【課題】本発明は、前述した課題を解決するために、優れたパッド平坦性と高いパット研削力を同時に満たすドレッサーを提供する。
【解決手段】円盤状支持材の表面に複数個の砥粒が単層に固着されたドレッサーであって、円盤状支持材の半径をＲとした場合、砥粒が、０．３Ｒ≦Ｂ＜Ａ≦０．９Ｒ、かつ、Ａ−Ｂ≧４（ｍｍ）を満たす半径Ｂの同心円の外側、かつ、半径Ａの同心円の内側のリング状領域に固着されていることを特徴とする研磨布用ドレッサー。 （もっと読む）

【課題】改善された表面特性を提供する費用効果の高い工学的設計のされた研磨物品の提供。
【解決手段】研磨物品は突出部の配列を有する研磨層を含む。研磨層は約５００ミル以下の厚さを有する。研磨物品は裏当て層なしである。 （もっと読む）

【課題】大面積を有していても屈曲等により損傷しにくく取扱いが容易であり、大きな型や製造装置を用いずに欠陥なく作製することができる新規な構造を有する研磨シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複数の基材と、前記複数の基材それぞれの一方の主面上に配置されており、研磨粒子及びバインダー樹脂を含む相互に独立した複数の研磨ブロックと、前記複数の基材それぞれの他方の主面側に配置されており、前記複数の基材を支持する単一の支持体と、を有することを特徴とする研磨プレートを提供する。 （もっと読む）

【課題】 研削機械や電動工具などに装着され、主として鉄、ステンレス等の金属板を研削して平坦にしたり、表面に塗布されている塗膜を除去したりするために用いられる回転型の研削工具であって、被切削板の平面が平坦でない場合でも均質な研削を行うことが出来る上に、寿命も長い研削工具を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するための研削工具は、金属など硬い材料で製作された基板に、弾性体からなる母体の表面に砥粒を焼き付け、接着、又は、この母体の内部に砥粒を含有させる、などの方法で造られた研削用部品を、工具回転中心の周囲に複数個装着したことを特徴とする。弾性体の形状、弾性係数、取付数、を適正に選ぶことにより、各種の被切削材の表面研削に適用することができ、被研削材の表面が平坦でない場合でも均質な研削が可能なうえに、研削で発生する切粉が研削用部品を劣化する危険が少ないため、工具としての寿命も長い。 （もっと読む）

【課題】工程制御が容易でかつ工具寿命の向上も達成可能なコンディショニングのための工具を提供する。
【解決手段】剛性基板が平面状の円形表面を有し、該基板に、該円形表面に関して一定レベル内に位置する有限面積の平坦な頂面を持つ切れ刃３１の集合を交差する二組の平行線群４１，４２からなる格子状に整列配置した研磨工具であって、各切れ刃３１は頂部における該工具の軸に垂直な断面(水平断面)が四辺形でありかつ上記軸方向に延びた縦稜線を有する焼結ダイヤモンドで構成され、かかる切れ刃３１は集団として限定された面積を持つ複数個の研磨島に形成され、該研磨島の複数個が一定間隔ごとに、工具の回転中心に関する同心円上に規則的に配置されていることを特徴とする、ＣＭＰパッドのドレッシングに適した研磨工具。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を研削するときにガラス基板の切屑に起因する研削レートの低下を抑制するようにした研削パッド、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】研削パッド１０が上定盤５０及び下定盤６０に貼付される。被研削物としてのガラス基板Ｇが上定盤５０及び下定盤６０で狭持され、ガラス基板Ｇと上定盤５０及び下定盤６０とを相対的に移動させることでガラス基板Ｇが研削パッド１０により研削加工される。研削パッド１０は、円環形状の平板の樹脂成形部と、実質的に中心から前記円環形状の外縁に向かって延びる樹脂成形部の溝部に配置されている砥石と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＦＲＰ材の層間剥離（デラミネーション）を抑制し、さらに加工能率を向上させることができる研削工具を提供する。
【解決手段】加工対象物であるＣＦＲＰ材１０の端面１０ａを研削する研削工具において、円筒状の台金３と、ＣＦＲＰ材１０の研削時にＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの左側の表面に対応する位置において研削面５ａがＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの内側を向くように台金３に複数の砥粒４を列状に並べて構成した複数のユニット５と、ＣＦＲＰ材１０の研削時にＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの右側の表面に対応する位置において研削面５ａがＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの内側を向くように台金３に複数の砥粒４を列状に並べて構成した複数のユニット５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、安価で、ドレッシングのための特別な段取を必要とせず、かつドレッシング時の抵抗の少ない平面研削盤用のブロックドレッサを提供する。
【解決手段】
平面研削盤２の研削テーブル４上に固定され、ドレッシング平面１０ａに設けられた砥粒層１２を砥石車１６の円周上の研削面１６ａに当接させるとともに、砥石車に対して該砥石車１６の回転軸１４に直角な方向に相対移動させて、砥石車１６の研削面１６ａをドレッシングするブロックドレッサ１０において、砥粒層１２は、ドレッシング平面１０ａ上に砥石車の回転軸１４に対して傾斜して延在する帯状に少なくとも１条ベース部材１０ｃに形成され、前記帯状の砥粒層１２の前記回転軸線方向の幅１２ｗは、砥石車１６の幅１６ｗより小さく形成されること。 （もっと読む）

