【課題】表面における結晶軸のばらつきが少ないＧａＮ基板の製造方法、ＧａＮ基板及びこのＧａＮ基板を用いて作製した半導体デバイスを提供する。
【解決手段】ＧａＮ基板１の製造方法は、ＧａＮ単結晶からなる基板１の表面を、基板１表面における結晶軸ｘ_０，ｘ_１の方向ａ_０，ａ_１のばらつきに基づいて凹型の球面状に加工する工程を有する。ＧａＮ基板１の表面を凹型の球面状に加工することで、加工後のＧａＮ基板１表面において、法線ｎ_０，ｎ_１に対する結晶軸ｘ_０，ｘ_１の方向ａ_０，ａ_１のばらつきが減少する。また、結晶軸ｘ_０，ｘ_１の方向ａ_０，ａ_１のばらつきが減少したＧａＮ基板１を用いて半導体デバイスを製造することにより、一つのＧａＮ基板１から作製される複数の半導体デバイスのデバイス特性を均一にできるため、半導体デバイスを作製する際の歩留まりを高めることができる。 （もっと読む）

【課題】プレス等の絞り加工により製造されるフェライト系ステンレス鋼製品において、要求される表面光沢を確保すると共にリジングの除去を可能とする表面研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面研磨方法は、絞り加工により製造されるフェライト系ステンレス鋼製品の表面研磨方法であって、絞り加工後に、所定の砥粒径により所定時間粗研磨を行った後、所定の砥粒径により所定時間仕上研磨を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】無端ベルトが大きく蛇行することがなく、無端ベルトに波打ちが発生することがなく、無端ベルトの表面を均一かつ美麗に研磨することができる無端ベルトの製造方法及び無端ベルトの研磨装置を提供する。
【解決手段】ゴム製の無端ベルトを駆動軸と従動軸の間に張架して、駆動軸により無端ベルトを回転させつつ、駆動軸上の軸方向に平行往復運動する研磨材により無端ベルトの表面を研磨する無端ベルトの製造方法において、従動軸が中央部において直径が一定である円柱形であり、中央部から端部にかけて次第に直径が中心に対して対称的に減少する形状であることを特徴とする無端ベルトの製造方法、並びに、ゴム製の無端ベルトを張架する駆動軸と従動軸及び駆動軸上の軸方向に平行往復運動する研磨材により無端ベルトを研磨する研磨材を有する無端ベルトの研磨装置において従動軸が中央部において直径が一定である円柱形であり、中央部から端部にかけて次第に直径が中心に対して対称的に減少する形状であることを特徴とする無端ベルトの研磨装置。 （もっと読む）

【課題】小径のレンズ等を加工装置に自動供給する搬送装置におけるワーク搬送ミスを抑制する。
【解決手段】ワーク搬送装置１は、レンズ素材を研削する研削装置２のワーク受け渡し位置Ｐ２に対して、レンズ素材Ｗの搬入および搬出を行うものであり、ワーク搬送容器１４ａ、１４ｂが旋回可能な搬送容器テーブル１３によって支持され、搬送容器テーブル１３が前後に直線移動するテーブル支持アーム１２によって支持され、テーブル支持アーム１２が旋回可能なアーム支持台１１によって支持されている。テーブル支持アーム１２を第１旋回位置１２Ｂに位置決めし、搬送容器テーブル１３を前進位置１３Ｂに位置決めし、一方のワーク搬送容器１４ａをワーク受け渡し用旋回位置に位置決めすると、ワーク搬送容器１４ａがワーク受け渡し位置Ｐ２に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】支持ホーンの熱膨張を防止して高精度の加工を行うことが可能な超音波加工機のスピンドル構造およびこれに用いる支持ホーンの提供。
【解決手段】スピンドル２に形成された中空の本体スリーブ３の中に配置する超音波振動子４と、超音波振動子４に同軸上に連接され、かつ本体スリーブ３の内周壁に拘束固定され、超音波振動子４により励起された超音波振動を切削工具６へ伝達する支持ホーン５とを備え、支持ホーン５が、超音波振動子４と同軸上に連接される本体５ａと、本体５ａの外周面に鍔状に形成された基部５ｂ−１と、基部５ｂ−１の外周部を本体５ａの軸方向に延設して形成された弾性を有する円筒状の緩衝スリーブ５ｃ−１と、緩衝スリーブ５ｃ−１の端部に形成され、本体スリーブ３を貫通して本体スリーブ３の外側へ引っ張ることにより、本体スリーブ３の内周壁に接触させた状態で固定される周接フランジ５ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】コバ部が薄いレンズ等の被研磨物の研削や研磨加工におけるコバ部の破損や形状精度の低下を生じることなく、被研磨物を容易に脱着可能にする。
【解決手段】研磨装置Ｍのカンザシ１０にレンズ２を固定するための保持具１において、受け部材６をレンズ２の厚さ方向に変位可能に、バネ８および螺子９を介して外筒７の内部に配置し、研磨加工時には、バネ８の付勢力で受け部材６を外筒７の内部に引き込んだ状態にして、レンズ２のコバ部２ｃを外筒７の内周に全周にわたって支持させ、保持具１からのレンズ２の離脱時には、バネ８に抗して、受け部材６およびレンズ２を外筒７の外部に押し出してコバ部２ｃを外筒７から露出させるようにした。 （もっと読む）

