【課題】等方的な加工を実現することによりグリーンボールの真球度を十分向上させることが可能なグリーンボールの研磨方法、セラミックス球の製造方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】グリーンボールの研磨方法は、研磨装置を構成する第１部材の第１の面と、第２部材の第２の面との間にグリーンボールを供給する工程（Ｓ２０）と、第１の面と第２の面との間においてグリーンボールが自転および公転しつつ研磨される工程とを備え、グリーンボールが研磨される工程においては、第１の面および第２の面とグリーンボールとの間に荷重を付与しつつ、グリーンボールの研磨を進行させる工程（Ｓ３０）と、当該荷重を、グリーンボールの研磨を進行させる工程（Ｓ３０）よりも小さくすることにより、グリーンボールの自転軸を変化させる工程（Ｓ４０）とが交互に実施される。 （もっと読む）

【課題】遊星歯車研磨機構を用いた研磨加工を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、研磨パッドに起因する生産性の落ち込みを低減することを目的の一とする。
【解決手段】遊星歯車機構を用いることにより、上下定盤を回転させて上下定盤に挟まれたガラス基板の主表面を研磨する研磨工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、上下定盤のガラス基板と接触する面にはそれぞれ研磨パッドが貼付されており、研磨工程は、上下定盤をそれぞれ所定の方向に回転させてガラス基板の主表面を研磨する第１の研磨期間と、上下定盤をそれぞれ所定の方向と逆方向に回転させてガラス基板の主表面を研磨する第２の研磨期間とを設ける。 （もっと読む）

【課題】従来技術において、緩衝部材とホルダ本体との取付け面に設ける溝をＶ字などの角形状として形成するための加工処理の難度は比較的高い。しかし、一方で、その溝を加工のし易い丸溝形状とした場合、加工時の衝撃などによって緩衝部材が比較的ずれ易く、したがって脱落し易いという課題がある。
【解決手段】以上の課題解決のため、本発明は、緩衝部材とホルダ本体との取付け面を丸溝形状とし、かつ、その緩衝部材の横手方向の厚みを短くすることで、嵌込部の形状が丸溝でありながら角溝同様の緩衝部材の脱落しにくさを有する脆性薄板研磨装置用ホルダを提供する。また、そのような脆性薄板研磨装置用ホルダの製造方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】搬送時におけるウェーハ全周の画像を撮影することなく、当該ウェーハの割れ検出を行うことが可能なウェーハ研磨装置およびウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るウェーハ研磨装置１は、ウェーハ２を保持可能な透孔２１が設けられたキャリア２０と、定盤１２、１４とを備え、キャリア２０の透孔２１に保持されたウェーハ２を定盤１２、１４に対して相対移動させて、該ウェーハ２を研磨するウェーハ研磨装置において、透孔２１内に残留するウェーハ破片の有無を検知する、画像処理手段６もしくは非接触検出手段７の少なくとも一方を備える。 （もっと読む）

【課題】遊星歯車機構を用いた研削加工又は研磨加工において、定盤の編摩耗に起因してガラス基板に歪みが生じることを抑制すると共に、定盤の外縁に起因してガラス基板に欠陥が生じることを抑制することを目的の一とする。
【解決手段】遊星歯車機構を用いることにより、上側定盤と下側定盤に挟まれたガラス基板を上側定盤及び下側定盤に対して相対的に移動させて、ガラス基板の主表面を研削する研削工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、研削工程において上側定盤及び下側定盤として外縁が面取りされている定盤を用い、且つ、ガラス基板が上側定盤及び下側定盤に対して相対的に移動する過程でガラス基板の一部を上側定盤及び下側定盤の外縁より外周側を通過させてガラス基板の研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】研磨布を均一に研削し得る研削装置を提供する。また、かかる研削装置を使用した研削方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを保持するキャリア３と、キャリア３を挟んで対向する上下一対の回転定盤４、５とを具え、回転定盤４、５の対向面に、ワークＷを研磨するための、研磨布６を夫々有する両面研磨装置１において、上下の回転定盤４、５の研磨布６を研削するにあたり、上下の回転定盤４、５を離間させて、離間した上下の回転定盤間に、先端部分１０に回転定盤よりも小径の研削プレート１１を有するアーム１２を挿入し、研磨布６に対し、研削プレート１１を押し付けて、研削プレート１１を回転させることにより、研磨布６を研削することを特徴とする研磨布６の研削方法である。また、かかる研削方法を可能とする研削装置９である。 （もっと読む）

