【課題】近年では、サポート部材に半導体ウエハを固定した状態でバック・グラインディング工程等を行うことが検討されている。しかし、使用するキャリアや、このキャリアに半導体ウエハを固定するために使用する接着剤層には、厚さのバラつきが生じている。そのため、このようなキャリアに接着剤を介して半導体ウエハを固定し、バック・グラインディング工程を行うと、薄く加工された半導体ウエハの平坦度が低下する
【解決手段】本願発明は、ウエハの表面にサポート部材を張り合わせた状態（ウエハ・サポート部材複合体）で、ウエハの表面を研削して薄膜化するに際して、あらかじめ、ウエハと張り合わされたサポート部材の裏面を研摩又は研削することにより、ウエハ・サポート部材複合体を平坦化するものである。 （もっと読む）

【課題】修正の時間を増大させないマウントフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】研削部材とマウントフランジの端面とを対向させてフランジ端面修正治具を保持テーブルで保持する保持ステップと、撮像手段で該研削部材と該端面とを撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、該撮像画像をもとに該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させるために、該保持テーブルと該マウントフランジとを接近するＹ方向に相対移動させるべき移動量を算出するＹ移動量算出ステップと、該Ｙ方向算出ステップで算出された該移動量に基づいて、該保持テーブルと該マウントフランジとをＹ方向に相対移動させて該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させる当接ステップと、該撮像画像をもとに端面修正開始の基準位置を決定する基準位置決定ステップと、該マウントフランジを回転させて該研削部材により該端面を研削して修正する修正ステップと、を具備。 （もっと読む）

【課題】 マウントフランジの寿命を縮めず、端面修正の時間を増大させることのないマウントフランジの端面修正方法を提供することである。
【解決手段】 マウントフランジの端面修正方法であって、研削部材とマウントフランジの端面とを対向させてフランジ端面修正治具を保持テーブルで保持する保持ステップと、該保持テーブル及び該フランジ端面修正治具と該マウントフランジとの間に電圧を印加する電圧印加ステップと、該研削部材と該マウントフランジの端面とを当接させるために該保持テーブルと該マウントフランジとを接近する方向に相対移動させる相対移動ステップと、該研削部材と該端面とが接触した際の電気的導通を検知する導通検知ステップと、該導通検知ステップにおいて検知された電気的導通に基づいて、端面修正開始の基準位置を決定する基準位置決定ステップと、該マウントフランジを回転させて該研削部材により該端面を研削して修正する修正ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】チョクラルスキー法により育成したままのシリコン単結晶の外周を高い加工精度で円筒研削することができる円筒研削機を提供する。
【解決手段】シリコン単結晶１を、両端から主軸側チャック２ｂおよび心押側チャック２ｃにより挟み込んで支持し、シリコン単結晶１を主軸側チェック２ａの駆動に伴い軸周りに回転させて、研削水を供給しながら外周を研削する円筒研削機であって、主軸側チャック２ｂおよび心押側チャック２ｃは、シリコン単結晶１の各端部を受け入れる円錐状の凹部を有し、この凹部の表面に皮革が貼り付けられており、皮革は摩擦係数が乾燥時よりも吸水時に大きくて、０．４以上であることを特徴とする円筒研削機である。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、各加工ユニット３に、減速器付きサーボモータ１２によって回転自在なオネジ部材１３と、このオネジ部材１３の回転によって進退動自在なメネジ筒１４を設け、このメネジ筒１４の上部と下部に軸方向に傾斜するスロープ溝部１６を対称位置に設ける。そしてそれぞれのスロープ溝部１６に、一対の刃具１７の係合部１８を係合させることで、メネジ筒１４の進退によって一対の刃具１７が径方向に拡縮するようにし、それぞれの減速器付きサーボモータ１２を遠隔制御により個別に駆動できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、工具１の軸中心に、回転自在なコントロールシャフト５を配設し、このコントロールシャフト５の近傍に、ネジ状減速機構１５を一列に並べて設けるとともに、各ネジ状減速機構１５とコントロールシャフト５とが、それぞれの電磁クラッチ１４によって離接自在になるようにし、制御ユニット７の制御によって、電磁クラッチ１４をオンにすることで、コントロールシャフト５の回転がネジ状減速機構１５に伝達されるようにし、それぞれの拡縮機構１９によって各加工ユニット３の刃具１７が拡縮するようにする。 （もっと読む）