本発明は、ターボ機械の翼などの加工片（１）を、部品（Ｂ）の知られているプロセスから機械加工することによって修復する方法に関し、上記方法は、モーフィングプロセスによってプロフィル（Ｂ）を、変形プロフィルが部品上で測定された点群（Ａ）を補間するように変形させるステップ（３２）を含む。プロフィル（Ｂ）の変形は、機械加工される部分（１）の過剰の厚みまたは不充分な厚みを有したそれぞれ（２０）を、それぞれがマッピングと点の部分の形態である基本変形構成図（ＣＥＤ）（５）と比較することを含み、基本変形構成図（ＣＥＤ）（５）はデータベース（１００）内に記憶されており、データベース（１００）は、各基本変形構成図（ＣＥＤ）（１０２）にモーフィング関数（１０１）のパラメータを関連付ける。
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【課題】比較的長尺のワークを研磨加工する際に、煩雑なダミーワークの準備や段取り等を必要とすることなく、短時間で高精度な研磨面を得る。
【解決手段】ダミーワーク１０７に長尺のワーク１０８が収容される収納穴１０７ａを設け、背面側に配置したバネ１０９によって突出方向に付勢しつつワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓを収納穴１０７ａから露出させた状態で、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓとともに研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに摺接させて研磨加工を行う。ダミーワーク１０７は研磨後に交換される他の研磨対象の複数のワーク１０８に共通に用いられる。 （もっと読む）

【課題】非常に簡単な作業で、しかも簡単な機構を用いた小型で低コストの装置で、光コネクタフェルールの粗研磨加工・仕上げ研磨加工を再現性良く行うことが可能な光コネクタ端面加工方法および光コネクタ端面加工装置を提供すること。
【解決手段】研磨定盤あるいはその上の弾性体６上に、砥粒の種類あるいは粒度の異なる研磨フィルム７，８からなる粗加工用および仕上げ加工用を含む複数の研磨領域を設け、フェルール端面を連続的に研磨領域から離脱させずに、該複数の研磨領域に対してコネクタの端面を相対的に粗加工用の研磨領域を始点（加工始点）２とし仕上げ用の研磨領域を終点（加工終点）５として連続して局所的に摺動（小径高速回転）４させつつ低速で移動（３）させるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板を製造する場合の基板検査時において、異物の発生やハンドリングダメージを適切に防ぐ。
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、円板状のガラス基板１０を準備する基板準備工程と、ガラス基板１０を研磨する研磨工程と、研磨後のガラス基板１０を検査する基板検査工程とを備え、基板検査工程は、ガラス基板１０を把持する把持装置１００を用いて検査を行う工程であり、把持装置１００は、検査されるガラス基板１０の主表面の中心を通り、かつ主表面と垂直な軸に対して、検査されるガラス基板１０を回転させる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の被加工面に多数の微細凹部を形成した後、微細凹部の周囲に生じた盛上り部分を研削加工により除去するに際し、最終的に得られる微細凹部の深さのばらつきを極力小さくし、加工効率の向上を実現する仕上げ加工方法を提供する。
【解決手段】被加工物Ｗ１における円周面である被加工面Ｓ１に多数の微細凹部Ａを形成した後、微細凹部Ａの周囲に生じた盛上り部分Ｂを研削加工により除去するに際し、被加工面Ｓ１に研削工具であるホーニング砥石１を押付けた状態にし、ホーニングツールを回転させて盛上り部分Ｂを除去しながら、研削抵抗及び押付け圧力の少なくとも一方を検出し、その検出値に基いて加工完了を判断することにより、微細凹部の深さのばらつきを極力小さくして加工効率の向上を実現した。 （もっと読む）

