【課題】構成簡易ながら検知範囲を広く設定し得る上に死角が少なく、かつ接近感知部を軽量とすることが可能な真空用接触センサを得る。
【解決手段】接近感知部１０は、互いに接触または近接すると電気的に導通するように構成された可撓性を有する第１および第２の導電性薄板１１，１２を、内外方向に互いに離間した状態でアーチ状に湾曲形成してなるものであり、マニピュレータ３の先端表面部の全域を覆うように配置されている。マニピュレータ３が他物体と衝突する前に接近感知部１０が他物体に当接して変形し、第１および第２の導電性薄板１１，１２が互いに接触または近接して電気的に導通したことを導通検出回路部２０が検出することにより、マニピュレータ３が他物体と接近したことを検知する。 （もっと読む）

【課題】 従来までの上半身の動きを補助するための装置においては、前記補助装置を利用する際、利用者は自身の腕を前記補助装置に固定する必要があり、前記装置の利用者は、前記装置の装着時に違和感を感じることを余儀なくされていた。
【解決手段】 本発明は、利用者の上腕部分および前腕部分を支える、アルファベッドの「Ｕ」のような形などをした支持体を有し、前記前腕部分の支持体に、かまぼこ型状でありその表面が滑りやすい材質からなるセンサーを備えた腕運動支援装置である。 （もっと読む）

【課題】画像計測時にマーカの中心部を含む部分が遮蔽されていても作業部の位置の校正を行うことを可能とする。
【解決手段】作業装置は、被作業物体に対して作業を行う作業部と、マーカ中心点から放射状に複数のマーカが配置された校正治具とを有し、複数のマーカは、立体的に配置されており、校正治具は、作業部に対して設定された校正用の基準点とマーカ中心点とが一致するように作業部に装着されている。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸方向に所定の負荷をかける機器の試験を行う自動試験装置において、Ｚ軸方向へ所定の負荷をかける加重制御の管理可能な加重の幅を広くする。
【解決手段】Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞれ移動するＸ軸移動ユニット２、Ｙ軸移動ユニット３、Ｚ軸移動ユニット４を備えた自動試験装置において、前記Ｚ軸移動ユニット４に固定されＸ軸方向の下方に延びたアーム４０４の下端部に取り付けられた加重制御ユニット４０１と、前記加重制御ユニットの下側に取り付けられた作用子４０２を備え、前記加重制御ユニット４０１は、前記上側固定板４０１ａに設けられた孔４０１ｅに上側固定板４０１ａには摺動自在となるように貫設し、上部に前記下側稼動板４０１ｂの下方向の移動を係止する係止部を具備した圧縮バネ案内軸４０１ｄと、前記圧縮バネ案内軸４０１ｄに案内される圧縮バネ４０１ｃから構成されている。 （もっと読む）

【課題】ユーザが押圧操作によって正負の値や方向を直観的に入力できるようにする入力装置等を提供する。
【解決手段】入力装置１０１において、センサ部１０２は、ユーザによる押圧の強さを検知し、判断部１０３は、押圧の強さが第１閾値以上である期間が第１閾時間連続して以降、第２閾値以下である期間が第２閾時間連続するまでの出力期間であるか否かを判断し、取得部１０４は、出力期間が開始したと判定されると、当該出力期間の開始時点に先行する第３閾時間の期間に検知された押圧の強さの平均を基準値として取得し、出力部１０５は、出力期間であると判定されている間、検知された押圧の強さから基準値を減算した結果を、指示値として出力する。センサ部１０２を移動体の表面に貼付し、指示値が正のときにセンサ部を押す方向に、負のときにセンサ部を引く方向に移動体を移動させれば、直観的な移動体の位置操作が可能となる。 （もっと読む）

