【課題】ウェーハの研削面を研磨する場合において、抗折強度を高めつつ、無毒化処理を不要とし、ゲッタリング効果を維持してデバイスの品質を低下させないようにする。
【解決手段】保持テーブル２０を回転させて保持テーブル２に保持されたウェーハＷを回転させると共に、砥石３０ａを円錐面２０ａに倣ってウェーハＷの回転中心に位置付け、保持テーブル２０の回転に伴って研磨ホイール３０を連れ回り回転させてウェーハＷを研磨する。保持テーブル２０の回転に伴って砥石３０ａが自由回転し、ウェーハＷの裏面が研磨されるため、ウェーハＷの研削面である裏面が適度に無理なく研磨が行われる。研削歪みは減少するが、完全に除去されることはないため、ゲッタリング効果がなくなることはなく、また、ＣＭＰのように化学研磨液を使用することもないため、無毒化のためのコストもかからない。 （もっと読む）

【課題】軸線が水平な研削ロールの上周面に板面を接触させた回転砥石を用いて研削する方式にあっては、研削のみで、研磨に対しては、研削砥石を取り外して研磨砥石を取り付けて研磨するので、わずらわしい交換作業が必要になり、かつ研削、研磨能率が大幅に低下するなどの諸問題が発生する。
【解決手段】中心に取付孔１を有する円盤状の研削砥石２と、この研削砥石の外周外側に設けた輪状の研磨砥石３とからなり、上記研削砥石と研磨砥石との板面を面一にした構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】ころ端面と鍔部との焼付や摩耗を防止することが可能な安価な円筒ころ軸受および歯車装置を提供する。
【解決手段】円筒ころは、軌道輪間を転動する環状の転動面と、この転動面の両側に形成されたころ端面とから構成されており、円筒ころ１３のころ直径を２Ｒとすると、ころ端面１３ａと円筒ころの中心軸の交点を原点Ｐ₀とし、原点から円筒ころの外径方向に０．６５Ｒ離れた位置を第１地点Ｐ_A、第１地点から円筒ころの外径方向に０．２０Ｒ離れた位置を第２地点Ｐ_B、第２地点から円筒ころの軸方向に０．０００５Ｒ離れた位置を第３地点Ｐ_C、第２地点から円筒ころの軸方向に０．００３Ｒ離れた位置を第４地点Ｐ_Dとしたとき、円筒ころの端面形状が少なくとも前記第１地点を通り、かつ前記第３地点と第４地点との間を通過する連続した曲線となるように研削加工した。 （もっと読む）

【課題】小径化が急務となっている磁気ディスク用ガラス基板の内周側端面の表面状態を低コストで効率良く高品質に仕上げる研磨ブラシ、研磨方法等を提供する。
【解決手段】中心部に円孔を有する円板状のガラス基板の内周側端面部分に研磨液を供給しつつ、前記ガラス基板の内周側端面に研磨ブラシを接触回転させて研磨する研磨方法に用いる研磨ブラシである。該研磨ブラシ２０は、その軸心２１に対して毛材２２が略直交する方向に突設されてなり、２つの外径Ｄ１，Ｄ２の異なる部分が軸方向にわたって交互に配列されるとともに、その小径Ｄ２となされた部分が大径Ｄ１となされた部分よりも毛材の硬度を大きくする。そのため、研磨ブラシ２０における小径Ｄ２となされた部分の毛材を樹脂で固める。 （もっと読む）

【課題】例えば建築物の外壁材等として用いられるＡＬＣ（軽量気泡コンクリート）パネルの表面処理装置、特に緊張固定されたワイヤで切断されたＡＬＣパネル表面に残存する粉およびパネル同士が擦れ合うことで生じる粉の量を極力低減できるようにする。
【解決手段】未養生のＡＬＣを所定の張力で緊張させたワイヤでパネル状に切断する際に生じたＡＬＣパネル表面の凹凸を均すための表面処理装置１であって、無限軌道体９上に連続的に配置したブラシ１０を、上記無限軌道体９とともに上記ワイヤでパネル状に切断する際のワイヤ緊張方向と略平行な方向に走行させながら養生後のＡＬＣパネル表面を研削してパネル表面の凹凸を均すことを特徴とする。上記の表面処理装置には必要に応じて上記ブラシでＡＬＣパネル表面を研削する際に生じる研削粉を吸引除去するための真空吸引装置等の集塵装置６を備えることができる。 （もっと読む）