【課題】炭化珪素ＳｉＣや窒化ガリウムＧａＮから成る単結晶基板のような難加工材料でも、ＣＭＰ法による研磨において十分な研磨効率や研磨性能が得られる研磨加工方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ法による研磨加工において、炭化珪素ＳｉＣや窒化ガリウムＧａＮから成る単結晶基板のような難加工材料の表面が酸化性の研磨液の存在下において砥粒内包研磨パッドを用いて研磨されるので、低い表面粗度を得つつ、高い研磨能率が好適に得られる。 （もっと読む）

【課題】加圧軸の軸線が移動することがなく、常に加圧軸の軸線を正確に研磨皿の球芯に向かわせることができ、また、非常に小さい押圧力を微妙に調整でき、これによりレンズを高精度に研磨することが可能なレンズ研磨装置の加圧機構を得ること。
【解決手段】加圧軸４ａと、加圧軸を回転可能かつ軸方向に摺動可能に支持する支持部材４と、加圧軸を軸方向に付勢する付勢部材４４を有し、加圧軸は、ベアリング４１を介して支持部材に支持され、ベアリングの内径で摺動可能に嵌合され、付勢部材と加圧軸とを、加圧軸の摺動方向に直列的に配設し、加圧軸を付勢部材のみで付勢する加圧機構とする。 （もっと読む）

【課題】 熟練を要せずに、リムレスフレームのための穴角度等を適切に設定し、穴加工を適切に行える眼鏡レンズ加工装置を提供することを技術課題とする。
【解決手段】 被加工レンズを保持するレンズチャック軸と、レンズチャック軸に保持された被加工レンズ表面にリムレスフレームを取り付けるための穴を穴加工具により加工する穴加工手段と、を備える眼鏡レンズ加工装置において、
穴位置データを入力する穴データ入力手段と、リムレスフレームが取り付けられていたデモレンズの表面カーブに関するカーブデータを入力するカーブデータ入力手段と、前記カーブデータ及び穴位置データに基づいて前記レンズチャック軸に保持された被加工レンズの表面に穴加工する穴角度を演算する穴角度演算手段と、演算された穴角度に基づいて前記穴加工手段を制御する穴加工制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研削工具及び制御された縁部制動を発生する方法の提供
【解決手段】 切削アセンブリの駆動軸の位置を切削アセンブリが収納されているバーの中心軸に関してずらし、より大型のコレットを受け入れ可能にすることによって、ダブテール溝の冷却穴を研削する頑丈な研削アセンブリが提供される。研削工具（30，130）は、本体（40）と；本体の長さの一部に沿って規定され、本体の長手方向中心軸Ｍと平行且つ前記中心軸Ｍから側方へずれた位置に配置された中心軸Ｄを有する駆動軸孔（44）と；長手方向中心軸に対してほぼ横方向に規定され、一部が駆動軸孔と交差するように本体を貫通する交差孔と；本体の駆動軸孔を貫通するように配置された駆動軸（48）と；交差孔の中に配置され、カッタを選択的に受け入れ且つ保持し、駆動軸によりカッタを回転させるように駆動されるクロスヘッドアセンブリ（50,52,54,56,58）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】研磨部分は樹脂材料でありながら、全体の剛性が高く、しかも耐久性に優れるポリシャーを得る。
【解決手段】樹脂材料からなるポリシャー本体１０には、棒状部２１と、この棒状部２１の先端に同軸に位置する半球状部２２とを一体に形成（成形）する一方、研磨シャンク３０には、この棒状ポリシャー本体１０の棒状部２１を挿入し半球状部２２を露出させる挿入穴部３３を形成したポリシャー。 （もっと読む）

