【課題】異なる形状を有する物体群を簡便に分類できる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】互いに異なる形状を有する物体群の分類方法は、水平方向から所定角度Θで傾斜する傾斜面３１上に物体群を配置し、相対的に転がり抵抗及び／又は摩擦力が低い低物体５３を選択的に落下させ、相対的に転がり抵抗及び／又は摩擦力が高い高物体６０を滞留させる工程を有する。傾斜面３１上に堰３５を設け、この堰３５で低物体５３を一時的に堰きとめ、混在する高物体６０を回収することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】被加工部材の切断加工において、加工効率及び加工精度の向上を図ることができる切断装置及び切断方法を提供する。
【解決手段】切断装置１は、固定砥粒ワイヤ工具１００を駆動し、固定砥粒ワイヤ工具１００を被加工部材Ｗに対して揺動させる揺動機構１６０と、固定砥粒ワイヤ工具１００が、被加工部材Ｗに対して往復で揺動し、固定砥粒ワイヤ工具１００が往復揺動の折り返し位置に到達したときには、固定砥粒ワイヤ工具１００の被加工部材Ｗに対する相対的な位置を当該折り返し位置で所定の保持時間ｔだけ保持するように、揺動機構１６０を制御する揺動制御部１６４と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークをワイヤソーで精度良く切断して、良好なＷａｒｐ形状のウェーハとすることができる切断方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のワイヤガイド間に螺旋状に巻回されたワイヤによって形成されるワイヤ列に、ワークホルダに保持された円柱状のワークを押圧し、ワークとワイヤとの接触部にスラリを供給しながらワイヤを走行させることによって、ワークをウェーハ状に切断する切断方法において、ワイヤ列によって形成される平面に対してワークの軸方向を傾斜させて切断するものであって、ワークの傾斜を、ワイヤ列平面から離れる側が、ワイヤガイドの軸方向に伸びる側になるように傾斜させてから切断するワークの切断方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、一般に研磨システムに関する。本発明は、具体的には、１つまたは複数のモジュール式研磨ステーション、および移送システムに移動可能に接続される複数の研磨ヘッドを有する研磨装置に関する。
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本発明は、少なくとも１個のワークピース（３０）をソー切断するために用いられる、ワイヤーガイド手段（３、４、５、６）間にクランプ締めされ、かつ互いに等間隔に配置されてソー切断ワイヤー面を形成する１又は２本以上のソー切断ワイヤーを備えるワイヤーソー切断装置に関する。本ワイヤーソー切断装置は少なくとも２つのソー切断面（１０、２０）を有し、各ソー切断面には独立したワイヤー駆動装置（１２、２２）が備えられる。前記ソー切断面は好ましくは一方が他方の上になるように配置される。各ソー切断面（１０，２０）には通常独立したワイヤー格納部（１５、２５）が備えられ、これら格納部を用いて別個のソー切断ワイヤー（１１、２１）を連続して送り込むことが可能である。
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研磨機の回転砥石（１２）によって、ツイストドリルの先端を研摩する装置であって、回転砥石（１２）の軸と平行な軸に固定可能に連節された基板（１４）と、研磨されるツイストドリル（１）をリリース可能な状態で保持するためのドリルホルダ（１６）と、ガイド部材（１５）を有する。ガイド部材（１５）は、互いに固定可能で回転可能な後部プレート（２１）と前部プレート（２２）とを有する。後部プレート（２１）は、前記基板（１４）と前記回転砥石の軸方向における動作のために連結されており、前部プレート（２２）は、回転砥石（１２）に近づく方向及び遠ざかる方向にドリルホルダ（１６）を滑らせてガイドするためのガイド手段（２８，２９）を有する。 （もっと読む）

【課題】ホーニング装置において、エンジン実働時のシリンダボアの変形を抑制するようにシリンダボアをホーニング加工すると共に、ホーンガイドを容易に切換可能にする。
【解決手段】シリンダブロックＷ１にホーンガイド１２の案内部２３Ａを固定し、押圧ロッド１９で押圧部材をウォータジャケットの底部に押圧して、シリンダボア２の所定の部位に外周側から荷重を負荷する。この状態で、ホーンヘッド１１によってシリンダボア２の内周面をホーニング加工することにより、エンジン実働時のシリンダボアの変形を抑制する。回転軸２４によってホーンガイド１２を反転することにより、ホーンガイド１２を切換えて他のシリンダブロックＷ２に対して案内部２３Ｂを固定することができる。このとき、使用しない押圧ロッド１９は、シリンダブロックＷ１、Ｗ２の反対側に移動するので、シリンダブロックＷ１、Ｗ２に干渉することがない。 （もっと読む）