【課題】従前の搬送工程においてキャリアへのワークの適切な供給を実現する方途について提案する。
【解決手段】研磨に供するワークを保持する少なくとも１つのキャリアを、上定盤と下定盤との間に配置し、該キャリアのホールに前記ワークを挿入し、該上定盤と下定盤との間にキャリアおよびワークを挟み、上定盤と下定盤との間に研磨液を供給しつつ上定盤および下定盤の少なくともいずれか一方を回転させて、該キャリアに保持されたワークを研磨する方法において、前記キャリアのホールにワークを挿入するに当たり、該ワークの端部を把持してワークを下定盤の上方まで運び、該下定盤上のキャリアのホールに対してワークを位置決めし、該ワ−クの把持を開放してワークを前記ホールに向けて、ガイドによる案内を介して緩やかに落下させる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の両面を同時に研磨することにより研磨時間の長時間化を招くことなく、また、簡単な構成で被処理物（特に反りのある板状の被処理物）の両面をそれぞれ高平坦化することのできる定盤セット、研磨装置および研磨方法を提供すること。
【解決手段】ワーク１０の一方の面を研磨する下定盤１３０と、ワーク１０の他方の面を研磨する上定盤１２０とを有し、下定盤１３０は、頂部が凸の円錐状または円錐台状の研磨面１３１を有し、上定盤１２０は、下定盤１３０の研磨面１３１と相補的な頂部が凹の円錐状または円錐台状の研磨面１２１を有する。 （もっと読む）

【課題】キャリアの取り外しを必須とすることのない両面研磨装置用の洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを嵌め込むホール２を有するキャリア３と、対向する上下一対の回転定盤４、５とを具え、回転定盤４、５の対向面に、研磨布６を夫々有する両面研磨装置１において、研磨布６に対し流体を吹き付けて、研磨布６を洗浄するにあたり、離間させた上下の回転定盤４、５間に、二股の先端部分９に流体を研磨布６に対し吹付けるノズル１０を有するアーム１１を挿入し、キャリア３を、上の回転定盤５側へと移動させて、ノズル１０をキャリア３のホール内に配置し、上下の回転定盤４、５を回転させ、ノズル１０をホール２内にてホール径方向に往復移動させつつ、ノズル１０から研磨布６に向かって流体を吹き付けて、両研磨布６を洗浄する方法である。 （もっと読む）

【課題】 傷を付けずにネジ部の奥まで十分に磨くことができるボルト磨き装置を提供する。
【解決手段】 ボルトＢを保持してこのボルトＢをボルト軸周りに回転させるボルト回転機構４と、ブラシ軸５０、およびこのブラシ軸５０の周囲に設けられたブラシ材５１を有し、上記ブラシ軸の中心軸線Ｒ周りに回転させられる回転ブラシ５Ａと、上記回転ブラシ５Ａを保持して回転させるブラシ回転機構６Ａと、を備え、上記ブラシ材５１を上記ボルトＢに接触させて上記ボルトＢを磨くボルト磨き装置であって、上記ブラシ回転機構６Ａは、上記ボルト軸と上記ブラシ軸５０とが重なる方向からみた場合、上記ボルト軸に対して上記ブラシ軸５０の中心軸Ｒが所定の傾き角＋αをなすように上記回転ブラシ５Ａを傾けることができる。 （もっと読む）