【課題】ＣＦＲＰ材の層間剥離（デラミネーション）を抑制し、さらに加工能率を向上させることができる研削工具を提供する。
【解決手段】加工対象物であるＣＦＲＰ材１０の端面１０ａを研削する研削工具１において、円筒状の台金３と、ＣＦＲＰ材１０の研削時にＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの左表面１０Ｌに対応する位置において研削面４ａがＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの内側を向くように台金３に設置された複数の砥粒４と、ＣＦＲＰ材１０の研削時にＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの右表面１０Ｒに対応する位置において研削面４ａがＣＦＲＰ材１０の端面１０ａの内側を向くように台金３に設置された複数の砥粒４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】研削チップ５の回転速度及び研削力を向上させ、同時に広範囲に亘り短時間で完全に旧塗膜を研削すると共に、剥離物が回転砥石１に付着しないようにする。
【解決手段】直径１５ｃｍ〜３０ｃｍのカップ型の台金２の全外周縁下面に平坦部４を具備したリング状凸部３が設けられている。平坦部４には、砥石１の回転方向に刃先を向けた複数の研削チップ５が、大小異径の同心円上に沿って周方向に離隔して取り付けられている。研削チップ５の刃先前側面と、平坦部４とのなす角度θは、０＜θ＜９０°に設定されている。研削チップ５の下部は刃先前側から視て円弧状に形成され、全体として中央が下方に膨出した蒲鉾状に形成されている。台金２には、外周縁から半径内方向に窪む円弧状の切縁を有する凹溝１０を周方向に所定間隔毎に設けている。リング状凸部３の外周面には砥石回転方向に刃先が向けられた切刃１１が周方向に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハの裏面を均一の厚さに研磨できるとともに均一に磨耗する研磨パッドを有する研磨ホイールを提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを覆うように位置づけられてウエーハを研磨する回転可能な研磨ホイールを有する研磨手段とを備えた研磨装置用研磨ホイールであって、ホイール基台と、該ホイール基台にリング状に配設され、該チャックテーブルに保持されたウエーハの直径より小さく半径より大きい研磨領域幅を有する研磨パッドとを具備し、該研磨パッドは複数のセグメントパッドから構成され、該各セグメントパッドは、回転中心側から半径方向の中央に向かって拡大し中央から外周に向かって縮小する円周方向の幅を有する桜の花びら形状に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】柔軟性がありワークの被研磨面に弾力的に追随して該被研磨面を精度よく研磨・研削し、研磨面を複数個の研磨布紙片の配列により構成しても研磨効率の低下の抑制をする。
【解決手段】外周が円形に形成されたソケット２と、熱硬化性樹脂含浸のガラスクロスで所要厚さに形成され、ソケット２に取付けられて該ソケット２の周囲にリング状に張り出されたリング状基板３と、表面にバインダ樹脂と混合した研磨剤が塗布された研磨布紙でそれぞれ扇形に形成され、リング状基板３の周方向に隣合う同士が円弧Ｒの端部で連接された態様で当該リング状基板３上に貼着された複数個の扇形研磨布紙片４ａ〜４ｈと、研磨布紙でそれぞれ略三角形状に形成され、隣合う扇形研磨布紙片の間隙にリング状基板３部分を充塞するように貼着された複数個の略三角形状研磨布紙片５ａ〜５ｈとを有する回転砥石を提供する。 （もっと読む）

