【課題】本発明は、半導体産業で利用される回転式ソーブレードの集合体に関する。
【解決手段】ウェハーをダイシングするためのガングソー用ソーブレート集合体は、共通する中心軸線に沿って位置決めされている複数の円状のソーブレードと、隣り合うソーブレード同士の間において共通する中心軸線に沿って位置決めされている浸食可能なピッチスペーサとを含んでいる。ピッチスペーサは、ソーブレート集合体を研磨材と当接させることによって、共通する中心軸線を基準とした所望の直径に至るまで浸食される。従って、ソーブレート集合体は、ブレードが浸食しても、長期間に亘るソーブレードの利用を可能とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で外周部のダレの発生を防止することができる砥石及びこれを用いた研削装置を提供する。
【解決手段】片側に被研削物を研削する研削面２を有する円環状の砥石１であって、前記研削面２の内周部４における前記被研削物と当接する研削面積が、前記研削面２の外周部５における研削面積よりも狭い。これにより、内周部４の単位面積当たりの仕事量を増加させるので、両頭平面研削装置に適用した場合に、外周部５と内周部４の摩耗を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】研磨範囲の異なる複数種類の付け替え可能な研磨ロールを備えてヘアライン加工のパターン変更が可能であると共に、このパターン変更に伴う装置の段取り替え作業が容易に行われるヘアライン加工装置を提供すること。
【解決手段】研磨ロール４は、両端に回転軸６を備えてこの両端の回転軸６の双方に軸受体９を被嵌し、この各軸受体９を着脱自在に包持するクランプ部10を移送装置部２に設けると共に、このクランプ部10は接近・離反自在な構成として、このクランプ部10が接近すると軸受体９を包持して研磨ロール４を張設ロール３と対設状態に取り付け可能とすると共に、クランプ部10が離反すると軸受体９を包持解除して研磨ロール４を取り外し可能に構成し、研磨範囲が異なる複数種類の研磨ロール４を備えたヘアライン加工装置。 （もっと読む）

【課題】 研削部（砥石）が軸方向に複数設けられる場合でも、研削部の拡径機構の動作が確実で構造が簡単な内径研削工具を提供する。
【解決手段】 電磁バルブ１４を閉じた状態としてピストン１７とドローバー４との接触圧を小さくしてドローバー４が軸方向に移動し、この状態でスラストモータ８を駆動してドローバー４を軸方向に移動せしめ、砥石１２（研削部３）を拡径させる。また、上記のドローバー４を軸方向の移動とともに電磁バルブ１４を開とし、油圧ポンプ１５からの油を油圧管１３内に送り込み油圧管１３内の圧力を高める。すると、ピストン１７が径方向外側に移動し、ドローバー４を内側から支える。このドローバー４を内側から支えることで、砥石１２（研削部３）の径方向内側への移動は阻止され、ロック状態となる。 （もっと読む）

【課題】突起欠陥部の過研磨を防止すると共に欠陥修正のタクトを短縮する。
【解決手段】平坦な基板５表面に形成された微細パターンの突起欠陥部７を研磨して修正する突起欠陥修正装置であって、前記基板５表面に対向して平滑面２ａを有する研磨板２と、前記研磨板２を前記基板５表面から所定距離だけ離隔した状態で前記基板５に対して相対的にスライド移動させる移動機構３と、を備え、前記研磨板２に移動方向と交差して設けた切削部１７により、前記研磨板２の相対移動に伴って前記突起欠陥部７を切削するものである。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、各加工ユニット３に、減速器付きサーボモータ１２によって回転自在なオネジ部材１３と、このオネジ部材１３の回転によって進退動自在なメネジ筒１４を設け、このメネジ筒１４の上部と下部に軸方向に傾斜するスロープ溝部１６を対称位置に設ける。そしてそれぞれのスロープ溝部１６に、一対の刃具１７の係合部１８を係合させることで、メネジ筒１４の進退によって一対の刃具１７が径方向に拡縮するようにし、それぞれの減速器付きサーボモータ１２を遠隔制御により個別に駆動できるようにする。 （もっと読む）