【課題】リング状の補強部が形成されるように板状ワークを粗研削と仕上げ研削とによる２段階で研削加工するに際して、砥粒の脱落によるスクラッチの発生を抑制できるとともに、被研削面の平坦度を維持できるようにする。
【解決手段】粗研削加工を行う第１の加工手段の第１の回転軸は回転軸に対して第１の傾斜角だけ僅かに傾斜させる一方、仕上げ研削加工を行う第２の加工手段の第２の回転軸φ２は回転軸φ０に対して第１の傾斜角よりも小さな第２の傾斜角βだけ僅かに傾斜させることで、粗研削加工に際しては第１の傾斜角が相対的に大きいため脱落砥粒によるスクラッチが起こりにくくし、仕上げ研削加工に際しては第２の傾斜角βが相対的に小さいが砥粒が小さく延性モードが支配的となる加工であり、脱落砥粒があってもスクラッチの影響は実質的になく、被研削面を平坦度のよい状態で仕上げることができるようにした。 （もっと読む）

表面プロファイルが変化するシート製品を製造するための技術およびこれにより製造された製品が開示されている。いくつかの実施形態において、開示された発明は、第１の表面上に第１のプロファイルを有するシート製品（２００）の表面をプロファイリングするための方法を提供する。ある実施形態において、方法は、プロファイリングテンプレート（２２０）または輪郭を描かれた支持面を作製する工程を含む。プロファイルされた表面は、プロファイリングテンプレートがシート製品および支持面との間に位置するように、プロファイリングテンプレート（２２０）およびシート製品（２００）を配置し、シート製品およびプロファイリングテンプレートの配置を指示面に合致させ、これによりシート製品が第１の表面上に第２の表面プロファイルを有するようにし、シート製品を加工して第１の表面上に第３の表面プロファイルを形成することによって、形成することができる。 （もっと読む）

【課題】ワークと工具との相対位置を迅速、かつ高精度に検出することで、作業効率の向上を図るとともに、ワークを所望の精度に加工することができる加工装置及びそれを用いた加工方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの軸方向の基準面６にコンタクト部７８を接触させて、基準面６と砥石との相対位置を測定する位置測定機を備え、両センター２１，６７は、ワークＷがコンタクト部７８に接触可能な相対位置測定ポジションと、ワークドライブ機構２６にチャックされるチャックポジションとの間を、ワークＷの軸方向に沿ってスライド可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工中に砥石から脱落した砥粒や、切粉によって被加工物や被加工物支持体に与える損傷を防止することができる被加工物支持体および機械加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物１１の外周面１１ａに転接して回動自在に支持する被加工物支持体１４は、少なくとも被加工物１１に接触する回転支持体３２の外周面３７ａが、焼入れ、焼戻しによる熱処理が施された後、チタンメッキ処理されている。 （もっと読む）

【課題】真円度の良いロールを得るためのロール研磨方法を提供する。
【解決手段】第一のロール（１７）のセンターだしを行ない、該第一のロール（１７）の外周面（１７ｃ）と両端の軸受け部（１７ｂ）とを研削装置（３１）で研削して室温における該第一のロール（１７）の真円度を２５μｍ以内にする第一の工程と、該軸受け部（１７ｂ）に軸受け（１９）及び軸受けハウジング（２３）を装着する第二の工程と、該軸受けハウジング（２３）をベース（５）に固定する第三の工程と、該第一のロール（１７）を回転させる第四の工程と、３μｍ以内の真円度を有し且つ外周面（３ｃ）上に研磨手段（２９）を備えた第二のロール（３）を回転させ、該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）に該第二のロール（３）を押し当てて該第一のロール（１７）の該外周面（１７ｃ）を研磨する第五の工程とを備えた研磨方法。 （もっと読む）