【課題】オイルシール嵌合部を外周面に有する軸状ワークの旋削リード目を、研削液が不要な研削方法によって除去可能な研磨装置および研磨方法を提供すること。
【解決手段】オイルシール嵌合部４ｃを外周面に有する軸状ワーク４をその軸線回りに回転支持する旋盤の主軸台１と、前記旋盤の工具タレット５に対して半径方向に移動可能に取付けられたスライド台８と、前記スライド台８を前記主軸台１の軸線に臨んで前後動させる第１駆動手段（エアシリンダ９）と、前記スライド台８に回転自在に取付けられ前記スライド台８の移動により前記オイルシール嵌合部４ｃに対して径方向に進退自在な弾性砥石ホイール１６と、前記弾性砥石ホイール１６を回転させる第２駆動手段（ブラシレスモータ１０）とを有することを特徴とする軸状ワークの研磨装置。 （もっと読む）

【課題】 上定盤の下面の平坦度を高精度にすることができ、ワークの研磨面の平坦度を高精度に研磨加工することができる研磨装置を提供すること。
【解決手段】 下側研磨具１５を備えた下定盤１４の上に配置された複数のキャリア７の複数の保持孔にワーク６を保持し、各キャリア７に噛み合う太陽歯車９と、太陽歯車９の外方に配置され各キャリア７に噛み合う内歯歯車８とを相対回転させた状態で、下定盤１４とこれに対向した上側研磨具５を備えた上定盤４とを回転させることにより、ワーク６の両面を研磨加工する両面研磨装置であって、上定盤４を回転駆動する上定盤駆動軸１を備え、上定盤４を上定盤駆動軸１に取付け固定して研磨加工する際に、上定盤４の下面が平坦になるように、上定盤４の下面を凸面形状に形成した上定盤４を上定盤駆動軸１に取付け固定したものである。 （もっと読む）