【課題】 複数の加工部位の内面研削を行う際、同時に加工して加工効率の向上を図ると同時に、すべての加工部位の加工精度が保証できる工具を提供する。
【解決手段】 複数の加工ユニット３を同軸上に備えた内面研削工具１において、工具１の軸中心に、回転自在なコントロールシャフト５を配設し、このコントロールシャフト５の近傍に、ネジ状減速機構１５を一列に並べて設けるとともに、各ネジ状減速機構１５とコントロールシャフト５とが、それぞれの電磁クラッチ１４によって離接自在になるようにし、制御ユニット７の制御によって、電磁クラッチ１４をオンにすることで、コントロールシャフト５の回転がネジ状減速機構１５に伝達されるようにし、それぞれの拡縮機構１９によって各加工ユニット３の刃具１７が拡縮するようにする。 （もっと読む）

【課題】従来技術によるフロートガラス研磨装置は、均一な力をフロートガラスに加えることができない。
【解決手段】フロートガラス研磨システムに関し、位置が固定された加工対象であるフロートガラスＧを回転させる下部ユニット１１０、フロートガラスＧに接触してフロートガラスＧの回転に伴って被動回転される上部ユニット１２０、及び上部ユニット１２０を水平または垂直方向に移動させるための移動ユニット１３０を備えるフロートガラス研磨システムであって、上部ユニット１２０は、移動ユニット１３０のスピンドル１２４に固定された固定プラッター１２１と、固定プラッター１２１に対して可動に設けられた研磨プラッター１２３と、フロートガラスＧに加えられる研磨プラッター１２３の圧力を均一に維持するため、固定プラッター１２１と研磨プラッター１２３間に介在された加圧部材１５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドのメンテナンス及び交換作業が容易にできるフロートガラス研磨システムを提供する。
【解決手段】フロートガラス研磨システム１００に関し、位置が固定された加工対象であるフロートガラスＧを回転させる下部ユニット１１０、フロートガラスＧに接触してフロートガラスＧの回転に伴って被動回転される上部ユニット１２０、及び前記上部ユニット１２０を水平または垂直方向に移動させるための移動ユニット１３０を備えるフロートガラス研磨システム１００であって、上部ユニット１２０は、移動ユニット１３０のスピンドル１２４に設けられたプラッター１２５と、フロートガラスＧに接触する研磨部が装着され、プラッター１２５に対して分離可能に設けられた分離プラッター１２７と、真空圧着によって分離プラッター１２７をプラッター１２５に対して位置固定するための真空チャック１８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨スラリー供給作業の効率性を高めることができるフロートガラス研磨システムを提供する。
【解決手段】フロートガラス研磨システム１００に関し、位置が固定された加工対象であるフロートガラスＧを回転させる下部ユニット１１０、フロートガラスＧに接触してフロートガラスＧの回転に伴って被動回転される上部ユニット１２０、上部ユニット１２０を水平または垂直方向に移動させるための移動ユニット１３０、及び上部ユニット１２０を貫通してフロートガラスＧに研磨スラリーを供給するための研磨スラリー供給ユニット１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】面取り部とのつなぎ目も含め、フランジ部の外周面や面取り部を高精度に加工でき、かつその際の加工効率をコストの高騰を招くことなく向上させることのできるクランクシャフトの製造方法を提供する。
【解決手段】クランクシャフトの粗形材１０のＯ／Ｓ用フランジ部１５に対する旋削工程では、Ｏ／Ｓ用フランジ部１５の周縁に旋削加工を施すことで周縁に１又は複数のテーパ面を有する面取り部１９を形成し、Ｏ／Ｓ用フランジ部１５の研削工程では、Ｏ／Ｓ用フランジ部１５の面取り部１９を外してこの領域に隣接する外周面１７および端面１８に対して研削加工を施し、かつ、仕上げ工程では、外周面１７に対応した筒状押圧面４６とテーパ面に対応したテーパ状押圧面４８，５０とを有するクランプアーム４１，４２でＯ／Ｓ用フランジ部１５を挟持して研磨用フィルム４３を押圧しつつ相対摺動させることで、外周面１７とテーパ面、およびこれらのつなぎ目を研磨する。 （もっと読む）