【課題】機構や制御アルゴリズムを単純にしつつも、様々な形状の物体を確実に把持することができるマニピュレータを提供する。
【解決手段】複数の関節軸１１１，１１２，１１３及び複数のリンク１３１，１３２，１３３を有し、複数の関節軸１１１，１１２，１１３の回転角が一定の関係を保つように複数のリンク１３１，１３２，１３３が連動して閉じる方向に動く指１と、指１と対向して配置され、複数の関節軸２１１，２１２，２１３及び複数のリンク２１１，２１２，２１３を有し、複数のリンク２３１，２３２，２３３のうち根元側のリンク２３１から順に閉じる方向に動き、且つ根元側のリンク２３１が物体に接触すると、根元側のリンク２３１に隣り合うリンク２３２が閉じる方向に動く指２と、指１及び指２を駆動する駆動源１００，２００を備える。 （もっと読む）

【課題】操作棒に無理な力が作用することなく、操作棒の作用力に倣う方向を維持したまま並進方向の操作力を正確に力センサに伝達することが可能となり、実際の配電作業での適用に耐える安全性の高いダイレクト操作装置を提供する。
【解決手段】ダイレクト操作装置２を、基部２０と、基部２０に固定された複数の雄コネクタ２１と、雄コネクタ２１のいずれか１個に接続固定される雌コネクタ２２とから構成し、雌コネクタ２２が雄コネクタ２１の接続を検知する圧電スイッチを内蔵した接合部と、接合部に設けられる力センサ部と、力センサ部を介して立設された少なくとも２自由度の回転機構を備えたフック部とを備え、力センサ部がフック部の引き回しによる力を検知して制御装置１０へ出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら、多軸ロボットの位置ずれを生じるような不具合が発生した部分を、正確かつ確実に把握する。
【解決手段】多軸ロボット１２の位置ずれが生じる可能性のある各部位１４、１６、１８に取付けられた、レーザーポインタの光軸を、多軸ロボット１２から離間しかつ各投光手段から照射される光Ｌを受光することが可能な場所に設置された、標的２２に合わせる。そして、多軸ロボット１２に位置ずれが生じた場合には、多軸ロボット１２を、位置ずれ検知用の基準位置に復帰させ、各レーザーポインタから順番に標的２２に対し光Ｌを投光する。そして、各光軸のずれの有無を、標的２２上の光点の位置によって目視で把握することにより、位置ずれの発生部位を正確に特定する。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡において、高精度な観察と、安定した把持とを両立させることができるＡＦＭピンセットの提供。
【解決手段】ＡＦＭピンセットは、三角柱部材の稜線の先端を走査型プローブ顕微鏡の探針として使用可能な第１のプローブ１０Ｂと、第１のプローブ１０Ｂに対して開閉自在に設けられた三角柱部材から成る第２のプローブ２０Ｂとを備え、各三角柱部材の所定の周面がほぼ平行状態で対向するようにプローブ１０Ｂ，２０Ｂを並置した。そして、稜線の先端で試料を走査する際の試料との干渉を防止する切り欠き部１００を、第１のプローブ１０Ｂに形成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確にガラス基板の位置を検出し、位置を補正して搬送する液晶搬送ロボットを提供する
【解決手段】リンク機構（１Ａ、２Ａ）からなる昇降機構（１Ｃ、２Ｃ）と、リンク機構（３Ａ、４Ａ）からなる水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ）と、前記水平多関節機構に矩形形状の基板Ｗを載置するハンド部９と、前記昇降機構（１Ｃ、２Ｃ）に備えられた走行台車１２からなる液晶搬送ロボット１において、前記ハンド部９と前記水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ）の間にコラム８が備えられ、前記コラム８に前記基板Ｗの位置を検出するセンサ１０が備えられたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正確にガラス基板の位置を検出し、位置を補正して搬送する液晶搬送ロボットを提供する
【解決手段】リンク機構（１Ａ、２Ａ）からなる昇降機構（１Ｃ、２Ｃ）と、リンク機構（３Ａ、４Ａ）からなる水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ、５Ｃ、６Ｃ）と、前記水平多関節機構に矩形形状の基板Ｗを載置するハンド部９とからなる液晶搬送ロボット１において、前記ハンド部９と前記水平多関節機構（３Ｃ、４Ｃ、５Ｃ、６Ｃ）の間にコラム８が備えられ、前記コラム８に前記基板Ｗの位置を検出するセンサ１０が備えられたものである。 （もっと読む）

