【課題】簡素な構成でシート状で大型のワークを安定して保持する。
【解決手段】エアが供給される供給ポート１２を有するトッププレート１４と、前記エアが吐出される複数の吐出孔１６を有するディフューザプレート１８と、前記トッププレート１４と前記ディフューザプレート１８との間に挟持され、複数のノズル２０を有するシート状のノズルプレート２２とを有し、積層された前記トッププレート１４、ノズルプレート２２及びディフューザプレート１８を複数のボルト２４で一体的に連結する。そして、エアが供給ポート１２から流路２６を通じて複数のノズル２０へと供給され、半径外方向に向かって放射状に形成された前記ノズル２０を介して複数の吐出孔１６から外部へと導出される。 （もっと読む）

【課題】パッド部材と蛇腹部材との間の密着性を安定に維持でき、パッド部材の交換も可能な真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る真空吸着パッド１１は、内部に排気通路１２が形成されたベース部材１３と、ベース部材１３と一体的に取り付けられ内部が排気通路１３と連通する蛇腹部材１４と、蛇腹部材１４の先端１４ｂに取り付けられ吸着孔１５ａを有するパッド部材１５とを備え、パッド部材１５は、蛇腹部材１４の先端１４ｂに嵌入され内部に吸着孔１５ａが形成された嵌入軸部１５ｂを有するとともに、蛇腹部材１４の先端１４ｂには、嵌入軸部１５ｂとの間の密着状態を保持する環状弾性部材１７が装着されている。 （もっと読む）

【課題】
自重による基板の撓みがあっても基板収納カセットの基板の収納可能枚数を減少させる必要がないと共に、簡単な構造で低コストで製造できる基板搬送ロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】
基板収納カセット中に所定間隔で配置された複数枚の基板Ｓを取り出したり収納したりする基板搬送ロボット１０に使用されるハンド２０で、ハンド２０の前記カセットへの挿入方向に直交する方向に湾曲または屈曲せしめられた板状部材２１と、板状部材２１をその基端部でロボット１０のアーム１３に装着するための固定部材１４及び１５とを備える。板状部材２１の湾曲・屈曲の向きは、前記カセット中に配置された基板Ｓの撓みの向きと一致し、その湾曲・屈曲の度合いは基板Ｓの自重による撓みにほぼ等しいか、基板Ｓの自重による撓みよりも大きく且つ板状部材２１の全厚が前記カセットの基板Ｓの配置ピッチを越えないように設定される。 （もっと読む）

【課題】ハンド装置の剛性を高めることができ、ロボットの大型化やコストの高騰を抑制する。
【解決手段】ロボットシステム１００は、複数のハンド５１，５２と、各ハンドの一端を上下動させて、当該ハンドにおけるワーク１２の把持面の水平面に対する傾斜角度を変化させる上下動機構５３と、ハンドへのワークの積載状況やハンドの動作状況毎にハンドにおけるワークの把持面を水平面に一致させたときの回転軸６１の回転角度を対応付けて記憶する記憶手段と、回転軸の回転角度を検出する検出手段と、検出手段により検出された回転軸の回転角度が、当該検出されたときのハンドへのワークの積載状況やハンドの動作状況に一致する記憶手段に記憶されたハンドへのワークの積載状況やハンドの動作状況に対応する回転角度となるように駆動手段６２により回転軸を回転させる制御を行う制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の表面形状をより平坦にした状態でこの基板を確実に吸着保持する。
【解決手段】本発明の配線基板ユニットの製造装置１が備えるフレキハンド９は、フレキシブル基板の一方の主面１２を当接させる基板当接面６４とこの基板当接面６４に開口する吸気穴３４とが形成された基板当接部材３３と、フレキシブル基板２７の一方の主面１２を吸着する基板吸着面６３を有し、吸気穴３４の開口端から基板吸着面６３を突出させた状態で吸気穴３４内に配置され、かつ吸気作用により収縮可能なスポンジゴム製の基板吸着部材３２と、基板吸着部材３２を吸引してフレキシブル基板２７を吸着させた基板吸着面６３が基板当接面６４に対して同一平面となるように吸気穴３４内の吸気を行う吸気機構７１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板吸着エラーを未然に回避できる信頼性の高い基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板吸着部の真空圧を検出し、検出された圧力データの演算処理を行うことにより、次に処理する基板の吸着部真空圧の変化を予測する手段及び、基板保持状態を判別する手段及び、吸着部真空圧の圧力値に応じた加速度変更手段及び、基板吸着面のクリーニング手段を備える。これにより、基板吸着面に付着する異物による吸着部真空圧の上昇によって起こる搬送装置の吸着エラーに対して、未然に吸着エラーを予測し警告信号を出力する。吸着エラーが発生する前に吸着面のクリーニングを効率よく実行することで装置の生産性を低下させない。また、突発的な吸着エラーに対しては基板保持状態を判別し、吸着圧力に応じて搬送加速度を変更することで安全に基板搬送を続行可能とする。 （もっと読む）