【課題】小型化しつつ、砥石車の側面を確実に被覆できる砥石カバーを備える研削盤を提供する。
【解決手段】研削盤は、工作物支持部２０に固定され、砥石車４３の外周面を被覆する周面カバー５１と該周面カバー５１に対して屈曲形成され砥石車４３の側面を被覆する側面カバー５２とを備える第一の砥石カバー５０を備える。そして、制御装置７０は、工作物Ｗを工作物支持部２０に対して着脱する際に、砥石台４２を工作物支持部２０に対してＺ軸方向に相対移動させた後に、砥石台４２を工作物支持部２０に対してＸ軸方向に相対移動させることにより、第一の砥石カバー５０に砥石車４３の外周面および側面を被覆させる。 （もっと読む）

【課題】交差角模様の加工跡がない機械部品、特に転動体，軌道輪等の軸受部品と、これを用いた転がり軸受と、これらの交差角模様の加工跡の生じない加工が行える超仕上げ加工方法を提供する。
【解決手段】転動体，軌道輪等となる機械部品である被加工物８を超仕上げ加工する方法である。回転する弾性砥石４の加工面４ｂの表面形状を、被加工物８の被加工面８ａに応じた形状とする。被加工物８を回転させ、被加工物８の被加工面８ａの端部から回転する弾性砥石４を当てる。この弾性砥石４の被加工物表面に応じて形成した加工面４ｂが、被加工物８の被加工面８ａに沿う加工軌跡で、弾性砥石４を移動させる。このように超仕上げ加工された被加工物８の被加工面８ａは、交差角模様の加工跡がない平滑面となる。 （もっと読む）

【課題】マスタリング時におけるワーク測定手段の接触子とマスターワークの測定個所との間の異物の有無を適切に判定して、異物を噛み込んでいない場合の測定値で適切にマスタリングすることができる研削盤を提供する。
【解決手段】略円筒状のワークＷの両端近傍を支持する一対のワーク支持手段１０ａ、２０ａと、ワークＷの円筒面の径またはワーク回転軸ＷＺに直交する面のワーク回転軸方向の位置を測定するための測定個所に当接させる接触子４２ｓを備えたワーク測定手段４０と、制御手段５０とを備え、制御手段は、予め設定されたマスタリングタイミングにて、ワーク測定手段４０にてマスターワークＭＷの径または前記位置を複数回測定し、各測定結果に基づいて接触子４２ｓとマスターワークＭＷとの間に異物が挟まれているか否かを判定し、異物が挟まれていないと判定した測定結果に基づいてワーク測定手段４０の誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】軸方向両端部の形状が異なる軸状工作物を総形砥石により研削加工する場合であっても、１台で可能となる研削盤および研削加工方法を提供する。
【解決手段】軸状工作物Ｗの軸方向一端部または軸方向他端部をそれぞれ回転可能に支持する主軸２２と、軸状工作物Ｗに対して少なくとも主軸２２の回転軸に交差する所定の一方向へ相対移動可能に且つ砥石軸回りに回転可能に設けられ、軸状工作物Ｗの軸方向一端部および軸方向他端部のそれぞれを研削加工する総形砥石４２と、軸状工作物Ｗを保持し、且つ、軸状工作物Ｗの軸方向一端部と軸方向他端部とを反転する反転装置を備える。総形砥石４２は、反転装置５０により反転する前における軸方向一端部を研削加工する第一の研削部４２ａと、第一の研削部４２ａと異なる位置に設けられ、反転装置５０により反転された後における軸方向他端部を研削加工する第二の研削部４２ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】マスタリングが必要なタイミングを適切に判定して必要以上にマスタリングすることを回避し、また、マスタリングを行う時間をより短くして、加工効率をより向上させることができる研削盤を提供する。
【解決手段】支持手段に支持されたワークＷに対して、回転軸ＷＺに交差する交差方向または回転軸に平行な平行方向に、加工工具Ｔを相対的に移動させ、交差方向または平行方向における支持手段または加工工具の位置を検出する位置検出手段と、ワークの円筒面の径または回転軸ＷＺに直交する端面の平行方向の位置を測定可能な測定手段４０と、制御手段５０とを備え、制御手段は、測定手段にて測定した径または位置が予め設定された目標値となるまでワークを研削し、測定手段による測定値が目標値に達した際の位置検出手段によって検出した位置が、許容位置範囲を外れていた場合、マスターワークＭＷを用いて測定手段の誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】多方向の力に対する高い剛性を確保し、加工されたねじ溝の加工面を良好に維持するねじ溝研削用レスト装置及びかかるレスト装置を提供する。
【解決手段】ねじ溝を砥石Ｇで研削する際の研削抵抗による撓みを防止するために、工作物であるねじ軸Ｗをレストシューで支持するレスト装置１５において、レストシューは、ねじ軸の螺旋溝面Ｗｓを、下方から当接する下方レストシュー４５と砥石Ｇの反対側から当接する後方レストシュー４６とを有し、下方レストシュー４５及び後方レストシュー４６には、これらのレストシューを、当接する前記螺旋溝面Ｗｓの形状に倣い該螺旋溝面Ｗｓに接離する方向に進退させるレストシュー進退機構５９と、前記螺旋溝面に当接した位置で各レストシューを固定させるレストシュー固定機構６０とが、夫々設けられている。 （もっと読む）