【課題】 切刃の円周振れを伴わないダイヤモンド砥石を提供する。
【解決手段】 ホイールベース２の端面に角柱ダイヤモンドチップが並び、これらチップにより砥石本体３が形成される砥石車１を次ぎの手順で製作する。まず、先端が平坦な複数のチップを周方向に隙間なく並べてこれらチップをホイールベース２に固着することにより砥石本体３を構成し、この砥石本体３の先端（砥石面４）に、前記回転中心から法線状に延び、かつ周方向に等ピッチで並ぶ複数の溝を形成する。そして、砥石本体３の内周面を回転中心と同心の円に沿って内面研削することにより、砥石面４の内周縁に周方向に等間隔で並ぶ切刃を成形する。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面１ａを細かな面粗度に加工でき、且つ作業環境に優れた研削方法を提供する。
【解決手段】本発明の研削方法は、ワーク表面１ａおよびその表面に接触する砥石面２ａが冷却液中に浸漬された状態で実施されるので、冷却効果が高い。また、砥石２には、砥石面２ａの周縁部から径方向中心部に向かってテーパ状に凹む窪みが形成され、砥石面２ａの周縁部のみがワーク表面１ａに接触している。これにより、ワーク１と砥石２との接触面積が小さくなるため、研削加工時の発熱量を少なくできる。
また、加工中の砥石２は、窪みの一部がワーク１の外周より径方向外側に覗いた状態で砥石面２ａがワーク表面１ａに接触しており、そのワーク１の外側に覗く窪みに向けて、ノズル６ｂから噴流が供給されるため、研削時に発生した切屑を冷却液中に排出でき、切屑による砥石２の目詰まりを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板等の板状部材表面に生じた傷を効果的に除去できる板状部材表面傷修復装置を提供する。
【解決手段】 板状部材Ｗを保持する保持部材２と、保持部材を板状部材の表面方向に平面運動させる平面運動機構３と、板状部材の表面に接触可能な弧状端部Ｋをもつ棒状砥石４と、棒状砥石をその中心軸線Ｏ廻りに回転させる砥石回転機構５と、棒状砥石の弧状端部を板状部材の表面に圧接可能な圧接機構６とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤソーによるスライス工程で、ウエーハの表面に長周期のうねりを発生させないようにスライスするとともに、スライスされたウエーハ表面に残る短周期のうねりを研磨工程で完全に除去することでラッピング工程または両頭研削工程を省略できる。
【解決手段】 複数本の加工用ローラ間にワイヤを複数回、巻き回してワイヤ列を形成し、ワイヤの往復走行の１往復を１サイクルとすると、１分間当たり３サイクル以上８サイクル未満の間の一定サイクルでワイヤを往復走行させながらワークをスライスするスライス工程と、前記スライスされたウエーハの両面を研削砥石によって片面ずつ研削する研削工程と、前記研削されたウエーハの両面に対して、固定砥粒研磨布と砥粒を含まない研磨材を使用して化学的機械的研磨する研磨工程と、からなることを特徴とする半導体ウエーハの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】クランクシャフト等の被研削材の両端部を同時に研削加工することにより加工効率の向上を図る技術を提案する。
【解決手段】被研削材１１となるシャフトの一側端部１１Ａを支持するセンタ２１Ｌと、前記シャフトの他側端部１１Ｂを支持するセンタ２１Ｒと、前記一側端部１１Ａの外周面を研削すべく回転駆動される第一の砥石１２Ｌと、前記他側端部１１Ｂの外周面を研削すべく回転駆動される第二の砥石１２Ｒと、前記被研削材１１のジャーナル部１１ｖの外周面に当接し、前記被研削材１１を摩擦により回転駆動させる調整車１４Ｌ・１４Ｒと、を具備し、前記調整車１４Ｌ・１４Ｒを回転駆動して前記被研削材１１を回転させつつ、前記第一の砥石１２Ｌ及び前記第二の砥石１２Ｒを回転駆動して、前記一側端部１１Ａ及び他側端部１１Ｂの外周面を同時に研削加工する研削装置とする。 （もっと読む）

【課題】 斜面と円柱面を有する内面研削砥石において、斜面をドレスしても円柱面の母線の長さを所定の長さに保つことができるドレス装置及びドレス方法を提供する。
【解決手段】 円柱面３２の一端に段差部を設けることにより、円柱面３２を、第１円柱面３５と、第１円柱面３５よりも外形が小さい第２円柱面３６により構成する。斜面３１をドレスする場合は、円柱面３２を段差も含めてドレスして、段差のない円柱面３２ａを形成する。そして、第１円柱面３５ａの母線の長さがＬとなる位置に段差部３３を形成し、第２円柱面３６ａを設ける。このように、斜面３１をドレスする度に、第１円柱面３５の母線の長さがＬとなるように円柱面３２を成形することにより、第１内径面を研削する部分の長さ（即ち第１円柱面３５の母線の長さ）を一定値Ｌに保つことができる。 （もっと読む）

【課題】 ステンレス鋼などの円管の内表面を大径であっても研削加工できる管内研削装置および管内研削方法を実現する。
【解決手段】 円管１の内径より小さく外径が設定され、内部に鉄芯３を備え、円管１の内表面を回転により研削するための砥石２を設ける。砥石２を回転駆動するためのフレキシブル片持軸６を設ける。円管を回転駆動するための円管駆動部を設ける。砥石２と円管１を挟んで対面する位置にて円管１の軸方向に移動可能に、かつ、鉄芯３に対し吸引力を発生するように磁力線を発生する磁石５を設ける。 （もっと読む）