改良された研削／研磨装置は、ボウル、回転する駆動板、及びプラテンを支持するようになっている駆動板駆動部を備える基部を有する。研削／研磨装置は試料ホルダを支持するように構成されたヘッドを備える。ヘッドは、試料ホルダを回転駆動する第１の駆動部と、駆動板に対して試料ホルダを接近・離反移動させる第２の駆動部とを有する。第１の態様によれば、ヘッドは、第１の駆動部に作動連結されたロードセルと、第２の駆動部に作動連結されたカウンタとを備える。カウンタは、駆動板に接近・離反するヘッドの移動とその移動範囲を決定するように構成される。制御システムが提供される。第２の態様によれば、試料ホルダと共に回転可能なヘッド部分の中から伸びたり、ヘッド部分の中に格納することができるフィンガが提供される。第３の態様によれば、ボウル内に適合するための交換可能なボウルライナが提供される。第４の態様によれば、ヘッド内には照明が設置される。 （もっと読む）

【課題】 バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で板状ワークの片面を研磨する場合における該板状ワークのそりの発生や打痕による品位低下更には研磨作業に要する時間の長期化等の弊害を回避する。
【解決手段】 板状ワークＰを搬送する複数の搬送ローラ６、９と、これらの搬送ローラ６、９による搬送途中で板状ワークＰを研磨するバフ研磨ローラ１４（１５）とを備えた研磨装置１において、複数の搬送ローラ６、９により形成される搬送径路３Ｂの途中に、板状ワークＰを相互間に介在させて該板状ワークＰの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を備え、バックアップローラの使用を廃止する。 （もっと読む）

【課題】 可撓性を有する板状ワークをバフ研磨ローラの配設位置に適切に送り込むことを可能にし、且つバックアップローラの存在により板状ワークに打痕が付き品位低下を招くという事態を抑止する。
【解決手段】 可撓性を有する板状ワークＰを搬送する複数の搬送ローラ６，９により形成される搬送径路３Ａ，３Ｂ，３Ｃの途中に、板状ワークＰを挟持する一対のグリップローラ１２，１３を対向して配置し、これらのグリップローラ１２，１３により板状ワークＰを上下方向に沿って送ると共に、その送られた板状ワークＰの両面を、対向して配置された一対のバフ研磨ローラ１４，１５の相互間でこれらのバフ研磨ローラ１４，１５により同時に研磨するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 ビレットの内面偏肉に追従できる内面を研磨する装置およびそれを用いた方法を提供する。
【解決手段】 ビレットの内面を研磨する装置において、先端に研磨用砥石を装着可能なスピンドルをモーターにて回転可能装置とし、該回転可能装置の上部に圧下用シリンダーを配設させると共に、下部には受けエアーシリンダーを設けて、該受けエアーシリンダーにてスピンドルを上昇状態としたことを特徴とするビレット偏肉に追従できる内面研磨装置およびその方法。 （もっと読む）

【課題】 一対のバフ研磨ローラで板状ワークの両面を同時に研磨するという本発明者等が案出した手法を採用する場合における種々の弊害を回避する。
【解決手段】 複数の搬送ローラ６、９により形成される搬送径路３Ｂの途中に配設され且つ板状ワークＰを相互間に介在させてその板状ワークＰの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を備えると共に、この一対のバフ研磨ローラ１４（１５）の相互間における板状ワークＰの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラ１４（１５）のそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置３８となるように一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を位置決めする位置決め手段３０を備える。 （もっと読む）

【課題】被切断物が傾斜面を有し、ワイヤソーがこの傾斜面と交差する場合であっても、切断面の精度を従来よりも向上させることができるワイヤソーによる切断方法を提供する。
【解決手段】傾斜面に接着剤を塗布する。 （もっと読む）

【課題】高回転精度で丸駒チップの切れ刃を回転させるための画期的な技術が求められて
いる。
【解決手段】モータ利用強制駆動式ロータリー型切削(DRCT)装置に用いるシャンクの先端
部の丸駒チップ保持部に設けた取付・回転軸に、丸駒チップを挿入固定する工程、挿入固
定後に該丸駒チップを被研削体として回転させながら、前記切削装置とは別の研削装置を
用いて該丸駒チップの逃げ面を回転砥石で研削して該丸駒チップの切れ刃の振れを小さく
する研削加工工程、前記逃げ面研削加工された丸駒チップを取付・回転軸に挿入固定され
たまま用いて工作物を切削加工する工程、とからなる切削加工方法。丸駒チップを保持す
るチップホルダー、シャンク本体、チップホルダーをシャンク本体に結合するコネクティ
ングホルダーとに３分割した、又は、丸駒チップを保持するチップホルダーとシャンク本
体とに２分割した、組立式シャンクのチップホルダーを用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】研磨後のウエハが膜厚測定のために待機する待ち時間を減少させて、装置全体のスループットを向上させ、しかもフィードバック制御を確実に行うことができるようにする。
【解決手段】研磨前のウエハをカセットから取出して該ウエハの被研磨膜の膜厚を膜厚測定器で測定する研磨前膜厚測定工程と、研磨前膜厚測定後のウエハをカセットに戻す研磨前ウエハ収納工程と、カセットに戻されたウエハをカセットから取出して研磨する研磨工程と、研磨後のウエハを洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程と、洗浄・乾燥後のウエハをカセットに戻す研磨後ウエハ収納工程と、カセットに戻された洗浄・乾燥後のウエハをカセットから取出して該ウエハの被研磨膜の膜厚を膜厚測定器で測定する研磨後膜厚測定工程を有する。 （もっと読む）