【課題】剛性を高めることができ、ロボットの大型化やコストの高騰を抑制する。
【解決手段】ワーク１２を把持するハンド装置５と、ハンド装置に連結され、ハンド装置を水平方向に移動させる水平移動機構６と、水平移動機構に連結され、ハンド装置を上下方向に移動させる上下移動機構７と、を備え、水平移動機構及び上下移動機構により、ハンド装置を水平方向及び上下方向に移動させて所定の場所に載置されたワークを把持して他の場所に搬送するロボット２において、水平移動機構は、水平方向に沿ってそれぞれ同方向に移動可能な一対の水平アーム３１，３２，３３，３４を有し、ハンド装置を、一方の水平アームに対して回転自在に固定するとともに、他方の水平アームに対して水平アームの移動方向に直交する水平方向にスライド移動可能とするスライド機構８を介して連結した。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の表面に汚れが付着することなく、且つ、十分な吸着・保持力を持ってガラス板を吸着・保持し、引き上げできるガラス板引き上げ装置を提供する。
【解決手段】水平姿勢に載置された薄肉のガラス板１１を吸着・保持して引き上げるガラス板引き上げ装置であって、ガラス板１１が載置される載置部１６と、載置部１６の上方近接位置に配設されて、内部がガラス板１１の引き上げ通路１５となる上下開口のフード１２と、載置部１６の下方よりフード内にエアーを噴出する送風手段１４と、吸着手段９により、ガラス板１１を上面より吸着・保持して引き上げる吸着装置７とを備えている。 （もっと読む）

本発明に係る、ガラス板または半導体板（ウエハ）等のプレート（３）の表面（２）に付着接触する装置（１）は、該プレート表面（２）に、吸着力により付着する付着接触面（５）を備えた可撓性材料（４）を含むベース（１０）と、可撓性材料（４）からなる付着接触面（５）とプレート（３）の表面（２）との間の分離抵抗を、付着接触面（５）に垂直な方向（７）および平行な方向（８）において、異ならせる手段（６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で小型化できる吸着パッドを提供する。
【解決手段】ロボットアームの吸着パッド11の突き上げピン31でガラス基板を支持する。ロボットアームを下降させて吸着パッド11の蛇腹部13を伸ばす。吸着パッド11の蛇腹部13内が負圧になり、吸着パッド11のパッド部22がガラス基板に吸着する。ガラス基板を移送してからロボットアームを下降させる。吸着パッド11の蛇腹部13が潰れて蛇腹部13内の気圧が上がる。突き上げピン31の先端部32が蛇腹部13の開口部15から突出してガラス基板を支持する。吸着パッド11のパッド部22による吸着が解除される。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハのような薄物ワークを取り扱う場合において、薄物ワークに負圧を作用させる真空吸着と静電気による吸着とを併用し、吸着面とワークとの間で汚染等により吸着保持に問題を生じることのないピンセットを提供する。
【解決手段】吸着面（１４）を有し、該吸着面に沿って真空吸着溝（１６）を設けた、誘電体よりなる吸着パッド本体（１２）と、前記真空吸着溝に連通可能な負圧源と、前記吸着パッド本体の内部に埋め込まれ且つ高圧電源に接続可能な静電気力発生用電極（１８）と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
吸着するフレームの外径サイズに応じて、吸着位置を素早く容易に調整することが出来るワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供すること。
【解決手段】
フレームＦを吸着する複数の吸着部３１と、フレームＦの径の大きさに応じて吸着部３１の位置を連動させて移動することにより吸着部３１の位置を調整する直動式の移動機構４とを備えたことにより、１つの動作で全ての吸着部３１を同時に調整することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送装置及び表示パネルの製造装置のスペース効率を向上させること。
【解決手段】 加工装置３５を設けた搬送路１２に沿って、搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１を加工装置３５に供給し、加工装置３５にて加工の完了した第１の基板３１を搬出する基板搬送装置１０において、第１の基板３１と同じ搬送路１２に沿って搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１と一対をなす第２の基板３２を加工装置３５を通過して搬出可能とするもの。 （もっと読む）

【課題】教示作業が容易であり、且つ実動作でのタクトタイムを短縮できるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持するワーク保持部１０を有して往復運動する第１アーム１１、その第１アーム１１を連結して第１アーム１１と同じ方向に往復運動する第２アーム１２とで少なくとも構成されたアーム部２、及び、第１アーム１１の動作を第２アーム１２に優先して制御して、アーム部２を始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまで移動させる制御装置を備えたロボット装置１により、上記課題を解決した。前記の制御装置は、ロボット座標系としてＲ軸を設け、始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまでの距離ＲをＲ＝Ｒ１＋Ｒ２（Ｒ１は第１アーム１１の移動距離であり、Ｒ２は第２アーム１２の移動距離である。）の順機構解を定義し、ＲからＲ１，Ｒ２への割付を逆機構解として定義することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】対象物を保持する部材の間隔の調整を簡易な構造で実現することにより、軽量かつコンパクトなハンドをロボットに搭載可能にして、安価で小型のロボットを提供すること。
【解決手段】保持するパネルの幅に応じてフォーク１５の間隔を調整可能な搬送ロボット用ハンド１１であって、フォークを固設した台車２３のスライダ２３ａを連結するレール部材２２と、台車が連設されてプーリ２５、２６に巻き掛ける無端のタイミングベルト２７と、このベルトを繰り返し送って回転駆動させる送り機構３０と、を備えており、送り機構は、ベルトを挟持・解放する挟持用エアーシリンダ３１と、この挟持用シリンダをベルトの延在方向に往復移動させる送り用エアーシリンダ３２と、を具備して、プーリ２５、２６間のベルトの第１、第２ライン部２７ａ、２７ｂのそれぞれに配設されている。 （もっと読む）