【課題】 耐久性を高め、研磨効率を向上させることが可能な研磨装置及び研磨システムを提供する。
【解決手段】 環状のベルトと、ベルトの内周面の一部に装着され、研磨対象物の外周面を研磨する研磨板と、ベルトの内周面の他の一部に接触し、ベルトに動力を伝達するローラと、ベルトに動力を伝達する際、研磨板が研磨対象物の外周面に接触すると共にローラに接触しない状態を維持するように、ローラに対し、ローラを正方向及び逆方向に交互に所定量回転させる動力を伝達する動力伝達機構とを備えた研磨装置。 （もっと読む）

【課題】粗加工用砥石と仕上用砥石の他に、超仕上加工砥石とバリ取仕上加工砥石による、エンジンのシリンダブロックのホーニング加工を、１本の多段拡張ホーニング装置により可能とする。
【解決手段】１本のホーニングヘッドから、粗加工用砥石１３と仕上用砥石１５の他に、超仕上加工砥石９０またはバリ取仕上加工砥石９１を付加した、３種類以上の砥石を適宜に選択して突出させ、多段に拡張することが出来るようにし、前記ホーニングヘッド１１の内部において、拡張シャフトカム２１を嵌装し、該拡張シャフトカム２１に設けた複数の溝内に、プレートにより構成した拡張プレートカム６３を突出収納自在に嵌装した二重構造とした。 （もっと読む）

【課題】ウエハへの研磨の際、安定したウエハの研磨を行うだけではなく、ウエハの研磨精度も高める。
【解決手段】研磨装置１は、対向配置された上定盤１３と下定盤１１の定盤間にウエハ５を配して上定盤１３と下定盤１１とでウエハ５を挟持し、上定盤１３によってウエハ５に荷重をかけ、下定盤１１を回転させることによりウエハ５を回転させてウエハ５を研磨する。この研磨装置１では、ウエハ５への研磨時間あるいはウエハの累積回転をパラメータとして、上定盤１３のウエハ５への荷重と下定盤１１の回転数とを可変制御し、かつ、上定盤１３のウエハ５への荷重と下定盤１１の回転数とを同期制御する制御部４が設けられる。 （もっと読む）

【課題】矩形基板を棒状基板に効率よく切断するとともに切断面を効率よく研磨することができる切断研磨加工装置を提供する。
【解決手段】矩形基板１０を保持する保持テーブル機構と、矩形基板１０を分割予定ライン１０１に沿って切断する切削ブレード５４２と切断面を研磨する研磨ホイール５４３とを有する複合工具を備えた加工手段とを具備している。保持テーブル機構は支持基台３２と矩形基板１０を支持する保持面を備えており、保持テーブル３３には送り治具１１と、治具送り手段と、送り治具１１に接合された矩形基板１０を吸引保持する吸引保持手段と、送り治具１１を保持面に押圧して送り治具１１の動きを規制する押圧手段３７と、送り治具１１に接合された矩形基板１０の自由端部を吸引支持する支持部材３８１と支持部材３８１を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構３８２を備えた基板端部支持手段３８とが配設されている。 （もっと読む）