【課題】ワークとハンドとの相対位置が一定にならない場合でも、この把持したワークの位置や姿勢を高精度で制御できるワーク搬送システムを提供すること。
【解決手段】組立てシステム１は、ミラー６０を把持するハンド１２１と、このハンド１２１の位置および姿勢を変化させるアーム１２２と、把持されたミラー６０をセンシングして、このセンシングしたデータを出力する第２のマニピュレータ１３と、これらを制御する制御部７０と、を備える。制御部７０は、ミラー６０の搬送経路についてのティーチングデータを予め記憶しておき、センシングデータに基づいて、ミラー６０の位置および姿勢を実測データとして生成し、ミラー６０の搬送中、ティーチングデータと実測データとを照合してずれ量を算出し、この算出したずれ量に基づいて、ミラー６０の位置および姿勢がティーチングデータに略一致するように、アーム１２２を制御する。 （もっと読む）

【課題】冷機状態、暖機状態の区別なく、運転再開後直ぐに本来の搬送精度で基板の搬送を行うことができ、基板間における処理について高い均一性が得られる基板搬送装置等を提供する。
【解決手段】
基板を保持する保持部１３に回転自在にアーム部１１、１２が連結された関節型の搬送アーム１０ａ、１０ｂを備えた基板搬送装置１ａ、１ｂにおいて、加熱手段６１ａ、６１ｂは当該アーム部１１、１２を加熱し、温度検出手段６４ａ、６４ｂは各アーム部１１、１２の温度を検出する。そして制御手段７は、基板搬送開始前に前記アーム部１１、１２を加熱し、温度検出手段６４ａ、６４ｂによる温度検出値が予め設定した設定温度範囲まで上昇した後に基板の搬送を許可し、その後は温度検出値が設定温度範囲内に維持されるように加熱手段６１ａ、６１ｂを制御する。 （もっと読む）

少なくとも人体の一部分に近似し、少なくとも人体の一部分に連結可能である形状にされ、人体の動きを模倣するように構成されたロボット骨組に使用されるロボット変位装置。この装置は、センサと人間の操作者の四肢との間において、基準線を制御する界接面の力の状態の関係を検出する、ロボット骨組に取り付けられた複数の力センサを用いる。センサから出力された力の信号、およびロボット骨組に対する重力の力および方向に基づいて、計算システムが、少なくとも、制御する力の状態の関係を維持するのに必要である回転力を計算する。次に、計算システムは、作動信号を発生して、制御する力の状態の関係を維持するためにロボット骨組の一部分を変位させる、ロボット骨組に取り付けられた駆動システムに送信する。
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【課題】腕部を有するロボットにおいて、周囲環境に依存しない方法で把持対象物の三次元形状の認識を行うロボット装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係るロボット装置１０は、頭部１１と、頭部１１に連結された腕部１３と、腕部１３に設けられ、ワークＷの上面を撮像する手先カメラ１５と、頭部１１に設けられた頭部カメラ１２と、手先カメラ１５によって撮像したワークＷの画像に基づいて、手先カメラ１５の移動経路を計画する算出部とを有し、移動経路に沿って移動する手先カメラ１５によって撮像された画像と、頭部カメラ１２によって撮像された画像とに基づいてワークＷの三次元形状を認識するものである。 （もっと読む）