【課題】レンズ用研磨装置において、研磨の加工条件を適宜補正することができる研磨装置及び方法を提供する。
【解決手段】互いに接近する方向へ押圧される研磨皿１６とレンズ１５とのうち少なくとも一方を回転させるとともに、研磨皿とレンズとの当接部分に加工液４０を供給し、さらに研磨皿とレンズとを相対的に往復動させることで、レンズの加工曲面部１５ａに対して研磨加工を行う。レンズの加工情報を入力する被加工物情報入力部４６ａと、レンズの加工曲面部の曲率半径が大となる方向または同曲率半径が小となる方向の指示を入力する補正指示入力部４６ｂと、補正指示入力部から入力された指示内容に従って具体的な加工条件補正値を計算する演算部４７ａと、被加工物情報入力部から入力されたレンズの加工情報に基づく加工条件に、演算部により計算された加工条件補正値を加えて、レンズに対する補正加工条件を設定する制御部４７ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の面取り加工部分にデザインとしての凹凸等があっても、この凹凸に沿った面取り加工が簡単に、確実に、且つ綺麗に行え、構成が簡素で、量産に適し、耐久性に優れ、メンテナンスも容易で、取り扱い易く、経済的な倣い機構を提供する。
【解決手段】面取り加工機Ｓの適宜支持手段Ｓ３に装着する基板１と、基板１に適宜揺動支持手段を介して上下方向に揺動自在となるよう装着する揺動アーム１０と、揺動アーム１０の揺動中心を境として一端がわに装着する面取り加工具２５と、揺動アーム１０の揺動中心を境として他端がわに装着する重り２１とを備え、重り２１の取付け位置を調整できるよう形成し、重力によって揺動アーム１０に生じる回転モーメントを利用して、搬送手段Ｓ２によって上向き状態で搬送する被加工物Ｈの面取り加工部分を、面取り加工具２５の回転カッター２６が倣いながら面取りできるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】難加工物、特に近年電子デバイスの材料として重要性が高まっているＳｉＣやＧａＮ等を、加工効率が高く且つ数１０μｍ以上の空間波長領域にわたって精度が高く加工することが可能な新触媒支援型化学加工方法を提案する。
【解決手段】酸化剤の溶液中に被加工物を配し，遷移金属からなる触媒を被加工物の被加工面に接触、もしくは極近接させ、触媒表面上で生成した強力な酸化力を持つ活性種と被加工物の表面原子との化学反応で生成した化合物を除去、あるいは溶出させることによって被加工物を加工する。酸化剤がＨ₂Ｏ₂、触媒がＦｅ、被加工物がＳｉＣ又はＧａＮであり、フェントン反応を利用して加工するのである。 （もっと読む）

【課題】 揺動可能に保持された工具保持部材のバランスをとることが容易な研磨装置の提供。
【解決手段】 水平な架台１に載せ置かれ、直交する三軸方向に移動可能な第一基台３、第二基台５、および第三基台７と、この第三基台７に設けられた支持部材１３と、この支持部材１３に回転可能に設けられた工具保持部材３５と、この工具保持部材３５に設けられた研磨工具４１とを備える。支持部材１３には、工具保持部材３５が水平であるか否かを確認するための近接センサ５１が設けられている。近接センサ５１により検出される金属ジグ５３は、工具保持部材３５が支持部材１３に対して回転し、工具保持部材３５の軸方向が水平となったときに近接センサ５１の軸線上に位置するように、工具保持部材３５に固定されている。 （もっと読む）