【課題】 乾式研磨される半導体ウエーハの被研磨面の温度を正確に把握し、これによって、不良品となる温度に達しないように乾式研磨の運転管理を行うことができ、もって歩留まりの向上を図る。
【解決手段】 研磨ユニット２０の回転軸２２および研磨ホイール２４の回転中心に、両者にわたる中空部２８を形成し、この中空部２８に、非接触式の温度センサ４０を、センサ部４２が、研磨ホイール２４側の開口付近であって、半導体ウエーハＷの被研磨面に近接する状態に挿入する。制御手段５０により、温度センサ４０が検出した温度が許容温度を超えるか否かを判別し、その判別内容に基づいて、研磨を続行したり、研磨ユニット２０を退避させるフィードバック制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 気孔率が高い砥石を用いてウエーハを研削しても砥石に欠けが生じないようにしたウエーハの研削方法を提供する。
【解決手段】 超砥粒をビトリファイドボンドで結合するとともに無数の気孔を備え、該気孔の気孔率が７５〜９５容量％であるビトリファイドボンド砥石を装備した研削ホイールを用いて、ウエーハを所定量研削除去するウエーハの研削方法であって、ウエーハを研削除去すべき厚さをtとした場合、０．５〜０．９５tの厚さを研削除去する第１の研削工程と、第１の研削工程によって研削除去されずに残存する０．５〜０．０５tの厚さを研削除去する第２の研削工程とを含み、第１の研削工程において供給する研削水の単位時間当たりの供給量は第２の研削工程において供給する研削水の単位時間当たりの供給量より少量に設定されている。 （もっと読む）

【課題】 表面粗さが滑らかで高い寸法精度を有し、かつアスペクト比が大きく極細のマイクロツールを、加工効率が高く短時間で加工することができるマイクロツール研削装置及び方法を提供する。
【解決手段】 細長い棒状のワーク１を所定の位置に保持するワーク保持装置２０と、ワークの軸心Ｚを中心に軸対称又は等間隔に配置されワークの外周面を加工する同一形状の砥石３１を有する複数の砥石装置３０と、複数の砥石をワークに向けて移動する砥石移動装置４０とを備える。砥石移動装置４０により、各砥石３１を、ワーク１に向けて軸対称又は等間隔に同期して移動し、研削時のワーク１の変形を砥石自体により抑制する。 （もっと読む）

【課題】円筒体の内径加工において、加工用ピンと円筒体の同軸度が加工結果に大きく影響するため、円筒体毎に調軸作業を行うことを防止する円筒体の穴加工装置および穴加工方法を提供する。
【解決手段】周面にスパイラル状の研磨刃８が設けられた加工用ピン４と、該加工用ピンを円筒体１の内部に挿入して軸回りに回転させながら円筒体の内周面を研磨する駆動手段と、円筒体を把持する把持手段２と、該把持手段を遊動する遊動手段３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】書面に垂直方向に対して傾斜した光路で受光することで、書面の走査位置またはその直前（直後）を常に目視可能とする。
【解決手段】レンズ系を介して書面２からの反射散乱光を１次元イメージセンサに受光することで主走査を行い、書面２を被覆したハウジング１を手送り移動することで副走査を行う図面イメージの入力手段において、該ハウジング１内の上部に装着され、その受光面が図面と平行になるように設定された１次元イメージセンサと、書面２に垂直でセンサ列方向軸を含む平面に対して傾斜し、かつ該センサ列方向軸と直交した光路面を構成するレンズ系とを備え、該ハウジング１の被覆側端部で主走査する。
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【課題】 慣性力の影響を受けることなく均一にピン部を研磨することができ、更なる面粗度の向上が実現できるクランクシャフトの研磨装置を提供する。
【解決手段】 一対のアーム５，６からなるクランプ手段７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄでピン部４を所定荷重の下にそれぞれ把持し、ジャーナル部３を中心としてクランクシャフト１を回転させ、各アーム５，６に設けた研磨部材８とピン部４との摺接による摩擦力で当該ピン部４の表面を研磨するクランクシャフトの研磨装置であって、位相が１８０度異なったピン部４をそれぞれ把持するクランプ手段７Ａと７Ｂ及びクランプ手段７Ｃと７Ｄ同士を、一方のピン部４が上昇するときにそのピン部４を把持しているクランプ手段７Ａ、７Ｄに作用する慣性力Ｆ１を他方のピン部４が下降するときのクランプ手段７Ｂ、７Ｃの自重Ｆ２で打ち消すように連結手段１８で連結させた。 （もっと読む）