【課題】 作業効率を向上させ、作業の迅速化を図ることのできるチャック治具を提供する。
【解決手段】 ＸＹＺの三次元方向に移動可能、そして回転可能に設置された治具本体１と、この治具本体１の複数の面にそれぞれ形成された複数の凹み穴１０と、各凹み穴１０を被覆して半導体ウェーハＷ等の被保持物品を着脱自在に密着保持する複数の保持層２０と、各保持層２０に被覆された凹み穴１０の空気を外部に排気する複数の排気路３０とを備える。半導体ウェーハＷを片面持ちではなく、両面持ちで密着保持することができるので、作業の迅速化が期待できる。 （もっと読む）

【課題】薄型ガラス基板等を搬送する産業用ロボットにおいて、制御軸数を増やす事無く、安価な方法で、上下軸の姿勢変化によるガラス基板の角度変化量を最少にする産業用ロボットを提供。
【解決手段】基台０上の第１軸ａに回転移動する第１リンク 1・1と、基台０上に固定されたブラケット 0・1上の第２軸ｂにに回転自在に支持された第１補助リンク 1・2とが第１の平行４辺形を構成し、第１リンク 1・1先端部の第３軸ｃとに回転移動する第２リンク 2・1と、第１ヒンジ１上の第５軸ｅに回転自在に支持された第２補助リンク 2・2とが第２の平行４辺形を構成し、複数の平行四辺形リンクを直列に並べた形態で構成される上下軸において、１つ以上のリンク1・1、2・1 又は補助リンク1・2、2・2 の長さを意図的に短くし、又は、平行四辺形を成す１つの軸 a〜ｆの軸位置を意図的に変更した。 （もっと読む）

【課題】複数のガイドピンが突出したワーク処理装置の架台に載置された板状ワークを確実かつ円滑に吸着保持できる吸着搬送装置および搬送方法を提供する。
【解決手段】支持フレーム１５が降下してバキュームパッド１６でフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）１１を吸着するときに、支持フレーム１５に垂設された筒状磁石１９にガイドピン１４の先端が嵌合するとともに、筒状磁石１９の下面がＦＰＣ１１の上面に当接する。このとき、筒状磁石１９の磁気に筒状ブッシュ１８が吸引されて、筒状磁石１９と筒状ブッシュ１８との間にＦＰＣ１１が挟持されるので、ＦＰＣ１１が撓むことなく、バキュームパッド１６にて確実に吸着できる。ＦＰＣ１１が所定の高さまで上昇すれば、筒状ブッシュ１８の上昇が規制されてＦＰＣ１１の下面から離反し、筒状ブッシュ１８が元の状態に戻るとともに、ＦＰＣ１１のガイド穴１２がガイドピン１４から円滑に抜け出る。 （もっと読む）

【課題】製造工程の効率化を図れる基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】処理チャンバ１２にガラス基板Ｂを搬出入する転送ロボット２０は、ベース部２１に対して旋回可能に支持されたアーム部２２と、ガラス基板Ｂを保持するテーブル部２６を備え、アーム部２６に対して回転機構２５を介してテーブル部２６が連結されている。回転機構２５によりテーブル部２６を回転させることにより、テーブル部２６上に載置されるガラス基板Ｂの処理チャンバ１２に対する搬入向きを変えることができる。これにより、特定の処理工程で不良が発生しているか否かを確認したいときに、処理チャンバ１２に搬入されるガラス基板Ｂの向きを容易に変えることができる。したがって、不良発生工程を迅速かつ容易に特定することができ、製造工程の効率化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】減圧雰囲気下で内部から出る粉塵等を少なくすると共に、高さ方向の厚さの増大を抑えたロボットアーム、及びそのロボットアームを備えたロボットを提供する。
【解決手段】ロボット本体の基台２００に第１プーリ２１（第１伝達機構）を介して回動可能に取り付けられた第１アーム２０と、第１アーム２０の先端部に第２プーリ２２（第２伝達機構）を介して回動可能に取り付けられた作業アーム５０と、第１プーリ２１及び第２プーリ２２を連結して動力を伝達する第１ベルト２３（第１連結手段）とを少なくとも備えるロボットアームにおいて、第１ベルト２３をフッ素ゴムからなるものとする。 （もっと読む）