【課題】ワークストック等の搬送元、搬送先の装置の出し入れが狭い環境であっても、迅速、確実にワークを搬送する半導体製造用搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動部を格納する本体部２と、回動中心３０、４０、５０を中心として水平方向に回動自在に取り付けられた第１アーム３、第２アーム４、第３アーム５と、ワークを吸引する吸引口６４，６５を設けた爪６２、６３を有するハンド部６と、開口部５１内にハンド部後端６１を支持するスライド部とを備え、ワークストックの棚に差し込んだワークを出し入れする。また、ワーク検出センサ５２を備え、ハンド部６が第３アーム５へ後進したときにワークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】外圧の大きさおよび方向を高感度で検出することができるとともに製造が容易な触覚センサ、およびその製造方法ならびに触覚センサユニットを提供することである。
【解決手段】触覚センサ１００は、カンチレバーＣＬおよびエラストマー層１０５を有する。カンチレバーＣＬは、ノンドープ層１０３ａおよびドープ層１０３ｂを有する。ドープ層１０３ｂの格子定数はノンドープ層１０３ａの格子定数より小さい。これにより、カンチレバーＣＬは湾曲している。ドープ層１０３ｂは、結晶シリコン膜にホウ素を添加することにより形成されている。エラストマー層１０５に外圧が加わることにより、カンチレバーＣＬが変形する。カンチレバーＣＬが変形することにより、ドープ層１０３ｂのピエゾ抵抗が変化する。したがって、ドープ層１０３ｂのピエゾ抵抗の変化を検出することにより、触覚センサ１００に作用する外圧の大きさおよび方向を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】操作者に密着させずに済み、調整も容易なパワーアシスト装置用のセンサ、およびこのセンサを組み込んだパワーアシスト装置を提供する。
【解決手段】脚部３５の上端に関節部を介して一端側が回動自在に連結され、操作者の上腕が挿入可能な第１の外装部４６と、第１の外装部４６と関節部を介して連結され、操作者の前腕が挿入可能な第２の外装部４８と、第２の外装部４８と関節部を介して連結され、操作者の手が挿入可能な第３の外装部５０と、第１の外装部、第２の外装部および第３の外装部のそれぞれを関節部を中心として回動させる複数のアクチュエータ３８ａ，３８ｂ，３８ｃと、各外装部内に設けられ、操作者の腕または手によって押圧されて変形する複数の押圧検出センサ５２と、いずれかの押圧検出センサ５２の変形を検出した場合に、外装部を押圧により変形した距離だけ移動させるように各アクチュエータを制御する制御部７８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】操作者への取り付けおよび取り外しを容易に行うことができるパワーアシスト装置を提供する。
【解決手段】上腕が挿入可能な第１の外装部４６と、第１の外装部４６と関節部を介して連結され、前腕が挿入可能な第２の外装部４８と、第２の外装部４８と関節部を介して連結され、手が挿入可能な第３の外装部５０と、第１の外装部、第２の外装部および第３の外装部のそれぞれを関節部を中心として回動させる複数のアクチュエータ３８ａ，３８ｂ，３８ｃと、各外装部の内壁面に、腕および手を拘束しないように設けられた複数のセンサ５２と、操作者の腕または手が外装部４４内で移動したことをセンサ５２が検出した場合には、外装部４４を腕または手の移動に追随させるように制御する制御部７８とを具備し、各外装部４４は、一方側が開口した断面コの字状に形成されており、操作者の腕および手の挿入・抜き出しを開口部から行うことができるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】障害物の３次元形状や大きさを視認して遠隔移動型ロボット操作において障害物の除去や回避する行動ができるようにした遠隔操作ロボットシステムを提供することにある。
【解決手段】カメラと距離計測装置を備えたマニピュレータを設置した移動型ロボットシステムのマニピュレータを操縦システムにより遠隔操作する方法であって、表示装置に表示されたカメラ画像を見ながら少なくとも障害物がカメラ画像内に映し出されるようにマニピュレータを遠隔操作する操作過程と、該操作過程で映し出された少なくとも障害物についての３次元形状を前記距離計測装置により計測する計測過程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）