【課題】複数のワークを同時に、かつ均一の精度で良好に切断できるようにする。
【解決手段】ワイヤソーは、上下に並ぶワーク切断部１Ａ，１Ｂと、ワイヤ繰出し・巻取り装置１２Ａ，１２Ｂと、ワーク送り装置４０と、を備える。そして、一方の繰出し・巻取り装置１２Ａから繰り出されたワイヤＷが順次ワーク切断部１Ａ，１Ｂを経由して他方の繰出し・巻取り装置１２Ｂに巻取られると共にワーク切断部１Ａ，１Ｂのガイドローラ１０ａ，１０ｂに巻回されることにより、ワーク切断部１Ａ，１Ｂにワイヤ群が形成される。ワーク送り装置４０は、垂直テーブル４１を駆動することにより、２つのワーク４４を、ワーク切断部１Ａ，１Ｂのガイドローラ１０ａ，１０ｂの周囲に巻回されたワイヤ郡の外側から内側に向かって同時に、かつ同方向に切断送りする。 （もっと読む）

【課題】 シリコンウエーハの研磨装置に使用して、優れたシール性を確保できるロータリジョイントにおける軸シール方法を提供する。
【解決手段】 複数の環状部材１３を軸方向に積層して筒体１０を構成する。各環状部材１３に径方向流路１３ａを設ける。筒体１０の内側に回転自在に嵌合する軸体２０に、複数の環状部材１３に対応する複数の軸方向流路２１を設ける。隣接する環状部材１３，１３間に押圧保持された軸シール部材３０により、軸体２０の外周面との間をシールする。軸シール部材３０として、環状の保持部の内面側に、環状のリップ部が軸方向へ傾斜して一体的に設けられた単一リップ構造のゴムシールを用いる。 （もっと読む）

【解決手段】 多くのダイから材料の層を人手を介さないで同時に除去することは、複数のダイ保持装置を、研削面を覆うように取り付けられたテンプレートの様々なセグメント化された開口領域内へ一時的に配置することによって、達成される。一実施形態では、研削ホイールによって各保持装置に与えられた摩擦力は、保持装置をストップに押し付けるように各開口の境界内に位置させる役目をする。各セグメント中のストップは、研磨ホイールの様々な部分を使用してダイの各々を研磨するために研削ホイールの中央から相違する半径距離に位置されることが可能である。いくつかの実施形態では、セグメント同士は研削面の実効的な作用領域を増加させるためにテンプレートのまわりでオフセットされている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型軽量の研磨装置と、この研磨装置により効率よく被加工物を研磨加工する研磨加工方法を提供することを目的とする。
【解決方法】概略円筒形の縦型加工容器と、この加工容器に嵌め合わすことができ、且つ排出用貫通孔と吸入用貫通孔を有する蓋体と、一方の先端部が排気用貫通孔に嵌め合わされており、排気用貫通孔内に設けられたフィルタを介して、加工容器の内部空間に充填されている被加工物以外の物質を加工容器外へ導出する排出管と、この排出管の他方の先端部に設けられた排出制御手段と、吸入用貫通孔に挿入されている筒形状の吸入管とから構成される研磨装置と、排出制御手段により加工容器内にサイクロン流を生成し、そのサイクロン流の作用により加工容器内の被加工物を研磨する研磨方法。 （もっと読む）

【課題】ステンレススチール板の表裏の面に加工痕痕を残すことなく効率良く切断端面に面取り加工を施すことのできる面取り装置を提案すること。
【解決手段】面取り装置１では、搬送機構１０によって搬送されるステンレススチール板９の切断端面９ａの上下の角９ｂ、９ｃが、搬送路上に配置されているベルトサンダー４０Ｂ、４０Ａのサンディングベルト４１Ｂ、４１Ａによって研削され、切断端面９ａに面取り加工が施される。手作業によって切断端面９ａにサンダー掛けしてバリ取りおよび面取りを行う場合に比べて効率良く面取り作業を行うことができる。面取りローラを金属板に押圧しながら転動させてその切断端面を塑性変形させて面取り加工を行う場合のような加工痕が金属板などの板材の表裏の面に残ることがない。 （もっと読む）