【課題】スロットノズルとバックロールとの間のギャップがスロットノズルの全幅にわたってほぼ一定になるようにする。
【解決手段】スロットノズルの研磨方法において、少なくとも二つのブロック（３，５）を重ね合わせて形成されたスリット（８）から流体を吐出させるスロットノズル（１）のリップ部（３ａ，５ａ）を研削装置（９）で研削し、室温における該リップ部（３ａ，５ａ）の長手方向の１メートル当りの真直度を２００μｍ以内にする第一工程と、その後、別に用意した真円度３μｍ以内であって該スロットノズル（１）の長さ（Ｌ１）より長い面長（Ｌ２）をもつロール（１１）であって、その外周面（１１ａ）上に研磨手段（１３）を設けた該ロールを回転手段で回転させる第二工程と、回転する該ロール（１１）を該スロットノズル（１）の該リップ部（３ａ，５ａ）に押し当てて該リップ部（３ａ，５ａ）を研磨する第三工程とを備えた。 （もっと読む）

本発明は、平坦なワークピースの両面研削加工のための装置に関し、これは上方および下方の加工ディスクを有し、これらはそれぞれ研削層を有する加工面を有し、加工面が相互の間に加工間隙を形成し、この中でワークピースが研削されることが可能であり、加工ディスクの少なくとも１つが駆動機構により回転可能に駆動されことができ、さらにワークピースを加工間隙内で案内するための装置を有している。本発明に係り、加工ディスクの少なくとも１つにバリ取り手段が配置され、これが装置内におけるワークピースの加工時にワークピースのバリ取りを行うよう設計されている。 （もっと読む）

【課題】交差角模様の加工跡がない機械部品、特に転動体，軌道輪等の軸受部品と、これを用いた転がり軸受と、これらの交差角模様の加工跡の生じない加工が行える超仕上げ加工方法を提供する。
【解決手段】転動体，軌道輪等となる機械部品である被加工物８を超仕上げ加工する方法である。回転する弾性砥石４の加工面４ｂの表面形状を、被加工物８の被加工面８ａに応じた形状とする。被加工物８を回転させ、被加工物８の被加工面８ａの端部から回転する弾性砥石４を当てる。この弾性砥石４の被加工物表面に応じて形成した加工面４ｂが、被加工物８の被加工面８ａに沿う加工軌跡で、弾性砥石４を移動させる。このように超仕上げ加工された被加工物８の被加工面８ａは、交差角模様の加工跡がない平滑面となる。 （もっと読む）

【課題】研削速度を速めることができ、生産性の向上を図ることのできるウエーハの研削方法を提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブル５４と、ウエーハ１１を研削する回転可能な研削ホイールを有する研削手段と、保持面に対して垂直方向に研削送りする研削送り手段とを備えた研削装置であって、前記研削ホイールは、ホイール基台と、基台の自由端面に環状に配列された第１の研削砥石８０と、該第１の研削砥石８０の半径方向内側で該第１の研削砥石８０と半径方向の間隔が研削すべきウエーハ１１の半径よりも短い間隔を有し、該第１の研削砥石８０と同心円状に配列された第２の研削砥石８２とを含み、ウエーハの１１回転中心Ｐ１に該第１の研削砥石８０が通過するように該研削ホイールを位置付け、該チャックテーブル５４を回転するとともに該研削ホイールを回転させて、該第１の研削砥石８０と該第２の研削砥石８２とによってウエーハを研削する。 （もっと読む）