【課題】 研磨パッドの表面細孔の目詰まりや研磨パッド表面の摩耗などによる研磨性能の低下を回避するとともに、研磨パッドの表面が半導体基板を高精密研磨するための所望の表面粗さを有するように研削加工することができ、長寿命化が図れるコンディショナーを提供する。
【解決手段】 コンディショナー１０は、複数の領域に分割されたコンディショニング部１１と、複数の領域に分割されたコンディショニング部１１をそれぞれ個別に支持する支持部１２とを有する。そして、支持部１２は、弾性を有するクッション層１２２が設けられて、コンディショニング部１１の一部の領域部分を支持する第１支持部１２ａと、第１支持部１２ａが支持するコンディショニング部１１の領域部分以外の領域部分を支持する第２支持部１２ｂとを含んで構成される。 （もっと読む）

【解決手段】研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に配設される修正用砥石形状が、円形の中心部角度で１８０°〜９０°の扇紙形である定盤修正用砥石。
【効果】本発明によれば、研磨ワークを、実際に遊離砥粒を用いて研磨する際、定盤表面に存在する開放された粒状黒鉛穴に十分に砥粒が保持され、その保持力増加により安定した研磨力が得られ、尚且つ微細定盤面が研磨ワークに転写され、表面粗さが良い被加工物を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 ドレッシング処理を比較的長期間、安定して実施する。
【解決手段】 研磨パッド表面に摺接され、前記研磨パッド表面の目詰まりを除去するドレッシング工具であって、第１主面から第２主面に延びる複数の貫通孔を備えるプレートと、前記貫通孔内に配された砥粒と、を備え、前記貫通孔は、前記第２主面の側の開口径よりも小径の縮径部を有し、前記砥粒は、前記縮径部において前記貫通孔の内面と当接し、一部が前記第１主面から突出した状態で、前記貫通孔の内面に配された結合材を介して前記プレートと接合していることを特徴とするドレッシング工具を提供する。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台は研削屑の付着を防止する材料から形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、内周側面、外周側面及び該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台の該マウント装着部にのみ回転バランスを調整するための窪みが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、内周側面、外周側面及び該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台の少なくとも該マウント装着部を除く面に研削屑の付着を防止する樹脂がコーティングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも２パターンのＲ面をワークに形成することができる研削装置を提供すること。
【解決手段】 研削装置２は研削部材１０２，２０２を備えている。研削部材１０２は複数のセグメント１２０を備えている。研削部材２０２は複数のセグメント２２０を備えている。セグメント１２０は、研削面１４０とＤ１側Ｒ面１３０を備えている。セグメント２２０は、研削面２４０とＤ１側Ｒ面２３０を備えている。研削部材１０２，２０２は、Ｄ１側Ｒ面１３０によってワークを研削することが可能である第１位置関係と、Ｄ２側Ｒ面２３０によってワークを研削することが可能である第２位置関係との間を相対移動することができる。これによって、２パターンのＲ面をワークに形成させることができる。 （もっと読む）

【課題】両面ラップ盤用回転定盤においてキャリアの破損を防ぎつつ、効率よく研磨を実施する。
【解決手段】両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面（１１）の少なくとも内側周縁（２１）と外側周縁（２２）に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有し、断面が矩形をなした棒状の研磨片（２３）を、相互にこれら研磨片（２３）の横巾と同等かより狭い巾の空隙（１６）を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して研磨片環状配列群（２９）（３０）を形成すると共に、内側周縁（２１）寄りの研磨片（２３）と外周周縁（２２）寄りの研磨片（２３）に挟まれた中間領域に、金属紛とダイアモンド粉とを焼結せしめて所定の厚さと直径を有する円柱状をなしたダイアモンドペレット（１０）をほぼ均等かつ同心円状に固定した。 （もっと読む）