【課題】ウェハ処理装置で正常位置に対してどの方向に位置ずれが生じても確実に位置ずれを検出でき、少数の光学的センサを用いて検出できるウェハ位置ずれ検出装置およびウェハ位置ずれ検出方法を提供する。
【解決手段】このウェハ位置ずれ検出装置は、伸びと縮みを行うアーム機構部、アーム機構部の先部の把持プレート３７、アーム機構部を回転させる回転機構部、回転機構部等を支持するベース、ベースの上に位置不変の第１および第２の光センサ１３，１４を備えたロボットアーム１２を有する。ウェハ１７が第１の位置にあるときにおける、第１の光センサによる検出結果と第２の光センサによる検出結果との第１の組合せ結果と、ウェハが第２の位置にあるときにおける、第１の光センサによる検出結果と第２の光センサによる検出結果との第２の組合せ結果とに基づいてウェハの位置ずれの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】アームの歪みを正確に検出して、アームの歪みに係わらずアームを設定位置に正しく停止させることができるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワークの把持、取り出し、取り付けあるいは搬送等を行うために作動するアーム２１，３１と、前記アーム２１，３１の作動を制御する作動制御手段６１と、前記アーム２１，３１の両側に設けた歪みゲージ４１Ａ，４１Ｂ，５１Ａ，５１Ｂとを備え、前記歪みゲージ４１Ａ，４１Ｂ，５１Ａ，５１Ｂで検出した前記アーム２１，３１の歪みに基づいて前記アーム２１，３１の作動を前記作動制御手段６１で調整し、前記アーム２１，３１の歪みに係わらずアームを設定位置に正しく停止できるようにする。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションの実施に費やす作業時間を短縮すること及び機構パラメータの良好な同定精度を得ることを可能としたパラレルメカニズム及びそのキャリブレーション方法を提供する。
【解決手段】直交座標系で与えられるリンクヘッの回動位置及び移動位置に対応する指令値を機構パラメータに基づいてアクチュエータ３５６〜３５９に対する指令値に変換し、アクチュエータ３５６〜３５９を制御する制御部３を備え、この制御部３は、リンクヘッドに所定の回動量及び移動量で動作させたときのアクチュエータ３５６〜３５９に対する指令値とそのときの検出器３８０の出力値とに基づいて機構パラメータを補正する。 （もっと読む）

本発明は、キャリア（１）の上に配置された物品（２）を探索し収集する方法に関する。スキャン動作は、キャリアの上で行われる。走査はラインレーザスキャナ（８）によって行われる。走査の結果は、走査された領域を示す仮想面（１８）を生成するのに使用される。仮想面は、キャリア（１）から収集される物品（２）に対応する事前定義の仮想物品（１５）と比較される。これにより、事前定義の仮想物品と適合する仮想面（１８）の一部が特定される。次にロボットアーム（５）が仮想面の特定された部分に対応する場所に移動され、この場所でキャリア（１）から物品を収集するようになる。 （もっと読む）

【課題】被施療者のある部位に対する力の印加方向を変えて、より効果的なマッサージを行うことができるものとする。。
【解決手段】少なくとも３つ以上の回転または並進可能な関節３０を備えた多関節型アーム３１の先端にマッサージ用施療子３２を配したマッサージ機である。各関節を独立に駆動するアクチュエータと、各関節の回転または並進の変位を検知する変位センサと、上記アクチュエータを駆動する制御回路とを具備する。制御回路は三次元的に任意な向きに設定されたベクトルでアーム先端の施療子を駆動する。人体のある部位に対して施療子を介して力を加える方向を任意とすることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、より高い自由度で関節部を駆動することができる着用形関節駆動装置を得ることを目的とするものである。
【解決手段】体幹側フレーム１と上腕フレーム２の接続板４との間には、第１及び第２のリンク部材５，６が互いに交差するように配置されている。第１及び第２のリンク部材５，６は、肩関節部の外側へ凸となるように円弧状に湾曲されている。第１及び第２のリンク部材５，６と体幹側フレーム１との間、第１及び第２のリンク部材５，６と接続板４との間には、第１ないし第４の連結体７〜１０が設けられている。連結体７〜１０としては、それぞれユニバーサルジョイントが用いられている。 （もっと読む）