【課題】ペレット化のための押出機のダイプレートを機械加工するための装置を提供する。
【解決手段】研削面３を有する研削ホイール２を備え、前記研削ホイール２は、前記押出機に面するカッターヘッドの駆動装置の駆動シャフト５上に回転装置４を介して配置されており、前記研削ホイール２が前記駆動シャフト５に取り付けられるときに前記ダイプレート１に位置合わせされる少なくとも前記研削面３が、ハードコーティング６を有する。 （もっと読む）

【課題】研磨ピンに設けた研磨材が磨耗した場合に、研磨材を単体で容易に交換できるうえ、コスト削減を図ることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置の研磨ピン３０は、研磨ピン３０の内部に非磁性体４１を介在させた状態で磁石４２を嵌合孔５０内に嵌合固定させ、研磨ピン３０及び研磨材３１、非磁性体４１、磁石４２間で形成される磁気回路の着磁力により、研磨ピン３０の表面部に確実に研磨材３１を固定するとともに、取り外しを容易とする。 （もっと読む）

【課題】大電力供給装置や、真空ポンプを必要とせず、鋼管の内面、リブの下面に発生した錆を除去することを可能にすることにある。
【解決手段】主柱（管状体）ａ内を軸方向に移動する案内装置２と、案内装置２の先端側に配置された作業装置３とを備えてなり、作業装置３は、アーム５と、アーム５の先端側に配置された砥石部（除錆部）６２ａとを備え、アーム５は、少なくとも主柱ａの内面及び主柱ａの内方に突出するリブ（突出部）ｇの下面ｇ２を含む被処理面に、砥石部６２ａを当接させるべく移動させることが可能な複数のリンク７０１…７０４を備えるべく構成している。 （もっと読む）

【課題】 円板状ワークの面取を効率的に行うことができる面取加工装置を提供する。
【解決手段】 整列した状態で第１の円弧状部Ｓ１と第２の円弧状部Ｓ２を含む移動経路Ｓに沿って転動する複数の円板状ワーク１００を案内する複数のガイド部４、５、６と、第１の円弧状部Ｓ１に配置され外周エッジ部に円弧状溝２１１、２１３を有する第１の円盤状砥石２１及びこの円盤状砥石に円板状ワーク１００の一方の外周縁を押圧する第１の押圧部２２を有する第１面取部２と、第２の円弧状部Ｓ４に配置され外周エッジ部に円弧状溝を有する第２の円盤状砥石３１及びこの円盤状砥石に円板状ワーク１００の他方の外周縁を押圧する第２の押圧部３２を有する第２面取部３を備える。 （もっと読む）

たとえば２サイクル大型ディーゼルエンジンのクランクシャフトなど、特に軸受金（４）により滑り軸受されているシャフト（３）において、軸受（４）を取り外した状態で、回転案内されたシャフト（３）の軸受座（５）の接触面を少なくとも部分ごとに機械加工するための装置であって、前記軸受（４）を取り外すことにより前記軸受座（５）と、前記軸受座（５）内に収容された前記軸受ジャーナル（３）との間に生じた間隙内に少なくとも一つの回転運動可能な切削工具（１）を有する装置が提案される。該装置の特徴は、前記切削工具（１）を前記軸受ジャーナル（３）に取り付けるための取付具（２）が設けられていることであり、該取付具（２）は、前記軸受座（５）の接触面の機械加工の際に前記軸受ジャーナル（３）が回転する工具ホルダとして機能し、前記切削工具（１）が、純粋な回転切削運動で前記軸受座（５）の前記接触面に沿ってガイドされ、その際、前記取付具（２）は、無残渣及び非破壊的に再び取り外し可能に前記切削工具（１）を摩擦結合及び／又は材料結合で取り付けるように構成されていて、一つの接着層及び／又は少なくとも一つのホースクリップを備えている。さらに、軸受（４）を取り外した状態で、回転案内されたシャフト（３）の軸受ジャーナル（３）の接触面を機械加工するための同様の装置、及び、そのような装置を用いて軸受座又は軸受ジャーナルの接触面を加工するための方法が提案される。
（もっと読む）