本発明は、スラブ（２ａ，２ｂ）の表面を、圧延ロール域における圧延加工前に研磨し、その際、スラブを、可逆の研磨台（１２ａ，１２ｂ）上に載設させて、研磨室に配置された、研磨機ユニット（Ｉ，ＩＩ）の研磨アセンブリの下側で往復運動させ、表面を研磨加工したあとで直線的に研磨台を研磨室から外方へ移動させ、スラブを、研磨台から持ち上げて反転装置に供給し、その際、スラブを、反転後に反転装置から取り出して、未加工の別の表面が上側に位置するように研磨台に収容し、次いで、該研磨台を、表面を加工するために新たに研磨室に進入させる、特に連続鋳造により製造されたスラブを取り扱う方法および装置に関する。構造上の手間が大きく低減された、極めて簡単な、連続鋳造されたスラブを研磨する際にスラブを取り扱う方法および装置を提供することが望ましい。このことは、スラブを、回動可能なスラブ挟持兼持上手段（１４；１４ａ，１４ｂ）を備えたスラブマニピュレータ（９）により受け取り、スラブマニピュレータにより、緊締されたスラブを横方向に搬送することも反転することもできるようにすることにより達成される。
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【課題】ワークに発傷等を誘発することなく、加工バリ除去効率に優れた加工バリ取り方法及びベルト式の加工バリ取り装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送経路Ｌに沿って搬送される板状のワークＷの表面Ｗａに、ワーク搬送方向と交差する方向に延在する研磨ローラ３２Ａ及びテンションローラ３８Ａに巻き掛けられて循環走行する無端帯状の研磨ベルト４１Ａを、研磨ローラ３２Ａによって摺接させてワークＷの加工バリＷｅを除去する際に、研磨ベルト４１Ａを研磨ローラ３２Ａの周面３２Ａａに沿ってその研磨ローラ３２Ａの軸方向に往復動を付与する。搬送されるワークＷの表面Ｗａ側に突出する加工バリＷｅに対して研磨ベルト４１Ａが当たる方向が逐次多方向に変化し、加工バリＷｅが研磨ベルト４１Ａにより擦られてワークＷから加工バリＷｅが確実に除去される。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を伴わずに異なる種類の研磨加工を実現可能な研磨工具、研磨装置および研磨加工方法を提供すること。
【解決手段】研磨工具４３の研磨面は、第１の研磨パッド４５によって形成され、ワークの被研磨面の外形以上の大きさを有する中央研磨面と、第２の研磨パッド４６によって形成され、中央研磨面の外周を囲繞する外周研磨面とで構成される。そして、中央研磨面と外周研磨面とが段差を形成して外周研磨面が中央研磨面から突出しており、研磨工具４３は、全体として内側が窪んだ断面視凹型形状を有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂インサートの歪みを抑制して所望の内周面形状に精度良く加工でき、研磨ウェーハの外周ダレ及びナノトポロジー不良を抑制できる両面研磨装置用キャリアの製造方法を提供する。
【解決手段】ウェーハの両面を研磨する両面研磨装置における、研磨布が貼付された上下定盤の間に配設され、研磨の際に前記上下定盤の間に挟まれるウェーハを保持するための保持孔が形成されたキャリア本体と、該キャリア本体の保持孔の内周に沿って配置され、保持されるウェーハの周縁部に接する内周面を有するリング状の樹脂インサートとから成る両面研磨装置用キャリアの製造方法であって、少なくとも、保持されるウェーハと接する内周面が形成されていない樹脂インサートの母材をキャリア本体の保持孔に装着した後、該樹脂インサートの母材に内周面形成加工を行い、保持されるウェーハの周縁部に接する内周面を形成する両面研磨装置用キャリアの製造方法。 （もっと読む）

【課題】表面処理により生じた切屑などを簡単な構成で回収するとともに、処理対象の形状に関わらず効率良く処理できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１０は、回転ブラシ２２を備えたワークスペース２０，モータ収納部４０，回収部８０により構成される。回収部８０には、回転ブラシ２２の後方に配置されたフィルタ９４と、底面側に設けられた回収トレー８４が着脱可能に保持され、上面カバー９８には通気孔１００が形成されている。回転ブラシ２２の後方には、上面カバー９８とフィルタ９４の間を塞ぐ遮蔽板９９が設けられる。回転ブラシ２２にワークを押し当てると、表面処理によって生じた切屑は、回転ブラシ２２の回転によって生じた気流に乗り、大きなものは回収トレー８４に落下する。一方、細かい切屑は、吹き上げられた気流がフィルタ９４を通過する際に分離し、回収トレー８４に落下する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、曲線状の刃付部を再現することが可能な刃物研ぎ器を提供する。
【解決手段】本発明は、刃物３０の刃付部３１が通る通路６と斜めに交差する一対の法面がなす研磨材３の研磨面１４に、法面方向に凹むように曲成する曲面部１４ａを形成した。同構成によると、外側に膨らむ円弧を描く曲線形状の刃付部３１を研ぐと、研磨面１４には刃付部３１の曲線形状に沿う曲面部１４ａを有しているので、同刃付部３１は形状をできるだけ損なわずに研げる （もっと読む）