的に正極性もしくは負極性の電圧が印加されることで静電気を帯びる。また、外周部１６は、鉄１４などの導電体で形成されており、アース接続されて電気を帯びない状態となる。したがって、半導体ウエハ２上の試料３を採取した時に、試料３が外周部１６の表面には吸着せず、先端１７に吸着する。 （もっと読む）

【課題】時計の少なくとも１つの部品（１４）を把持し組み立てる、第１枝部（１６）と第２枝部（１８）を有するピンセット（１２）と把持システム（１０）を提供する。
【解決手段】 前記第１枝部（１６）と第２枝部（１８）は、ピンセット（１２）の第１端（２０）で結合され、第２端で、把持先端（２２）を形成し、ピンセット（１２）のユーザが、ピンセット（１２）の第１枝部（１６）と第２枝部（１８）に自分の指で機械的圧力をかけ、ピンセット（１２）を手動で操作することにより、前記把持先端（２２）により部品（１４、１５）が、把持され、前記第１枝部（１６）は、静電気吸引力により、半導体材料製部品（１４、１５）を把持する少なくとも１個の静電気把持表面（２４）を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハのような薄物ワークを取り扱う場合において、薄物ワークに負圧を作用させる真空吸着と静電気による吸着とを併用し、吸着面とワークとの間で汚染等により吸着保持に問題を生じることのないピンセットを提供する。
【解決手段】吸着面（１４）を有し、該吸着面に沿って真空吸着溝（１６）を設けた、誘電体よりなる吸着パッド本体（１２）と、前記真空吸着溝に連通可能な負圧源と、前記吸着パッド本体の内部に埋め込まれ且つ高圧電源に接続可能な静電気力発生用電極（１８）と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被処理物を確実に静電吸着保持することが可能な保持方法、それに用いるのに適した静電吸着機構、該静電吸着機構を用いた静電吸着プローブ、被処理物搬送方法、および被処理物搬送装置を提供する。
【解決手段】極性の異なる少なくとも一対の電極（陰極電極１１および陽極電極１２）を備えた静電吸着ヘッド２ａの、極性の異なる一対の電極を結ぶ線上に設けた保持部３に被処理物１を位置させ、静電気力を作用させることにより、被処理物１を保持部３に保持させる。
また、被処理物と保持部とが面接触した状態で、被処理物が前記保持部に吸着保持されるようにする。
保持部３を溝状構造部とし、被処理物１が溝状構造部の内壁３ａ，３ｂに面接触して保持されるようにする。
被処理物が当接するストッパを設ける。
静電吸着ヘッド本体を取り外し可能にする。 （もっと読む）

【課題】多ノズル化され、かつ、チップシュリンクさえた記録素子基板のハンドリングにおいて、吸着固定を安定化させ、傷等をつけないことにより、生産効率や歩留まりの低下を防止するための静電チャック装置を提供する。
【解決手段】 絶縁性吸着層２７の表面と、記録素子基板１の液体吐出口７を含む液体吐出口近傍とを接触させないための開口状（凹状）の逃げ部２７ｂが、絶縁性吸着層２７の表面に突起部２７ａを設けることで形成されている。この逃げ部２７ｂにより、液体吐出基板吸着時に、液体吐出口７を含む液体吐出口近傍が静電チャック装置２０に接触しないため、液体吐出口７をゴミ等のかみこみで傷つける事がない。 （もっと読む）

【課題】真空吸着式に代えて静電吸着式を採用することにより真空吸着式のコレットの課題を解決できるダイボンディング装置を提供すること。
【解決手段】静電吸着力を用いて半導体チップ又は絶縁フィルムなどの把持対象物１０４を吸着把持する把持装置２００を備えたダイボンディング装置である。この把持装置２００としては、ベース部材２０４の一面に正の電圧が印加される電極面積と負の電圧が印加される電極面積とが等しい一対の電極要素２０２ａ、２０２ｂから構成された電極が絶縁材料２０３に埋設されて固定されている静電吸着装置を有している。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな高圧電源や、電気回路、装備などを必要せず、取出しの困難な微小絶縁物を簡単な方法により容易にピックアップして次の解析などにステップアップできるマイクロマニピュレーターとそれを用いた微小絶縁物の採取方法を提供する。
【解決手段】 先端部が尖鋭又は角錐状若しくは円錐状の金属製ニードル１と、アース接地された導電材部２と、該金属製ニードル１の末端部に前記導電材部２との電気的接続をＯＮ／ＯＦＦ切り替え可能な開閉接点部３とを備え、前記金属製ニードル１の先端部側以外の基部と導電材部２と開閉接点部３とが柄部６に装着固定されている。 （もっと読む）

【課題】 静電チャックと基板との間にトレーを介在させることなく、静電チャックに複数枚の基板を設置できる静電チャックを提供する。
【解決手段】 本発明の静電チャック１０は、そのチャック台１３の上面に、複数のチャック領域１６を備えている。各チャック領域１６は、チャック台１３の上面に複数突出形成された島状部１７の各々の上面に形成されている。各島状部１７の内部には、基板吸着用の双極型の電極層と、基板冷却用ガスの流出孔１８がそれぞれ設けられている。この構成により、複数の基板が載置されたトレー上面にカバーを取り付けて基板をトレー４０に保持する作業が不要となるので、作業性および生産性が向上し、基板の冷却効率も高められる。 （もっと読む）

【課題】大気中での保持から真空中での保持に移行した場合にも、ハンドリング対象物の離反動作が円滑に行えるハンドリング装置を提供すること。
【解決手段】互いに異なる電圧を印加することが可能な電極要素１０３ａ、１０３ｂがハンドリング対象物１０４に向けて露出して隣接して配設されており、電極要素１０３ａ、１０３ｂに異なる電圧を印加させることにより、高抵抗性のハンドリング対象物１０４を保持面１０２ａに静電気吸引力により吸引して接触的に保持し、電圧の印加を遮断して接地することにより静電気吸引力を解除してハンドリング対象物１０４を保持面１０２ａから離反させるハンドリング装置である。静電吸引力が働く位置までハンドリング対象物１０４を引き寄せる機械的引き寄せ装置１０６を備えていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、搬送を行う基板の材質や反りにより基板の吸着力が低下しても、確実に静電吸着により基板を保持して、搬送を行う基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、保持部に電極を形成し、電極に電圧を印加して、電極と被保持材との間に生じる電位差により電極と被保持材との間に静電保持力を発生させ、静電保持力により被保持材を保持して被保持材の搬送を行う搬送装置において、前記被保持材の搬送時に必要な必要保持力になるように、前記搬送装置の被保持材に対する静電保持力を変更することを特徴とする。 （もっと読む）