【課題】片持ち支持の砥石車により円筒外周面とその両端面を研削加工する際に、研削加工時間の短縮を図りつつ研削焼けの発生を抑制できる研削加工方法および研削盤を提供する。
【解決手段】第一の端面１０２と円筒外周面１０１のうち第一の端面１０２側の一部とに対して砥石車４３によりプランジ研削加工を行い、当該プランジ研削加工後における円筒外周面１０１の研削残し部の第二の端面１０３からの軸方向幅（Ｗ１−Ｗ２）が砥石車４３の軸方向幅Ｗ２よりも小さくなるようにする第一工程と、第一工程の後に、第二の端面１０３と円筒外周面１０１の前記研削残し部とに対して砥石車４３によりプランジ研削加工を行う第二工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】大電力供給装置や、真空ポンプを必要とせず、鋼管の内面、リブの下面に発生した錆を除去することを可能にすることにある。
【解決手段】主柱（管状体）ａ内を軸方向に移動する案内装置２と、案内装置２の先端側に配置された作業装置３とを備えてなり、作業装置３は、アーム５と、アーム５の先端側に配置された砥石部（除錆部）６２ａとを備え、アーム５は、少なくとも主柱ａの内面及び主柱ａの内方に突出するリブ（突出部）ｇの下面ｇ２を含む被処理面に、砥石部６２ａを当接させるべく移動させることが可能な複数のリンク７０１…７０４を備えるべく構成している。 （もっと読む）

【課題】レスト装置による工作物の支持剛性を高くしつつ、複数種類の工作物を選択的に加工可能なフレキシビリティを有するレスト装置を備える工作機械およびレスト装置を用いる加工方法を提供する。
【解決手段】台座１０と、台座１０の上に設けられ工作物Ｗの一端側を回転可能に支持する主軸台２０と、台座１０の上であって主軸台２０に対向する位置に設けられ、工作物Ｗの他端側を回転可能に支持する心押台３０と、主軸台２０と心押台３０との間に設けられ、台座１０に移動不能に固定され、加工中に工作物Ｗを主軸台２０および心押台３０と共に支持する第一のレスト装置５２と、主軸台２０と心押台３０との間に設けられ、台座１０に対して移動可能に設けられ、加工中に工作物Ｗを主軸台２０および心押台３０と共に支持する第二のレスト装置５３を備える。 （もっと読む）