【課題】移動動作に起因する上肢の揺れを抑制し，歩行動作の安定化が図られたロボットを提供すること。
【解決手段】まず，ロボットの胴体に配置された姿勢制御センサにて胴体の加速度を検出する（Ｓ１）。次に，その加速度および上肢の姿勢情報から手先が受ける加速度を算出する（Ｓ２）。つまり，姿勢制御センサにて検出された胴体の加速度と上肢の各関節の関節角とを基に，手先が受ける加速度を算出する。次に，手先が受ける加速度を基に手先の微小変位量を算出する（Ｓ３）。そして，手先の位置を，手先の加速度を感知した方向にならう方向に微小変位させる（Ｓ４）。つまり，手先の微小変位量を手先の歩容データに反映させる。これを繰り返すことにより，手先および胴体の振動が抑制される。 （もっと読む）

薄板状物の取出しや収納時、支持アームのエンドエフェクタ上に於ける薄板状物の適正位置とずれ位置の検出を行い、且つその修正作業を効率的に行う。検出手段（１８）を支持アーム（１４）上に備え、検出手段（１８）はコ字状でその開放口をエンドエフェクタ（１１）側となし、且つ薄板状物（２）が通過するさい干渉することなく奥行きを有する構成となしてある。
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【課題】ロボット装置と操作者間の距離が離れている場合に、肢体と移動手段を利用することにより音声の誤認識を回避し、音声認識の機能を向上できるロボット装置および制御方法を提供する。
【解決手段】移動手段を有した基部１０１と、基部１０１の上部に設けられた胴部１０３と、胴部１０３の側面上部に設けられたアーム１０４と、表示機能を有した顔部１０７と、操作者の音声指令を検知する聴覚センサ１０５と、操作者の体や顔を検知する視覚センサ１０６とを備えるロボット装置において、聴覚センサ１０５をアーム端に備える。 （もっと読む）

【課題】人との握手を可能にしてコミュニケーション機能を向上させると共に、握手したときの姿勢を安定に保つようにした脚式ロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】腕部を駆動するアクチュエータの動作を制御して握手の姿勢を生成する（Ｓ１６）。また、腕部に作用する外力（握手することによって腕部に作用する外力）を６軸力センサで検出すると共に、検出した外力に基づき、脚部を駆動するアクチュエータの動作を制御する姿勢安定制御を行う（Ｓ２０）。 （もっと読む）

【課題】さほど精度は高くないが安価に構成できる仮想ばねシステムを提供することにある。
【解決手段】基部に支持された電動式アクチュエータ１と、前記基部に揺動可能に結合された被駆動部材にその電動式アクチュエータの出力部材を連結するとともに、それら被駆動部材と出力部材との間に働く引張力または圧縮力を検出する連結・力検出手段４と、その連結・力検出手段が検出した力の大きさに基づき前記電動式アクチュエータの作動を制御するアクチュエータ制御手段とを具え、前記連結・力検出手段が、前記被駆動部材と出力部材との一方に連結された案内部材４ｃと、前記被駆動部材と出力部材との他方に連結されるとともに前記案内部材と摺動可能に嵌まり合ったスライド部材４ｅと、前記案内部材とスライド部材との間で挟圧されて圧縮力を検出する感圧センサ４ａと、を有してなる、仮想ばねシステムである。 （もっと読む）

【課題】 周辺の人間や障害物との衝突を防止するロボットを得る。
【解決手段】 本発明の衝突防止機能付ロボットは、本体１に設けたアーム７と、アームを制御するアーム制御部５と、アームに設けられ周辺の人間１０や物との距離を検出する距離センサ８とこの距離センサの検出信号に基づいて周辺の人間や物の近接の有無をチェックする近接チェック部３と近接チェック部の確認結果に基づいて周辺の人間に知らせる近接提示部２とからなる衝突防止機能とを備えており、アーム制御部は、近接チェック部がアームと周辺の人間や構造物とが近接したと判断すると、アームと周辺の人間や構造物との距離を一定値以上に保ちつつ、指令された動作を継続させるものである。 （もっと読む）